JPH01107338A - 光デイスク用スタンパの作製方法 - Google Patents
光デイスク用スタンパの作製方法Info
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- JPH01107338A JPH01107338A JP26377887A JP26377887A JPH01107338A JP H01107338 A JPH01107338 A JP H01107338A JP 26377887 A JP26377887 A JP 26377887A JP 26377887 A JP26377887 A JP 26377887A JP H01107338 A JPH01107338 A JP H01107338A
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Landscapes
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は光ディスク用スタンパ作製方法に係り、原盤の
作製方法の簡便化と原盤の長寿命化を図り。
作製方法の簡便化と原盤の長寿命化を図り。
しかも均一な記録パターンを持ち平担性の良い不透明ス
タンパを作製する上で好適な光ディスク用スタンパの作
製方法に関する。
タンパを作製する上で好適な光ディスク用スタンパの作
製方法に関する。
従来のプロセスにおいては、第３図のように。
原盤基板５に感光性樹脂４を塗布し、光学的手段で表面
に凹凸パターンを形成して原盤８とする。
に凹凸パターンを形成して原盤８とする。
その後、剥離層としてＮｉ７を蒸着した後、紫外線硬化
樹脂２を塗布し、スタンパ用基板として透光性部材１−
１を重ね合わせ、紫外線６を透光性部材１−１側から照
射して紫外線硬化樹脂２を硬化させ、紫外線硬化樹脂２
とＮｉ７の境界面から剥離を行なうことによりスタンパ
作製を行なっていた。このような例としては、例えば特
願昭５９−２３３１６９号が挙げられる。
樹脂２を塗布し、スタンパ用基板として透光性部材１−
１を重ね合わせ、紫外線６を透光性部材１−１側から照
射して紫外線硬化樹脂２を硬化させ、紫外線硬化樹脂２
とＮｉ７の境界面から剥離を行なうことによりスタンパ
作製を行なっていた。このような例としては、例えば特
願昭５９−２３３１６９号が挙げられる。
上記従来技術は、Ｎｉ蒸着において膜形成が殖しいとい
う作製面での問題点と、スタンパ作製の剥離の際原盤に
かかるストレスが大きいために数回のスタンパ作製を行
なうと原盤のＮｉが剥がれるという寿命面での問題点に
ついては配慮されていなかった。
う作製面での問題点と、スタンパ作製の剥離の際原盤に
かかるストレスが大きいために数回のスタンパ作製を行
なうと原盤のＮｉが剥がれるという寿命面での問題点に
ついては配慮されていなかった。
また、紫外線硬化樹脂を硬化させるには、透光性な材料
（プラスティック等）のスタンパ基板の側から紫外線を
照射しなければならず、スタンパの材料は透光性部材に
限られてしまうという問題点もあった。
（プラスティック等）のスタンパ基板の側から紫外線を
照射しなければならず、スタンパの材料は透光性部材に
限られてしまうという問題点もあった。
本発明の目的は、上記の欠点に対処するため、従来の原
盤へのＮｉ蒸着法よりも簡単な方法により別の剥離性の
良い透光性な膜を剥離層として原盤上に形成することに
ある。
盤へのＮｉ蒸着法よりも簡単な方法により別の剥離性の
良い透光性な膜を剥離層として原盤上に形成することに
ある。
上記目的は、凹凸パターン付き原盤の上に有機物質を付
着させることにより達成される。
着させることにより達成される。
より具体的には、テフロン等の弗素樹脂をスパッタ等の
手法で形成するか、弗素あるいはシリコンを含む有機物
の溶液を回転塗布することにより達成される。
手法で形成するか、弗素あるいはシリコンを含む有機物
の溶液を回転塗布することにより達成される。
パターン付き原盤の感光性樹脂の上に剥離性の良いテフ
ロン、または弗素あるいはシリコンを含む溶液等の有機
物質を付着したことにより、原盤の上に簡単に剥離層が
形成できるようになった。
ロン、または弗素あるいはシリコンを含む溶液等の有機
物質を付着したことにより、原盤の上に簡単に剥離層が
形成できるようになった。
また、紫外線硬化樹脂に対する接着力が低くなることか
ら、原盤からのスタンパ剥離は容易となる。
ら、原盤からのスタンパ剥離は容易となる。
これによって、原盤にかかるストレスは減少し、数１０
枚のスタンパ作製が行なえ、原盤の長寿命化も図ること
ができる。
枚のスタンパ作製が行なえ、原盤の長寿命化も図ること
ができる。
〔実施例１〕
以下、本発明の実施例を第１図により説明する。
原盤基板５上の感光性樹脂４に光学的に情報を記録させ
である原盤８に、テフロン３を真空スパッタ（あるいは
蒸着、プラズマ重合法等）の方法により付着させる。こ
の時、膜形成の直前には感光性樹脂４をスパッタエツチ
ングし、その表面をクリーンな状態にしておくのが良い
、これに紫外線硬化樹脂２を塗布した後、スタンパ用基
板として透光性部材１−１を先の樹脂２に重ね合わせ平
担にし、紫外線６を透光性部材１−１の側から照射する
