JPH01119749A - 広帯域空燃比センサおよび検出装置 - Google Patents
広帯域空燃比センサおよび検出装置Info
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- JPH01119749A JPH01119749A JP62277308A JP27730887A JPH01119749A JP H01119749 A JPH01119749 A JP H01119749A JP 62277308 A JP62277308 A JP 62277308A JP 27730887 A JP27730887 A JP 27730887A JP H01119749 A JPH01119749 A JP H01119749A
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F02—COMBUSTION ENGINES; HOT-GAS OR COMBUSTION-PRODUCT ENGINE PLANTS
- F02D—CONTROLLING COMBUSTION ENGINES
- F02D41/00—Electrical control of supply of combustible mixture or its constituents
- F02D41/02—Circuit arrangements for generating control signals
- F02D41/14—Introducing closed-loop corrections
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- F02D41/1444—Introducing closed-loop corrections using means for determining characteristics of the combustion gases; Sensors therefor characterised by the characteristics of the combustion gases
- F02D41/1454—Introducing closed-loop corrections using means for determining characteristics of the combustion gases; Sensors therefor characterised by the characteristics of the combustion gases the characteristics being an oxygen content or concentration or the air-fuel ratio
- F02D41/1455—Introducing closed-loop corrections using means for determining characteristics of the combustion gases; Sensors therefor characterised by the characteristics of the combustion gases the characteristics being an oxygen content or concentration or the air-fuel ratio with sensor resistivity varying with oxygen concentration
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
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- G01N27/12—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid
- G01N27/122—Circuits particularly adapted therefor, e.g. linearising circuits
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は広い範囲にわたって空燃比を正もσに検出する
ための広帯域空燃比センサおよびその広帯域空燃比セン
サを用いた空燃比検出装置に関する。
ための広帯域空燃比センサおよびその広帯域空燃比セン
サを用いた空燃比検出装置に関する。
(従来技術)
自動車等から排出される排気ガス中の空燃比を検出する
ためのセンサとして、最近では焼結法グリーンシート技
術および印刷・薄膜技術を用いて、小型で量産性に富み
、広い範囲の空燃比を連続的に測定できろセンサが開発
されている。そうしたセンサとして、大気基準を持った
限界?ii流式酸素センサ(特願昭56−123373
号「酸素1度検出器」)および酸素濃淡電池式素子と酸
素ポンプ素子とを絹合わせた広帯域空燃比センサ(特願
昭58−237626号、 5ensor and
Actuators 2 (+982) 37
1〜384)等が提案されている。また、アルミナ基板
上に大篤導入なしの限界電流式酸素センサおよび抵抗変
化弐入=lセンサを一体化した入=1からリーン領域の
空燃比を測るセンサ(特開昭61−155751号公報
「空燃比センサおよび装置」)もある。
ためのセンサとして、最近では焼結法グリーンシート技
術および印刷・薄膜技術を用いて、小型で量産性に富み
、広い範囲の空燃比を連続的に測定できろセンサが開発
されている。そうしたセンサとして、大気基準を持った
限界?ii流式酸素センサ(特願昭56−123373
号「酸素1度検出器」)および酸素濃淡電池式素子と酸
素ポンプ素子とを絹合わせた広帯域空燃比センサ(特願
昭58−237626号、 5ensor and
Actuators 2 (+982) 37
1〜384)等が提案されている。また、アルミナ基板
上に大篤導入なしの限界電流式酸素センサおよび抵抗変
化弐入=lセンサを一体化した入=1からリーン領域の
空燃比を測るセンサ(特開昭61−155751号公報
「空燃比センサおよび装置」)もある。
これらのセンサは、いずれも酸素量を測定し、その酸素
量がら空燃比を検出する方式である。
量がら空燃比を検出する方式である。
(発明が解決しようとする問題点)
自動車から排出される燃焼排気組成を調べると。
CO,H2等の可燃性ガスの濃度は、燃料リッチから空
気過剰率λ=1に近づくに従って減少し、入=1以上の
燃料リーンではほとんと零となる。
気過剰率λ=1に近づくに従って減少し、入=1以上の
燃料リーンではほとんと零となる。
それに対し、02ガスの濃度は燃料リッチ領域では零と
なるが、λ=1から燃料リーンへと変化するに従って増
大する。 よって、燃料リーン領域の空燃、比を測るた
めには02ガス濃度をモニターし、また燃料リッチ領域
の空燃比を測るためにはCo、H2等のガス;農度なモ
ニターし、それらのカス濃度がら空燃比を算出した方が
、従来の酸素ガス1度だけがら空燃比を算出する方式よ
りも正確な空燃比測定が可能となることを見出した。
なるが、λ=1から燃料リーンへと変化するに従って増
大する。 よって、燃料リーン領域の空燃、比を測るた
めには02ガス濃度をモニターし、また燃料リッチ領域
の空燃比を測るためにはCo、H2等のガス;農度なモ
ニターし、それらのカス濃度がら空燃比を算出した方が
、従来の酸素ガス1度だけがら空燃比を算出する方式よ
りも正確な空燃比測定が可能となることを見出した。
本発明は、上記知見に基づき、燃料リッチから燃料リー
ンの広い範囲の空燃比を連続的かつ高積度に測定できろ
空燃比センサおよび装置を提供することを目的とするも
のである。
ンの広い範囲の空燃比を連続的かつ高積度に測定できろ
空燃比センサおよび装置を提供することを目的とするも
のである。
(問題点を解決するための手段)
本発明は、抵抗変化式酸素検知部(酸化物半導体検知部
)と限界Wi流式酸素検知部およびガス分解式水素検知
部を1つの多孔質アルミナ基板上に組合わせ、それぞれ
の特性の良好な範囲を選択できるようにすることにより
、前記目的を達成するものである。
)と限界Wi流式酸素検知部およびガス分解式水素検知
部を1つの多孔質アルミナ基板上に組合わせ、それぞれ
