JPH01109798A - 冷却液供給装置 - Google Patents
冷却液供給装置Info
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- JPH01109798A JPH01109798A JP62267124A JP26712487A JPH01109798A JP H01109798 A JPH01109798 A JP H01109798A JP 62267124 A JP62267124 A JP 62267124A JP 26712487 A JP26712487 A JP 26712487A JP H01109798 A JPH01109798 A JP H01109798A
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/34—Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K7/00—Constructional details common to different types of electric apparatus
- H05K7/20—Modifications to facilitate cooling, ventilating, or heating
- H05K7/20218—Modifications to facilitate cooling, ventilating, or heating using a liquid coolant without phase change in electronic enclosures
- H05K7/20272—Accessories for moving fluid, for expanding fluid, for connecting fluid conduits, for distributing fluid, for removing gas or for preventing leakage, e.g. pumps, tanks or manifolds
-
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- Devices That Are Associated With Refrigeration Equipment (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概要〕
電算機のプリント板に実装されるLSI等を冷却する冷
却モジュールを強制液冷する電算機用冷却装置t、特に
複数の冷却モジュールに対する冷却水の循環供給系の構
成に関し、 冷却モジュール数の規模に応じて可変数の冷却ループを
構成できる独立供給方式の利点を具備し、更に熱交換器
の効率的運用、液温、液量、液質等の監視保守を容易化
することを目的とし、冷却液供給装置に膨張タンクを代
表とするタンク機能を1箇所設け、たとえば該膨張タン
クからポンプ、熱交換器をパイプで接続した供給系を、
複数組分配して独立に設け、これらの複数組の供給系を
本体装置の複数の冷却モジュールに独立して接続し、冷
却モジュールからの帰還流は膨張タンクに合流して混合
するように接続するように構成する。
却モジュールを強制液冷する電算機用冷却装置t、特に
複数の冷却モジュールに対する冷却水の循環供給系の構
成に関し、 冷却モジュール数の規模に応じて可変数の冷却ループを
構成できる独立供給方式の利点を具備し、更に熱交換器
の効率的運用、液温、液量、液質等の監視保守を容易化
することを目的とし、冷却液供給装置に膨張タンクを代
表とするタンク機能を1箇所設け、たとえば該膨張タン
クからポンプ、熱交換器をパイプで接続した供給系を、
複数組分配して独立に設け、これらの複数組の供給系を
本体装置の複数の冷却モジュールに独立して接続し、冷
却モジュールからの帰還流は膨張タンクに合流して混合
するように接続するように構成する。
本発明は、電算機のプリント板に実装されるLSI等を
冷却する冷却モジュールをたとえば、水、フロオロカー
ボン等により強制液冷する冷却液供給装置で、特に、複
数の冷却モジュールに対する冷却液の循環供給系の改良
に関する。
冷却する冷却モジュールをたとえば、水、フロオロカー
ボン等により強制液冷する冷却液供給装置で、特に、複
数の冷却モジュールに対する冷却液の循環供給系の改良
