JPH01112201A - 光学素子 - Google Patents
光学素子Info
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- JPH01112201A JPH01112201A JP62269578A JP26957887A JPH01112201A JP H01112201 A JPH01112201 A JP H01112201A JP 62269578 A JP62269578 A JP 62269578A JP 26957887 A JP26957887 A JP 26957887A JP H01112201 A JPH01112201 A JP H01112201A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B1/00—Optical elements characterised by the material of which they are made; Optical coatings for optical elements
- G02B1/10—Optical coatings produced by application to, or surface treatment of, optical elements
- G02B1/11—Anti-reflection coatings
- G02B1/113—Anti-reflection coatings using inorganic layer materials only
- G02B1/115—Multilayers
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C07—ORGANIC CHEMISTRY
- C07C—ACYCLIC OR CARBOCYCLIC COMPOUNDS
- C07C17/00—Preparation of halogenated hydrocarbons
- C07C17/093—Preparation of halogenated hydrocarbons by replacement by halogens
- C07C17/10—Preparation of halogenated hydrocarbons by replacement by halogens of hydrogen atoms
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、光学結晶やレンズ等の素子本体の表面に反射
防止処理を施した光学素子に関する。
防止処理を施した光学素子に関する。
光学結晶、レンズ等は一般に表面反射によって、入出力
パワーか低減する。例えは、これらをガラスで形成する
と、可視光に対して入出射面合わせて約8%の反射損失
かあり、またL iN b O3のような屈折率2,2
〜2.3の光学結晶で形成すると、約30%の反射損失
がある。このような表面反射による損失を防止するため
に、光学結晶。
パワーか低減する。例えは、これらをガラスで形成する
と、可視光に対して入出射面合わせて約8%の反射損失
かあり、またL iN b O3のような屈折率2,2
〜2.3の光学結晶で形成すると、約30%の反射損失
がある。このような表面反射による損失を防止するため
に、光学結晶。
レンズ等の光の入出射面に表面反射防止処理を施す必要
かある。このような処理として従来では入出射面にスパ
ッタリングあるいは電子ビーム蒸着によって透明な酸化
物薄膜を形成していた。例えば、ガラス、あるいはT−
INbO3等の光学結晶に膜厚100ナノm程度の透明
な酸化物薄膜を1〜3層形成していた。このような酸化
物薄膜によって反射損失を1%以内にすることができる
。
かある。このような処理として従来では入出射面にスパ
ッタリングあるいは電子ビーム蒸着によって透明な酸化
物薄膜を形成していた。例えば、ガラス、あるいはT−
INbO3等の光学結晶に膜厚100ナノm程度の透明
な酸化物薄膜を1〜3層形成していた。このような酸化
物薄膜によって反射損失を1%以内にすることができる
。
ところで、酸化物薄膜をスパッタリングあるいは電子ビ
ーム蒸着で作成する場合には、光学結晶。
ーム蒸着で作成する場合には、光学結晶。
レンズ等の薄膜形成面は、高温にさらされる。例えばス
パッタリングを10数分行なったときには薄膜形成面の
温度は200°C以上に上昇する。このなめ、光学結晶
、レンズ等が低温域に相転移点をもつなど熱的に弱い材
料で形成されているときには直接薄膜を形成することが
できず表面反射防止処理を施すことかできないという問