の特性の良好な範囲を選択できるようにすることにより
、前記目的を達成するものである。
本発明(第1発明)の広帯域空燃比センサは、多孔質ア
ルミナ基板の上に、ガス透過性のよい第1電極層、固体
電解質層、およびガス透過性のよい第2電極層を順次積
層して構成した、燃料り−ン領域の空が比を検出するた
めの限界電流式酸素極)0部と、前記多孔質アルミナ基
板の上に、酸化物半導体材料の層および1対の対向電極
を形成して構成した空気過剰率λ=1を検出するための
抵抗変化式酸素検知部と、面記多孔質アルミナ基板の上
に、ガス透過性のよい第2電極層、固体電解質層、およ
びカス透過性のよい第1電極層を順次積層して構成した
、燃↑゛↓リッチ領域の空燃比を検出するためのガス分
解式水素検知部と、前記各検知部を加熱するための検知
部加熱ヒータとを設けてなるものである。
ルミナ基板の上に、ガス透過性のよい第1電極層、固体
電解質層、およびガス透過性のよい第2電極層を順次積
層して構成した、燃料り−ン領域の空が比を検出するた
めの限界電流式酸素極)0部と、前記多孔質アルミナ基
板の上に、酸化物半導体材料の層および1対の対向電極
を形成して構成した空気過剰率λ=1を検出するための
抵抗変化式酸素検知部と、面記多孔質アルミナ基板の上
に、ガス透過性のよい第2電極層、固体電解質層、およ
びカス透過性のよい第1電極層を順次積層して構成した
、燃↑゛↓リッチ領域の空燃比を検出するためのガス分
解式水素検知部と、前記各検知部を加熱するための検知
部加熱ヒータとを設けてなるものである。
本発明(第2発明)の広帯域空燃比検出装置は、前記第
1発明の広帯域空燃比センサと、その広帯域空燃比セン
サの抵抗変化式酸素検知部の出力を基準値と比較して燃
料リーンであるか燃料リッチであるかを判定する比較i
llll上部比較t11定部が燃料リッチから燃料リー
ンに変化したことを判定したときには、限71流式酸素
検知部を作動状態に切り換えるとともに、ガス分解式水
素検知部を不作動状態に切り換え、比較判定部が燃料リ
ーンから燃料リンチに変化したことを判定したときには
、限界電流式酸素検知部を不作動状態に切り換えるとと
もに、ガス分解式水素検知部を作動状態に切り換える切
換制御部と、限界電流式酸素検知部の出力13号とガス
分解式水素検知部の出力信号を合成し、その出力信号が
ら空燃比を表わす信号を生成する出力信号合成部とを備
えたことを特徴とする。
1発明の広帯域空燃比センサと、その広帯域空燃比セン
サの抵抗変化式酸素検知部の出力を基準値と比較して燃
料リーンであるか燃料リッチであるかを判定する比較i
llll上部比較t11定部が燃料リッチから燃料リー
ンに変化したことを判定したときには、限71流式酸素
検知部を作動状態に切り換えるとともに、ガス分解式水
素検知部を不作動状態に切り換え、比較判定部が燃料リ
ーンから燃料リンチに変化したことを判定したときには
、限界電流式酸素検知部を不作動状態に切り換えるとと
もに、ガス分解式水素検知部を作動状態に切り換える切
換制御部と、限界電流式酸素検知部の出力13号とガス
分解式水素検知部の出力信号を合成し、その出力信号が
ら空燃比を表わす信号を生成する出力信号合成部とを備
えたことを特徴とする。
(作用および効果)
本第1発明の広帯域空燃比センサは、上記のように入=
1の点にて抵抗が3.変する抵抗変化式酸素検知部と、
リーン領域では酸素濃度に対応して出力Mi流が直線的
に増大する限界電流式酸素検知部、および、リッチ領域
では水素濃度に対応して出力電流が増加するガス分解式
水素検知部を、共通の多孔質アルミナ基板上に形成して
いる。(+”l=つて、リーン領域の空燃比を限界fi
流式酸素検知部で検知し、リッチ領域の空燃比をカス分
解式水素検知部で検知するというように使用領域をそれ
ぞれに適した検知部に切り換えて使用ずろことにより、
従来の単一の種類のセンサのみを利用する方式では実現
できなかった広い範囲の空燃比を、高い精度で検出でき
る。しかもそれらの検知部が1つの多孔質アルミナ基板
上に、領域判別用の抵抗変化式酸素検知部とともに一体
的に形成されており、相互に近接しているので、抵抗変
(ヒ式酸素検知部による池の検知部の位置の状態(領域
)の判別が正確となり、ひいては各検知部による空燃比
の測定がそれぞれ適切なタイミングで安定に行われ、測
定の精度が一層高くなる。また、センサ全体が小形とな
る利点がある。
1の点にて抵抗が3.変する抵抗変化式酸素検知部と、
リーン領域では酸素濃度に対応して出力Mi流が直線的
に増大する限界電流式酸素検知部、および、リッチ領域
では水素濃度に対応して出力電流が増加するガス分解式
水素検知部を、共通の多孔質アルミナ基板上に形成して
いる。(+”l=つて、リーン領域の空燃比を限界fi
流式酸素検知部で検知し、リッチ領域の空燃比をカス分
解式水素検知部で検知するというように使用領域をそれ
ぞれに適した検知部に切り換えて使用ずろことにより、
従来の単一の種類のセンサのみを利用する方式では実現
できなかった広い範囲の空燃比を、高い精度で検出でき
る。しかもそれらの検知部が1つの多孔質アルミナ基板
上に、領域判別用の抵抗変化式酸素検知部とともに一体
的に形成されており、相互に近接しているので、抵抗変
(ヒ式酸素検知部による池の検知部の位置の状態(領域
)の判別が正確となり、ひいては各検知部による空燃比
の測定がそれぞれ適切なタイミングで安定に行われ、測
定の精度が一層高くなる。また、センサ全体が小形とな
る利点がある。
また、上記第1発明の広帯域空燃比センサとその出力を
処理する回路装置とを組合わせた第2発明の広帯域空燃
比検出装置は、比較判定部において抵抗変化式酸素検知
部の抵抗を検出する抵抗検出部の出力を基準値と比較し
て燃料リッチであるか燃料リーンであるのかの判定をす
る。
処理する回路装置とを組合わせた第2発明の広帯域空燃
比検出装置は、比較判定部において抵抗変化式酸素検知
部の抵抗を検出する抵抗検出部の出力を基準値と比較し
て燃料リッチであるか燃料リーンであるのかの判定をす
る。
出力信号合成部は、限界電流式酸素検知部の出力信号、
抵抗変化式酸素検知部の出力信号、およびガス分解式水
素検知部の出力信号を合成し、その出力信号がら空燃比
を表わす信号を生成する。
抵抗変化式酸素検知部の出力信号、およびガス分解式水
素検知部の出力信号を合成し、その出力信号がら空燃比
を表わす信号を生成する。
切換制御部は、比較判定部が燃料リッヂから燃料リーン
に変化したことを判定したときには、その変化時点から
一定時間後にガス分解式水素検知部を不作動状態にする
とともに、限界電流式酸素検知部を作シj状態に切り換
え、また、比較判定部が燃料リーンから燃料リッチに変
化したことを1′す定したときには、限界電流式酸素検
知部を不作動状態にするとともにノノス分解式水素検知
部を作動状態にするよう切換制御する。その切換制御は
、具体的には例えば、測定用電圧源と各検311部との
接続をオンオフ制御することによって行−′)ことがで
きる。
に変化したことを判定したときには、その変化時点から
一定時間後にガス分解式水素検知部を不作動状態にする
とともに、限界電流式酸素検知部を作シj状態に切り換
え、また、比較判定部が燃料リーンから燃料リッチに変
化したことを1′す定したときには、限界電流式酸素検
知部を不作動状態にするとともにノノス分解式水素検知
部を作動状態にするよう切換制御する。その切換制御は
、具体的には例えば、測定用電圧源と各検311部との
接続をオンオフ制御することによって行−′)ことがで
きる。
このように、抵抗変化式酸素検知部で燃料リッチか燃料
リーンかを1′す定し、検知部(限’fLM流式酸素検
知部、ガス分解式水素検知部)との接続を制御する制御
部と各検知部から出力される出力信号とを合成し、空燃
比を表わす信号を生成するので、広い範囲にわたり高い
精度て空燃比を測定することができる。
リーンかを1′す定し、検知部(限’fLM流式酸素検
知部、ガス分解式水素検知部)との接続を制御する制御
部と各検知部から出力される出力信号とを合成し、空燃
比を表わす信号を生成するので、広い範囲にわたり高い
精度て空燃比を測定することができる。
(実施態様)
本発明の広帯域空燃比検出装置の一実施態様によれば、
前記比較判定部は、基準値を高めに設定することにより
、燃料リーンから燃料リッチへ切換される際の判定を早
