JPH01105330A - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
磁気記録媒体の製造方法Info
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- JPH01105330A JPH01105330A JP26213387A JP26213387A JPH01105330A JP H01105330 A JPH01105330 A JP H01105330A JP 26213387 A JP26213387 A JP 26213387A JP 26213387 A JP26213387 A JP 26213387A JP H01105330 A JPH01105330 A JP H01105330A
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- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 title claims abstract description 22
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 8
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims abstract description 16
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims abstract description 14
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 claims abstract description 13
- 229920006254 polymer film Polymers 0.000 claims abstract description 13
- 230000005294 ferromagnetic effect Effects 0.000 claims abstract description 7
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 5
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 5
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 11
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 abstract description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 5
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 2
- 229910052593 corundum Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 239000007769 metal material Substances 0.000 abstract description 2
- 229910001845 yogo sapphire Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 abstract 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 5
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 4
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000010408 film Substances 0.000 description 3
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 3
- -1 Co-0r Inorganic materials 0.000 description 2
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- 229910020674 Co—B Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910020676 Co—N Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005566 electron beam evaporation Methods 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 1
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
- Thin Magnetic Films (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は高密度磁気記録に適する強磁性金属薄膜を磁気
記録層とする磁気記録媒体の製造方法に関するものであ
る。
記録層とする磁気記録媒体の製造方法に関するものであ
る。
従来の技術
近年、磁気記録の高密度化技術の進歩には目覚しいもの
があり、磁気記録媒体にとっても、蒸着テープ等のよう
な強磁性金属薄膜を磁気記録層と２ヘ−ノ する媒体への転換が望まれている〔アイイーイーイート
ランザクションズオンマグネティクス（ＩＥＥＩＥ
