JPH01113703A - 光素子の製造方法 - Google Patents
光素子の製造方法Info
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- JPH01113703A JPH01113703A JP27007087A JP27007087A JPH01113703A JP H01113703 A JPH01113703 A JP H01113703A JP 27007087 A JP27007087 A JP 27007087A JP 27007087 A JP27007087 A JP 27007087A JP H01113703 A JPH01113703 A JP H01113703A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は、光通信に用いられる光分岐器、光合波分波器
等、分岐路を有する光素子の製造方法に関する。
等、分岐路を有する光素子の製造方法に関する。
(従来の技術)
従来、光合波分波器のように分岐路を有する光素子を製
造する方法の1つとして、第6図に示すようなものがあ
る。即ち、主路を構成する光ファイバ1.2の各端面を
斜め研磨し5てその何れが一方に干渉膜フィルタ4を蒸
着・形成し、これらの光ファイバ1.2を基板5上のガ
イド溝(V溝)5a内にセットする。一方、分岐路用光
ファイバ3の端面を同様に斜め研磨し、基板5のガイド
溝(■溝)5b内にセットし、しかるのち、これらの光
ファイバ1.2及び3を前記ガイド溝58.5b内で軸
合わせしたのち光学接着剤を用いて互いに接合する。
造する方法の1つとして、第6図に示すようなものがあ
る。即ち、主路を構成する光ファイバ1.2の各端面を
斜め研磨し5てその何れが一方に干渉膜フィルタ4を蒸
着・形成し、これらの光ファイバ1.2を基板5上のガ
イド溝(V溝)5a内にセットする。一方、分岐路用光
ファイバ3の端面を同様に斜め研磨し、基板5のガイド
溝(■溝)5b内にセットし、しかるのち、これらの光
ファイバ1.2及び3を前記ガイド溝58.5b内で軸
合わせしたのち光学接着剤を用いて互いに接合する。
かかる方法を適用して光素子を製造する場合、治具とし
て上記したような■溝が形成された基板を用いるため、
光フアイバ間の軸ずれが生じる可能性は極めて小さくな
るものの、2本の光ファイバ1.2により1本の主路用
光ファイバが構成されるので、これらの光ファイバ1.
2を夫々V溝りa内でその端面角が最大となるように回
転する等の軸合わせの工程数が多く、作業が煩雑である
という不具合があった。
て上記したような■溝が形成された基板を用いるため、
光フアイバ間の軸ずれが生じる可能性は極めて小さくな
るものの、2本の光ファイバ1.2により1本の主路用
光ファイバが構成されるので、これらの光ファイバ1.
2を夫々V溝りa内でその端面角が最大となるように回
転する等の軸合わせの工程数が多く、作業が煩雑である
という不具合があった。
そこで、かかる不具合を解消するために、予め主路用光
ファイバを1本の光ファイバで構成する方法が提案され
ている(特願昭62−99691号)、この方法は第7
図に示すように、基板5上の■溝58内に1本の連続し
た光ファイバ1“を、■溝5b内に分岐路用光ファイバ
3を夫々載置・固定したのち、当該光ファイバ1° と
共に基板1を切削してフィルタ挿入用溝5cを形成し、
当該溝50内に干渉膜フィルタ6を挿入して、光部品を
完成する。この製造方法によると、連続した1本の光フ
ァイバにより主路が構成されるため、主路の光軸合わせ
が不要となり、上記した従来の方法に比べて軸合せ工程
が少なくなるという利点がある。
ファイバを1本の光ファイバで構成する方法が提案され
ている(特願昭62−99691号)、この方法は第7
図に示すように、基板5上の■溝58内に1本の連続し
た光ファイバ1“を、■溝5b内に分岐路用光ファイバ
3を夫々載置・固定したのち、当該光ファイバ1° と
共に基板1を切削してフィルタ挿入用溝5cを形成し、
当該溝50内に干渉膜フィルタ6を挿入して、光部品を
完成する。この製造方法によると、連続した1本の光フ
ァイバにより主路が構成されるため、主路の光軸合わせ
が不要となり、上記した従来の方法に比べて軸合せ工程