めに行なうように構成され、これにより、燃料リーンか
ら燃料リッチへ切換わるときのスパイクノイズが除去さ
れる。
前記比較判定部は、基準値を高めに設定することにより
、燃料リーンから燃料リッチへ切換される際の判定を早
めに行なうように構成され、これにより、燃料リーンか
ら燃料リッチへ切換わるときのスパイクノイズが除去さ
れる。
また、本発明の広帯14Qi空燃比検出装置の他の実施
態様によれは、出力信号合成部は、入力部にレヘル調整
器を接続した反転加算器を有し、比較判定部の出力信号
および直流バイアス信号を用いて燃料リーンにあるとき
と燃料リッチにあるときとで異なるバイアス信号を生成
し、そのバイアス信号と限界電流式酸素検知部からの出
力信号とカス分解式水素検知部からの出力信号を前記反
転加算器により合成する。これにより、一元的な検知出
力を得ることができろ。
態様によれは、出力信号合成部は、入力部にレヘル調整
器を接続した反転加算器を有し、比較判定部の出力信号
および直流バイアス信号を用いて燃料リーンにあるとき
と燃料リッチにあるときとで異なるバイアス信号を生成
し、そのバイアス信号と限界電流式酸素検知部からの出
力信号とカス分解式水素検知部からの出力信号を前記反
転加算器により合成する。これにより、一元的な検知出
力を得ることができろ。
(実施例)
以下、実施例により詳細に説明する。
N) 空燃比センサ
第1図は本発明の一実施例による広帯域空燃比センサの
基本的構成を示す斜視図、第2図は抵抗変化式酸素検知
部lの断面図、第3図は限界電流式酸素検知部2の断面
図、第4図はカス分解式水素検知部3の断面図である。
基本的構成を示す斜視図、第2図は抵抗変化式酸素検知
部lの断面図、第3図は限界電流式酸素検知部2の断面
図、第4図はカス分解式水素検知部3の断面図である。
本発明の空燃比センサは、空気過ill串入=1を検出
する抵抗変化式酸素センサ1と、燃料リーン傾城の空燃
比を検出する限界電流式酸素検知部2と、燃料リーン領
域の空燃比を検出するカス分解式水素検λ口部3が、1
つの多孔質アルミナ基板4上に、並列して一体的に構成
されている。
する抵抗変化式酸素センサ1と、燃料リーン傾城の空燃
比を検出する限界電流式酸素検知部2と、燃料リーン領
域の空燃比を検出するカス分解式水素検λ口部3が、1
つの多孔質アルミナ基板4上に、並列して一体的に構成
されている。
また、気孔率2〜40%、細孔径0.02〜1.2μm
nφの多孔質アルミナ基板4の一方の面に、各検知部1
.2.3を加熱するためのヒータが設けられている。そ
して、センサ全体は触媒を担持したポーラスなコーティ
ング層I2で覆われている。
nφの多孔質アルミナ基板4の一方の面に、各検知部1
.2.3を加熱するためのヒータが設けられている。そ
して、センサ全体は触媒を担持したポーラスなコーティ
ング層I2で覆われている。
以下、各検知部について説明する。
(a) 抵抗変化式酸素検γ口部
抵抗変化式酸素険翔部lは、第1図および第2図に示す
ように、気孔率2〜40%、細孔径0.02〜1.2μ
mφの多孔質アルミナ(Af203)基板4上にλ=1
を検出する材料として五酸化ニオブ(Nb20ら)を用
いた酸化物半導体N5を杉成し、その上に対向電極6,
7を形成し成るものである。
ように、気孔率2〜40%、細孔径0.02〜1.2μ
mφの多孔質アルミナ(Af203)基板4上にλ=1
を検出する材料として五酸化ニオブ(Nb20ら)を用
いた酸化物半導体N5を杉成し、その上に対向電極6,
7を形成し成るものである。
これらの電極6.7はそれぞれ端子15.16に接続さ
れている。
れている。
多孔質アルミナ基板4の他の面にはPtヒータ14が形
成されている。
成されている。
そして、抵抗変化式酸素検知部lの表面には未燃成分の
付着を防止するためと、センサに到達する未燃成分と酸
素ガスが完全に燃焼反応を生じるように触媒を担持した
多孔質のコーティングN19を設け、かつその触媒を担
持した多孔質のコーティングI’3+9の膜厚と平均細
孔径の比が50〜3000の範囲となるように、それら
の膜厚および平均細孔径を選定する。また、多孔質のコ
ーティングfi+9に担持する触媒成分として、パラジ
ウム(Pd)。
付着を防止するためと、センサに到達する未燃成分と酸
素ガスが完全に燃焼反応を生じるように触媒を担持した
多孔質のコーティングN19を設け、かつその触媒を担
持した多孔質のコーティングI’3+9の膜厚と平均細
孔径の比が50〜3000の範囲となるように、それら
の膜厚および平均細孔径を選定する。また、多孔質のコ
ーティングfi+9に担持する触媒成分として、パラジ
ウム(Pd)。
ロジウム(Rh)、白金(Pt)のいずれか一種類、ま
′たはこれらの混合物が適当であり、その担持量は0.
001〜50wt、%の範囲が適当である。
′たはこれらの混合物が適当であり、その担持量は0.
001〜50wt、%の範囲が適当である。
この抵抗変化式酸素検知部lは、第5図の抵抗−空気過
剰率特性に示すように、ガス温度変動を受けず、入=1
のところで抵抗が急変する特性を示す。
剰率特性に示すように、ガス温度変動を受けず、入=1
のところで抵抗が急変する特性を示す。
本実施例では、センサ材TIとして酸化物半導体N b
20 aを用いたものを示したが、センサ[オす[とじ
ては他の酸化物半導体のTiO2,CeO2,5n02
のいずれかの材料を用いてもよいが、膜厚としては0.
1〜30μmの範囲のものがよい。
20 aを用いたものを示したが、センサ[オす[とじ
ては他の酸化物半導体のTiO2,CeO2,5n02
のいずれかの材料を用いてもよいが、膜厚としては0.
1〜30μmの範囲のものがよい。
なお、多孔質アルミナ基板4にも触媒を担持させること
により、この抵抗変化式酸素センサは多孔性の触媒担持
コーチインク層および触媒を担1,1した多孔質アルミ
ナ基板の両方から酸化遷化元されることになり、高速応
答が冴られる。
により、この抵抗変化式酸素センサは多孔性の触媒担持
コーチインク層および触媒を担1,1した多孔質アルミ
ナ基板の両方から酸化遷化元されることになり、高速応
答が冴られる。
(I)) 限vy、電流式酸素検知部薄膜限界電流式
酸素検知部2は第1図および第3図に示すように、気孔
率2〜40% XI孔径0.02〜1.2μmφの多孔
質アルミナ基板4上に、カス透過性のよいptからなる
第1電極(陰極)8.特定方向に結晶方泣配列した膜厚
0.1〜3071mの結晶性のよいZ ro 2+Y
203からなる固体電解M9゜ガス透過性のよいptか
らなる第2電極(陽極)IOを順次積層してなるもので
ある。
酸素検知部2は第1図および第3図に示すように、気孔
率2〜40% XI孔径0.02〜1.2μmφの多孔
質アルミナ基板4上に、カス透過性のよいptからなる
第1電極(陰極)8.特定方向に結晶方泣配列した膜厚
0.1〜3071mの結晶性のよいZ ro 2+Y
203からなる固体電解M9゜ガス透過性のよいptか
らなる第2電極(陽極)IOを順次積層してなるもので
ある。
多孔質アルミナ基板4の他の一面には検知部をを適切な
動作温度に加熱するためのptからなるヒータ14が形
成されている。
動作温度に加熱するためのptからなるヒータ14が形
成されている。
この限界電流式酸素検知部2において、多孔質アルミナ
括板4は供給される酸素ガスの律速を行う。
括板4は供給される酸素ガスの律速を行う。
多孔質アルミナ基板4によって律速された酸素カスは固
体電解質と陰極8との界面にて酸素イオンに変換され、
Z ro 2+ Y 203からなる固体電解質9中を
イオン伝導し、陽極10の界面にて酸素ガスに変換され
、放出される。
体電解質と陰極8との界面にて酸素イオンに変換され、
Z ro 2+ Y 203からなる固体電解質9中を
イオン伝導し、陽極10の界面にて酸素ガスに変換され
、放出される。
この限界電流式酸素検知部lの電圧−電流特性および酸
素濃度と出力電流との関係は、第6図(a)および(b
)のようになる。
素濃度と出力電流との関係は、第6図(a)および(b
)のようになる。
(C) カス分解式水素検知部
ガス分解式水素検)0部3は、限界電流式酸素検知部2
と路間し構成を有し、第1図および第4図に示すように
、気孔率2〜40%、細孔径0.02〜1゜271mφ
の多孔質アルミナ基板4上に、ガス透過性のよいptか
