JPS6378337A - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
磁気記録媒体の製造方法Info
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- JPS6378337A JPS6378337A JP22311186A JP22311186A JPS6378337A JP S6378337 A JPS6378337 A JP S6378337A JP 22311186 A JP22311186 A JP 22311186A JP 22311186 A JP22311186 A JP 22311186A JP S6378337 A JPS6378337 A JP S6378337A
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Landscapes
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、高密度磁気記録に適する垂直磁化膜を磁気記
録層とする磁気記録媒体の製造方法に関するものである
。
録層とする磁気記録媒体の製造方法に関するものである
。
従来の技術
近年、記録媒体の膜面に対して垂直な方向に磁化容易軸
を有する磁気記録媒体を用いる垂直磁化２碌方式が提案
されている〔外国論文誌：アイイーイーイー トランザ
クションズ オン マクネ＋イクス（ＩＥＥＥ ＴＲ
ＡＮＳＡＣＴＩＯＮＳ ＯＮＭＡＧＮＥＴＩＣ３）Ｖ
ｏｌ、ＭＡＧ−１３，ＮＯ５゜Ｐ、Ｐ、１２７２〜１２
７７（１９了７）〕。この垂直磁化記録方式では、記録
密度が高まる程記録媒体中の反磁界が減少するため、優
れた短波長出力が得られるため、高分子フィルム等の基
板上に膜面に対して垂直方向に磁化容易軸をもつ、いわ
ゆる垂直磁化膜を形成して得られる媒体を用いて、各方
面で実用化に向けて検討が進められている。
を有する磁気記録媒体を用いる垂直磁化２碌方式が提案
されている〔外国論文誌：アイイーイーイー トランザ
クションズ オン マクネ＋イクス（ＩＥＥＥ ＴＲ
ＡＮＳＡＣＴＩＯＮＳ ＯＮＭＡＧＮＥＴＩＣ３）Ｖ
ｏｌ、ＭＡＧ−１３，ＮＯ５゜Ｐ、Ｐ、１２７２〜１２
７７（１９了７）〕。この垂直磁化記録方式では、記録
密度が高まる程記録媒体中の反磁界が減少するため、優
れた短波長出力が得られるため、高分子フィルム等の基
板上に膜面に対して垂直方向に磁化容易軸をもつ、いわ
ゆる垂直磁化膜を形成して得られる媒体を用いて、各方
面で実用化に向けて検討が進められている。
現状では、特性面では、スパッタリング法で垂直磁化膜
を形成する方法が、媒体の製造方法では秀れている〔日
本応用磁気学会、第３９回研究会資料、−Ｐ３１ （１
９８５）’］が、生産性に難点があり、高い保磁力を得
るには、基板を支持する回転キャンを高温にする必要が
あるが、電子ビーム蒸着法による高速製膜が注目されて
いる〔電子通信学会論文誌Ｊ６６−Ｃ，ＮＯＩ Ｐ、
５５（１９８３）］。
を形成する方法が、媒体の製造方法では秀れている〔日
本応用磁気学会、第３９回研究会資料、−Ｐ３１ （１
９８５）’］が、生産性に難点があり、高い保磁力を得
るには、基板を支持する回転キャンを高温にする必要が
あるが、電子ビーム蒸着法による高速製膜が注目されて
いる〔電子通信学会論文誌Ｊ６６−Ｃ，ＮＯＩ Ｐ、
５５（１９８３）］。
発明が解決しようとする問題点
しかしながら、従来の電子ビーム蒸着法では、ポリアミ
ドやポリアミドイミド、ポリイミド等の耐熱基板を用い
、熱じわ対策（例えば特開昭６１−１２０３４５号公報
）が必要となり、カールの制御も難かしく、短波長記録
に必要なヘッドとの良好な接触状態を実現できる磁気記
録媒体を大量に得ることがむずかしいため改善が望まれ
ていた。
ドやポリアミドイミド、ポリイミド等の耐熱基板を用い
、熱じわ対策（例えば特開昭６１−１２０３４５号公報
）が必要となり、カールの制御も難かしく、短波長記録
に必要なヘッドとの良好な接触状態を実現できる磁気記
録媒体を大量に得ることがむずかしいため改善が望まれ
ていた。
本発明は上記事情に鑑みなされたもので、汎用性が高く
、短波長記録に必要な良好な平滑面を保持したポリエス
テル基板を用いて、高性能な垂直磁化膜を高速で得るこ
との出来る方法を提供するものである。
、短波長記録に必要な良好な平滑面を保持したポリエス
テル基板を用いて、高性能な垂直磁化膜を高速で得るこ
との出来る方法を提供するものである。
問題点を解決するための手段
本発明の磁気記録媒体の製造方法は、上記した問題点を
解決するため、円筒キャンに沿って移動する電子注入し
た高分子フィルムにイオンを含む強磁性金属蒸気流をほ
ぼ垂直入射させるものである０ 作用 本発明の磁気記録媒体の製造方法は上記した構成により
、イオンが基板に近い程、垂直な電界加速を受は基板に
