JP2000292409A - 炭化水素センサ - Google Patents
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Abstract
を用いた限界電流式の炭化水素センサに関するもので、
酸素がないときでも、高濃度酸素中でも、安定にかつ高
精度に炭化水素を検知できるセンサを提供する。 【解決手段】 固体電解質の表面に形成されるカソード
がAuとAlとを含む合金層で形成される。特に、カソ
ードの合金層は、Al−Au中間相を含むものがよく、
固体電解質表面に接するAl−Au中間相を含む第1層
と、該第1層を覆う金属Al相を含む第2層とから構成
される。合金層のAlが、酸素ブロッキングを行い、A
l−Au中間相が、水素会合反応を良好し電極抵抗を低
減し、酸素共存中の雰囲気でも、炭化水素濃度を検出す
ることができる。
Description
00℃)までの温度領域における炭化水素の検知および
濃度測定に供される炭化水素センサに関する。
素ガスの検知や、自動車用エンジン、暖房用ストーブ、
触媒燃焼機器の排ガス中の炭化水素の検知が可能であ
り、燃焼機関・機器の燃焼制御(リーンバーン)用とし
て利用できるものが知られている。
て、検出媒体に固体電解質として、プロトン伝導体の薄
い電解質基板を利用し、基板の両面に白金の電極層を互
いに対向するように形成して、測定すべき雰囲気中の炭
化水素がアノード電極で解離して電解質基板を透過する
プロトンを電極間に流れる電流ないし電圧として検出す
るものである。
に使用するためには、室温以上で使用できる酸化物系の
プロトン伝導体が必要である。近年、この酸化物のプロ
トン伝導体としては、カルシウムジルコニウム系のCa
Zr0.9In0.1O3- α酸化物が開発され炭化水素センサ
への応用が試されている。カルシウムジルコニウム系酸
化物固体電解質を用いた炭化水素センサでは、Pd−A
u電極を用いた起電力型センサが知られ(日比野、棚
木、岩原;電気化学協会第61回大会講演要旨集(19
94)p.99参照)、また多孔質アルミナを拡散律速
層として具備した限界電流検知型センサが知られている
(稲葉、高橋、佐治、塩岡;化学センサ学会1995年
秋季大会要旨集(1995)p145参照)。
ン伝導体の薄い電解質基板の両面に白金の電極層を互い
に対向するように形成して、アノードには、雰囲気から
の炭化水素をその分圧に比例する量でアノードに拡散移
動させる拡散律速層を設けている。センサが測定すべき
雰囲気中に載置され電極間に一定電圧が印加されると、
雰囲気からアノードに移動した炭化水素は、アノード電
極により解離されて、水素イオン、即ち、プロトンを電
解質中に放出する。センサは、電解質基板を透過するプ
ロトンを電極間に流れる電流として検出し、測定された
プロトン電流が、雰囲気中の炭化水素濃度に概ね比例す
ることを利用している。
ウム系酸化物固体電解質は、プロトン伝導度が、600
℃で約5×10-4S/cmと小さい。そこで、センサの
感度を上げるため、起電力式の炭化水素センサでは作動
温度を700℃の高温に設定したり、又、電流検知式セ
ンサでは固体電解質を薄膜化しなければ使用が困難であ
り、そこで、より高いプロトン伝導度の固体電解質材料
が求められていた。
電力式の炭化水素センサは、電極の触媒機能を利用する
ものであるため、従来、酸素がない状態または酸素濃度
変化の大きい雰囲気中では、正確な炭化水素の検知がで
きなかった。アルミナ多孔質を拡散律速層に用いた電流
検出式のセンサは、炭化水素の電解電圧設定が困難であ
る。
示すバリウムセリウム系酸化物を用いた限界電流式(定
電位電解式)の炭化水素センサを提案してきた(特開平
10−300718号)。このセンサは、炭化水素に良