らなる第2電極(陽極)N、特定方向に結晶方位配列し
た膜厚0.1〜3071mの結晶性のよいZ ro 2
+Y 203からなる固体電解質12.ガス透過性のよ
いptからなる第1電(ヂ(陰極)13を順次積層して
なるものである。
と路間し構成を有し、第1図および第4図に示すように
、気孔率2〜40%、細孔径0.02〜1゜271mφ
の多孔質アルミナ基板4上に、ガス透過性のよいptか
らなる第2電極(陽極)N、特定方向に結晶方位配列し
た膜厚0.1〜3071mの結晶性のよいZ ro 2
+Y 203からなる固体電解質12.ガス透過性のよ
いptからなる第1電(ヂ(陰極)13を順次積層して
なるものである。
多孔質アルミナ基板4の池の一面には検知部をを適切な
動作温度に加熱するためのPしヒータ11が形成されて
いる。
動作温度に加熱するためのPしヒータ11が形成されて
いる。
従来、限界電流式酸素センサては、ジルコニア電解質の
上下面に電極を1寸は、酸素ガスを律速する側の電極部
を陰極、他の一方の?’Ii題を陽極とし、一定の電圧
を印加し、出力jヒ流1面から酸素濃度を測定していた
。しかし、このような印加電圧状態で燃料リッチ雰囲気
にすると、酸素濃度に関係のない2流が流れ、酸素1度
に比例した出力電流値を謬り定てきなかった。そこで、
本発明者らは改のような考えをもとに、水素濃度を測定
するカス分解式水素センサを考え、燃料リッチ雰囲気の
水素ガス濃度([12濃度)を測定することを考えた。
上下面に電極を1寸は、酸素ガスを律速する側の電極部
を陰極、他の一方の?’Ii題を陽極とし、一定の電圧
を印加し、出力jヒ流1面から酸素濃度を測定していた
。しかし、このような印加電圧状態で燃料リッチ雰囲気
にすると、酸素濃度に関係のない2流が流れ、酸素1度
に比例した出力電流値を謬り定てきなかった。そこで、
本発明者らは改のような考えをもとに、水素濃度を測定
するカス分解式水素センサを考え、燃料リッチ雰囲気の
水素ガス濃度([12濃度)を測定することを考えた。
ガス分解式水素センサの構成および(オ質は前述のとお
りてあり、限界電流式酸素センサと同じ構造を有する。
りてあり、限界電流式酸素センサと同じ構造を有する。
しかし、センサに印加する電圧の極性を逆転し・、酸素
カスを律速する側の電)型部IIを陽極、他の一方の電
極13を陰極として電圧を印加する。そうすると、酸素
ポンプ作用によって陰極13から陽極11へ酸素をくみ
だされる。一方、陽極側へはリッチ雰囲気のため多孔質
アルミナ基板をガス拡散律速に基づき可燃性カス(If
2)が拡散してくる。その可燃性ガス(H2)と陰極1
3から陽極+1へくみ出された酸素とが反応し、それに
よって酸素分圧が下がる。陽極11と陰極13との間に
は酸素1度の違いが生し、陽極11の方が低い酸素濃度
になる。その結果、陽極11と陰極13の間には約−1
■の起電力が発生する。そして、負の印加電圧を増大し
てやると、それに対応して陰極上に到達したIF Z中
(7)H2O、C02,CO等ノカス成分は、PLの触
媒作用によってpt電極とZ ro2賀解質の界面近傍
にて下記のような7a % lヒ学分解反応を生じる。
カスを律速する側の電)型部IIを陽極、他の一方の電
極13を陰極として電圧を印加する。そうすると、酸素
ポンプ作用によって陰極13から陽極11へ酸素をくみ
だされる。一方、陽極側へはリッチ雰囲気のため多孔質
アルミナ基板をガス拡散律速に基づき可燃性カス(If
2)が拡散してくる。その可燃性ガス(H2)と陰極1
3から陽極+1へくみ出された酸素とが反応し、それに
よって酸素分圧が下がる。陽極11と陰極13との間に
は酸素1度の違いが生し、陽極11の方が低い酸素濃度
になる。その結果、陽極11と陰極13の間には約−1
■の起電力が発生する。そして、負の印加電圧を増大し
てやると、それに対応して陰極上に到達したIF Z中
(7)H2O、C02,CO等ノカス成分は、PLの触
媒作用によってpt電極とZ ro2賀解質の界面近傍
にて下記のような7a % lヒ学分解反応を生じる。
C02→CO+−02
H2O→ H2+ 02
CO→ C+ −02
発生した酸素ガスは陰Fi!+3で酸素イオンとなり、
固体電解質層12中をイオン伝導し、陽極11で酸素ガ
スに戻る。ところが、燃料リッチ領域であろため、可燃
性ガス成分、すなわち+12. Co、 HC等が多い
。よって、陽極11またはその近傍においてH2,CO
,HC等の可燃性ガスと下記のようにカス反応を生じて
、酸素カスは消耗される。
固体電解質層12中をイオン伝導し、陽極11で酸素ガ
スに戻る。ところが、燃料リッチ領域であろため、可燃
性ガス成分、すなわち+12. Co、 HC等が多い
。よって、陽極11またはその近傍においてH2,CO
,HC等の可燃性ガスと下記のようにカス反応を生じて
、酸素カスは消耗される。
CO+02→2CO2
H2+02→−H2O
このようにして、陽極11て発生する酸素ガス濃度は、
両極に印加された電圧と平iφ1し、常に陰極13より
低く維持される。
両極に印加された電圧と平iφ1し、常に陰極13より
低く維持される。
このことを言い換えると、多孔?Tアルミナ基(反4中
を拡散によって陽極1】に到達する可燃性ガス量が酸素
と化学量論比を保つように、陽極11て発生する酸素量
を維持するように作用する。
を拡散によって陽極1】に到達する可燃性ガス量が酸素
と化学量論比を保つように、陽極11て発生する酸素量
を維持するように作用する。
ところで、可燃性ガス中にはN2. Co、 l(C等
のガス成分が混在している。上記カスが多孔質アルミナ
堰板ll中を拡散する場合、各々のガスの拡散の違いが
センサ特性を支配するようになる。
のガス成分が混在している。上記カスが多孔質アルミナ
堰板ll中を拡散する場合、各々のガスの拡散の違いが
センサ特性を支配するようになる。
可燃性カスの中で拡散速度の速いカス成分はN2である
。
。
しかし、非常に燃料リッチの状態では燃焼しにくいI(
C成分か多くなり、燃焼しゃすいN2成分は非常に少な
い状態か生しる。このような場合には不完全燃焼状態を
生じやすい。不完全燃焼状態の中で陰極13を露出して
いると、陰極部近傍においてHCの分解反応が生し、陰
極13とZ「02の固体電解質N12とのW部近傍にC
(炭素)が析出し、界面抵抗を増大させ、センサ特性を
急速に悪化させることがある。
C成分か多くなり、燃焼しゃすいN2成分は非常に少な
い状態か生しる。このような場合には不完全燃焼状態を
生じやすい。不完全燃焼状態の中で陰極13を露出して
いると、陰極部近傍においてHCの分解反応が生し、陰
極13とZ「02の固体電解質N12とのW部近傍にC
(炭素)が析出し、界面抵抗を増大させ、センサ特性を
急速に悪化させることがある。
そこで本ガス分解式水素検知部では、直接に陰(基13
上に不完全状態の排カスが接触しないように、陰極13
上に多孔質のコーティング層19によって保護しである
。そして、その多孔質コーティング層19中には、Pt
、、 Pd、 Rh等の触媒を単独または混合物の形で
添加、担持させである。従って、センサ表面に到達した
Co、IC等のカス成分は多孔質コーティングFA19
上の触媒で分解反応し、その分解反応したC(炭素)成
分は陰極13表面上までは到達しないようにしである。
上に不完全状態の排カスが接触しないように、陰極13
上に多孔質のコーティング層19によって保護しである
。そして、その多孔質コーティング層19中には、Pt
、、 Pd、 Rh等の触媒を単独または混合物の形で
添加、担持させである。従って、センサ表面に到達した
Co、IC等のカス成分は多孔質コーティングFA19
上の触媒で分解反応し、その分解反応したC(炭素)成
分は陰極13表面上までは到達しないようにしである。
第7図ないし第9図に、N2−02−N2.C0−02
−N2.C2H4−02−N2系ガスにおいて、02濃
度一定にして可燃性ガスa度を変えながら電流−電圧特
性を調べた結果、および、印加電圧を−0,TVの一定
条件として各ガス潤度と出力電流特性を調べた結果を示
した。
−N2.C2H4−02−N2系ガスにおいて、02濃
度一定にして可燃性ガスa度を変えながら電流−電圧特
性を調べた結果、および、印加電圧を−0,TVの一定
条件として各ガス潤度と出力電流特性を調べた結果を示
した。
第10図には限界電流式酸素検知部2とガス分解式水素