題があった。
パッタリングを10数分行なったときには薄膜形成面の
温度は200°C以上に上昇する。このなめ、光学結晶
、レンズ等が低温域に相転移点をもつなど熱的に弱い材
料で形成されているときには直接薄膜を形成することが
できず表面反射防止処理を施すことかできないという問
題があった。
また、理論通りに薄膜か形成されなかった場合には、薄
膜を何らかの仕方で取除き再度形成する必要があるので
、所望の性能をもつ表面反射防止処理を施ずのに手間が
かかるという問題かあった。
膜を何らかの仕方で取除き再度形成する必要があるので
、所望の性能をもつ表面反射防止処理を施ずのに手間が
かかるという問題かあった。
本発明は、光学結晶、レンズ等の素子本体に影響を与え
ずに表面反射防止処理を施すことの可能な構造の光学素
子を提供することを目的としている。
ずに表面反射防止処理を施すことの可能な構造の光学素
子を提供することを目的としている。
本発明はさらに、光を信頼性良く出射させることの可能
な簡単な構造でかつ小型化に適した光学素子を提供する
ことを目的としている。
な簡単な構造でかつ小型化に適した光学素子を提供する
ことを目的としている。
本発明は、素子本体と、素子本体の光の入出射面に設け
られた所定の屈折率をもつガラス部材とを備え、前記ガ
ラス部材は前記素子本体に所定の屈折率をもつ透明な接
着材料によって密着されるようになっていることを特徴
とする光学素子によって上記従来技術の問題点を改善す
るものである。
られた所定の屈折率をもつガラス部材とを備え、前記ガ
ラス部材は前記素子本体に所定の屈折率をもつ透明な接
着材料によって密着されるようになっていることを特徴
とする光学素子によって上記従来技術の問題点を改善す
るものである。
本発明では、素子本体の光の入出射面に所定の屈折率を
もつ透明な接着材料によって所定の屈折率をもつガラス
部材を密着させており、ガラス部材、接着材料の屈折率
によって素子本体の表面反射を低減させることができる
。ところでこの光学素子を組立てる際には、素子本体に
ガラス部材を接着させるだけで良いので、素子本体か熱
的に弱い結晶であっても素子本体に影響を与えず、さら
には光学素子自体をコンパクトなものにすることがてき
る。さらに素子本体の光の入出射面以外の面に被覆を施
せは、素子本体か潮解性を有する結晶であっても、潮解
を防止できる。
もつ透明な接着材料によって所定の屈折率をもつガラス
部材を密着させており、ガラス部材、接着材料の屈折率
によって素子本体の表面反射を低減させることができる
。ところでこの光学素子を組立てる際には、素子本体に
ガラス部材を接着させるだけで良いので、素子本体か熱
的に弱い結晶であっても素子本体に影響を与えず、さら
には光学素子自体をコンパクトなものにすることがてき
る。さらに素子本体の光の入出射面以外の面に被覆を施
せは、素子本体か潮解性を有する結晶であっても、潮解
を防止できる。
以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
第1図は本発明に係る光学素子の第1の実施例の構成図
である。
である。
第1図の光学素子は、素子本体1と、素子本体1の光の
入出射面に設けられたガラス部材2とを備え、ガラス部
材2は透明な接着剤3によって素子本体1に接着されて
いる。素子本体1は、例えばレーザ光の入射で第2高調
波を発生ずる非線形光学結晶で形成されている。またガ
ラス部材2は例えば薄板ガラスからなり、透明な接着剤
3には、例えは一般的な紫外線硬化のものが用いられる
。
入出射面に設けられたガラス部材2とを備え、ガラス部
材2は透明な接着剤3によって素子本体1に接着されて
いる。素子本体1は、例えばレーザ光の入射で第2高調
波を発生ずる非線形光学結晶で形成されている。またガ
ラス部材2は例えば薄板ガラスからなり、透明な接着剤
3には、例えは一般的な紫外線硬化のものが用いられる
。
なお素子本体1として結晶KNbo3を用いる場合、K
NbO3は232℃に相転移点をもつため、従来のよう
に薄膜形成によって表面反射防止処理を行なうと結晶か
割れる恐れかあるか本実施例では素子本体1に熱を加え
ずに表面反射防止処理を行なうので、素子本体1に何ら
の影響をも与えない。
NbO3は232℃に相転移点をもつため、従来のよう
に薄膜形成によって表面反射防止処理を行なうと結晶か
割れる恐れかあるか本実施例では素子本体1に熱を加え
ずに表面反射防止処理を行なうので、素子本体1に何ら
の影響をも与えない。
このような構成の光学素子において素子本体1に結晶K
NbO3が用いられている場合の反射損失を説明する。
