JPH011110A - 磁気ヘッド及びその製造方法 - Google Patents
磁気ヘッド及びその製造方法Info
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- JPH011110A JPH011110A JP62-156161A JP15616187A JPH011110A JP H011110 A JPH011110 A JP H011110A JP 15616187 A JP15616187 A JP 15616187A JP H011110 A JPH011110 A JP H011110A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は磁気ヘッド及びその製造方法に関し。
特に書込再生ギャップ部に金属磁性膜を有する磁気ヘッ
ド及びその製造方法に関する。
ド及びその製造方法に関する。
従来の技術について図を用いて説明する。第４図は従来
の磁気ヘッドを示し、フェライト等の磁性材からなる２
個のヨーク１，１により挟まれて形成される書込読出用
ギャップ２の片側もしくは両側にＦｅ−ＡＱ−３ｉ、
ＣｏＺｒあるいはＮｉＦｅ等の金属磁性膜３が付着され
ている。金属磁性膜３は一般にヨーク１を形成している
フェライトより飽和磁束密度が高く、かつ透磁率の大き
な材質が選択されギャップ２を作り出す前にスパッタ、
蒸着等によりヨ−ク１上に付着される。
の磁気ヘッドを示し、フェライト等の磁性材からなる２
個のヨーク１，１により挟まれて形成される書込読出用
ギャップ２の片側もしくは両側にＦｅ−ＡＱ−３ｉ、
ＣｏＺｒあるいはＮｉＦｅ等の金属磁性膜３が付着され
ている。金属磁性膜３は一般にヨーク１を形成している
フェライトより飽和磁束密度が高く、かつ透磁率の大き
な材質が選択されギャップ２を作り出す前にスパッタ、
蒸着等によりヨ−ク１上に付着される。
上述した従来の磁気ヘッドの構成は、フェライト等のヨ
ーク１を形成している材料より磁気特性の優れた薄膜を
ギャップ２の近傍に配置することにより、書き込み時に
ギャップ近くでの磁気飽和を防止し、高い抗磁力を有す
る磁性媒体について記録ができるようにしである。さら
に再生時には金属磁性膜３の高い透磁率を利用して効率
良く磁性媒体よりの磁束を集められるようにしである。
ーク１を形成している材料より磁気特性の優れた薄膜を
ギャップ２の近傍に配置することにより、書き込み時に
ギャップ近くでの磁気飽和を防止し、高い抗磁力を有す
る磁性媒体について記録ができるようにしである。さら
に再生時には金属磁性膜３の高い透磁率を利用して効率
良く磁性媒体よりの磁束を集められるようにしである。
ところが、金属磁性膜３とヨーク１の磁気特性が大きく
異なると、金属磁性膜３とヨーク１の接合面は透磁率又
は飽和磁束密度の急激な違いが擬似的なギャップのよう
な作用をする。このため、金属磁性膜３のヨーク側のエ
ツジでも磁性媒体よりの磁束を集めてしまい、第５図の
出力電圧波形に示す如く正規の波形ピーク５以外に擬似
ピーク６が出現する。
異なると、金属磁性膜３とヨーク１の接合面は透磁率又
は飽和磁束密度の急激な違いが擬似的なギャップのよう
な作用をする。このため、金属磁性膜３のヨーク側のエ
ツジでも磁性媒体よりの磁束を集めてしまい、第５図の
出力電圧波形に示す如く正規の波形ピーク５以外に擬似
ピーク６が出現する。
このような擬似ピーク６はデジタル磁気記録において波
形ピーク位置を検出して″″０″″１′０″″１１判別