検知部3を組合ねす、リッチ領域からり−ン領域におけ
る出力TL流−空電過剰率特性を示す。
検知部3を組合ねす、リッチ領域からり−ン領域におけ
る出力TL流−空電過剰率特性を示す。
リッチおよびリーンのそれぞれの領域で比較的直線性よ
く空気過剰率を測定できろことがわかる。
く空気過剰率を測定できろことがわかる。
従って、後述のように空燃比検出装置に用いる場合、そ
れぞれの検知部の出力をゲインの調整を行って合成する
ことにより、広範囲にわたって精度のよい空燃比の検出
が可能となる。
れぞれの検知部の出力をゲインの調整を行って合成する
ことにより、広範囲にわたって精度のよい空燃比の検出
が可能となる。
また、第11図には本広帯域空燃比センサのHz+CO
、1−C4)I 10.02カスに対する応答特性(5
0%応答)を示す。
、1−C4)I 10.02カスに対する応答特性(5
0%応答)を示す。
(IIJ) 空燃比検出装置
第12図は、以上において詳述した空燃比センサと、そ
のセンサを駆動し、その検知出力を処理する回路とから
なる本発明の空燃比検出装置の一実施例を示すものであ
る。
のセンサを駆動し、その検知出力を処理する回路とから
なる本発明の空燃比検出装置の一実施例を示すものであ
る。
本実施例の空燃比検出装置は、限界電流式酸素検知部2
1.ガス分解式水素検知部22および抵抗変1ヒ式酸素
検知部23を面述のように一体化して構成したセンサ部
24と、限界電流式酸素検知部2!に印加するための電
圧を発生する限界電流測定用電圧源25と、ガス分解式
水素検知部22に印加する電圧源26と、限界rt、流
式酸素検知部21に流れる電流を測定する電流検出部2
7と、ガス分解式水素検知部22に流れる電流を検出す
る電流検出部28と、抵抗変化式酸素検知部23の抵抗
を検出する抵抗検出部29と、その抵抗検出部29の出
力を基準抵抗30の値と比較器31で比較して燃料リッ
チであるか燃料リーンであるかのf11定をする比較ギ
11定部32と、比較I’ll定部32が燃料リッチか
らi= ’F↓リーンに変化したことを判定したときに
は、そのf11定に応してその変化時点から一定時間後
に限界電流式酸素検知部21を作動状態に切り換え、比
較判定部32が燃料リーンから燃料リッチに変化したこ
とを判定したときには、その判定に応じて七RFj電流
式酸素検知部21を不作動状態に切り換え;5切換制御
部33と、限界電流式酸素検知部21の出力18号、抵
抗変化式酸素検知部23の出力信号、およびカス分解式
水素検知部22の出力信号を合成し、その出力信号がら
空燃比を表わす信号を生成する出力18号合成部:34
と、その出力を表示する表示計35とから成っている。
1.ガス分解式水素検知部22および抵抗変1ヒ式酸素
検知部23を面述のように一体化して構成したセンサ部
24と、限界電流式酸素検知部2!に印加するための電
圧を発生する限界電流測定用電圧源25と、ガス分解式
水素検知部22に印加する電圧源26と、限界rt、流
式酸素検知部21に流れる電流を測定する電流検出部2
7と、ガス分解式水素検知部22に流れる電流を検出す
る電流検出部28と、抵抗変化式酸素検知部23の抵抗
を検出する抵抗検出部29と、その抵抗検出部29の出
力を基準抵抗30の値と比較器31で比較して燃料リッ
チであるか燃料リーンであるかのf11定をする比較ギ
11定部32と、比較I’ll定部32が燃料リッチか
らi= ’F↓リーンに変化したことを判定したときに
は、そのf11定に応してその変化時点から一定時間後
に限界電流式酸素検知部21を作動状態に切り換え、比
較判定部32が燃料リーンから燃料リッチに変化したこ
とを判定したときには、その判定に応じて七RFj電流
式酸素検知部21を不作動状態に切り換え;5切換制御
部33と、限界電流式酸素検知部21の出力18号、抵
抗変化式酸素検知部23の出力信号、およびカス分解式
水素検知部22の出力信号を合成し、その出力信号がら
空燃比を表わす信号を生成する出力18号合成部:34
と、その出力を表示する表示計35とから成っている。
切換制御部33は、限界電流測定用電圧fI25と限界
電流式酸素検知部21との接続を0N−OFFするリレ
ー回路331と、ガス分解式水素検知部用型・圧g26
とガス分解式水素検知部22との接続をON−0FFす
るリレー回路332と、比較判定部32の出力に一定の
時間遅延を与えてリレー回路331ヘリーン…り駆動制
御信号として出力するリーン側遅延回路333と、比較
判定部32の出力に一定の時間遅延を与えてリレー回路
332ヘリッチ側駆動制御信号として出力するリッチ側
遅延回路334から成っている。
電流式酸素検知部21との接続を0N−OFFするリレ
ー回路331と、ガス分解式水素検知部用型・圧g26
とガス分解式水素検知部22との接続をON−0FFす
るリレー回路332と、比較判定部32の出力に一定の
時間遅延を与えてリレー回路331ヘリーン…り駆動制
御信号として出力するリーン側遅延回路333と、比較
判定部32の出力に一定の時間遅延を与えてリレー回路
332ヘリッチ側駆動制御信号として出力するリッチ側
遅延回路334から成っている。
出力信号合成部34は、入力部にレベル調整器であるポ
テンショメータ341.342.343.344を接続
した反転加重器346を有し、N流検出部27および2
8の出力信号、前記比較判定部32の出力信号および負
の直流バイアス電源347からの直流バイアス信号を人
力して合成するものである。
テンショメータ341.342.343.344を接続
した反転加重器346を有し、N流検出部27および2
8の出力信号、前記比較判定部32の出力信号および負
の直流バイアス電源347からの直流バイアス信号を人
力して合成するものである。
なお、比較判定部32からの信号は、波形整形回路34
5により波形整形して反転加算器346に入力される。
5により波形整形して反転加算器346に入力される。
以下、本実施例の特徴について、その実験的根拠等とと
もに、詳細に説明する。
もに、詳細に説明する。
(a) 両検知部の駆動の切換え
本発明のセンサのうち、限界電流式酸素検知部21の空
気過剰率λに対する電流の関係を第13図に示す。図よ
り明らかなように、入が1より大きい領域(リーン燃料
領域)では入とTrL流が対応するよい特性が得られて
いる。
気過剰率λに対する電流の関係を第13図に示す。図よ
り明らかなように、入が1より大きい領域(リーン燃料
領域)では入とTrL流が対応するよい特性が得られて
いる。
しかし、λが1より小さい領域(リッチ燃料領域)では
、入に関係なく大きな電流が流れている。
、入に関係なく大きな電流が流れている。
従って、電流を測定して入を求めようとすると、同一の
fi流に対する大の値が2つ存在する。このような特性
を二価函数特性という。二〇二価函数特性は、センサに
とってすこぶる不都合な特性である。
fi流に対する大の値が2つ存在する。このような特性
を二価函数特性という。二〇二価函数特性は、センサに
とってすこぶる不都合な特性である。
また、ガス分解式水素検知部22はλが1より小さい領
域(リッチ燃料領域)で入と検出ffi流か対応するよ
い特性が得られる。
域(リッチ燃料領域)で入と検出ffi流か対応するよ
い特性が得られる。
本発明において、それぞれの特性のよい部分のみを選択
的に使用する。そのため、燃料リーン雰囲気か燃料リー
ン雰囲気かを抵抗変化式酸素検知部23て判定し、限界
電流式酸素検知部21およびカス分解式水素検知部22
を駆動するそれぞれの電圧を切り換える。本実施例にお
いては、その切り換えは切換制御部33を設けることに
よって行なっている。
的に使用する。そのため、燃料リーン雰囲気か燃料リー
ン雰囲気かを抵抗変化式酸素検知部23て判定し、限界
電流式酸素検知部21およびカス分解式水素検知部22
を駆動するそれぞれの電圧を切り換える。本実施例にお
いては、その切り換えは切換制御部33を設けることに
よって行なっている。
第14図には、酸化物半導体を用いた抵抗変化式酸素検
知部23の特性の一例を示す。図より明らかなように、
入=1の点で抵抗が急変する特性である。この抵抗を抵
抗検出部29により検出し、これを比較器31で基準抵
抗30(例えば106Ω)と比較することにより、リー
ンとリッチの判定を行なうことができろ。
知部23の特性の一例を示す。図より明らかなように、