好に応答し、酸素がない状態では数ppmから数%オー
ダーの範囲で炭化水素をほぼリニアに検出できた。
酸化物でも炭化水素濃度が微量(例えば、10ppm以
下)でかつ、酸素がない状態から酸素が混入した時に
は、センサの検出出力が増加する現象がみられた。これ
は、バリウムセリウム系酸化物が、酸化物イオンも伝導
する性質を有するためで、カソードで酸素が取り込まれ
るために起こる。このため、発明者らは、カソードに金
属Alを主体とする材料を適用し、カソードで酸素の侵
入を阻止するセンサを開発した(特願平10−1427
10号)。この金属Al含有カソードの効果は絶大で、
酸素が混合したときでも出力は全く増加しなかった。
ンジンからの排ガスの浄化に使用される触媒の性能を劣
化検知する用途として使用する場合には、触媒が劣化し
たとき、排ガス中には、高濃度の炭化水素(HC)成分
と共に大量の酸素(2.5%程度)が混合される。この
ようなとき、カソードにAlを、アノードにAuを使用
したセンサは、図11のように、排ガス中に酸素が高濃
度(この例では、0.7〜2.7%のO2)で混合され
たときには、比較的高い炭化水素(HC;500〜20
00ppmC)濃度にもかかわらず、センサのHC検出
出力が低下してしまうという問題が残されていた。
濃度の酸素の混合時におけるHC検出電流出力の低下等
の変動を防止して、高酸素濃度下の雰囲気中でも、HC
濃度の正確な測定を実現することを目的としている。さ
らに、本発明は、電極抵抗が小さいカソードを備えた炭
化水素センサを提供することを目的とする。
は、混合イオン電導体の固体電解質と、該電解質に相対
向して表面に形成されたアノードとカソードと、からな
る炭化水素センサであるが、カソードがAuとAlとを
含む合金層で形成されたことを特徴とするものである。
または固相からの焼結層ないし焼結皮膜が利用される。
カソードの合金層は、特に、Al−Au中間相を含み、
好ましくは、カソードの合金層が、金属Al相とAl−
Au中間相とを共存するものが好ましい。
層中の表面のAl成分の存在の下で酸素のブロッキング
を行い、そのイオン化を防止し酸素が検出されないが、
さらに、高濃度の酸素が存在しても、合金層中のAu成
分の存在で、カソードの酸化を防止して、電極酸化に起
因したカソード抵抗の上昇を有効に防止し、プロトン検
出電流の低下を阻止する。これにより、高濃度の酸素共
存下でも、炭化水素の検出性能を高めることができる。
また、Au成分の存在は、カソードで固体電解質からの
水素イオンの水素気体への会合反応を促進して、カソー
ドでの水素放出を促進する。
水素センサの製造方法としては、該電解質基板上に、A
uを主成分に含むペーストを塗布し、その塗膜を焼き付
けてAu皮膜を形成し、次いで、該Au皮膜上にAlを
主成分に含むペーストを塗布してのち焼き付けて合金層
の皮膜を形成し、該合金層をカソードとする方法が採用
される。合金層は、焼付けによる焼結で、基板に接触す
る第1層にAl−Au中間相を含み、この第1層上に金
属Al相と含む第2層から構成される。
電解質基板上に、AuとAlとを主成分に含むペースト
を塗布し、その塗膜を焼き付けてAuとAlとを含む合
金層の皮膜を形成して、該合金層をカソードとする方法
も採用される。この場合は、Al相内に分散したAl−
Au中間相を含む合金層が得られる。
体を固体電解質に使用する炭化水素センサであるが、プ
ロトン電導度の高い酸化物は、概して同時に、酸化物イ
オンに対しても伝導性を有する。本発明は、固体電解質
には、混合イオン電導体,即ち、プロトン−酸化物イオ
ン電解質を利用する。このような電解質は、この好まし
くは、バリウムセリウム系Ba−Ce系酸化物が利用さ
れる。この酸化物は、プロトン電導度が高いと共に、酸