に関する。
近年、集積度が高くなるにつれてLSI等の素子自体の
発熱量が増すと共にプリント板の実装密度が高くなる傾
向にある。このため、かかる素子等を効果的に冷却する
ことが重要視され、この冷却手段として冷却能力の大き
い冷却水等の液体冷媒を用いた強制冷却が提案されてい
る。
発熱量が増すと共にプリント板の実装密度が高くなる傾
向にある。このため、かかる素子等を効果的に冷却する
ことが重要視され、この冷却手段として冷却能力の大き
い冷却水等の液体冷媒を用いた強制冷却が提案されてい
る。
従来、上記冷却液供給装置の冷却水循環供給に関しては
、第4図(a)、(b)に示す方式がある。
、第4図(a)、(b)に示す方式がある。
(a)のものは分岐供給方式であり、冷却水供給装置l
は膨張タンク2、例えば2組の並列接続されるポンプ3
と逆止弁4、及び熱交換器5がバイブロにより直列接続
した単一の供給系7がら成る。そして、バイブロの供給
側と帰還側に複数のカップリング8a、8b、・・・と
9a、9b、・・・が分岐して接続されている。また、
本体装置IOは複数のLSI等の素子の冷却モジュール
11a、11b、・・・を有するが、例えば2個の冷却
モジュール11aと11bがパイプ12a112bによ
り同一のカップリング13a、14aに接続され、カッ
プリング8aと13a、9aと14aを外部ホース15
.16で接続して循環系を成している。これにより、冷
却水供給装置1では膨張タンク2に本体装置1oがら戻
ってくる冷却水をまとめて合流及び混合することで水温
を均一化し、更に熱交換器5で一律に冷却する。そして
、冷却された冷却水を本体装置10の複数の冷却モジュ
ール11a、11bに同時に供給して冷却作用するもの
である。
は膨張タンク2、例えば2組の並列接続されるポンプ3
と逆止弁4、及び熱交換器5がバイブロにより直列接続
した単一の供給系7がら成る。そして、バイブロの供給
側と帰還側に複数のカップリング8a、8b、・・・と
9a、9b、・・・が分岐して接続されている。また、
本体装置IOは複数のLSI等の素子の冷却モジュール
11a、11b、・・・を有するが、例えば2個の冷却
モジュール11aと11bがパイプ12a112bによ
り同一のカップリング13a、14aに接続され、カッ
プリング8aと13a、9aと14aを外部ホース15
.16で接続して循環系を成している。これにより、冷
却水供給装置1では膨張タンク2に本体装置1oがら戻
ってくる冷却水をまとめて合流及び混合することで水温
を均一化し、更に熱交換器5で一律に冷却する。そして
、冷却された冷却水を本体装置10の複数の冷却モジュ
ール11a、11bに同時に供給して冷却作用するもの
である。
(b)のものは独立供給方式であり、冷却水供給装置1
は1組の供給系7aを膨張タンク2、ポンプ3と逆止弁
4、熱交換器5、バイブロ、カップリング8.9により
成し、かがる複数組の供給系7a、7b、・・・を独立
して有する。また、本体装置lOでも1個の冷却モジュ
ール11にパイプ12とカップリング13.14を設け
、かがる複数組の供給系17a、17b、・・・を独立
して有し、各組毎に外部ホース15.16で接続される
。これにより、個々のモジュール11毎に全く独立して
冷却水を循環して冷却作用する。
は1組の供給系7aを膨張タンク2、ポンプ3と逆止弁
4、熱交換器5、バイブロ、カップリング8.9により
成し、かがる複数組の供給系7a、7b、・・・を独立
して有する。また、本体装置lOでも1個の冷却モジュ
ール11にパイプ12とカップリング13.14を設け
、かがる複数組の供給系17a、17b、・・・を独立
して有し、各組毎に外部ホース15.16で接続される
。これにより、個々のモジュール11毎に全く独立して
冷却水を循環して冷却作用する。
ところで、上記従来の(a)のものにあっては、冷却水
供給装置1が単一の供給系7で冷却水の圧力、流量特性
が1種類であるから、本体装置10におけるモジュール
構成規模が異なる場合にも最大構成規模の装置を準備す
る必要がある。また、本体装置10の複数のモジュール
11a、11bに同時に供給するので、環流する冷却液
が相互に干渉し合い、個々のモジュール毎に最適化し難
い。
供給装置1が単一の供給系7で冷却水の圧力、流量特性
が1種類であるから、本体装置10におけるモジュール
構成規模が異なる場合にも最大構成規模の装置を準備す