入=1の点で抵抗が急変する特性である。この抵抗を抵
抗検出部29により検出し、これを比較器31で基準抵
抗30(例えば106Ω)と比較することにより、リー
ンとリッチの判定を行なうことができろ。
そして、リーンと判定したときは限界電流式酸素検知部
21へ電圧を印加し、それを作動状態とする。他方、リ
ッチと判定したときにはガス分解式水素検知部22に電
圧を印加し、それを作動状態とする。その結果、前述の
二価函数となる部分は使用されない。リレー回路331
.332はその電圧の印加を行うものである。
21へ電圧を印加し、それを作動状態とする。他方、リ
ッチと判定したときにはガス分解式水素検知部22に電
圧を印加し、それを作動状態とする。その結果、前述の
二価函数となる部分は使用されない。リレー回路331
.332はその電圧の印加を行うものである。
抵抗変化式酸素検知部23の動作は早い必要がある。そ
の場合、リッチからリーンへ切換ねった部分から一定時
間はデイレイタイム(実施例ではデイレイタイム300
m5ecに設定)をかけて、リレー回路が通電状態にな
るタイミングを遅らせるようにする必要がある。そのた
めに設けたのが、第12図の実施例のリーン側遅延回路
333およびリッチ側遅延回路332である。即ち、限
界TL流式酸素検知部21はリーンfullのみて動作
させ、またガス分解式水素検知部22はリッチ側のみて
動作させるために切り換えを1テう際に、上記各遅延回
路3:3:3.3:32によりリレー回路の動作を遅ら
せることにより、リッチからリーンおよびリーンからリ
ッチへの切り換え時にスパイク的ノイズを生じない。1
足って、本実施例では極めて良好な空燃比検出が可能に
なった。
の場合、リッチからリーンへ切換ねった部分から一定時
間はデイレイタイム(実施例ではデイレイタイム300
m5ecに設定)をかけて、リレー回路が通電状態にな
るタイミングを遅らせるようにする必要がある。そのた
めに設けたのが、第12図の実施例のリーン側遅延回路
333およびリッチ側遅延回路332である。即ち、限
界TL流式酸素検知部21はリーンfullのみて動作
させ、またガス分解式水素検知部22はリッチ側のみて
動作させるために切り換えを1テう際に、上記各遅延回
路3:3:3.3:32によりリレー回路の動作を遅ら
せることにより、リッチからリーンおよびリーンからリ
ッチへの切り換え時にスパイク的ノイズを生じない。1
足って、本実施例では極めて良好な空燃比検出が可能に
なった。
(b) 両検知部出力信号の合成
出力信号合成部34の反転加算器346のところにおけ
ろ目ざす出力特性を第15図に示す。図より明らかなよ
うに、リッチ側ではIVより大きく、連続的に大きくな
る出力となり、λ=1の点て急にVlまで低下し、リー
ン側では連続的に低くなり、λ=凶で出力が零になるの
である。このような出力が正および負にまたがらない一
元的な出力な出すために出力信号合成部34を第12図
のように構成した。
ろ目ざす出力特性を第15図に示す。図より明らかなよ
うに、リッチ側ではIVより大きく、連続的に大きくな
る出力となり、λ=1の点て急にVlまで低下し、リー
ン側では連続的に低くなり、λ=凶で出力が零になるの
である。このような出力が正および負にまたがらない一
元的な出力な出すために出力信号合成部34を第12図
のように構成した。
この出力信号台hk部34について説明する。電流検出
部27および28て検出電流に対応した出力電圧に変換
し、ポテンショメータPiおよびP4によって比例係数
を乗して、これらを加算合成すると第16図の実線で示
したように、入〉lのリーン領域では入に比例した正の
電圧となり、入〈lのリッチ領域では入に比例した負の
電圧となる。そして、この信号だけを反転加算器346
を通したとすれは、第16図の破線で示したものになる
。このように入の値によって出力電圧が正と負の2つの
極性にまたがるのは、その出力の利用上不便であるので
、比較判定部32の出力を利用して以下のように1つの
極性を持つ出力に変換される。
部27および28て検出電流に対応した出力電圧に変換
し、ポテンショメータPiおよびP4によって比例係数
を乗して、これらを加算合成すると第16図の実線で示
したように、入〉lのリーン領域では入に比例した正の
電圧となり、入〈lのリッチ領域では入に比例した負の
電圧となる。そして、この信号だけを反転加算器346
を通したとすれは、第16図の破線で示したものになる
。このように入の値によって出力電圧が正と負の2つの
極性にまたがるのは、その出力の利用上不便であるので
、比較判定部32の出力を利用して以下のように1つの
極性を持つ出力に変換される。
比較器31の出力を波形整形回路345を通して整形す
る。その内容は、リッチ領域では負の一定電圧、リーン
領域ではゼロにするのである。それをポテンショメータ
P2を用いて比例係数を乗すると、第17図の実線で示
したものになる。そして、この信号だけを反転加算器3
4Gを通したとすれば、第17図の破線で示すようにな
る。
る。その内容は、リッチ領域では負の一定電圧、リーン
領域ではゼロにするのである。それをポテンショメータ
P2を用いて比例係数を乗すると、第17図の実線で示
したものになる。そして、この信号だけを反転加算器3
4Gを通したとすれば、第17図の破線で示すようにな
る。
次に、電圧Jii347からの負の一定電圧をポテンシ
ョメータP3に印加して、第18図の実線の信号とする
。この信号だけを反転加算器346を通せは、第18図
の破線の信号となる。
ョメータP3に印加して、第18図の実線の信号とする
。この信号だけを反転加算器346を通せは、第18図
の破線の信号となる。
実際には、上記の3つの実線の信号が反転加算Hy34
aで加′Jr−シ反転処理されるので、3つの破線の(
8号が加算されたものが反転加算器34Gの出力に得ら
れろ。その結果、第16図に示した出力になる。
aで加′Jr−シ反転処理されるので、3つの破線の(
8号が加算されたものが反転加算器34Gの出力に得ら
れろ。その結果、第16図に示した出力になる。
(c) 合成信号の直線化
第10図に示した如く、センサから冴られろ電流は空気
過剰事大が1より大きい領域では入に刻する勾配が小さ
く、入が1より小さい領域では勾配が大きくなっている
。そして、内領域とも正確には直線関係になっていない
。このままでは、空気過剰率の測定に誤差を生ずる要因
となりやすい。
過剰事大が1より大きい領域では入に刻する勾配が小さ
く、入が1より小さい領域では勾配が大きくなっている
。そして、内領域とも正確には直線関係になっていない
。このままでは、空気過剰率の測定に誤差を生ずる要因
となりやすい。
そこで、測定精度の向上を望む場合にはリニアライブ3
48を設けるのがよい。本実施例の場合、反転加算器3
46の次段にリニアライザ348を接続した。
48を設けるのがよい。本実施例の場合、反転加算器3
46の次段にリニアライザ348を接続した。
リニアライザ348は、第20図に示すような特性とす
ればよい。第21図にはりニアライザ348を用いて直
線化をした結果の特性を示す。
ればよい。第21図にはりニアライザ348を用いて直
線化をした結果の特性を示す。
第1図は本発明の空燃比センサの外観図、第2図は第1
図に示した抵抗変化式酸素検知部の断面図、第3図は限
界電流式酸素検知部の断面図、第4図はガス分解式水素
検知部の断面図、第5図は入=lセンサの抵抗Rと空気
過剰率λの関係を示す特性図、第6図(a)は限界it
流式酸素検知の゛電流−電圧特性、同図(b)は電流−
酸素濃度特性をそれぞれ示す図、第7図(a)はガス分
解水素センサのTL流−電圧特性、同図(b)は電流−
水素濃度特性をそれぞれ示す図、第8図(a)はガス分
解式水素センサの電流−電圧特性、同図(b)は?li
流−CO譲度濃度をそれぞれ示す図、第9図(a)はガ
ス分解式水素センサの電流−電圧特性、同図(b)は電
流−C2II4訓度特性、第10図は限界電流式酸素検
知部およびカス分解式水素検知部を組合わせた場合の電
流−空気過剰率特性、第11図は本空燃比センサの02
+ CO+ !−C4Hz。、02ガスに対する応答特
性図、第12図は本発明の空燃比検出装置の実施例のブ
ロック図、第13図は限界電流式酸素検知部の出力電流
−空気過!P、II率特性図、第14図は抵抗変化式酸
素検知部の抵抗−空気過剰率特性図、第15図は目標と