化物イオン電導度も高い。このような固体電解質は、薄
い基板として、形成され、基板の両面には電極が形成さ
れるが、本発明においては,カソードを、AuとAlと
を含む合金層で形成する。
lに対する合金成分としてAuを利用するのは、Au
は、Alと合金化して、下記のようなAl−Au中間相
を形成し、これらの中間相は、900℃までは雰囲気中
酸素との反応性が著しく低いので、アノードは、雰囲気
からの酸素のイオン化に関与せず、しかも、電導度が比
較的高いからである。
は、金属Al相又はAl−Au中間相として存在し、A
uは、Al−Au中間相として存在するのが好ましい。
しかしながら、Auは、金属Au相(即ち、Alを固溶
したAu固溶体)としてカソード表面に露出して存在す
るのは、好ましくない。金属Au相は、カソード表面で
酸素を活性化して、酸化物イオンを電解質に移動させ、
従って電極間には、プロトン電流と共に、酸化物イオン
電流をも検出するので、誤差原因として好ましくない。
とAl−Au中間相とが共存するものが利用できる。こ
の場合、金属Al相とAl2Au相とが共存する合金層
が挙げられる。
1又は2以上のAl−Au中間相の形で存在するものが
利用される。このようなAu−Al中間相には、Al2
Au、AlAu、AlAu2、Al2Au5、AlAu3、
AlAu4が挙げられる。金属Al相を含まないで、A
l−Au中間相単独であっても、酸素のイオン化を防止
してブロッキングを行い、且つ、カソードの導電性と、
固体電解質からのプロトンの水素化とを図ることができ
る。
共存する合金層は、好ましくは、上記のカソード2の合
金層が、図1(A)に示すように、固体電解質1の表面
に接するAl−Au中間相を含む第1層21と、該第1
層を覆う金属Al相を含む第2層22とから成るものが
よい。第2層22の金属Al相が、雰囲気と接して酸素
のブロッキングを行い、第1層21のAl−Au中間相
が、固体電解質表面と接して、電極としての導電性を確
保し、プロトンの水素化を図る。
lとの液相または固相からの焼結層として形成すること
ができる。この例として、固体電解質に接するAuを主
成分とする第1層と、該第1層の上に被覆したAlを主
成分とする第2層との焼結層が利用できる。上記の焼結
層には、上記第1層と第2層との焼結によりAu−Al
中間相が形成される。
ては、先ず、電解質基板上に、Auを主成分に含むペー
ストを塗布し、その塗膜を焼き付けてAu皮膜を形成す
る。次いで、該Au皮膜上にAlを主成分に含むペース
トを塗布してのち焼き付けて合金層の皮膜を形成し、該
合金層をカソードとする。これにより、カソードは、固
体電解質表面に接するAl−Au中間相を含む第1層
と、該第1層を覆う金属Al相を含む第2層とから形成
され、第2層の金属Al相が雰囲気からの酸素のブロッ
キングに働き、第1層のAl−Au中間相が、カソード
の導電性を確保する。
共存する合金層の別の形態は、合金層が、金属Al相に
Al−Au中間相の粒子が分散する形態である。
lとの液相または固相からの焼結層として形成すること
ができる。この場合、カソードの合金層は、金属Auと
Alとの混合粉末の焼結体であってもよく、この場合に
も、焼結による合金層中には、Au−Al中間相を含ま
せることができる。
板上に、AuとAlとを主成分に含むペーストを塗布
し、その塗膜を焼き付けてAuとAlとを含む合金層の
皮膜を形成することにより、該合金層をカソードとする
ことができる。
ウムセリウム系(Ba−Ce系)酸化物のプロトン電導
体、一般式で、BaCeO3- αがプロトン電導度が高い
ので利用される。特に、Ceの一部を他の希土類元素L
nで置換したBaCe1-xLnxO3- αの焼結体が利用で