る必要がある。また、本体装置10の複数のモジュール
11a、11bに同時に供給するので、環流する冷却液
が相互に干渉し合い、個々のモジュール毎に最適化し難
い。
一方(b)のものにあっては、完全な独立供給方式であ
るから上記(a)の分岐供給方式の欠点を補い得るが、
完全な独立化のため以下のような不具合を有する。即ち
、熱交換器の負荷が各供給系7a、7b、・・・毎に全
く異なり、熱交換器の冷却機能を損なうと冷却水温が無
制限に上昇する恐れがある。また、各供給系7a、7b
、・・・毎に冷却水温が異なるので、この水温の監視、
制御は各供給系毎に行う必要がある。更に、冷却水の注
入、水量の監視、異物の除去、水質保守等の各供給系7
a、7b、・・・毎に行う必要があり、これらの装備が
煩雑化する。
るから上記(a)の分岐供給方式の欠点を補い得るが、
完全な独立化のため以下のような不具合を有する。即ち
、熱交換器の負荷が各供給系7a、7b、・・・毎に全
く異なり、熱交換器の冷却機能を損なうと冷却水温が無
制限に上昇する恐れがある。また、各供給系7a、7b
、・・・毎に冷却水温が異なるので、この水温の監視、
制御は各供給系毎に行う必要がある。更に、冷却水の注
入、水量の監視、異物の除去、水質保守等の各供給系7
a、7b、・・・毎に行う必要があり、これらの装備が
煩雑化する。
本発明は、このような点に鑑み、冷却モジュールの構成
規模に応じた冷却系の構成を容易とする独立供給方式の
利点を具備し、更に熱交換器の効率的運用、液温、液量
、液質等の監視、保守を容易化することが可能な冷却液
供給装置を提供することを目的とする。
規模に応じた冷却系の構成を容易とする独立供給方式の
利点を具備し、更に熱交換器の効率的運用、液温、液量
、液質等の監視、保守を容易化することが可能な冷却液
供給装置を提供することを目的とする。
上記目的を達成するため、本発明の冷却液供給装置は、
たとえば、冷却水供給装置に容量の大きい共用の膨張タ
ンクを1個設け、この膨張タンクの出口側からポンプ、
熱交換器、パイプ等を有する供給系を複数組分配して独
立に成す。
ンクを1個設け、この膨張タンクの出口側からポンプ、
熱交換器、パイプ等を有する供給系を複数組分配して独
立に成す。
また、本体装置では各冷却モジュール毎に供給系を複数
組独立して成し、このモジュール供給系に冷却水の供給
は独立して行うが、帰還は膨張タンクに合流するように
接続する。
組独立して成し、このモジュール供給系に冷却水の供給
は独立して行うが、帰還は膨張タンクに合流するように
接続する。
更に、膨張タンクの1ケ所で集中して異物除去、水温等
の監視等を行い、混合促進や水質浄化手段を付設するよ
うに構成されている。
の監視等を行い、混合促進や水質浄化手段を付設するよ
うに構成されている。
上記構成に基づき、冷却水供給装置から本体装置の各冷
却モジュールには独立供給方式で冷却水が供給され、そ
れぞれ適した圧力、流量特性で相互影響されることなく
冷却作用する。そして、冷却モジュールを冷却した後の
冷却水はすべて共用の膨張タンクに合流、混合して水温
、圧力が均一化され、この均一化した冷却水が冷却水供
給装置の各供給系に分配される。また、膨張タンクでは
各供給系の異物の除去、水質浄化、水温監視等が集中し
て行われる。
却モジュールには独立供給方式で冷却水が供給され、そ
れぞれ適した圧力、流量特性で相互影響されることなく
冷却作用する。そして、冷却モジュールを冷却した後の
冷却水はすべて共用の膨張タンクに合流、混合して水温
、圧力が均一化され、この均一化した冷却水が冷却水供
給装置の各供給系に分配される。また、膨張タンクでは
各供給系の異物の除去、水質浄化、水温監視等が集中し
て行われる。
こうして本発明では、冷却水の供給は独立供給方式を用
いてその利点を有し、冷却水の帰還は集中管理方式を用
いて監視、保守の集約化、容易化を計ることが可能とな
る。
いてその利点を有し、冷却水の帰還は集中管理方式を用
いて監視、保守の集約化、容易化を計ることが可能とな
る。
以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
第1図において、符号1は冷却水供給装置であり、容量
の大きい共用の膨張タンク2を1個有している。この膨
張タンク2は圧力開放機構付密閉型でリザーバタンクを
兼ねており、内部に所定のメツシュの金網によりごみを
捕集除去するストレーナ20、更に後述する混合促進、