が少なくなるという利点がある。
(発明が解決しようとする問題点)
しかしながら、上記した光素子の製造方法において、基
板として光ファイバと異なる材質、特に金属等粘りのあ
る材質を用いた場合、フィルタ挿入用溝50の形成工程
で、第8図に示すように、当該フィルタ挿入用溝5Cに
開口するV溝5aの端部5a’ にバリアが生じ、この
バリアによって主路用光ファイバ1゛の軸ずれ、或いは
、当該光ファイバ1°に割れ、ひび等が生じ、光損失の
原因となる。従って、かかる製造方法に対して更に改良
が望まれている。
板として光ファイバと異なる材質、特に金属等粘りのあ
る材質を用いた場合、フィルタ挿入用溝50の形成工程
で、第8図に示すように、当該フィルタ挿入用溝5Cに
開口するV溝5aの端部5a’ にバリアが生じ、この
バリアによって主路用光ファイバ1゛の軸ずれ、或いは
、当該光ファイバ1°に割れ、ひび等が生じ、光損失の
原因となる。従って、かかる製造方法に対して更に改良
が望まれている。
本発明は上記要請に応えるべくなされたもので、フィル
タ挿入用溝を形成する際に、光ファイバのガイド溝にパ
リが生じることが防止された光素子の製造方法を提供す
ることを目的とする。
タ挿入用溝を形成する際に、光ファイバのガイド溝にパ
リが生じることが防止された光素子の製造方法を提供す
ることを目的とする。
(問題点を解決するための手段)
上記目的を達成するために本発明の光素子の製造方法に
よれば、基板上に主路用光ファイバを配置する第1のガ
イド溝及びこのガイド溝と交叉し分岐用光ファイバを配
置するための少なくとも1本の第2のガイド溝を形成す
ると共に、前記第1及び第2のガイド溝の交点を通り、
且つ、これら第1及び第2のガイド溝のなす角度を2等
分する線分に直交する第3のガイド溝を形成する工程と
、前記第1及び第2のガイド溝に主路用光ファイバ及び
分岐路用光ファイバを夫々配置して光学接着剤により固
定すると同時に前記第3のガイド溝内に当該光学接着側
を充填する工程と、該第3の溝内の光学接着剤を前記主
路用光ファイバと共に切削して該第3のガイド溝周壁に
所定厚さの接着剤層を残留させるように当該第3のガイ
ド溝内にフィルタ挿入溝を形成する工程と、このフィル
タ挿入溝内にフィルタを挿入する工程とから構成したも
のである。
よれば、基板上に主路用光ファイバを配置する第1のガ
イド溝及びこのガイド溝と交叉し分岐用光ファイバを配
置するための少なくとも1本の第2のガイド溝を形成す
ると共に、前記第1及び第2のガイド溝の交点を通り、
且つ、これら第1及び第2のガイド溝のなす角度を2等
分する線分に直交する第3のガイド溝を形成する工程と
、前記第1及び第2のガイド溝に主路用光ファイバ及び
分岐路用光ファイバを夫々配置して光学接着剤により固
定すると同時に前記第3のガイド溝内に当該光学接着側
を充填する工程と、該第3の溝内の光学接着剤を前記主
路用光ファイバと共に切削して該第3のガイド溝周壁に
所定厚さの接着剤層を残留させるように当該第3のガイ
ド溝内にフィルタ挿入溝を形成する工程と、このフィル
タ挿入溝内にフィルタを挿入する工程とから構成したも
のである。
(作用)
第3のガイド溝はフィルタ挿入用溝よりも幅・深さ共に
大きく形成されおり、光ファイバを固定するための光学
接着剤がこの第3のガイド溝にも充填される。フィルタ
挿入用溝はこの光学接着剤層を切削することにより形成
されるので、基板を切削する必要がなく、パリ等の発生
が防止される。
大きく形成されおり、光ファイバを固定するための光学
接着剤がこの第3のガイド溝にも充填される。フィルタ
挿入用溝はこの光学接着剤層を切削することにより形成
されるので、基板を切削する必要がなく、パリ等の発生
が防止される。
(実施例)
本発明の実施例を添付図面に基づいて詳述する。
先ず、基板11上に主路用光ファイバ21を載置するた
めのガイド溝(■溝)12及びこのガイド溝12と所定
の角度θをなす分岐路用光ファイバ22を載置するため
のガイド溝(V溝)13を形成すると共に、これらのガ
イド溝12及び13のなす角度を2等分する線分に直交
するガイド溝即ちガイド溝12となす角度が(θ+π)
/2であるガイド溝14を形成する。第1図にはこのガ
イド溝14の断面形状が四角形の場合を図示したが、こ