。また紫外線６は原盤側から照射してもよく、両側から
照射することもできる。両側から照射すると硬化した紫
外線硬化樹脂が均一で平たん性の良いものとすることが
できる。その後、紫外線硬化樹脂２とテフロン３の境界
層で剥離をすると、原盤にストレスがかかることもなく
、実に容易にスタンパ剥離が行なえる。この実施例で重
要なのは、接着性であるが、これはスパッタ条件をＡｒ
ガス圧の雰囲気において、放電パワーを１０〜５０Ｗで
２〜５分行えば充分である。
である原盤８に、テフロン３を真空スパッタ（あるいは
蒸着、プラズマ重合法等）の方法により付着させる。こ
の時、膜形成の直前には感光性樹脂４をスパッタエツチ
ングし、その表面をクリーンな状態にしておくのが良い
、これに紫外線硬化樹脂２を塗布した後、スタンパ用基
板として透光性部材１−１を先の樹脂２に重ね合わせ平
担にし、紫外線６を透光性部材１−１の側から照射する
。また紫外線６は原盤側から照射してもよく、両側から
照射することもできる。両側から照射すると硬化した紫
外線硬化樹脂が均一で平たん性の良いものとすることが
できる。その後、紫外線硬化樹脂２とテフロン３の境界
層で剥離をすると、原盤にストレスがかかることもなく
、実に容易にスタンパ剥離が行なえる。この実施例で重
要なのは、接着性であるが、これはスパッタ条件をＡｒ
ガス圧の雰囲気において、放電パワーを１０〜５０Ｗで
２〜５分行えば充分である。
上記のスタンパ作製は、少なくとも２回以上繰り返して
も、前述した効果と同じである。
も、前述した効果と同じである。
また、本説明においてテフロンの他に、弗素、またはシ
リコンを含む有機物の溶液を回転塗布することによって
も、先と同じ効果を得ることができる。
リコンを含む有機物の溶液を回転塗布することによって
も、先と同じ効果を得ることができる。
〔実施例２〕
次に、本発明の第２の実施例を第２図により説明する。
図のように、スタンパ用基板として前項で述べた透光性
部材１−１の変わりに、ＡｒｔＷＡの不透光性部材１−
２を使用し、実施例１で説明した方法によりスタンパ作
製を行なう、この場合、紫外線は原盤側から照射する。
部材１−１の変わりに、ＡｒｔＷＡの不透光性部材１−
２を使用し、実施例１で説明した方法によりスタンパ作
製を行なう、この場合、紫外線は原盤側から照射する。
また、上記のスタンパ用基板としては、ＡＱの他、Ｎｉ
、Ｆｅ等侍於号利用もできる。
、Ｆｅ等侍於号利用もできる。
本発明によれば、光ディスク用スタンパ作製方法におい
て、有機物質から成る離型剤を感光性樹脂に付着するこ
とができるので、簡単に剥ａ層を原盤の上に形成できる
ようになった。また、Ｈ盤の長寿命化は、スタンパ作製
時に剥離が容易にできたことにより原盤にかかるストレ
スが減少されることにより達成できた。
て、有機物質から成る離型剤を感光性樹脂に付着するこ
とができるので、簡単に剥ａ層を原盤の上に形成できる
ようになった。また、Ｈ盤の長寿命化は、スタンパ作製
時に剥離が容易にできたことにより原盤にかかるストレ
スが減少されることにより達成できた。
これによって、従来は１枚の原盤からのスタンパの作製
枚数は２，３枚程度に留まっていたが、１０枚以上の作
製が可能になった。
枚数は２，３枚程度に留まっていたが、１０枚以上の作
製が可能になった。
さらに、原盤の側からの紫外線照射ができるようになっ
たため、不透明基板を用いた２Ｐ法によるスタンパ作製
が可能となった。
たため、不透明基板を用いた２Ｐ法によるスタンパ作製
が可能となった。
第１図は本発明の光ディスクスタンパの作製方法の第１
の実施例を示す断面図、第２図は第２の実施例を示す断
面図、第３図は従来の光ディスクスタンパの作製方法を
示す断面図である。 １−１・・・透光性部材、１−２・・・不透光性部材、
２・・・紫外線効果樹脂、３・・・テフロン、４・・・
光感光性樹脂、５・・・原盤基板、６・・・紫外線、７
・・・Ｎｉ、８第 １ り 第２す ↑ ↑ ｋｌ１ 第 ３ 口
の実施例を示す断面図、第２図は第２の実施例を示す断
面図、第３図は従来の光ディスクスタンパの作製方法を
示す断面図である。 １−１・・・透光性部材、１−２・・・不透光性部材、
２・・・紫外線効果樹脂、３・・・テフロン、４・・・
光感光性樹脂、５・・・原盤基板、６・・・紫外線、７
・・・Ｎｉ、８第 １ り 第２す ↑ ↑ ｋｌ１ 第 ３ 口
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、原盤基板上に光学的手段により情報を記録させた感
光性樹脂膜を形成して成る原盤上に有機物質から成る離
型剤を付着させる工程と、前記離型剤を付着させた原盤
上に紫外線硬化樹脂を塗布する工程と、スタンパ用部材
を前記紫外線硬化樹脂に重ね、紫外線を照射して前記紫
外線硬化樹脂を硬化させる工程と、前記スタンパ用部材
と前記紫外線硬化樹脂を前記原盤から剥離する工程とを
含むことを特徴とする光ディスク用スタンパの作製方法
。 ２、特許請求の範囲第１項記載の光ディスク用スタンパ
の作製方法において、前記スタンパ用部材として透光性
の材料から成る基板を使用したことを特徴とする光ディ
スク用スタンパの作製方法。 ３、特許請求の範囲第１項記載の光ディスク用スタンパ