する出力合成特性図、第11j図は限界電流式酸素検知
部からの出力信号とカス分解式水素検知部からの出力信
号の合成信号と空電過φq率の関係を示す図、第17図
は抵抗変化式y1素検知部からの出力の判定出力信号と
空気過剰率の関係を示す図、第18図はバイアス電圧と
空気過剰率の関係を示す図、第19図はりニアライザの
特性図、第20図はりニアライザを用いて直線化した結
果の総合特性を示す図である。 l・・・抵抗変化式酸素検知部、2・・・限界電流式酸
素検知部、3・・・ガス分解式水泰検知部、4・・・多
孔質アルミナ基板、5・・・酸化物半導体層、6.7・
・・対向電極、8・・・TRI乏’?、!電流式酸素検
知部の第1電極(陰極>、9.12・・・固体電解質層
、10・・・限界電流式酸素検知部の第2M、極(陰極
)、11・・・ガス分解式水素検知部の第2電極(陽極
)、13・・・カス分解式水素検知部の第1電極(陰極
)、14・・・ヒータ、+5.16.!7.18・・・
端子、19争・・コーティング層。 特許出願人 株式会社豊田中央研究所第1図 4 ・多JL美アルミナ茅4反 5 痘化物午導体
16.7 ・対句電極 8・ PL、W−電流式白2木校知部つ第1電躬>(p
食極ン9.12旧俸電解賃層 10 ル狂電Aヌ\、0タ宸キ鉗知奢シ第2屯旭と(
陽射かン11−力゛ス分解式2に束」女→す軒つ′fj
2電、捲 (↑る極)13 力゛ス分解式水東検知紳
つ第1電極(遠絵)14 ・ヒータ 15.16
,1乙旧 補正 19 −フーテ、ンク゛奮第2
図 19 ・角弧媒オ旦オキ多】し賃コーティング普第3図 Q 第4図 1ス 第5図 を罠過刺常λ !3′ぺ負 第7図 (b)H2償攬(%) 第8図 t、L (VI CO渫&(%) 第9図 C2H411度c%) 第10図 第11図 混今比 第13図 0.5 +、0
1.5 2.0空気道
剥宇λ 第14図 空1■j宇λ 第15図 空入1!!創雫λ 第19図 電几□ ケ悠比(AFl −
図に示した抵抗変化式酸素検知部の断面図、第3図は限
界電流式酸素検知部の断面図、第4図はガス分解式水素
検知部の断面図、第5図は入=lセンサの抵抗Rと空気
過剰率λの関係を示す特性図、第6図(a)は限界it
流式酸素検知の゛電流−電圧特性、同図(b)は電流−
酸素濃度特性をそれぞれ示す図、第7図(a)はガス分
解水素センサのTL流−電圧特性、同図(b)は電流−
水素濃度特性をそれぞれ示す図、第8図(a)はガス分
解式水素センサの電流−電圧特性、同図(b)は?li
流−CO譲度濃度をそれぞれ示す図、第9図(a)はガ
ス分解式水素センサの電流−電圧特性、同図(b)は電
流−C2II4訓度特性、第10図は限界電流式酸素検
知部およびカス分解式水素検知部を組合わせた場合の電
流−空気過剰率特性、第11図は本空燃比センサの02
+ CO+ !−C4Hz。、02ガスに対する応答特
性図、第12図は本発明の空燃比検出装置の実施例のブ
ロック図、第13図は限界電流式酸素検知部の出力電流
−空気過!P、II率特性図、第14図は抵抗変化式酸
素検知部の抵抗−空気過剰率特性図、第15図は目標と
する出力合成特性図、第11j図は限界電流式酸素検知
部からの出力信号とカス分解式水素検知部からの出力信
号の合成信号と空電過φq率の関係を示す図、第17図
は抵抗変化式y1素検知部からの出力の判定出力信号と
空気過剰率の関係を示す図、第18図はバイアス電圧と
空気過剰率の関係を示す図、第19図はりニアライザの
特性図、第20図はりニアライザを用いて直線化した結
果の総合特性を示す図である。 l・・・抵抗変化式酸素検知部、2・・・限界電流式酸
素検知部、3・・・ガス分解式水泰検知部、4・・・多
孔質アルミナ基板、5・・・酸化物半導体層、6.7・
・・対向電極、8・・・TRI乏’?、!電流式酸素検
知部の第1電極(陰極>、9.12・・・固体電解質層
、10・・・限界電流式酸素検知部の第2M、極(陰極
)、11・・・ガス分解式水素検知部の第2電極(陽極
)、13・・・カス分解式水素検知部の第1電極(陰極
)、14・・・ヒータ、+5.16.!7.18・・・
端子、19争・・コーティング層。 特許出願人 株式会社豊田中央研究所第1図 4 ・多JL美アルミナ茅4反 5 痘化物午導体
16.7 ・対句電極 8・ PL、W−電流式白2木校知部つ第1電躬>(p
食極ン9.12旧俸電解賃層 10 ル狂電Aヌ\、0タ宸キ鉗知奢シ第2屯旭と(
陽射かン11−力゛ス分解式2に束」女→す軒つ′fj
2電、捲 (↑る極)13 力゛ス分解式水東検知紳
つ第1電極(遠絵)14 ・ヒータ 15.16
,1乙旧 補正 19 −フーテ、ンク゛奮第2
図 19 ・角弧媒オ旦オキ多】し賃コーティング普第3図 Q 第4図 1ス 第5図 を罠過刺常λ !3′ぺ負 第7図 (b)H2償攬(%) 第8図 t、L (VI CO渫&(%) 第9図 C2H411度c%) 第10図 第11図 混今比 第13図 0.5 +、0
1.5 2.0空気道
剥宇λ 第14図 空1■j宇λ 第15図 空入1!!創雫λ 第19図 電几□ ケ悠比(AFl −
Claims (4)
- (1)多孔質アルミナ基板と、 その多孔質アルミナ基板の上に、ガス透過性のよい第1
電極層、固体電解質層、およびガス透過性のよい第2電
極層を順次積層し、燃料リーン領域の空燃比を検出する
ための限界電流式酸素検知部と、 前記多孔質アルミナ基板の上に、酸化物半導体材料の層
および1対の対向電極を形成して構成した空気過剰率λ
=1を検出するための抵抗変化式酸素検知部と、 前記多孔質アルミナ基板の上に、ガス透過性のよい第2
電極層、固体電解質層、およびガス透過性のよい第1電
極層を順次積層して構成した、燃料リッチ領域の空燃比
を検出するためのガス分解式水素検知部と、 前記各検知部を加熱するための検知部加熱ヒータと を設けてなる広帯域空燃比センサ。 - (2)多孔質アルミナ基板と、その多孔質アルミナ基板
の上に、ガス透過性のよい第1電極層、固体電解質層、
およびガス透過性のよい第2電極層を順次積層して構成
した、燃料リーン領域の空燃比を検出するための限界電
流式酸素検知部と、前記多孔質アルミナ基板の上に酸化
物半導体材料の層および1対の対向電極を形成して構成
した空気過剰率λ:1を検出するための抵抗変化式酸素
検知部と、前記多孔質アルミナ基板の上にガス透過性の
よい第2電極層、固体電解質層、およびガス透過性のよ
い第1電極層を順次積層して構成した燃料リッチ領域の
空燃比を検出するためのガス分解式水素検知部と、前記
各検知部を加熱するための検知部加熱ヒータとを設けて
なる広帯域空燃比センサを用いた広帯域空燃比検出装置
において、前記抵抗変化式酸素検知部からの出力を基準
値と比較して燃料リーンであるか燃料リッチであるかを
判定する比較判定部と、 比較判定部が燃料リッチから燃料リーンに変化したこと
を判定したときには、限界電流式酸素検知部を作動状態
に切り換えるとともに、ガス分解式水素検知部を不作動
状態に切り換え、比較判定部が燃料リーンから燃料リッ
チに変化したことを判定したときには、限界電流式酸素
検知部を不作動状態に切り換えるとともに、ガス分解式
水素検知部を作動状態に切り換える切換制御部と、限界
電流式酸素検知部からの出力信号とガス分解式水素検知
部からの出力信号を合成し、空燃比を表わす信号を生成
する出力信号合成部と を備えたことを特徴とする広帯域空燃比検出装置。 - (3)比較判定部の基準値を高めに設定することにより
、燃料リーンから燃料リッチへ切換される際の判定を早
めに行なうように構成したことを特徴とする特許請求の
範囲第(2)項記載の空燃比検出装置。 - (4)出力信号合成部は、入力部にレベル調整器を接続
した反転加算器を有し、比較判定部の出力信号および直
流バイアス信号を用いて燃料リーンにあるときと燃料リ
ッチにあるときとで異なるバイアス信号を生成し、その
バイアス信号と限界電流式酸素検知部からの出力信号と
ガス分解式水素検知部からの出力信号を前記反転加算器
により合成することにより、一元的な検知出力を得るこ
とを特徴とする特許請求の範囲第(2)項記載の広帯域
空燃比検出装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62277308A JPH0827247B2 (ja) | 1987-11-04 | 1987-11-04 | 広帯域空燃比センサおよび検出装置 |