れに限るものではなく、例えば、断面形状がV字状、U
字状等のものでもよい。この時、光ファイバ21.22
が夫々ガイド溝12.13に埋め込まれる深さをdlと
すると、前記ガイド溝14の深さd2はdt >dtと
なるように設定する。
めのガイド溝(■溝)12及びこのガイド溝12と所定
の角度θをなす分岐路用光ファイバ22を載置するため
のガイド溝(V溝)13を形成すると共に、これらのガ
イド溝12及び13のなす角度を2等分する線分に直交
するガイド溝即ちガイド溝12となす角度が(θ+π)
/2であるガイド溝14を形成する。第1図にはこのガ
イド溝14の断面形状が四角形の場合を図示したが、こ
れに限るものではなく、例えば、断面形状がV字状、U
字状等のものでもよい。この時、光ファイバ21.22
が夫々ガイド溝12.13に埋め込まれる深さをdlと
すると、前記ガイド溝14の深さd2はdt >dtと
なるように設定する。
更に、このガイド溝14の幅W1は、次工程で光ファイ
バ21の切削及びフィルタ挿入用溝14゜の形成に使用
する切断刃の刃厚w、に対し、wl>W、となるように
設定する(第1図)。
バ21の切削及びフィルタ挿入用溝14゜の形成に使用
する切断刃の刃厚w、に対し、wl>W、となるように
設定する(第1図)。
次いで、基板11のガイド溝12内に主路用光ファイバ
21を、ガイド溝13内に先端面を斜め研磨した分岐路
用光ファイバ22を夫々載置し、これらの光ファイバ2
1.22を光学接着剤23により基板11上に固定する
。この時、光学接着剤23はガイド溝14内にも充填さ
れる(第2図)。
21を、ガイド溝13内に先端面を斜め研磨した分岐路
用光ファイバ22を夫々載置し、これらの光ファイバ2
1.22を光学接着剤23により基板11上に固定する
。この時、光学接着剤23はガイド溝14内にも充填さ
れる(第2図)。
しかるのち、光学接着剤23が充填されたガイド溝14
に沿って、フィルタ24を挿入するための溝(フィルタ
挿入用溝)14”を形成する。このフィル′り挿入用溝
14”の切り込み深さd、は、d+ >d3>dtと成
るように設定する。この工程において、切削刃(図示せ
ず)はガイド溝14内の光学接着剤23を切削してフィ
ルタ挿入用溝14を形成すると同時に、主路用光ファイ
バ21を切削するが、この時、基板11は全く切削され
ないため、ガイド溝12のガイド溝14への開口端12
a、12b(第1図)にパリが生じることが防止され、
当該パリに起因して主路用光ファイバ21の切削端面2
1a、21bに割れ、ひび等が生じたり、当該光ファイ
バ21の軸ずれが生じることが防止される。尚、光学接
着剤23自体は一般に柔らかい材料であるため、切削時
にパリ等が生じることはない。
に沿って、フィルタ24を挿入するための溝(フィルタ
挿入用溝)14”を形成する。このフィル′り挿入用溝
14”の切り込み深さd、は、d+ >d3>dtと成
るように設定する。この工程において、切削刃(図示せ
ず)はガイド溝14内の光学接着剤23を切削してフィ
ルタ挿入用溝14を形成すると同時に、主路用光ファイ
バ21を切削するが、この時、基板11は全く切削され
ないため、ガイド溝12のガイド溝14への開口端12
a、12b(第1図)にパリが生じることが防止され、
当該パリに起因して主路用光ファイバ21の切削端面2
1a、21bに割れ、ひび等が生じたり、当該光ファイ
バ21の軸ずれが生じることが防止される。尚、光学接
着剤23自体は一般に柔らかい材料であるため、切削時
にパリ等が生じることはない。
この工程終了後に、フィルタ挿入用溝14゛内に、フィ
ルタ(図示せず)を挿入して、光学接着剤により固定す
ることにより、光素子を完成する。
ルタ(図示せず)を挿入して、光学接着剤により固定す
ることにより、光素子を完成する。
尚、上記実施例においては、第1図に示したように、フ
ィルタ挿入用溝14゛を形成するためのガイド溝14を
基板11の端から端まで形成した場合について記述した
が、これに限るものではなく、例えば、第4図に示すよ
うに、ガイド溝12とガイド溝13との分岐点を含む所
定長に亘り、フィルタ挿入用溝14゛を形成するための
ガイド溝14”を形成することとしてもよい。
ィルタ挿入用溝14゛を形成するためのガイド溝14を