Ｔｒａｎｓａｃｔｉｏｎｓ ｏｎ Ｍａｇｎｅｔｉｃｓ
）ｖｏｌ、 ＭＡＧ−２１、Ａ３ 、 Ｐ、Ｐ、 １
２１７〜１２２０（１９８５） ）。
があり、磁気記録媒体にとっても、蒸着テープ等のよう
な強磁性金属薄膜を磁気記録層と２ヘ−ノ する媒体への転換が望まれている〔アイイーイーイート
ランザクションズオンマグネティクス（ＩＥＥＩＥ
Ｔｒａｎｓａｃｔｉｏｎｓ ｏｎ Ｍａｇｎｅｔｉｃｓ
）ｖｏｌ、 ＭＡＧ−２１、Ａ３ 、 Ｐ、Ｐ、 １
２１７〜１２２０（１９８５） ）。
蒸着テープは、円筒キャン等の回転支持体に沿わせた高
分子フィルム等の基板を巻き取りながら、酸化性の雰囲
気内で、連続的に入射角の変化する斜め蒸着を、電子ビ
ーム蒸着により行うことで得るのが一般的である〔特開
昭５３−４２０１０号公報、特公昭６７−１９４９３号
公報、電子通信学会磁気記録研究会資料ＭＲ８１−２（
１９８１）等〕。斜め蒸着は効率の面で課題があり、広
い入射角範囲で成膜しても所望の特性を得られるように
酸素中蒸着の応用や、蒸気分布をシャープにするために
電子ビームの集束を改善する等の検討が進められている
。
分子フィルム等の基板を巻き取りながら、酸化性の雰囲
気内で、連続的に入射角の変化する斜め蒸着を、電子ビ
ーム蒸着により行うことで得るのが一般的である〔特開
昭５３−４２０１０号公報、特公昭６７−１９４９３号
公報、電子通信学会磁気記録研究会資料ＭＲ８１−２（
１９８１）等〕。斜め蒸着は効率の面で課題があり、広
い入射角範囲で成膜しても所望の特性を得られるように
酸素中蒸着の応用や、蒸気分布をシャープにするために
電子ビームの集束を改善する等の検討が進められている
。
発明が解決しようとする問題点
しかしながら電子ビームの高集束化と走査方法の改善で
は、より短波長化する磁気記録の要求性３・・− 能を均一に満足せしめる磁気テープを製造でき橙いこと
から、改善が望まれていた。
は、より短波長化する磁気記録の要求性３・・− 能を均一に満足せしめる磁気テープを製造でき橙いこと
から、改善が望まれていた。
本発明は上記した事情に鑑みなされたもので、高速蒸着
と性能の均一化の両者を共に改善した磁気記録媒体の製
造方法を提供することを目的とするものである。
と性能の均一化の両者を共に改善した磁気記録媒体の製
造方法を提供することを目的とするものである。
問題点を解決するだめの手段
上記問題点を解決するために本発明の磁気記録媒体の製
造方法は、回転支持体に沿って高分子フィルムを移動さ
せ、前記高分子フィルムの移動方向と直交する方向に横
長の蒸発源より強磁性金属を蒸発させて得た蒸気流によ
り前記高分子フィルム上に磁気記録層を形成する際、前
記移動方向に長軸をもつ楕円状の電子ビームにより加熱
走査するようにしたものである。
造方法は、回転支持体に沿って高分子フィルムを移動さ
せ、前記高分子フィルムの移動方向と直交する方向に横
長の蒸発源より強磁性金属を蒸発させて得た蒸気流によ
り前記高分子フィルム上に磁気記録層を形成する際、前
記移動方向に長軸をもつ楕円状の電子ビームにより加熱
走査するようにしたものである。
作用
上記製造方法により、高分子フィルムの移動方向に長軸
をもつ楕円状の電子ビームによる走査により、蒸発面積
を拡大する従来法にみられる蒸発面積のゆらぎが小さく
なり、斜め蒸着の入射角が一定化するので、微視的にも
均一な磁気特性が得られ、電子ビームの投入パワーも小
さなスポット径を走査する従来法よりも突沸限界が大き
くできるので高速蒸着が行えるようになるのである。
をもつ楕円状の電子ビームによる走査により、蒸発面積
を拡大する従来法にみられる蒸発面積のゆらぎが小さく
なり、斜め蒸着の入射角が一定化するので、微視的にも
均一な磁気特性が得られ、電子ビームの投入パワーも小
さなスポット径を走査する従来法よりも突沸限界が大き
くできるので高速蒸着が行えるようになるのである。
実施例
以下、図面を参照しながら本発明の実施例の磁気記録媒
体の製造方法について説明する。第１図は本発明を実施
するのに用いた蒸着装置の要部構成図である。第１図で
、１は高分子フィルムからなる基板、２は巻出し軸、３
は巻取軸、４は円筒キャン等の回転支持体、５は耐火物
容器で基板の移動方向と直交する方向に横長の形状をし
たＭｇＯ。
体の製造方法について説明する。第１図は本発明を実施
するのに用いた蒸着装置の要部構成図である。第１図で
、１は高分子フィルムからなる基板、２は巻出し軸、３
は巻取軸、４は円筒キャン等の回転支持体、５は耐火物
容器で基板の移動方向と直交する方向に横長の形状をし
たＭｇＯ。
Ａｌ２Ｏ３，ｚｒ０２等からなる容器、６はＣｏ 、
Ｇｏ−Ｎｉ。
Ｇｏ−Ｎｉ。
Ｇｏ −Ａｇ 、 Ｃｏ−０ｒ 、 Ｃｏ−Ｂ等の強磁
性金属材料、７は電子ビーム発生器、８は電子ビーム、
９は最小入射角を決めるだめのマスク、１ｏは真空槽、
１１は真空排気系である。
性金属材料、７は電子ビーム発生器、８は電子ビーム、
９は最小入射角を決めるだめのマスク、１ｏは真空槽、
１１は真空排気系である。
第２図は、電子ビームの集束と走査の説明図で、第２図
（Ａ）は本発明の場合を模式的に示しているもので、Ｙ
軸方向（この方向が高分子フィルム等の ｌ−Ｌ 基板の移動方向である）に長軸を有する楕円状のスポッ
トを有する電子ビームスポット１２が蒸着材料面１３上
をｘｘ’方向に走査するようにしたものである。１４は
ビームスポットの軌跡を示したものである。なお第２図
（Ｂ）は従来用いられてる走査方法を示す図で、円形の
小スポット１６を、蒸着材料面１６上をｘｘ’とＹＹ’
とに移動し、蒸発面積を大きくとっていくやり方であっ
た。１７は走査の軌跡である。
（Ａ）は本発明の場合を模式的に示しているもので、Ｙ
