JPH01100732A - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は強磁性金属薄膜を磁気記録層とする磁気記録媒
体の製造方法に係り、特に磁気記録層上に耐久性に優れ
た保護膜を形成する方法に関するものである。

（従来の技術） 従来強磁性金属薄膜を磁気記録層とする磁気記録体は非
磁性の金属ディスク基体或はテープ基体上に、強磁性金
属材料を真空蒸着するとか、樹脂マトリックスに強磁性
金属材料を分散させたエマルジ１ンをスピンコードする
ことにより製造しているものである。

然しなから強磁性金属薄膜は高密度記録に優れた特性を
有するが、ヘッドの接触によって摩耗や損傷を受けやす
く又空気中で酸化又は腐食され、特性変化がおこる等の
欠点がある。

従って強磁性金属薄膜上に種々の保護膜を形成すること
により耐久性、耐食性を改善することが実施されており
、その１例として上記保護膜をプラズマ重合により形成
することが近年注目されている。このプラズマ重合法を
用いることにより薄膜化が容易であり且つ得られた薄膜
は均一性に優れている等積々の特性を有するものである
。

然しなから従来のプラズマ重合法により得られた保護膜
は、摩擦係数が大きく又磁気ディスクの場合、Ｃ８Ｓテ
ストの結果によれば磁気ヘッドとの接触を多数回繰り返
したときに、膜の表面に損傷が見られるなど耐久性、耐
摩耗性に劣るものであった。

本発明者等はかかる欠点を改善せんとして先に強磁性金
属薄膜の表面にプラズマ重合による保護膜を設けた後、
熱処理を行って磁気記録媒体を製造する方法（特願昭６
１−１２７６４４号〕を提案し父上記保護膜を熱処理す
るにおいて酸素などの反応性がス雰囲気中で行う方法（
特願昭６１−２１７２１６号）を提案した。

又プラズマ重合により保護膜を基板に被着せしめるに際
し該基板を加熱しながら行うことにより膜の平滑性と接
着性とを大巾に改良しうる方法（特願昭６１−２３４４
５９号）も提案した。

然しなからかかる方法を個別に行っても、機械的特性に
おいて十分な保役膜をうろことが出来ないものであった
。

（発明が解決しようとする問題点） 本発明はかかる現状に鑑み鋭意研究を行りた結果、摩擦
係数が小さく、磁気ヘッドとの接触を多頻度行っても表
面に何等の損傷をうけることのない強固な保護膜を形成
し、走行性に優れた磁気記録媒体を製造する方法を開発
したものである。

（問題点を解決するための手段） 本発明方法は基板上に強磁性金属薄膜を設けた磁気記録
層の表面に保護膜を形成して磁気記録媒体を製造する方
法において、該基板上に強磁性金属薄膜を設けた後膣基
板を５０〜３００°０に加熱しながら、該強磁性金属薄
膜の表面に常温、常圧にて固体状の昇華性有機化合物を
気化せしめてプラズマ重合を行って保護膜を形成し、次
いで熱処理を施すことを特徴とするものである。

なお従来結晶性高分子や非晶質耐熱性ポリマー等に対し
て密度の向上などの物性改良を図るために微細構造発現
の雰囲気温度やポリマーの重合温度を変えたり又得られ
たポリマーの成形品に種々の熱処理を施すことが行われ
ているが、これらの方法゛はバルク試料を対象にしたも
のである。

本発明方法はこれらの方法とは全く異にするものであり
、保護膜における薄膜特有の表面効果即ち接着性、摩擦
係数、平滑性などの表面物性変化に着目したものである
。

本発明方法において基板を加熱しつつプラズマ重合有機
薄膜を形成するのは、強磁性金属薄膜の酸化、損傷を防
止し又強磁性金属薄膜との接着性を改善し、平滑にして
強固な膜を形成して、摩擦係数の小さい走行性に優れた
磁気記録媒体をうるためである。

本発明方法ははじめに基体を加熱することであるがその
温度については有機モノマーの種類及び反応条件により
異るものである。通常５０〜３００℃、好ましくは８０
〜２５０℃が望ましい。この温度が５０υ未満の場合に
は強固にして平滑な保Ｆ５膜をうることが出来ず又３０
０°Ｃを超えた場合には強磁性金属薄膜の接着性が劣り
且つ保護膜の硬度が低下するものである。

なお加熱方法としては抵抗加熱体による加熱、赤外線輻
射による加熱など基体に熱を供与しうる方法であれば何
れの方法でもよい。

又本発明方法において使用する有機化合物としては、常
温常圧にて固体状を呈するナフタレン、アントラセン、
ジフェニール、ジベンジル、ジフェニールアセチレンな
どの外事性芳香族有機化合物を使用するものである。

本発明は、上記プラズマ重合により保護膜を形成した後
、更に熱を加えることにより膜構造をより強固に、また
保護膜の表面をより平滑にし、耐久性、耐摩耗性の向上
を図るものである。

熱を加える平板としては抵抗加熱、高周波加熱、レーデ
−加熱、赤外線加熱、オーブン中での加熱など保ｉｉ！
膜に熱を供与できるものであればどんな方法でもよく、
また加熱時の雰囲気は真空中、不活性がス中、大気中と
いずれでも差し支えない。

加熱の温度範囲としては５０〜３００℃であり、望まし
くは８０〜２５０℃である。加熱温度が低過ぎると膜構
造及び膜表面の改質を図ることが出来ず、また加熱温度
が高過ぎると保護膜及び強磁性金属薄膜への悪影響が生
じてしまう。

また熱を加えることによって通常保護膜には膜構造の変
化に伴ない膜厚の変化が見られる。この膜厚の変化率が
±２０チ以内になるよう熱処理を施すことが膜の表面構
造の改質を図る上で望ましい。