基板11の端から端まで形成した場合について記述した
が、これに限るものではなく、例えば、第4図に示すよ
うに、ガイド溝12とガイド溝13との分岐点を含む所
定長に亘り、フィルタ挿入用溝14゛を形成するための
ガイド溝14”を形成することとしてもよい。
更に、分岐路用光ファイバは1本に限るものではなく、
例えば2本の場合は、第5図に示すように主路用光ファ
イバのガイド溝12と分岐路用光ファイバのガイド溝1
3.13”との分岐点に夫々フィルタ挿入用溝を形成す
るためのガイド溝14及び14”を形成することとすれ
ばよい。
例えば2本の場合は、第5図に示すように主路用光ファ
イバのガイド溝12と分岐路用光ファイバのガイド溝1
3.13”との分岐点に夫々フィルタ挿入用溝を形成す
るためのガイド溝14及び14”を形成することとすれ
ばよい。
(発明の効果)
以上説明したように本発明の光素子の製造方法によれば
、基板上に主路用光ファイバを配置する第1のガイド溝
及びこのガイド溝と交叉し分岐用光ファイバを配置する
ための少なくとも1本の第2のガイド溝を形成すると共
に、前記第1及び第2のガイド溝の交点を通り、且つ、
これら第1及び第2のガイド溝のなす角度を2等分する
線分に直交する第3のガイド溝を形成する工程と、前記
第1及び第2のガイド溝に主路用光ファイバ及び分岐路
用光ファイバを夫々配置して光学接着剤により固定する
と同時に前記第3のガイド溝内に当該光学接着剤を充填
する工程と、該第3の溝内の光学接着剤を前記主路用光
ファイバと共に切削して該第3のガイド溝周壁に所定厚
さの接着剤層を残留させるように当該第3のガイド溝内
にフィルタ挿入溝を形成する工程と、このフィルタ挿入
溝内にフィルタを挿入する工程とから構成したので、フ
ィルタ挿入用溝を形成するための切削工程で、基板を切
削することがないため、主路用光ファイバを載置したガ
イド溝にパリが発生することが防止され、当該主路用光
ファイバの軸ずれ、或いは、ひび、割れ等の発生が有効
に防止されるという利点を有する。
、基板上に主路用光ファイバを配置する第1のガイド溝
及びこのガイド溝と交叉し分岐用光ファイバを配置する
ための少なくとも1本の第2のガイド溝を形成すると共
に、前記第1及び第2のガイド溝の交点を通り、且つ、
これら第1及び第2のガイド溝のなす角度を2等分する
線分に直交する第3のガイド溝を形成する工程と、前記
第1及び第2のガイド溝に主路用光ファイバ及び分岐路
用光ファイバを夫々配置して光学接着剤により固定する
と同時に前記第3のガイド溝内に当該光学接着剤を充填
する工程と、該第3の溝内の光学接着剤を前記主路用光
ファイバと共に切削して該第3のガイド溝周壁に所定厚
さの接着剤層を残留させるように当該第3のガイド溝内
にフィルタ挿入溝を形成する工程と、このフィルタ挿入
溝内にフィルタを挿入する工程とから構成したので、フ
ィルタ挿入用溝を形成するための切削工程で、基板を切
削することがないため、主路用光ファイバを載置したガ
イド溝にパリが発生することが防止され、当該主路用光
ファイバの軸ずれ、或いは、ひび、割れ等の発生が有効
に防止されるという利点を有する。
第1図乃至第3図は本発明の光素子の製造方法を1個の
分岐路を有する光合波分波器に適用した場合の工程説明
図、第4図及び第5図は、夫々本発明の他の実施例を示
す基板の斜視図、第6図及び第7図は従来法を適用して
製造された光合波分波器の平面図、第8図は第7図の製
造法による不具合を示す要部拡大図である。 11・・・基板、12.13.13’ 、14.14″
・・・ガイド溝(■溝)、14°・・・フィルタ挿入用
溝、21.22・・・光ファイバ、23・・・光学接着
剤。
分岐路を有する光合波分波器に適用した場合の工程説明
図、第4図及び第5図は、夫々本発明の他の実施例を示
す基板の斜視図、第6図及び第7図は従来法を適用して
製造された光合波分波器の平面図、第8図は第7図の製
造法による不具合を示す要部拡大図である。 11・・・基板、12.13.13’ 、14.14″
・・・ガイド溝(■溝)、14°・・・フィルタ挿入用
溝、21.22・・・光ファイバ、23・・・光学接着
剤。
Claims (1)
- 基板上に主路用光ファイバを配置する第1のガイド溝及
びこのガイド溝と交叉し分岐用光ファイバを配置するた