NbO3が用いられている場合の反射損失を説明する。
なお以下の説明では屈折率の波長分散を無視し、結晶K
NbO3の屈折率nを2.3.ガラス部材2の屈折率n
1を1.5.接着剤3の屈折率n2を1.5とする。
NbO3の屈折率nを2.3.ガラス部材2の屈折率n
1を1.5.接着剤3の屈折率n2を1.5とする。
先づ、素子本体1ずなわち結晶KNbO3だけの場合の
反射率を計算すると、入射面、出射面のいずれか一方で
の反射率Rは、 C(1,0−2,3)/(1,0+2.3) 〕2=0
.155 ・・・・・・(1)
となり、入射面、出射面の両面での反射率R8fは、多
重反射を無視すると、 Ro、=R+R(1−R)=2R−R,2−0.286
・・・・・・
(2)となって、反射損失は約29%となる。なお(1
)式においてrl+)は大気の屈折率である。
反射率を計算すると、入射面、出射面のいずれか一方で
の反射率Rは、 C(1,0−2,3)/(1,0+2.3) 〕2=0
.155 ・・・・・・(1)
となり、入射面、出射面の両面での反射率R8fは、多
重反射を無視すると、 Ro、=R+R(1−R)=2R−R,2−0.286
・・・・・・
(2)となって、反射損失は約29%となる。なお(1
)式においてrl+)は大気の屈折率である。
これに対してガラス部材2を接着剤3によって接着した
ときには、大気とガラス部材2との界面の反射率R1は
、 R1−C(no−nl)/ (no +n1 ) :]
2−O,04・・・・・・(3) となり、またガラス部材2と接着剤3との界面の反射率
R2は、 R2=C(nl R2)/(n1+n2 ))2−〇
・・・
・・・(4)となり、また接着剤3と素子本体1との界
面の反射率R3は、 R3−C(R2−n)/ (n2+n) 32−〇、0
4 ・・・・
・・(5)となり、全体の反射率R8fは、多重反射を
無視すると、 Rof−n1+R2(1−R1) +R3(i J ) 十R3(i F2 )十R2
(1−F3)十R1(1−F4)叫・・(6)となる。
ときには、大気とガラス部材2との界面の反射率R1は
、 R1−C(no−nl)/ (no +n1 ) :]
2−O,04・・・・・・(3) となり、またガラス部材2と接着剤3との界面の反射率
R2は、 R2=C(nl R2)/(n1+n2 ))2−〇
・・・
・・・(4)となり、また接着剤3と素子本体1との界
面の反射率R3は、 R3−C(R2−n)/ (n2+n) 32−〇、0
4 ・・・・
・・(5)となり、全体の反射率R8fは、多重反射を
無視すると、 Rof−n1+R2(1−R1) +R3(i J ) 十R3(i F2 )十R2
(1−F3)十R1(1−F4)叫・・(6)となる。
但し、rl 、 F2 、 F3.F4はそれぞれ
rl−n1+R2(1−R1) ・旧・・(7)r
2=R1+R2(I R1) +R3(1−rl) ・・団・(8)F3−n
1+R2(1−R1) +R3(1−rl ) +R3(1−F2) =・目−(9)r4=
R1+R2(1−R1) 十R3(1−rl)+R3(1−F2)+R2(1−F
3) 叫−(10)である。(6)式乃至(1
0)式に(3) 、 (4) 、 (5)式で求めた値
を代入すると、 Rof= 0 、150 −団−(1
1)となり、反射損失は約15%になる。これを素子本
体1だけの場合と比べると、反射損失を約14%減少さ
せることかできる。
2=R1+R2(I R1) +R3(1−rl) ・・団・(8)F3−n
1+R2(1−R1) +R3(1−rl ) +R3(1−F2) =・目−(9)r4=
R1+R2(1−R1) 十R3(1−rl)+R3(1−F2)+R2(1−F
3) 叫−(10)である。(6)式乃至(1
0)式に(3) 、 (4) 、 (5)式で求めた値
を代入すると、 Rof= 0 、150 −団−(1
1)となり、反射損失は約15%になる。これを素子本
体1だけの場合と比べると、反射損失を約14%減少さ
せることかできる。
第2図、第3図はそれぞれ第1図に示す光学素子の変形
例を示す図である。第1図の光学素子では、ガラス部材
2に表面反射防止用のコーテイング膜か形成されていな
いが、第2図の光学素子では、ガラス部材2の大気との
界面にコーテイング膜4か形成されており、また第3図
の光学素子では、ガラス部材2の大気との界面。
例を示す図である。第1図の光学素子では、ガラス部材
2に表面反射防止用のコーテイング膜か形成されていな
いが、第2図の光学素子では、ガラス部材2の大気との
界面にコーテイング膜4か形成されており、また第3図
の光学素子では、ガラス部材2の大気との界面。
および接着剤3との界面にそれぞれコーティング膜4.