は致命的なノイズとして作用しエラーの原因となるもの
である。
形ピーク位置を検出して″″０″″１′０″″１１判別
は致命的なノイズとして作用しエラーの原因となるもの
である。
この欠点を防ぐには金属磁性膜３の磁気特性をヨーク１
の材料の磁気特性に合せれば良い分けであるが、それで
は金属磁性膜３をギャップ近傍に配置する本来の意味が
なくなってしまう。
の材料の磁気特性に合せれば良い分けであるが、それで
は金属磁性膜３をギャップ近傍に配置する本来の意味が
なくなってしまう。
本発明の目的は前記問題点を解消した磁気ヘッド及びそ
の製造方法を提供することにある。
の製造方法を提供することにある。
本発明は酸化物磁性体製のヨークにより非磁性膜と金属
磁性体とを挟み込んだ磁気ヘッドにおいて、該金属磁性
体の磁気特性を、前記非磁性膜と接する部分より前記ヨ
ークに接する部分にかけて連続的に変化させたことを特
徴とする磁気ヘッド、及び 酸化物磁性体製のヨーク上に合金磁性膜を付与し、該合
金磁性膜を有するヨークと一方の酸化物磁性体製ヨーク
とで非磁性膜を挟み込む磁気ヘッドの製造方法において
、前記合金磁性膜をヨーク上に作成する際に作成、の開
始時より終了時にかけて連続的に１合金を構成する２種
以上の金属のそれぞれの付着速度を変化させることを特
徴とする磁気ヘッドの製造方法並びに 酸化物磁性体製のヨーク上に金属磁性膜を付与し、該金
属磁性膜を有するヨークと一方の酸化物磁性体製ヨーク
とで非磁性膜を挟み込む磁気ヘッドの製造方法において
、前記金属磁性膜をヨーク上に作成する際にヨーク上に
前もって前記金属磁性膜を構成する材料とは異なる金属
膜を付与し、次に金属磁性膜を作成した後にヨークを加
熱することを特徴とする磁気ヘッドの製造方法である。
磁性体とを挟み込んだ磁気ヘッドにおいて、該金属磁性
体の磁気特性を、前記非磁性膜と接する部分より前記ヨ
ークに接する部分にかけて連続的に変化させたことを特
徴とする磁気ヘッド、及び 酸化物磁性体製のヨーク上に合金磁性膜を付与し、該合
金磁性膜を有するヨークと一方の酸化物磁性体製ヨーク
とで非磁性膜を挟み込む磁気ヘッドの製造方法において
、前記合金磁性膜をヨーク上に作成する際に作成、の開
始時より終了時にかけて連続的に１合金を構成する２種
以上の金属のそれぞれの付着速度を変化させることを特
徴とする磁気ヘッドの製造方法並びに 酸化物磁性体製のヨーク上に金属磁性膜を付与し、該金
属磁性膜を有するヨークと一方の酸化物磁性体製ヨーク
とで非磁性膜を挟み込む磁気ヘッドの製造方法において
、前記金属磁性膜をヨーク上に作成する際にヨーク上に
前もって前記金属磁性膜を構成する材料とは異なる金属
膜を付与し、次に金属磁性膜を作成した後にヨークを加
熱することを特徴とする磁気ヘッドの製造方法である。
以下、本発明の実施例を図により説明する。
第１図は本発明の一実施例を示す斜視図である。
ヨーク１はＮｉ−Ｚｎフェライト又はＭｎ−Ｚｎフェラ
イトなどの酸化物磁性体からなり、一方のヨーク１の書
込読出しのためのギャップ２に対向した面にはＮｉ−Ｆ
ｅ、 Ｃｏ−Ｚｒ、 Ｆｅ−ＡＱ−５Ｌなどの金属磁性
膜３が付与されている。金属磁性膜３はヨーク１上にス
パッタ又は蒸着により付着せしめ、その後、低融点ガラ
スによりギャップ２を形成しながらもう一方のヨーク１
と接合させる。
イトなどの酸化物磁性体からなり、一方のヨーク１の書
込読出しのためのギャップ２に対向した面にはＮｉ−Ｆ
ｅ、 Ｃｏ−Ｚｒ、 Ｆｅ−ＡＱ−５Ｌなどの金属磁性