水質浄化手段を有する。そこで1、かかる膨張タンク2
のストレーナ20下流側からポンプ3と逆止弁4、熱交
換器5、カップリング8がバイブロにより直列接続され
、ストレーナ20上流側にはカップリング9を有する帰
還バイブロ′が接続されて供給系7aを成す。そして、
同様の複数組の供給系7a、7b、・・・が分配独立し
て設けである。
の大きい共用の膨張タンク2を1個有している。この膨
張タンク2は圧力開放機構付密閉型でリザーバタンクを
兼ねており、内部に所定のメツシュの金網によりごみを
捕集除去するストレーナ20、更に後述する混合促進、
水質浄化手段を有する。そこで1、かかる膨張タンク2
のストレーナ20下流側からポンプ3と逆止弁4、熱交
換器5、カップリング8がバイブロにより直列接続され
、ストレーナ20上流側にはカップリング9を有する帰
還バイブロ′が接続されて供給系7aを成す。そして、
同様の複数組の供給系7a、7b、・・・が分配独立し
て設けである。
一方、本体装置lOでは1個の冷却モジュール11にカ
ップリング13.14を有するパイプ12を接続した複
数組の供給系17a、17b、・・・が独立して設けら
れる。そして、冷却水供給装置lと本体装置10の供給
系7aと17aが外部ホース15.16を各カップリン
グに連結して接続されることで循環系路を成すのであり
、他の組でも同様に接続される。
ップリング13.14を有するパイプ12を接続した複
数組の供給系17a、17b、・・・が独立して設けら
れる。そして、冷却水供給装置lと本体装置10の供給
系7aと17aが外部ホース15.16を各カップリン
グに連結して接続されることで循環系路を成すのであり
、他の組でも同様に接続される。
ここで、各組みのポンプ、熱交換器の容量等は冷却モジ
ュールの構成数、発熱量等の規模に応じて各別に設定さ
れ、それぞれ適した圧力、流量特性である。
ュールの構成数、発熱量等の規模に応じて各別に設定さ
れ、それぞれ適した圧力、流量特性である。
上記構成により、冷却水供給装置lではポンプ駆動によ
り複数組の供給系7a、7b、・・・に膨張タンク2か
ら冷却水が所定量分配され、且つ各組毎に熱交換器5で
各別に冷却される。そして、この冷えた冷却水が本体装
置10の複数組の供給系17a、17b1 ・・・の各
冷却モジュール11a、11b、 ・・・に独立して
供給されることで、その発熱量等に応じた圧力、流量特
性により相互不干渉でそれぞれ適切に冷却される。
り複数組の供給系7a、7b、・・・に膨張タンク2か
ら冷却水が所定量分配され、且つ各組毎に熱交換器5で
各別に冷却される。そして、この冷えた冷却水が本体装
置10の複数組の供給系17a、17b1 ・・・の各
冷却モジュール11a、11b、 ・・・に独立して
供給されることで、その発熱量等に応じた圧力、流量特
性により相互不干渉でそれぞれ適切に冷却される。
そして、各冷却モジュール11a、11b。
・・・で冷却した後に異なった水温になっている冷却水
はすべて冷却水供給装置1の共用の膨張タンク2に合流
し、温度差による自然対流、合流−分配に伴う対流等で
混合し、これにより圧力、水温が均一化する。従って、
一部の供給系の熱交換器の冷却機能が損なわれても、そ
の供給系の水温は無制限に上昇すること無くタンク内水
温以下にとどまる。また、膨張タンク2から分配される
冷却水の熱量が平均化し、各熱交換器5に対して熱負荷
が分散化して熱交換器5自体は効率的に働くことになる
。
はすべて冷却水供給装置1の共用の膨張タンク2に合流
し、温度差による自然対流、合流−分配に伴う対流等で
混合し、これにより圧力、水温が均一化する。従って、
一部の供給系の熱交換器の冷却機能が損なわれても、そ
の供給系の水温は無制限に上昇すること無くタンク内水
温以下にとどまる。また、膨張タンク2から分配される
冷却水の熱量が平均化し、各熱交換器5に対して熱負荷
が分散化して熱交換器5自体は効率的に働くことになる
。
更に、共用の膨張タンク2では各供給系の冷却水が集中
して注入、水量チエツクされ、ストレーナ20でゴミ、
異物が除去される。また、上述の帰還水温の監視、制御
が集約化して行われる。
して注入、水量チエツクされ、ストレーナ20でゴミ、
異物が除去される。また、上述の帰還水温の監視、制御
が集約化して行われる。
第2図(a)ないしくC)において、膨張タンク2にお
ける冷却水の混合促進手段の各実施例について述べる。