きる。希土類元素には、ガドリニウムGdが好ましく利
用される。
に示すように、Ba−Ce系酸化物系固体電解質1、4
が、薄い基板として形成され、上記の合金層によるカソ
ード2、6が一方の基板主面に形成され、他の主面に
は、カソードに対向するように、アノード3、5が形成
され、センサとされる。アノード3、5には、従来の如
く、Ptその他の炭化水素に対して分解触媒機能を有す
る活性な金属の皮膜が利用される。
固体電解質の基板は、図1(B)に示すように、カソー
ドとアノードにそれぞれ直流電源と検出電流計が接続さ
れる。これを、電流検出式炭化水素センサとして利用す
るには、図6に示すように、主面にカソード6とアノー
ド5とを形成固体電解質4の基板は、アノード5側に炭
化水素拡散律速層を形成する。拡散律速相層について
は、別のセラミック基板7を、アノードを気密的に囲繞
するように空間を設けて、無機接着剤層8で取着して、
アノード室50を形成し、この例は、無機接着剤層8
に、アノード室50と外部雰囲気とを連通する炭化水素
のための拡散律速孔80を形成する。
リニアに検出するプロトン伝導型限界電流式センサであ
り、雰囲気中の炭化水素ガスは、拡散律速孔80を拡散
移動して、アノード室50に拡散移動して、アノード5
に到達する。到達した炭化水素は、アノードの表面で電
解によりプロトンに解離し、プロトンが、固体電解質基
板5中を電導し、カソードで水素として放出される。こ
のとき、プロトン移動量に応じて電流が流れることにな
り、拡散律速された炭化水素量(濃度)に対して限界電
流が現れる。
に接続してカソード電流を取り出すリードが、上記カソ
ードに、AuとAlとを含む上記合金層により接着され
ていることが好ましい。
Ce系酸化物を用い、カソードには、電解質基板にAu
を主成分とする第1層と、第1層を被覆して形成された
Alを主成分とする第1層との合金層を具備した炭化水
素センサの例を示す。
おいて、センサは、固体電解質1に縦横10mm×10
mmで厚さ0.45mmのBaCe0.8Gd0.2O3- α焼
結体基板を利用し、カソード2(作用極)にAl−Au
合金層を利用し、対極(参照極)のアノード3として白
金電極を用いて形成した。
用い、Auペースト(田中貴金属(株)製造「N276
4ペースト」及び、Alペースト(ノリタケ(株)製
造;品名「9203Cペースト」)を用い電解質基板上
に印刷した。まず、Auペーストを使用して固体電解質
1の表面に印刷した後に850℃で焼き付けAu電極層
とし、そのAu電極上に、Alペースト覆い被せるよう
に印刷し、850℃で焼き付けて、Al−Au系の合金
層20とした。
サが炭化水素センサとして実際に機能するかを実際の自
動車エンジンを用いて調べた。センサを温度640℃±
30℃で加熱保持し、電極間に電圧1.2Vを印加し
(カソードに負電荷)、自動車の排ガス管路の浄化触媒
装置の直後に配設した。また、触媒が完全に劣化した状
態を想定して、触媒装置のない管路の高濃度酸素下に設
けて、炭化水素濃度を種々に変えてセンサ出力を調べ
た。
れた場合と、触媒装置がなくて高濃度の酸素が混合され
る場合とで、炭化水素濃度に対するセンサ出力電流の関
係を示すが、本実施例のセンサは、酸素がない場合も、
高濃度の酸素が混合したときでも、HC濃度に対する出
力は一致した。従来センサでは、図11に示すように、
高濃度酸素が混入したときには、HC出力が低下するの
であるが、このことより、明らかに本発明のセンサが高
濃度の酸素共存下でも炭化水素を正確に検知し、高濃度
酸素混入時も高精度に検知能力が高いことがわかる。
ートを示すが、回折図から、Alの一部は、酸化しアル
ミナになり、一部は金属Al相が存在し、さらに、Au
がAlと反応したAl2Au相が存在することがわか