軸方向（この方向が高分子フィルム等の ｌ−Ｌ 基板の移動方向である）に長軸を有する楕円状のスポッ
トを有する電子ビームスポット１２が蒸着材料面１３上
をｘｘ’方向に走査するようにしたものである。１４は
ビームスポットの軌跡を示したものである。なお第２図
（Ｂ）は従来用いられてる走査方法を示す図で、円形の
小スポット１６を、蒸着材料面１６上をｘｘ’とＹＹ’
とに移動し、蒸発面積を大きくとっていくやり方であっ
た。１７は走査の軌跡である。
尚、走査の方法は、基板の幅方向に於ける均一性を確保
するために、ｘｘ′上を運動する速度が走査位置により
異なるようにする従来用いられている公知技術は本実施
例に於ても適用されるものである。
するために、ｘｘ′上を運動する速度が走査位置により
異なるようにする従来用いられている公知技術は本実施
例に於ても適用されるものである。
以下、更に具体的に実施例を比較例との対比で説明する
。実施例と比較例の方法により製造した磁気記録媒体の
特性比較を行った。
。実施例と比較例の方法により製造した磁気記録媒体の
特性比較を行った。
直径１ｍの円筒キャンの直下４０［にＹＹ’の幅１０ｃ
ｍ、ＸＸ’の幅９０ ｆｆｉ （７） ＭｇＯるつぼを
配し、３０ＫＶ の電子ビームを楕円状に集束した実施
例６ヘージ と、電子ビームを円形に集束した従来例とで、Ｃｏ−Ｎ
１（ｃＯ；８０ｗｔ％）を８Ｘ１０−５（ｔｏｒｒ）ノ
酸素中で最小入射角４６度で０．１２μｍ蒸着した。実
施例は、長軸２４■、短軸１１謳の楕円状のスポットを
、正の走査幅７７α、１ｏ６（ＫＷ）で投入し、比較例
はほぼ円形で直径１２ｗｎの電子ビームを８９（ＫＷ）
投入し、ｘｘ’に７７［、ＹＹ’に１０ｍ走査の中心を
移動する（ ｘｘ’の走査方向を変える時にずらすよう
にした）走査方法を採用した。
ｍ、ＸＸ’の幅９０ ｆｆｉ （７） ＭｇＯるつぼを
配し、３０ＫＶ の電子ビームを楕円状に集束した実施
例６ヘージ と、電子ビームを円形に集束した従来例とで、Ｃｏ−Ｎ
１（ｃＯ；８０ｗｔ％）を８Ｘ１０−５（ｔｏｒｒ）ノ
酸素中で最小入射角４６度で０．１２μｍ蒸着した。実
施例は、長軸２４■、短軸１１謳の楕円状のスポットを
、正の走査幅７７α、１ｏ６（ＫＷ）で投入し、比較例
はほぼ円形で直径１２ｗｎの電子ビームを８９（ＫＷ）
投入し、ｘｘ’に７７［、ＹＹ’に１０ｍ走査の中心を
移動する（ ｘｘ’の走査方向を変える時にずらすよう
にした）走査方法を採用した。
幅４ｏ（７）、長手３０ｏｏｍの任意の６０点の磁気特
性を測定したところ、保磁力の平均値（Ｘ）と偏移（Ｒ
）は、実施例では、ｘ＝１１ｏｏ（Ｏｅ）Ｒ＝ ４ｏ
（Ｏｅ）比較例ではＸ＝１０７０（Ｏｅ）Ｒ＝ ８５
（Ｏｅ） ｆ、ポリエチレンテレフタレートフィルム（
厚み１０μｍ）の巻取り速度は実施例が５４ （ｍ／ｍ
ｉｎ ）、比較例が４１ （ｍ／ｗｉｎ ）で、実施例
が優れている。
性を測定したところ、保磁力の平均値（Ｘ）と偏移（Ｒ
）は、実施例では、ｘ＝１１ｏｏ（Ｏｅ）Ｒ＝ ４ｏ
（Ｏｅ）比較例ではＸ＝１０７０（Ｏｅ）Ｒ＝ ８５
（Ｏｅ） ｆ、ポリエチレンテレフタレートフィルム（
厚み１０μｍ）の巻取り速度は実施例が５４ （ｍ／ｍ
ｉｎ ）、比較例が４１ （ｍ／ｗｉｎ ）で、実施例
が優れている。
尚上記した実施例は、斜め蒸着についてのべたが、Ｇｏ
−Ｃｒ 、 Ｃｏ−１Ｏｒ−Ｎｂ等の垂直磁化膜の場合
でも配向性の改善と蒸着速度の改善が図れることを確認
している。
−Ｃｒ 、 Ｃｏ−１Ｏｒ−Ｎｂ等の垂直磁化膜の場合
でも配向性の改善と蒸着速度の改善が図れることを確認
している。
Claims (1)
- 回転支持体に沿って高分子フィルムを移動させ、前記高
分子フィルムの移動方向と直交する方向に径大の蒸発源
より強磁性金属を蒸発させて得た蒸気流により前記高分
子フィルム上に磁気記録層を形成する際、前記移動方向
に長軸をもつ楕円状の電子ビームにより加熱走査するこ
とを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62262133A JP2548232B2 (ja) | 1987-10-16 | 1987-10-16 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62262133A JP2548232B2 (ja) | 1987-10-16 | 1987-10-16 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01105330A true JPH01105330A (ja) | 1989-04-21 |
| JP2548232B2 JP2548232B2 (ja) | 1996-10-30 |
Family
ID=17371513
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62262133A Expired - Lifetime JP2548232B2 (ja) | 1987-10-16 | 1987-10-16 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2548232B2 (ja) |
-
1987
- 1987-10-16 JP JP62262133A patent/JP2548232B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2548232B2 (ja) | 1996-10-30 |
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Legal Events
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