ける冷却水の混合促進手段の各実施例について述べる。
(a)の実施例はタンク2の流入側に筒状のヘッダ21
が取付けられて、各供給系7a、7b、・・・の戻すバ
イブ6a’、6b’、・・・が接続し、同様に流出側に
もヘッダ22が取付けられて、パイプ5a−6bs
・・・が接続する。そこで、この場合はヘッダ21.2
2とタンク2の容積変化で混合が良くなる。
が取付けられて、各供給系7a、7b、・・・の戻すバ
イブ6a’、6b’、・・・が接続し、同様に流出側に
もヘッダ22が取付けられて、パイプ5a−6bs
・・・が接続する。そこで、この場合はヘッダ21.2
2とタンク2の容積変化で混合が良くなる。
(b)の実施例はタンク2において各供給系7a、7b
、・・・の帰還バイブロa’、6b’、・・・と分配バ
イブロa、6b、・・・の接続位置を上下逆にしたもの
であり、これによりタンク2内部で合流、分配する冷却
水の糸路が交錯して混合が良くなる。
、・・・の帰還バイブロa’、6b’、・・・と分配バ
イブロa、6b、・・・の接続位置を上下逆にしたもの
であり、これによりタンク2内部で合流、分配する冷却
水の糸路が交錯して混合が良くなる。
(C)の実施例はタンク2の内部に混合促進制御板23
が取付けられ、この制御板23に所定の大きさの孔24
が明いている。そして、制御板23の上下においてバイ
ブロa、6b、 ・・・と6a’、6b’、・・・が
流路を交錯するように接続される。そこで、この場合は
タンク2の内部で冷却水の流れが制御板2・3等により
入り乱れて混合が良くなる。
が取付けられ、この制御板23に所定の大きさの孔24
が明いている。そして、制御板23の上下においてバイ
ブロa、6b、 ・・・と6a’、6b’、・・・が
流路を交錯するように接続される。そこで、この場合は
タンク2の内部で冷却水の流れが制御板2・3等により
入り乱れて混合が良くなる。
第3図(a)、(b)において、水質浄化手段の実施例
について述べる。
について述べる。
(a)の実施例は膨張タンク2にカップリング25.2
6を有し、パイプ27によりポンプ28、フィルタ29
、イオン交換器30等が常時又は保守時に直列接続され
る。そこで、ポンプ28を駆動すると、タンク2の冷却
水がフィルタ29、イオン交換器30を経て循環するこ
とで、すべての供給系の冷却水の水質が集中的に浄化さ
れる。
6を有し、パイプ27によりポンプ28、フィルタ29
、イオン交換器30等が常時又は保守時に直列接続され
る。そこで、ポンプ28を駆動すると、タンク2の冷却
水がフィルタ29、イオン交換器30を経て循環するこ
とで、すべての供給系の冷却水の水質が集中的に浄化さ
れる。
(b)の実施例は膨張タンク2と1つの供給系7aのバ
イブロのポンプ吐出側にカップリング25.26を有し
、上述のフィルタ29、イオン交換器30、流量制御弁
31を有するパイプ27が同様に接続される。この場合
は供給系7aのポンプ3により冷却水がフィルタ29側
に分流して同様に水質浄化され、専用ポンプが不要にな
る。尚、(a)、(b)のフィルタ29とイオン交換器
30はいずれか一方の場合もある。
イブロのポンプ吐出側にカップリング25.26を有し
、上述のフィルタ29、イオン交換器30、流量制御弁
31を有するパイプ27が同様に接続される。この場合
は供給系7aのポンプ3により冷却水がフィルタ29側
に分流して同様に水質浄化され、専用ポンプが不要にな
る。尚、(a)、(b)のフィルタ29とイオン交換器
30はいずれか一方の場合もある。
以上述べてきたように、本発明によれば、冷却水供給装
置による複数の冷却モジュールに対する冷却水の供給は
独立供給方式であるので、個々のモジュールの圧力、流
量特性を他系に対し独立、不干渉に定めて適切に冷却し
得る。また、各供給系の個別動作、活性保守が可能であ
り、モジュールの規模を変化しても他系に全く影響を与
えない等の利点がある。
置による複数の冷却モジュールに対する冷却水の供給は
独立供給方式であるので、個々のモジュールの圧力、流
量特性を他系に対し独立、不干渉に定めて適切に冷却し
得る。また、各供給系の個別動作、活性保守が可能であ
り、モジュールの規模を変化しても他系に全く影響を与
えない等の利点がある。
冷却後の帰還冷却水は1個の膨張タンクに合流、混合し
て集中管理する方式であるから、水温圧力が均一化した
後に分配されて熱交換器の効率的運用が可能となる。