膜３が付与されている。金属磁性膜３はヨーク１上にス
パッタ又は蒸着により付着せしめ、その後、低融点ガラ
スによりギャップ２を形成しながらもう一方のヨーク１
と接合させる。
上記構成において、金属磁性膜の磁気特性を膜厚方向に
変化させる。すなわちギャップ２と接合している部分で
は金属磁性膜３の材料本来の優れた磁気特性そのままに
しておきヨーク１と接合している部分においては本来の
磁気特性を劣化させヨーク１の材料の磁気特性と類似の
特性にする。
変化させる。すなわちギャップ２と接合している部分で
は金属磁性膜３の材料本来の優れた磁気特性そのままに
しておきヨーク１と接合している部分においては本来の
磁気特性を劣化させヨーク１の材料の磁気特性と類似の
特性にする。
ギャップ２側の本来の磁気特性からヨーク１側の劣化し
た磁気特性までは連続的に変化させる必要があるが、必
ずしも直線的に変えなければならないほど厳密ではなく
、要は不連続な変化点がなければ本発明の目的は達成さ
れる。
た磁気特性までは連続的に変化させる必要があるが、必
ずしも直線的に変えなければならないほど厳密ではなく
、要は不連続な変化点がなければ本発明の目的は達成さ
れる。
上述の本実施例の構成により、磁気特性はギャップに対
向した金属磁性膜本来の優れた特性からヨークを形成す
るフェライトの特性まで変わり目なく連続的に変化し、
結果として従来例で見られたエツジにおける擬似ギャッ
プのような現象は生ぜず擬似ピークの発生も防止できる
。
向した金属磁性膜本来の優れた特性からヨークを形成す
るフェライトの特性まで変わり目なく連続的に変化し、
結果として従来例で見られたエツジにおける擬似ギャッ
プのような現象は生ぜず擬似ピークの発生も防止できる
。
次に本実施例の製造方法について説明する。ヨ−り１．
金属磁性膜３．ギャップ２の製造手順は前述のとおりで
あり、このうちヨーク１上に金属磁性膜３を付着せしめ
る際に磁気特性を連続的に変化させる。
金属磁性膜３．ギャップ２の製造手順は前述のとおりで
あり、このうちヨーク１上に金属磁性膜３を付着せしめ
る際に磁気特性を連続的に変化させる。
第１の製造方法は金属磁性膜３が合金の場合。
その組成比を膜厚方向に変化させる。金属磁性膜３をＦ
ｅ−ＡＱ−ＳＬ合金で作る場合について以下具体的に示
す。第２図はＦｅ−Ａ１２−ＳＬ合金の組成比により透
磁率μ０の変化及び磁歪定数λＳの変化を示す三元組成
図である（ボゾルフ著、フエロマグネテイズムより引用
）６種々前えられる組成比のうち、磁気特性の最も優れ
ているのはＦｅ８５．０％、 ＡＱ５，４％、Ｓｉ９．
６％のいわゆるセンダストと呼ばれる組成である。
ｅ−ＡＱ−ＳＬ合金で作る場合について以下具体的に示
す。第２図はＦｅ−Ａ１２−ＳＬ合金の組成比により透
磁率μ０の変化及び磁歪定数λＳの変化を示す三元組成
図である（ボゾルフ著、フエロマグネテイズムより引用
）６種々前えられる組成比のうち、磁気特性の最も優れ
ているのはＦｅ８５．０％、 ＡＱ５，４％、Ｓｉ９．
６％のいわゆるセンダストと呼ばれる組成である。
本実施例の製造方法ではＦｅ、 ＡＱ、 ＳＬのそれぞ
れの溶融蒸着源をもつ蒸着装置内にヨーク１を配置し、
三種の金属の組成比を任意に制御しながらヨーク１上に
成膜していく。まず、成膜の最初はＦｅ９０％。
れの溶融蒸着源をもつ蒸着装置内にヨーク１を配置し、
三種の金属の組成比を任意に制御しながらヨーク１上に
成膜していく。まず、成膜の最初はＦｅ９０％。
ＡＱ３％、 ＳＬ７％の磁歪定数λ５は零であるが、透