5が形成されている。コーテイング膜4゜5の材料とし
ては、低屈折物質としてM、F2(n=1.38)、S
、02 (n=1.46)、AfJ2o3 (n−1,
63)、高屈折物質としてZrO2(n=2.0)、T
、02 (n=2.2)などがある。
5が形成されている。コーテイング膜4゜5の材料とし
ては、低屈折物質としてM、F2(n=1.38)、S
、02 (n=1.46)、AfJ2o3 (n−1,
63)、高屈折物質としてZrO2(n=2.0)、T
、02 (n=2.2)などがある。
第2図の光学素子では、コーテイング膜4により反射率
R1をほとんど“′0″にすることができるので、(4
)〜(10)式により全体の反射率R8fは、Rof=
0.078 ・・・・・・(12)
となり、反射損失は約8%となって、素子本体1だけの
場合に比べて反射損失を約21%減少させることができ
る。
R1をほとんど“′0″にすることができるので、(4
)〜(10)式により全体の反射率R8fは、Rof=
0.078 ・・・・・・(12)
となり、反射損失は約8%となって、素子本体1だけの
場合に比べて反射損失を約21%減少させることができ
る。
さらに第3図の光学素子では、コーテイング膜4.5に
より反射率R、R3をほとんど“0′。
より反射率R、R3をほとんど“0′。
にすることかできるので、全体の反射率R8fは、Re
f中0 ・旧・−(13)と
なり、反射損失をなくすことが可能となる。
f中0 ・旧・−(13)と
なり、反射損失をなくすことが可能となる。
第4図は第1図および第2図の各々の構成によって得ら
れる理論透過率曲線CVI、CV2を結晶のみの場合の
理論透過率曲線CvOと比較して示した図である。なお
、第2図の光学素子のコーテイング膜4は、Nd :Y
AGレーサ(波長λ−1064ナノm)用とした。第4
図から明かなように、例えば波長λが1064ナノmの
光では、透過率は、結晶のみの場合に約73%であるの
に対し、第1図の光学素子では約85%、第2図の光学
素子では約93%になり、反射損失を著しく減少させる
ことかわかる。
れる理論透過率曲線CVI、CV2を結晶のみの場合の
理論透過率曲線CvOと比較して示した図である。なお
、第2図の光学素子のコーテイング膜4は、Nd :Y
AGレーサ(波長λ−1064ナノm)用とした。第4
図から明かなように、例えば波長λが1064ナノmの
光では、透過率は、結晶のみの場合に約73%であるの
に対し、第1図の光学素子では約85%、第2図の光学
素子では約93%になり、反射損失を著しく減少させる
ことかわかる。
このように、第1の実施例によれば、所定の屈折率をも
つガラス部材2を所定の屈折率の接着剤3で素子本体1
に接着させることたけにより反射損失を減少させること
ができるので、素子本体1が熱的に弱い結晶等であって
もこれに熱を加えずに極めて容易に表面反射防止処理を
施すことかできる。
つガラス部材2を所定の屈折率の接着剤3で素子本体1
に接着させることたけにより反射損失を減少させること
ができるので、素子本体1が熱的に弱い結晶等であって
もこれに熱を加えずに極めて容易に表面反射防止処理を
施すことかできる。
第5図は本発明に係る光学素子の第2の実施例の構成図
である。第5図の光学素子では、素子本体1の入出射面
にガラス部材2が透明な接着剤3によって接着されてい
るとともに素子本体1のその他の面にはシリコンゴム等
の被覆8か繕され素子本体1の表面が大気にさらされな
いようになっている。なお、ガラス部材2の片面あるい
は両面には必要に応じコーティング膜4,5が予め形成
されている。
である。第5図の光学素子では、素子本体1の入出射面
にガラス部材2が透明な接着剤3によって接着されてい
るとともに素子本体1のその他の面にはシリコンゴム等
の被覆8か繕され素子本体1の表面が大気にさらされな
いようになっている。なお、ガラス部材2の片面あるい
は両面には必要に応じコーティング膜4,5が予め形成
されている。
このような構成では、さらに素子本体1を保護すること
ができて、特に素子本体1か尿素結晶やKDPのような
潮解性をもつ結晶の場合に素子本体1の潮解をも有効に
防止できる。
ができて、特に素子本体1か尿素結晶やKDPのような
潮解性をもつ結晶の場合に素子本体1の潮解をも有効に
防止できる。
なお、」l述した第1および第2の実施例の光学素子の
ように素子本体1とガラス部材2とを透明な接着剤3で
接着するかわりに、第6図に示すように素子本体1とガ
ラス部材2との間にマツチング液6を介在させ、このマ
ツチング液6をセルフに封入した構造の光学素子にして
も良い。このような構成の光学素子では、マツチング液
6か接着剤3と同様な機能を果たし、ガラス部材2の屈
折率とマツチング液6の屈折率との組合せによって素子
本体1の反射損失を低減できて、熱的に弱い結晶、潮解
性のある結晶にも適用しうる。しかしながら、第6図の
光学素子では、マツチング液6をセルフ中に封入しなけ
ればならないので、構造が複雑かつ大きなものとなり、
取扱いか面倒になるという欠点がある。また素子本体1
にガラス部材2を密着させていないので、光を所定の精
度で確実に出射させることができないという問題かある
。
ように素子本体1とガラス部材2とを透明な接着剤3で
接着するかわりに、第6図に示すように素子本体1とガ
ラス部材2との間にマツチング液6を介在させ、このマ
ツチング液6をセルフに封入した構造の光学素子にして
も良い。このような構成の光学素子では、マツチング液
6か接着剤3と同様な機能を果たし、ガラス部材2の屈
折率とマツチング液6の屈折率との組合せによって素子
本体1の反射損失を低減できて、熱的に弱い結晶、潮解
性のある結晶にも適用しうる。しかしながら、第6図の
光学素子では、マツチング液6をセルフ中に封入しなけ