尚プラズマ重合保護膜の加熱温度の範囲は匍述の如（５
０〜３００℃であるが、加熱時間は温度が高い場合は短
時間でよく、温度が低い場合は長時間貸りことになるが
大体１０秒〜１２０分程度である。時間が短かすぎても
所定の性能が得られなく、又長すぎる場合は所定の性能
が得られないか、不経済である。

本発明方法について例えば磁気ディスクの製造に適用す
る場合を示すと次の如くである。

まず基体となるアルミニウム基板上にＮ１−Ｐなどの化
学メツキ層を密着せしめ研摩仕上げなどの後処理を施し
た後、その表面に物理的または化学的の手法により強磁
性金属薄膜を形成する。

次に図面に示す如く対極型プラズマ重合装置内に、磁気
ディスク本体１をセットする、即ち電極２Ａ、２Ｂ間に
磁気ディスク本体１を挾持し電極２人内に挿着した加熱
体１３により５０〜３００℃に加熱し、加熱しながらプ
ラズマ重合を行う。

なお３はペルジャー、４はテーブル、５ｄペルジヤー３
内を真空にする真空ポンプ、６は絶対真空計、２は電極
２に、２Ｂに接続された高周波電源、８は固体モノマー
用の抵抗加熱体、９は固体有機化合物用の抵抗加熱体、
１０は抵抗加熱体用の電源、１１はキャリアーが電源、
１２はノズル、１３は加熱体、１４は加熱源である。

又プラズマ発生装置°は上記に限定されず誘導コイル型
、導波管型等の高周波発振装置を備えたものであればよ
い。

又高周波によりプラズマ重合を行う場合、高周波出力と
電極面積の大きさとからエネルギー密度は０．２〜４塾
へ２望ましくは０．５〜３　Ｗ／ｃ−の範囲になるよう
にし、高周波電源の出力を３００〜５００Ｗ、望ましく
はｉｏｏ〜４５０Ｗに保持し出来うる限り高出力で行う
ことにより硬質化の保護膜をうろことが出来る。なお高
周波電源は通常１３．５６　ＭＨｚの発振周波数である
が、特にこの周波数に限定することなく直流からマイク
ロ波までのいかなる周波数でもよい。

又ベルツヤ−内は０１００５〜３　Ｔｏｒｒ望ましくは
０．０１〜１．５　Ｔｏｒｒの圧力にすることがよく、
反応時間はモノマーの種類、電極配置等によって影響を
及ぼすものであるが、通常５秒〜１０分望ましくは１０
秒〜３分にて所望の膜厚のものをうろことが出来る。

又プラズマ重合による膜厚は通常１０〜１０００Ｘであ
り好ましくは８０〜６ｏｏＸに分布することが好ましい
、この膜厚が１０１より薄いと耐久性、耐摩耗性が劣り
、逆に１０００Ｘより厚いとスペーシングロスが大きく
なり記録の読み出し特性に悪影響を及ぼすものである。

（実施例） アルミニウム基板上にＮ１−Ｃｒ−Ｃｏａ元系強磁性金
属薄膜を設けた３、５インチの磁気ディスクを図面に示
すプラズマ重合装置内にセットし約２１０℃に加熱し該
ディスク面を均一に加熱しながら上記強磁性金属薄膜面
にプラズマ重合による保護膜を被着し、次いで酸素雰囲
気中にて２００℃５分間熱処理を施して本発明方法によ
る磁気記録媒体を得た。

而してモノマーとしてはジベンジルを使用し、キャリヤ
ーがスとして純アルゴンを使用した。又プラズマ重合を
開始する直前のペルシャ内圧は０１Ｔｏｒｒであり、得
られた保護膜の厚さはモノマー量により一定値となりた
。又モノマーの気化は蒸着用小型ケートに電流を通して
ポートの温度を約８０°Ｃになるまで加熱した。

斯くして得た本発明方法による磁気記録媒体についてＣ
８８耐久性、摩擦係数及び耐食性について測定を行った
。その結果は第１表に示す通りである。

なお、本発明方法による磁気記録媒体と比較するために
アルミニウム基板面に強磁性金属薄膜を設けた後、プラ
ズマ重合による保護膜を被着するにおいて該基板を加熱
することなく又は熱処理を行うことをせずに磁気記録媒
体（比較例）を製造し、実施例と同様にその性能を測定
して第１表に併記した。

（効果） 以上詳述した如く本発明方法によれば磁気記録媒体の保
獲膜において、耐久性、耐食性及び摩擦係数に優れたも
のがえられるためヘッドの接触によるも損傷をうけるこ
となく且つ長期に亘り使用しうる等工業上極めて有用な
ものである。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明磁気記録媒体の製造方法において基板上に
プラズマ重合による保獲膜を被着するための装置の１例
を示す概略説明図である。 １・・・磁気ディスク本体、２に、２Ｂ・・・対向する
電極、３・・・ペルジャー、４・・・テーブル、５・・
・真空−ンデ、６・・・絶対真空計、７・・・高周波電
源、８・・・抵抗加熱体、９・・・抵抗加熱体、１０・
・・電源、１１・・・キャリアーゴス源、１２・・・ノ
ズル、１３・・・加熱体。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 基板上に強磁性金属薄膜を設けた磁気記録層の表面に保
   護膜を形成して磁気記録媒体を製造する方法において、
   該基板上に強磁性金属薄膜を設けた後基板を５０°〜３
   ００℃に加熱しながら、該強磁性金属薄膜の表面に、常
   温常圧にて固体状の昇華性有機化合物を気化せしめてプ
   ラズマ重合を行って保護膜を形成し、次いで熱処理を施
   すことを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。