磁率の低い組成より付着させる。次に成膜が進につれて
第２図の磁歪定数λｓ＝Ｏの組成比を満足させつつＡＱ
、 Ｓｉを徐々に増加させていわゆるセンダスト組成に
近づけていく。所定の膜厚が得られる成膜の最後の段階
では最高の透磁率を得る前記センダスト組成になってい
る。このように溶融蒸着源毎にその蒸着速度を成膜初期
より最終段階まで制御することにより膜厚方向の組成比
を変え、磁気特性を連続的に変化させることができる。
磁率の低い組成より付着させる。次に成膜が進につれて
第２図の磁歪定数λｓ＝Ｏの組成比を満足させつつＡＱ
、 Ｓｉを徐々に増加させていわゆるセンダスト組成に
近づけていく。所定の膜厚が得られる成膜の最後の段階
では最高の透磁率を得る前記センダスト組成になってい
る。このように溶融蒸着源毎にその蒸着速度を成膜初期
より最終段階まで制御することにより膜厚方向の組成比
を変え、磁気特性を連続的に変化させることができる。
第２の製造方法は磁気特性を劣化させる異種金属を金属
磁性膜中に拡散させる。第３図において、ヨーク１上に
Ｎｉ８２％−Ｆｅ１８％のいわゆるパーマロイと呼ばれ
る組成の金属磁性膜３を付与する際にヨーク１と金属磁
性膜３との間にＴｉ又はＣｒの異種金属を挟み込む。製
造手順としては前述と同様の蒸着装置を用いる場合ヨー
ク１上にまず１００人程度の薄いＴｉを付け、次にＮｉ
−Ｆｅを付与する。次にその蒸着装置の中が真空状態の
ままヨーク１を３００℃３０分間加熱する。この加熱に
よりＴｉはＮｉＦｅ膜内に拡散し、Ｔｉ膜としては残留
しない。拡散する深さは加熱温度と時間により異なるが
、前記条件では０．２μ程度である。Ｔｉが拡散したＮ
ｉ −Ｆｅ膜の部分は微細な結晶構造が変化し、結果と
して磁気特性が劣化する。磁気特性の内、抗磁力が増加
し。
磁性膜中に拡散させる。第３図において、ヨーク１上に
Ｎｉ８２％−Ｆｅ１８％のいわゆるパーマロイと呼ばれ
る組成の金属磁性膜３を付与する際にヨーク１と金属磁
性膜３との間にＴｉ又はＣｒの異種金属を挟み込む。製
造手順としては前述と同様の蒸着装置を用いる場合ヨー
ク１上にまず１００人程度の薄いＴｉを付け、次にＮｉ
−Ｆｅを付与する。次にその蒸着装置の中が真空状態の
ままヨーク１を３００℃３０分間加熱する。この加熱に
よりＴｉはＮｉＦｅ膜内に拡散し、Ｔｉ膜としては残留
しない。拡散する深さは加熱温度と時間により異なるが
、前記条件では０．２μ程度である。Ｔｉが拡散したＮ
ｉ −Ｆｅ膜の部分は微細な結晶構造が変化し、結果と
して磁気特性が劣化する。磁気特性の内、抗磁力が増加
し。
そのため透磁率が低下することは一般に知られている事
実である。又、ヨーク１の加熱を真空中で行うのはギャ
ップ２に対向する本来磁気特性として劣化してはならな
い部分、つまりこの製造段階ではＮｉＦｅ膜の表面を酸
化により変質させないようにするためである。真空中の
熱処理は一例であり、その他Ａｒなとの不活性ガス雰囲
気で実施してもよく１本発明の趣旨を損なうものではな
い。この熱拡散による方法では第１の製造方法はど膜厚
方向で直線的に磁気特性を変化させることはできないが
、金属磁性膜３のヨーク１近傍での磁気特性を劣化させ
、結果的に金属磁性膜からヨーク１へかけての磁気特性
の急激な変化を解消することができ、第１の製造方法に
よる磁気ヘッドと同等の効果を生ずる。
実である。又、ヨーク１の加熱を真空中で行うのはギャ
ップ２に対向する本来磁気特性として劣化してはならな
い部分、つまりこの製造段階ではＮｉＦｅ膜の表面を酸