る。これより、図1(A)に基板2上に図示するよう
に、Auを主体とする塗膜とAlを主体とする塗膜は、
焼き付けたときAlとAuとが反応し、固体電解質表面
に接するAl−Au中間相を含む第1層21と、該第1
層を覆う金属Al相を含む第2層22とからカソード2
が形成されていることが判る。
るAuを主成分とする第1層と、該第1層の上に被覆し
たAlを主成分とする第2層との焼結層のカソードは、
焼成する過程で、第1層がAu−Al中間相を含むこと
が判った。そこで、このようなAu−Al合金層の電極
が、酸素をブロッキングし、かつ水素会合をスムーズに
行わせているか、また電極抵抗を減少させて高濃度酸素
下でもHCを精度良く検出させていることを、次の実験
により確かめた。まず、AuペーストおよびAlペース
トを体積比で1対1混合し、この混合ペーストをスクリ
ーン印刷により上記と同様に電解質上に印刷して塗膜を
形成し、塗膜を850℃で焼き付けた。同時に、アノー
ドである参照極としてPt電極を焼き付けて炭化水素セ
ンサを作った。
合金層の組成を、X線回折により調べた結果、図4に示
すように、主にAl相とAl2Au相とが観察された。
上記実施例1と同様に、実際のエンジンの排ガスにより
触媒がある時とないときのHCセンサ特性を調べた。図
5に炭化水素(HC)濃度とセンサの出力電流との関係
を示すが、酸素がない場合も高濃度の酸素が混合したと
きでも、HC濃度に対する出力電流はほぼ一致した。こ
のことより、Al2Au化合物が、酸素をブロッキング
し、かつ、プロトンの水素会合をスムーズに行わせ、電
極抵抗を淀かさせ、これにより、高濃度酸素下でも炭化
水素濃度を精度良く検出するできることがわかった。
水素センサの例を示す。図6において、センサは、固体
電解質4に10mm×10mm厚さ0.45mmのBa
Ce0.8Y0.2O3- α焼結体基板4を利用して、焼結体基
板4の表面に、アノード5に白金を使用し、カソード6
にはAu塗膜とAl塗膜とを重ねて焼成した焼結体で電
極を構成し、アノード側の固体電解質表面に、炭化水素
の拡散律速層をセラミック基板7と無機接着層8により
形成した。セラミック基板7上には、ヒーター9が固定
されており、測定時には、所望温度にセンサを加熱す
る。
い、Auペースト(田中貴金属(株)製造;品名「TR
1206ペースト」)とAlペースト(ノリタケ(株)
製造;品名「9203Cペースト」)とを実施例1のよ
うに、電解質上に印刷した。まず、Auペーストを印刷
し850℃で焼き付けAu第1層を形成し、その上に、
Alのペーストを印刷塗布して、後850℃で焼き付け
た。
評価するため、このセンサが炭化水素センサとして機能
するかを実際の自動車エンジンを用いて調べた。素子温
度は640℃±30℃で、電極間に電圧1.2Vを印加
し(カソードに負電圧)、自動車の廃ガスを種々炭化水
素濃度に調製し、排ガスが浄化触媒の通過した直後と、
触媒が完全に劣化した状態を想定して、触媒がない高濃
度酸素下での状態とで、センサ出力を調べた。
場合と、触媒がなくて高濃度の酸素が混合した場合と
で、炭化水素濃度とセンサの出力電流の関係を示す。こ
の実施例のセンサは、酸素がない場合も高濃度の酸素が
混合したときでも、炭化水素(HC)濃度に対する出力
電流は一定で、実質的に差は生じない。酸素が高濃度に
混入したときの図8に示すような従来センサで出力電流
が低下したものと対比すれば、本発明のセンサは、雰囲
気中に高濃度酸素混入した時でも雰囲気中の炭化水素濃
度を高精度に検出可能であることがわかる。
度の酸素の存在下でも炭化水素濃度を精度良く検出でき
ることを、前実施例と同様、次の実験により確かめた。
まず、AuペーストおよびAlペーストを体積比で1対