の作製方法において、前記スタンパ用部材として不透光
性の材料から成る基板を使用したことを特徴とする光デ
ィスク用スタンパの作製方法。 ４、特許請求の範囲第１項、第２項または第３項記載の
光ディスク用スタンパの作製方法において、離型剤とし
て弗素樹脂、または弗素あるいはシリコンを含んだ有機
物の溶液を使用したことを特徴とする光ディスク用スタ
ンパの作製方法。 ５、特許請求の範囲第４項記載の光ディスク用スタンパ
の作製方法において、前記離型剤として使用する固体材
料についてはスパッタ、蒸着、プラズマ重合法により真
空槽の中で気相から堆積させる手段を用い、一方、溶液
等の液体材料については回転塗布する手段を用いて該原
盤に薄膜を形成させることを特徴とする光ディスク用ス
タンパの作製方法。 ６、特許請求の範囲第５項記載の光ディスク用スタンパ
の作製方法において、離型剤として使用するテフロン等
の弗素樹脂をスパッタ方法で弗素樹脂等を沈着させる際
、膜形成の直前に該原盤にスパッタエッチングを施すこ
とを特徴とする光ディスク用スタンパの作製方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26377887A JPH01107338A (ja) | 1987-10-21 | 1987-10-21 | 光デイスク用スタンパの作製方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26377887A JPH01107338A (ja) | 1987-10-21 | 1987-10-21 | 光デイスク用スタンパの作製方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01107338A true JPH01107338A (ja) | 1989-04-25 |
Family
ID=17394147
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26377887A Pending JPH01107338A (ja) | 1987-10-21 | 1987-10-21 | 光デイスク用スタンパの作製方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01107338A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003023775A1 (fr) * | 2001-09-05 | 2003-03-20 | Sony Corporation | Procede de fabrication d'un disque original destine a la fabrication d'un support d'enregistrement et procede de fabrication d'une matrice |
| US6562553B2 (en) * | 1998-11-24 | 2003-05-13 | Motorola, Inc. | Lithographic printing method using a low surface energy layer |
| EP1774522A2 (en) * | 2004-07-07 | 2007-04-18 | Eugen Levich | Multilayer optical disc and method and apparatus for making same |
-
1987
- 1987-10-21 JP JP26377887A patent/JPH01107338A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6562553B2 (en) * | 1998-11-24 | 2003-05-13 | Motorola, Inc. | Lithographic printing method using a low surface energy layer |
| WO2003023775A1 (fr) * | 2001-09-05 | 2003-03-20 | Sony Corporation | Procede de fabrication d'un disque original destine a la fabrication d'un support d'enregistrement et procede de fabrication d'une matrice |
| EP1774522A2 (en) * | 2004-07-07 | 2007-04-18 | Eugen Levich | Multilayer optical disc and method and apparatus for making same |
| EP1774522A4 (en) * | 2004-07-07 | 2008-12-24 | Hd2 Ltd | MULTIPACK PACKAGING OF COVERS WITH MEDICAL APPLICATION PRODUCTS |
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