化により変質させないようにするためである。真空中の
熱処理は一例であり、その他Ａｒなとの不活性ガス雰囲
気で実施してもよく１本発明の趣旨を損なうものではな
い。この熱拡散による方法では第１の製造方法はど膜厚
方向で直線的に磁気特性を変化させることはできないが
、金属磁性膜３のヨーク１近傍での磁気特性を劣化させ
、結果的に金属磁性膜からヨーク１へかけての磁気特性
の急激な変化を解消することができ、第１の製造方法に
よる磁気ヘッドと同等の効果を生ずる。
以上説明したように本発明は、ギャップに対向した金属
磁性膜の磁気特性をギャップ側よりヨーク側か劣るよう
に連続的に変化させることにより。
磁性膜の磁気特性をギャップ側よりヨーク側か劣るよう
に連続的に変化させることにより。
金属磁性膜とヨークとの境界で生じる再生時の擬似ピー
クを解消できる効果がある。
クを解消できる効果がある。
第１図は本発明の磁気ヘッドを示す斜視図、第２図は第
１図の金属磁性膜のＦｅ−ＡＱ−ＳＬ合金の組成比と磁
気特性を示す三元組成図、第３図は第２の製造方法によ
る磁気ヘッドを示す斜視図、第４図は従来の磁気ヘッド
を示す斜視図、第５図は従来の磁気ヘッドよりの出力電
圧波形を示す図である。
１図の金属磁性膜のＦｅ−ＡＱ−ＳＬ合金の組成比と磁
気特性を示す三元組成図、第３図は第２の製造方法によ
る磁気ヘッドを示す斜視図、第４図は従来の磁気ヘッド
を示す斜視図、第５図は従来の磁気ヘッドよりの出力電
圧波形を示す図である。
Claims (3)
- （１）酸化物磁性体製のヨークにより非磁性膜と金属磁
性体とを挟み込んだ磁気ヘッドにおいて、該金属磁性体
の磁気特性を、前記非磁性膜と接する部分より前記ヨー
クに接する部分にかけて連続的に変化させたことを特徴
とする磁気ヘッド。 - （２）酸化物磁性体製のヨーク上に合金磁性膜を付与し
、該合金磁性膜を有するヨークと一方の酸化物磁性体製
ヨークとで非磁性膜を挟み込む磁気ヘッドの製造方法に
おいて、前記合金磁性膜をヨーク上に作成する際に作成
の開始時より終了時にかけて連続的に、合金を構成する
２種以上の金属のそれぞれの付着速度を変化させること
を特徴とする磁気ヘッドの製造方法。 - （３）酸化物磁性体製のヨーク上に金属磁性膜を付与し
、該金属磁性膜を有するヨークと一方の酸化物磁性体製
ヨークとで非磁性膜を挟み込む磁気ヘッドの製造方法に
おいて、前記金属磁性膜をヨーク上に作成する際にヨー
ク上に前もって前記金属磁性膜を構成する材料とは異な
る金属膜を付与し、次に金属磁性膜を作成した後にヨー
クを加熱することを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62-156161A JPH011110A (ja) | 1987-06-23 | 磁気ヘッド及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62-156161A JPH011110A (ja) | 1987-06-23 | 磁気ヘッド及びその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS641110A JPS641110A (en) | 1989-01-05 |
| JPH011110A true JPH011110A (ja) | 1989-01-05 |
Family
ID=
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