めの少なくとも1本の第2のガイド溝を形成すると共に
、前記第1及び第2のガイド溝の交点を通り、且つ、こ
れら第1及び第2のガイド溝のなす角度を2等分する線
分に直交する第3のガイド溝を形成する工程と、前記第
1及び第2のガイド溝に主路用光ファイバ及び分岐路用
光ファイバを夫々配置して光学接着剤により固定すると
同時に前記第3のガイド溝内に当該光学接着剤を充填す
る工程と、該第3の溝内の光学接着剤を前記主路用光フ
ァイバと共に切削して該第3のガイド溝周壁に所定厚さ
の接着剤層を残留させるように当該第3のガイド溝内に
フィルタ挿入溝を形成する工程と、このフィルタ挿入溝
内にフィルタを挿入する工程とからなることを特徴とす
る光素子の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27007087A JPH01113703A (ja) | 1987-10-28 | 1987-10-28 | 光素子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27007087A JPH01113703A (ja) | 1987-10-28 | 1987-10-28 | 光素子の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01113703A true JPH01113703A (ja) | 1989-05-02 |
Family
ID=17481104
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP27007087A Pending JPH01113703A (ja) | 1987-10-28 | 1987-10-28 | 光素子の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH01113703A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19700549A1 (de) * | 1997-01-10 | 1998-07-16 | Alsthom Cge Alcatel | Vorrichtung zur präzisen Anordnung von mikrooptischen Bauteilen auf einem Träger |
JP2000171649A (ja) * | 1998-12-03 | 2000-06-23 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 合分波素子 |
JP2001345200A (ja) * | 2000-05-31 | 2001-12-14 | Ebara Corp | 荷電粒子加速管の製作方法 |
-
1987
- 1987-10-28 JP JP27007087A patent/JPH01113703A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19700549A1 (de) * | 1997-01-10 | 1998-07-16 | Alsthom Cge Alcatel | Vorrichtung zur präzisen Anordnung von mikrooptischen Bauteilen auf einem Träger |
US6064781A (en) * | 1997-01-10 | 2000-05-16 | Alcatel | Micro-optic device with means for precisely positioning micro-optic components |
JP2000171649A (ja) * | 1998-12-03 | 2000-06-23 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 合分波素子 |
JP2001345200A (ja) * | 2000-05-31 | 2001-12-14 | Ebara Corp | 荷電粒子加速管の製作方法 |
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