2混合し、この混合ペーストをスクリーン印刷により上
記と同様に電解質上に印刷、850℃で焼き付けた。同
時に、参照極としてPt電極を焼き付けセンサを作製し
た。
を、X線回折により調べた結果、図8に示すようにやは
り、主にAl2Au中間相が観察された。上記と同様
に、エンジン実機により、エンジン排ガスを触媒に通し
た場合と通さない場合とにおいて、炭化水素センサの特
性を調べた。図9に結果を示すように、酸素がない場合
も高濃度の酸素が混合したときでも、炭化水素濃度に対
する出力は一定であった。このことより、Al2Au相
を含む合金層が、限界電流式でも酸素をブロッキング
し、かつ水素会合をスムーズに行わせて、また電極抵抗
を減少させて高濃度酸素下でもHCを精度良く検出でき
るカソード材料であることがわかった。
a−Ce系酸化物を固体電解質に用いた炭化水素センサ
において、電極としてカソードと共に、カソードに接続
してカソード電流を取り出すリードの接着材にもAuと
Alとの合金層を用いた事例を示すものである。
uとAlとの合金層で作製した後、カソード電流を取り
出すリードをカソードに接着する接着材に、従来と同様
にAu、Ptを用いたものと、実施例として、Au−A
l合金層を用いたものを調製し、前実施例と同様に、エ
ンジン実機を用い、酸素がない場合と、高濃度酸素が混
合した場合の炭化水素(HC)の検知特性を観た。
例は、図10に示すように、センサ出力電流が、酸素に
よりドリフトしたり感応したりするセンサが現れた。こ
れは、リード接着剤もカソードと接触する部位では、カ
ソードとして働くことを意味する。AuやPtは、雰囲
気からの酸素を解離させて、酸化物イオンの電流が検出
される。
を用いた実施例では、センサ出力電流のドリフトや酸素
感応性は観察されなかった。このことより、リード接着
層に、Al−Au合金層を用いることで、信頼性の高い
センサが製造できることが明らかになった。
表面のカソードを、AlとAuとから成る合金層で形成
することにより、カソード表面で酸素のブロッキングを
行い、かつ水素会合をスムーズに行わせて、さらに、電
極抵抗を減少させて、炭化水素濃度を精度良く検出でき
る。
に形成したカソードの構造を示す図(A)と、電流検知
式炭化水素センサの模式的断面図(B)。
ジン排ガス経路における炭化水素の濃度と出力電流との
関係を示すグラフ。
ソードのAu−Al系合金層のX線回折チャート。
とAlとを含む混合槽のX線回折チャート。
ジン排ガス経路における炭化水素濃度と出力電流との関
係を示すグラフ。
センサの構造図。
ジン排ガス経路における炭化水素濃度と出力電流との関
係を示すグラフ。
uとAlの合金層のX線回折チャート図。
ジン排ガス経路における炭化水素濃度と出力電流との関
係を示すグラフ。
Ptペーストを利用した炭化水素センサのエンジン排ガ
ス経路において、炭化水素濃度と出力電流との関係を示
すグラフ。
ン排ガス管路における炭化水素濃度と出力電流との関係
を示す図。
Claims (19)
- 【請求項1】 混合イオン電導体の固体電解質と、該電
解質に相対向して表面に形成されたアノード及びカソー
ドと、からなる炭化水素センサにおいて、 カソードがAuとAlとを含む合金層であることを特徴
とする炭化水素センサ。 - 【請求項2】 上記のカソードの合金層が、Al−Au
中間相を含む請求項1に記載の炭化水素センサ。 - 【請求項3】 上記のカソードの合金層が、金属Al相
とAl−Au中間相とを含む請求項1に記載の炭化水素
センサ。 - 【請求項4】 上記のカソードの合金層が、固体電解質
表面に接するAl−Au中間相を含む第1層と、該第1
層を覆って金属Al相を含む第2層とから成る請求項1
に記載の炭化水素センサ。 - 【請求項5】 上記のカソードの合金層が、AuとAl