突入するので、垂直配向が良好となるため、基板温度を
従来程高温にしなくても十分な垂直配向が得られること
になるし、円筒キャンにより得られる曲面に関係せずに
上記した電界加速が得られるので、はぼ垂直であればよ
く、入射角制限がゆるくできるので、高速性も優れたも
のとなる。
解決するため、円筒キャンに沿って移動する電子注入し
た高分子フィルムにイオンを含む強磁性金属蒸気流をほ
ぼ垂直入射させるものである０ 作用 本発明の磁気記録媒体の製造方法は上記した構成により
、イオンが基板に近い程、垂直な電界加速を受は基板に
突入するので、垂直配向が良好となるため、基板温度を
従来程高温にしなくても十分な垂直配向が得られること
になるし、円筒キャンにより得られる曲面に関係せずに
上記した電界加速が得られるので、はぼ垂直であればよ
く、入射角制限がゆるくできるので、高速性も優れたも
のとなる。
実施例
以下、図面を参照しながら、本発明の磁気記録媒体の製
造方法の実施例について詳しく説明する。
造方法の実施例について詳しく説明する。
図は本発明を実施するために用いた蒸着装置の要部構成
図である。図で１は円筒キャン、２は蒸発源、３は電子
ビーム発生器、４は電子ビーム、６は高分子フィルム、
６は送υ出し軸、７は巻取り軸、８は蒸気流、９は開孔
部を有するマスク、１ｏは真空容器、１１は真空排気系
、１２はフリーローラである。
図である。図で１は円筒キャン、２は蒸発源、３は電子
ビーム発生器、４は電子ビーム、６は高分子フィルム、
６は送υ出し軸、７は巻取り軸、８は蒸気流、９は開孔
部を有するマスク、１ｏは真空容器、１１は真空排気系
、１２はフリーローラである。
図の装置を用いて磁気記録媒体を製造した。円筒キャン
は直径５０１で、電子ビーム蒸発源としてＧｏ 、 Ｏ
ｒの二元蒸発源を、円筒キャンの直下に３６伽の位置取
りで配した。マスクの開孔部は、入射角が２０度以内と
なるようにした。
は直径５０１で、電子ビーム蒸発源としてＧｏ 、 Ｏ
ｒの二元蒸発源を、円筒キャンの直下に３６伽の位置取
りで配した。マスクの開孔部は、入射角が２０度以内と
なるようにした。
高分子フィルムとして厚み１２μｍのポリエチレンテレ
フタレートを準備した。該フィルムを２５ ｍ／ｍｉｎ
で移動しながら３６ＫＶの電子ビームを１．６μ人メｍ
ｌで幅方向に均一に照射した。蒸発源は２０Ｋ”／の電
子ビームを９０度偏向して、ＣｏとＣｒを交互に照射し
てＣＯとｃｒのコンテントを制御した。またイオンは１
．５％から３０％がよく、更に好ましくは３％〜１０％
の範囲に制御した。
フタレートを準備した。該フィルムを２５ ｍ／ｍｉｎ
で移動しながら３６ＫＶの電子ビームを１．６μ人メｍ
ｌで幅方向に均一に照射した。蒸発源は２０Ｋ”／の電
子ビームを９０度偏向して、ＣｏとＣｒを交互に照射し
てＣＯとｃｒのコンテントを制御した。またイオンは１
．５％から３０％がよく、更に好ましくは３％〜１０％
の範囲に制御した。
尚イオンはＣＯでもＯｒでも殆んど差がみられないので
、両者を含めて扱うものとした。１．５％以下では後述
する効゛果が明確にならず、３０％以上では、イオン焼
けによりポリエチレンテレフタレートの使用に支障をき
たす場合があるので、その範囲内で処理するようにした
ものである。
、両者を含めて扱うものとした。１．５％以下では後述
する効゛果が明確にならず、３０％以上では、イオン焼
けによりポリエチレンテレフタレートの使用に支障をき
たす場合があるので、その範囲内で処理するようにした
ものである。
膜厚０．１４ｐｍのＣｏ−０ｒ （ｃｏｓｏｗｔ％）を
形成し撮動試料型磁力計で磁気特性を調べたところ、垂
直保磁力は＋３４６（０８）で、Ｘ線回折法で調べた配
向性もスパッタ膜で知られる値とほぼ同等で、記録性能
も２ｏｏＫＢＰＩの線記録密度でほぼスパッタ膜で発表
されてる規格化出力の１．１〜１．２倍と良好であった
。
形成し撮動試料型磁力計で磁気特性を調べたところ、垂
直保磁力は＋３４６（０８）で、Ｘ線回折法で調べた配
向性もスパッタ膜で知られる値とほぼ同等で、記録性能
も２ｏｏＫＢＰＩの線記録密度でほぼスパッタ膜で発表
されてる規格化出力の１．１〜１．２倍と良好であった
。
上記した製膜時の円筒キャンの温度は３０℃であり、熱
じわは全く発生しなかった。
じわは全く発生しなかった。
また、キャン温度を８０ＪｆＣにして、芳香族ポリアミ
ドを用いて、上記と同じ条件で成膜したところ、垂直保
磁力は７２０（０６）で２００ＫＢＰＩでの規格化出力
は上記した例の１．４倍であった。
ドを用いて、上記と同じ条件で成膜したところ、垂直保
磁力は７２０（０６）で２００ＫＢＰＩでの規格化出力
は上記した例の１．４倍であった。
この場合も熱じわは勿論なかった。
なお、電子線照射が、高分子フィルムの表面洗浄効果で
あれば、グロー放電処理でもほぼ等価になることが予測