US07/263,875 US4844788A (en) | 1987-11-04 | 1988-10-28 | Wide-range air/fuel ratio sensor and detector using the same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62277308A JPH0827247B2 (ja) | 1987-11-04 | 1987-11-04 | 広帯域空燃比センサおよび検出装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01119749A true JPH01119749A (ja) | 1989-05-11 |
JPH0827247B2 JPH0827247B2 (ja) | 1996-03-21 |
Family
ID=17581730
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP62277308A Expired - Lifetime JPH0827247B2 (ja) | 1987-11-04 | 1987-11-04 | 広帯域空燃比センサおよび検出装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4844788A (ja) |
JP (1) | JPH0827247B2 (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05119017A (ja) * | 1991-10-29 | 1993-05-14 | Yazaki Corp | ガスセンサ |
JP2000275209A (ja) * | 1999-03-26 | 2000-10-06 | Yamari Sangyo Kk | 水素センサ |
WO2002046734A1 (fr) * | 2000-12-07 | 2002-06-13 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Capteur de gaz et procede et dispositif de detection de la concentration de gaz |
JP2002306964A (ja) * | 2001-04-16 | 2002-10-22 | Ict:Kk | 触 媒 |
JP2009250638A (ja) * | 2008-04-01 | 2009-10-29 | Yazaki Corp | ガス濃度検出装置 |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5037761A (en) * | 1987-09-03 | 1991-08-06 | Elsag International B.V. | Method of applying an automotive type oxygen sensor for use in an industrial process analyzer |
JPH03134552A (ja) * | 1989-10-20 | 1991-06-07 | Hitachi Ltd | 自己較正機能付検出装置 |
DE4107217A1 (de) * | 1991-03-07 | 1992-09-10 | Battelle Institut E V | Grenzstromsonde zur messung des partialdrucks von gasen |
DE69232149T2 (de) * | 1991-12-02 | 2002-06-06 | Canon K.K., Tokio/Tokyo | Messgerät |
US5480535A (en) * | 1992-12-28 | 1996-01-02 | Kabushiki Kaisha Toyota Chuo Kenkyusho | Thin film multilayered air/fuel ratio sensor |
US20030182454A1 (en) * | 2000-07-25 | 2003-09-25 | Hans-Peter Huth | Header compression method for network protocols |
DE10048195C2 (de) * | 2000-09-28 | 2002-11-14 | Siemens Ag | Gassensor |
US7820587B2 (en) * | 2005-11-28 | 2010-10-26 | Uchicago Argonne, Llc | Porous anodic aluminum oxide membranes for nanofabrication |
JP4371114B2 (ja) * | 2006-02-28 | 2009-11-25 | トヨタ自動車株式会社 | 内燃機関の排気浄化装置 |
WO2011093975A2 (en) * | 2010-01-29 | 2011-08-04 | Fosaaen Technologies, Llc | Method for producing a subminiature "micro-chip" oxygen sensor for control of internal combustion engines or other combustion processes, oxygen sensor and an exhaust safety switch |
US10190520B1 (en) | 2017-10-12 | 2019-01-29 | Harley-Davidson Motor Company Group, LLC | Signal conditioning module for a wide-band oxygen sensor |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4500412A (en) * | 1981-08-07 | 1985-02-19 | Kabushiki Kaisha Toyota Chuo Kenkyusho | Oxygen sensor with heater |
JPS59166854A (ja) * | 1983-03-14 | 1984-09-20 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | 限界電流式酸素センサ |
JPS61155751A (ja) * | 1984-12-28 | 1986-07-15 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | 空燃比センサおよび装置 |
-
1987
- 1987-11-04 JP JP62277308A patent/JPH0827247B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1988
- 1988-10-28 US US07/263,875 patent/US4844788A/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05119017A (ja) * | 1991-10-29 | 1993-05-14 | Yazaki Corp | ガスセンサ |
JP2000275209A (ja) * | 1999-03-26 | 2000-10-06 | Yamari Sangyo Kk | 水素センサ |
WO2002046734A1 (fr) * | 2000-12-07 | 2002-06-13 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Capteur de gaz et procede et dispositif de detection de la concentration de gaz |
JP2002306964A (ja) * | 2001-04-16 | 2002-10-22 | Ict:Kk | 触 媒 |
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