JPH01100722A - 薄膜磁気ヘッド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、薄膜磁気ヘッドに係り、特に、ＶＴＲ等に好
適な記録媒体摺動型の薄膜磁気ヘッドに関する。

〔従来の技術〕

従来、コンピューター用の浮揚型ヘッドを中心に、薄膜
磁気ヘッドの開発が進められているが、磁気記録の高密
度化の要請に対応するため、磁気ヘッドのトラック幅を
狭小化し、加工精度を向上させることが必須である。こ
の要求に答えるため、ｔｆ＃開昭６１−７７１１２号公
報に記載の薄膜磁気ヘッドが提案されている。

この薄膜磁気ヘッドの構造を！！４図に示してあり、１
は基板、２は下部磁性層、５は上部磁気コア、４は信号
コイル、５は絶縁層、６はギャップ非磁性層である０こ
の磁気ヘッドのトラック偏心は、絶縁層５に形成したギ
ャップ部のコア接続部Ａの凹形パターンで規定される構
造となっており、数十μｍの狭トラツク幅に対応するた
めには、数μｍの精度でトラック幅Ｔｗを加工しなけれ
ばならない。上記従来の磁気ヘッドでは、絶縁層５はリ
アクティブイオンエツチング等の高精度の異方性エツチ
ングが可能な５ｔＯｚ　、　ＳｉＮ等から成り、この絶
縁層５をエツチングしてトラック幅を規定している。そ
のため、リアクティブエツチング、メツキ等の高ｆｆ［
加工が適用できない、センダストやＣｏ系アモルファス
合金等の高飽和磁束密度を有する磁性材料をコア材さし
た場合にも、数μｍの精度でトラック幅Ｔｗを制御する
ことができる。

〔発明が解決しようとする問題点〕

ところが、上記した従来例では、絶縁層５をエツチング
した凹形パターンは、第５図に示すように、角部分が丸
くなり、この上に磁気コアを形成すると、ギャップ深さ
Ｇｄ１以下ではトラック幅が減少する。これは、フォト
レジス）Ｇ露光するためのフォトマスクを長方形に設計
しても、フォトレジストの凹形パターンの角部分は、レ
ジスト膜内への光の回り込みが生ずるためであり、エツ
チング後の凹形パターンの角部分も丸くなってしまう。

この凹形パターンの変形は、コンピューターに用いられ
る浮揚製の薄膜磁気ヘッドではほとんど影響はないが、
ＶＴＲ等に用いる記録媒体摺動型の薄膜磁気ヘッドでは
問題となる。即ち、記録媒体との摺接面で磁気ヘッドは
摩耗し、ｉ！５図に示したギャップ深さがＧｄ１以上に
摩耗が進行すると、トラック幅が減少してしまう。とこ
ろで、ヘッド寿命は、ヘッドが摩耗してギャップ深さが
０となるギャップ深さＧｄまでとする場合が多いが、領
域ｌでは正規のトラック幅を得られず、ギャップ深さＧ
ｄｌ以下では使用できない。才た、ヘッドの長寿命化の
ためにギャップ深さを大きくすると、ヘッド出力は低下
した。

以上ＯＪように、薄膜８気ヘッドを記録媒体摺動型の磁
気ヘッドに適用した場合、ギャップ深さがａのギャップ
深ざＧｄまで４耗が進行する前にトラック幅が確保でき
な（なり、ヘッドが使用できなくなるという問題があっ
た。

本発明の目的は、かかる問題点を解消し、ギャップ深さ
が０の位ｔｔでトランク幅が変化せず、長寿命化を図か
れ、才た、同一ヘッド寿命の場合には、ヘッド出力の増
大を図かれるようにした薄膜磁気ヘッドを提供すること
にある。

〔問題点を解決するための手段〕

上記目的を達成するために、本発明は、トラック幅を規
定するギヤツブ部コア接続面の信号コイル側稜線を、そ
のトラック中心に対応する部分がトラック端部に対応す
る部分よりも記録媒体摺動面側に突出するように、形状
を設定する。