できるため、グロー放電処理で置きかえたところ、全く
垂直配向のＧｏ−Ｃｒ膜は３０℃〜８０℃の円筒キャン
の範囲では得られなかった。
あれば、グロー放電処理でもほぼ等価になることが予測
できるため、グロー放電処理で置きかえたところ、全く
垂直配向のＧｏ−Ｃｒ膜は３０℃〜８０℃の円筒キャン
の範囲では得られなかった。
また、類似の作用効果がイオンブレーティングにも期待
できるが、電界が高分子フィルムに対して完全に垂直に
できないため、蒸気流の入射角を６度以内にしても、本
発明の特性まで到達しないことから本発明の有用性は明
らかである。
できるが、電界が高分子フィルムに対して完全に垂直に
できないため、蒸気流の入射角を６度以内にしても、本
発明の特性まで到達しないことから本発明の有用性は明
らかである。
発明の効果
本発明の磁気記録媒体の製造方法は、上記したように円
筒キャン温度を高温にしなくても、垂直保磁力の大きい
、且つ垂直配向の良好な高出力垂直磁気記録媒体を高速
で大量に生産できるといったすぐれた効果がある。
筒キャン温度を高温にしなくても、垂直保磁力の大きい
、且つ垂直配向の良好な高出力垂直磁気記録媒体を高速
で大量に生産できるといったすぐれた効果がある。
図は本発明の磁気記録媒体の製造方法を実施するのに用
いた蒸着装置の一例の要部構成図である。 １・・・・・・円筒キャン、２・・・・・・蒸発源、４
・・・・・・電子ビーム、８・・・・・・蒸気流。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名１−
一一巳箇ヤ〒ン ’２−、：宛湧、 ４−−−ノｔ１５−ビ゛−７≦。 Ｓ−−一梓ｂ４外妄フイｌＬ４
いた蒸着装置の一例の要部構成図である。 １・・・・・・円筒キャン、２・・・・・・蒸発源、４
・・・・・・電子ビーム、８・・・・・・蒸気流。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名１−
一一巳箇ヤ〒ン ’２−、：宛湧、 ４−−−ノｔ１５−ビ゛−７≦。 Ｓ−−一梓ｂ４外妄フイｌＬ４
Claims (1)
- 円筒キヤンに沿って移動する電子注入した高分子フィル
ムにイオンを含む強磁性金属蒸気流をほぼ垂直入射させ
ることを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22311186A JPS6378337A (ja) | 1986-09-19 | 1986-09-19 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22311186A JPS6378337A (ja) | 1986-09-19 | 1986-09-19 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6378337A true JPS6378337A (ja) | 1988-04-08 |
Family
ID=16792995
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22311186A Pending JPS6378337A (ja) | 1986-09-19 | 1986-09-19 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6378337A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5916145A (ja) * | 1982-07-20 | 1984-01-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気記録媒体の製造方法 |
| JPS59124038A (ja) * | 1982-12-29 | 1984-07-18 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気記録媒体の製造方法 |
-
1986
- 1986-09-19 JP JP22311186A patent/JPS6378337A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5916145A (ja) * | 1982-07-20 | 1984-01-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気記録媒体の製造方法 |
| JPS59124038A (ja) * | 1982-12-29 | 1984-07-18 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気記録媒体の製造方法 |
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