ればならないので、構造が複雑かつ大きなものとなり、
取扱いか面倒になるという欠点がある。また素子本体1
にガラス部材2を密着させていないので、光を所定の精
度で確実に出射させることができないという問題かある
。
これに対して、第1図乃至第3図、あるいは第5図の光
学素子は、極めて簡単な構造であり光学素子を小型化す
ることができる一方、素子本体1にはガラス部材2が密
着されるので、光を信頼性良く出射させることかできる
。
学素子は、極めて簡単な構造であり光学素子を小型化す
ることができる一方、素子本体1にはガラス部材2が密
着されるので、光を信頼性良く出射させることかできる
。
以上に説明したように、本発明によれば、素子本体の光
の入出射面に透明な接着剤によってガラス部材を密着さ
せるようになっているので、素子本体に影響を与えずに
表面反射を防止することかできて、さちにvI造が簡単
で小型化に適し、光を信頼性良く出射させることかでき
る。
の入出射面に透明な接着剤によってガラス部材を密着さ
せるようになっているので、素子本体に影響を与えずに
表面反射を防止することかできて、さちにvI造が簡単
で小型化に適し、光を信頼性良く出射させることかでき
る。
第1図は本発明に係る光学素子の第1の実施例を示す図
、第2図、第3図はそれぞれ第1図の光学素子の変形例
を示す図、第4図は理論透過率曲線を示す図、第5図は
本発明に係る光学素子の第2の実施例を示す図、第6図
は素子本体とガラス部材との間にマツチング液を介在さ
せた光学素子の構成図である。 1・・・素子本体、2・・・ガラス部材、3・・・接着
剤、4.5・・・コーテイング膜、8・・・被覆第1図 入射光 第2図 第3図
、第2図、第3図はそれぞれ第1図の光学素子の変形例
を示す図、第4図は理論透過率曲線を示す図、第5図は
本発明に係る光学素子の第2の実施例を示す図、第6図
は素子本体とガラス部材との間にマツチング液を介在さ
せた光学素子の構成図である。 1・・・素子本体、2・・・ガラス部材、3・・・接着
剤、4.5・・・コーテイング膜、8・・・被覆第1図 入射光 第2図 第3図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1)素子本体と、素子本体の光の入出射面に設けられた
所定の屈折率をもつガラス部材とを備え、前記ガラス部
材は前記素子本体に所定の屈折率をもつ透明な接着材料
によって密着されるようになっていることを特徴とする
光学素子。 2)前記素子本体は、光の入出射面以外の他の面に被覆
が施されていることを特徴とする特許請求の、範囲第1
項に記載の光学素子。 3)前記素子本体は、熱的に弱い結晶からなっているこ
とを特徴とする特許請求の範囲第1項に記載の光学素子
。 4)前記素子本体は、潮解性のある結晶からなっている
ことを特徴とする特許請求の範囲第1項に記載の光学素
子。 5)前記接着材料は、紫外線硬化のものであることを特
徴とする特許請求の範囲第1項に記載の光学素子。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62269578A JPH01112201A (ja) | 1987-10-26 | 1987-10-26 | 光学素子 |
US07/258,430 US5048942A (en) | 1987-10-26 | 1988-10-17 | Optical element with reduced reflectance |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62269578A JPH01112201A (ja) | 1987-10-26 | 1987-10-26 | 光学素子 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JPH01112201A true JPH01112201A (ja) | 1989-04-28 |
Family
ID=17474316
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP62269578A Pending JPH01112201A (ja) | 1987-10-26 | 1987-10-26 | 光学素子 |
Country Status (2)
Country | Link |
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US (1) | US5048942A (ja) |
JP (1) | JPH01112201A (ja) |
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1987
- 1987-10-26 JP JP62269578A patent/JPH01112201A/ja active Pending
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1988
- 1988-10-17 US US07/258,430 patent/US5048942A/en not_active Expired - Lifetime
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Also Published As
Publication number | Publication date |
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US5048942A (en) | 1991-09-17 |
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