〔作用〕

トラック幅を規定するギヤツブ部コア接続部の凹形パタ
ーンを、信号コイル側の稜線のトラック中央に対向する
部分が記録媒体摺動面側に６七なる形状としたので、パ
ターンの角が丸くなる部分はギャップ深さＧｄがＯの位
置より信号コイル側に位置し、トラック幅はギャップ深
さＧｄが０の位置まで変化しない。したがって、磁気ヘ
ッドの寿命はギャップ深さＧｄの位置まで摩耗するまで
となり、磁気ヘッドの長寿命化を実現することができる
。また、同一のヘッド寿命の場合は、初期ギャップ深さ
が小さくなるため、ヘッド出力を増大できる。

〔実施例〕

以下、本発明の実施例を図面によって説明する。

第１図は本発明による薄膜磁気ヘッドの一実施例を示す
斜視図であって、７は凸部、８は損失凹部であり、第４
因に対応する部分には同一符号をつけている。

＠２図（ａ）は第１図のコア接続部Ａ部分の平面図であ
って、第１図に対応する部分には同一符号をつけている
。

第２図（ｂ）はフォトマスクパターンの１例を示す正面
図であって、１０は凸部、１２は凹部である。

第１図において、基板１は複合酸化物、ガラス等の非磁
性材から成り、この基板１上にはセンダス）　、　Ｃｏ
系アモルファス合金等の高飽和磁束密度を有する磁性材
から成る下部磁性層２が配設されている。この下部磁性
層２上には、上部磁気層である上部磁気コア３が信号コ
イル４と絶縁層５を挾んで積層され、この上部磁気コア
３の後端は下部磁性層２に磁気的に接合され、中央部分
にはＵｉ、ＡＪ等から成る信号コイル４が配設されてい
る。

この上部磁気コア３は下部磁性層２と同様の材料から成
っている。絶縁層５は５ｌｏ２．　ＳｉＮ等から成り、
信号コイル４と下部磁性層２．上部磁気コア６間を絶縁
している。上部磁気コア５の前端部は両縁が中央部の延
長で平坦に形成され、中央は絶縁層５が溝加工されて凹
形にギヤツブ部コア接続部Ａを形成されている。Ｓ＊０
２＊　ＳｉＮまたはＣｒ等の非磁性材からなるギャップ
非磁性層６がギヤツブ部コア接続部Ａ＃こ対向して上部
磁気コア３．下部磁性層２で挾さまれ、ギャップ非磁性
層６の膜厚のギャップが形成されている。

このコア接続部Ａは信号コイル４側の稜線を、トラック
中央ｉこ対する部分がトラック縁部に対する部分よりも
記録媒体と当接する面倒に凸とされて凸部７が形成され
、この凸部７の両側に損失凹部８，８が形成されている
。この凸部７の端面は第２口伝）に宗すように、ギャッ
プ深さがＯとなる位置Ｇｄとなっている。コア接続部Ａ
のパターンは、第２図（ｂ）に示したフォトマスクパタ
ーン１０によりエツチングして形成する。このフォトマ
スクパターン１０は凸部１０．この凸部１０の両働に凹
部１１゜１１が形成されており、コア接続部Ａのパター
ンの角が丸くなってもトラック幅′１１ｗを減少させな
い。

また、第２図（ａ）において、ギャップ深さＧｄがＯの
位置より信号コイル４側の斜線を施して示した損失凹部
８，８は、α１〜０．５μｍ程度の磁気ギャップを挾み
、上部磁気コア３と下部磁性層２が対向している。トラ
ック幅Ｔｗが同じ場合には、コア接続部Ａの面積が小さ
い程ヘッド出力が大きくなる。

したかつ、て、コア接続部Ａは長方形が最適で、余分な
面積は小さい方が良い。ところで、従来のギャップ形成
部形状では、第５図中に斜線で示した部分がヘッド特性
上の損失分になる。しかし、この実施例では、第２図（
ａ）に示した損失凹部８．８ができるが、トラック幅全
体にわたるものでなく、その面積は従来より小さくする
ことができる。