とを含む焼結層である請求項1ないし4の何れかに記載
の炭化水素センサ。 - 【請求項6】 混合イオン電導体の固体電解質と、該電
解質に相対向して表面に形成されたアノードとカソード
と、からなる炭化水素センサにおいて、カソードが、固
体電解質に接するAuを主成分とする第1層と、該第1
層の上に被覆したAlを主成分とする第2層との焼結層
であることを特徴とする炭化水素センサ。 - 【請求項7】 上記のカソードが、上記の焼結層には、
上記第1層と第2層との焼結によるAu−Al中間相を
有することを特徴とする請求項6に記載の炭化水素セン
サ。 - 【請求項8】 混合イオン伝導体の固体電解質と、該電
解質の表面に相対向して形成されたアノードとカソード
と、からなる炭化水素センサにおいて、カソードが、金
属AuとAlとの混合粉末の焼結体であり、且つAu−
Al中間相を有することを特徴とする炭化水素センサ。 - 【請求項9】 上記のAu−Al中間相が、Al2A
u、AlAu、AlAu2、Al2Au5、AlAu3、A
lAu4の何れか一種を含む請求項2、3、4、7及び
8の何れかに記載の炭化水素センサ。 - 【請求項10】 上記の固体電解質には、アノードを囲
繞するアノード室に炭化水素拡散律速層を備えて、電流
限界型炭化水素センサとしたことを特徴とする請求項1
ないし9の何れかに記載の炭化水素センサ。 - 【請求項11】 上記炭化水素センサは、上記カソード
に接続してカソード電流を取り出すリードが、上記カソ
ードに、AuとAlとを含む合金層により接着されてい
ることを特徴とする1ないし5の何れかに記載の炭化水
素センサ。 - 【請求項12】 上記固体電解質が、少なくとも第3の
金属元素としてCe以外の希土類元素を含むバリウムセ
リウム系酸化物であることを特徴とする請求項1ないし
11の何れかに記載の炭化水素センサ。 - 【請求項13】 上記の希土類元素がガドリニウムであ
ることを特徴とする請求項12に記載の炭化水素セン
サ。 - 【請求項14】 混合イオン電導体の固体電解質基板
と、該電解質基板に相対向して表面に形成されたアノー
ドとカソードと、からなる炭化水素センサの製造方法に
おいて、 該電解質基板上に、Auを主成分に含むペーストを塗布
し、その塗膜を焼き付けてAu皮膜を形成し、次いで、
該Au皮膜上にAlを主成分に含むペーストを塗布して
のち焼き付けて合金層の皮膜を形成し、該合金層をカソ
ードとすることを特徴とする炭化水素センサの製造方
法。 - 【請求項15】 混合イオン電導体の固体電解質基板
と、該電解質基板に相対向して表面に形成されたアノー
ドとカソードと、からなる炭化水素センサの製造方法に
おいて、 該電解質基板上に、AuとAlとを主成分に含むペース
トを塗布し、その塗膜を焼き付けてAuとAlとを含む
合金層の皮膜を形成して、該合金層をカソードとするこ
とを特徴とする炭化水素センサの製造方法。 - 【請求項16】 上記のカソードの合金層が、Al−A
u中間相を含む請求項14又は15に記載の炭化水素セ
ンサの製造方法。 - 【請求項17】 上記のカソードの合金層が、金属Al
相とAl−Au中間相とを含む請求項14又は15に記
載の炭化水素センサの製造方法。 - 【請求項18】 上記のカソードの合金層が、固体電解
質表面に接するAl−Au中間相を含む第1層と、該第
1層を覆う金属Al層を含む第2層とから成る請求項1
4に記載の炭化水素センサの製造方法。 - 【請求項19】 上記のカソードの合金層が、AuとA
lとの焼結層である請求項14ないし18の何れかに記
載の炭化水素センサの製造方法。
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