て集中管理する方式であるから、水温圧力が均一化した
後に分配されて熱交換器の効率的運用が可能となる。
すべての供給系の水温監視、制御が1箇所に集約化して
簡素化し、ごみの除去、水量チエツク等も容易化する。
簡素化し、ごみの除去、水量チエツク等も容易化する。
帰還冷却水の熱量の平均化により、一部の供給系に異常
を生じても水温上昇が抑えられて、系全体の信顛性を向
上し得る。
を生じても水温上昇が抑えられて、系全体の信顛性を向
上し得る。
混合促進手段の付加により帰還冷却水の平均化効果が更
に増して好ましい。
に増して好ましい。
水質浄化手段は1個の膨張タンクの付近に設ければ良く
て構造が簡素化し、この手段により水質保守の効果が増
す。
て構造が簡素化し、この手段により水質保守の効果が増
す。
第1図は本発明の冷却液供給装置の実施例を示す配管図
、 第2図(a)ないしくC)は混合促進手段の実施例を示
す配管図、 第3図(a)、(b)は水質浄化手段の実施例を示す配
管図、 第4図(a)、(bは従来例を示す配管図である。 図において、 lは冷却水供給装置、 2は膨張タンク、 3はポンプ、 5は熱交換器、 6はパイプ、 7a、7b、・・・は供給系、 10は本体装置、 11a、11b、 ・・・は冷却モジュール、20は
ストレーナ、 21.22はヘッダ、 23は混合促進制御板、 27はパイプ、 28はポンプ、 29はフィルタ、 30はイオン交換器を示す。
、 第2図(a)ないしくC)は混合促進手段の実施例を示
す配管図、 第3図(a)、(b)は水質浄化手段の実施例を示す配
管図、 第4図(a)、(bは従来例を示す配管図である。 図において、 lは冷却水供給装置、 2は膨張タンク、 3はポンプ、 5は熱交換器、 6はパイプ、 7a、7b、・・・は供給系、 10は本体装置、 11a、11b、 ・・・は冷却モジュール、20は
ストレーナ、 21.22はヘッダ、 23は混合促進制御板、 27はパイプ、 28はポンプ、 29はフィルタ、 30はイオン交換器を示す。
Claims (10)
- (1)電子部品を冷却する冷却モジュールの冷却液を循
環冷却供給する冷却液供給装置において、少なくともタ
ンク(2)を1箇所に設け、該タンクにポンプ(3)、
熱交換器(5)を配管(6)で接続した供給系(7a、
7b、・・・)を、複数組分配して独立に設け、 これらの複数組の供給系を複数の冷却モジュール(11
a、11b、・・・)に独立して接続し、該冷却モジュ
ールからの帰還流が該タンクに合流して混合するように
接続する冷却液供給装置。 - (2)上記タンク(2)に、混合促進手段を付設する特
許請求の範囲第(1)項記載の冷却液供給装置。 - (3)上記タンクに液質浄化手段を付設する特許請求の
範囲第(1)項記載の冷却液供給装置。 - (4)該液質浄化手段を該タンク(2)内の冷却液を取
り出すポンプと、該ポンプからの冷却液中の異物を除去
するフィルタ(29)と該冷却液内の金属イオンを中和
するイオン交換器(30)により構成したことを特徴と
する特許請求の範囲第(3)項記載の冷却液供給装置。 - (5)該液質浄化手段におけるポンプとして、専用のポ
ンプを設けたことを特徴とする特許請求の範囲第(4)
項記載の冷却液供給装置。 - (6)該液質浄化手段におけるポンプは各冷却モジュー
ルへ冷却液を供給するためのポンプを流用したことを特
徴とする特許請求の範囲第(4)項記載の冷却液供給装
置。 - (7)該混合促進手段は、穴を設けた板(23)と該板
をはさんで設けられた供給系のパイプ(ba〜bn)と
帰還系のパイプ(ba′〜bn′)により構成したこと
を特徴とする特許請求の範囲第(2)項記載の冷却液供
給装置。 - (8)該混合促進手段は該タンクに対する位置関係をず
らした供給系の配管と帰還系の配管により構成したこと
を特徴とする特許請求の範囲第(2)項記載の冷却液供
給装置。 - (9)該混合促進手段は、一方の側面が該タンクと結合
され、他方の側面が供給系の配管に接続されたヘッダに
より構成したことを特徴とする特許請求の範囲第(2)
項記載の冷却液供給装置。 - (10)該混合促進手段は一方の側面が該タンクと結合
され、他方の側面が帰還系の配管に接続されたヘッダに
より構成したことを特徴とする特許請求の範囲第(2)
項記載の冷却液供給装置。
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