以上のように、この実施例では、ギャップ深さが０とな
る部分の稜線がトラック中央に対向する部分で記録媒体
当接面側に凸となっていることから、磁気ヘッドの摩耗
が進行しても、トラック幅〜が変化しないため、同一の
ギャップ深さの場合にはヘッド寿命が長くなる０また、
同一ヘッド寿命を得ようとする場合には、初期ギャップ
深さを小さ（することができ、ヘッド出力を大きくする
ことができる。

第３図は本発明による薄膜磁気ヘッドの他の実施例を示
す斜視図であって、Ｂはリアコア接続部であり、第１図
に対応する部分には同一符号をつけている。

この実施例では、下部磁性層２に凹みを設けた構造であ
り、上部磁気コア３と下部磁性層２とはリアコア接続部
Ｂで磁気的に接合されている。

本実施例においても、高精度エツチングが可能な５ｉ（
ｈ　、　ＳｉＮ　を複合酸化物、ガラス等の非磁性材か
ら成る絶縁層５のエツチングでトラック幅Ｔｗを規制し
ている。そして、第５図に示すように、コア接合部Ａの
信号コイル５側の稜線を、記録媒体当接面側に凸として
凸部７８形成し、この凸部７の両側に凹部８，８を形成
しである。

上記した構成であることから、ギャップ深さが０となる
までトラック幅は変化しない。また、〕くターンの角が
丸くなりヘッド特性上の損失となる部分である損失凹部
８は、上部磁気コア５と下部磁性層２との間隔がヘッド
ギャップ以上に離れている。そのため、この部分での洩
れ磁束は第１図に示した実施例より少なく、ヘッド特性
的にも優れている。

以上のように、上記実施例では、ＷＪ１図に示した実施
例と同様の効果を奏する。

尚、上記各実施例においては、非磁性材の絶縁層５のパ
ターニングでトラック幅Ｗを決定する薄膜磁気ヘッドに
ついて述べたが、必ずしもトラック幅を決定Ｔる側にの
み適用されるものではない。

即ち、トラック幅を規制する側のコアより数μｍ大きな
パターンを形成する場合にも、本発明は有効である。ま
た、本発明は、ギャップ形成部の磁気コア形状に関する
ものであり、非磁性材のパターン形状に限るものではな
い。例えば、下部磁気コアに凹みを設ける構造のヘッド
において、下部磁気コアとなる磁性層をパターニングし
てトラック幅を決定する場合にも本発明を適用できる。

この場合も、下部磁気コアの信号コイル側の稜線がトラ
ック中央に対向する部分で記録媒体摺接面側に凸となる
形状にパターニングすればよい。また、上記実施例に記
載したギャップ形成部の形状は一例であり、これに限定
されるものでなく、ギャップ深さが０となる位置を含む
稜線が、トラック中央に対向する部分で縁部に対向する
部分よりも記録媒体摺接面側に凸となるようにすればよ
い。また、薄膜磁気ヘッドの形状や基板、磁性、層、絶
縁層、（１号コイル等の材質も上記実施例に限定される
ものでなく、目的ζこ応じて、任意に選択すればよい。

例えば、基板に磁性材を用い、下部磁性層を設けなくて
もよい。

〔発明の効果〕

以上説明したように、本発明によれば、上下部磁性層が
磁気ギャップを挾み対向する面で、上下部磁性層の少な
くとも一方の信号コイル側の稜線を、トラック中央に対
向する部分がトラック縁部に対向する部分よりも記録媒
体と摺接する側に凸となる形状としたことから、ヘッド
が摩耗してギャップ深さが０となるまでトラック幅が変
化せず、ヘッドの長寿命化が達成される。また、従来と
同一寿命に設計する場合には、初期ギャップ深さを小さ
くできるので、ヘッド出力を増大させることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による薄膜磁気ヘッドの一実施例を示す
斜視図、４２　区（ａ）はコア接続部Ａ部分の平面図、
第２図（ｂ）はフォトマスクパターンの平面図、第３図
は本発明による薄膜磁気ヘッドの他の実施例を示す斜視
図、第４図は従来の薄膜磁気ヘッドを示す斜視図、第５
図は従来のコア接続部Ａ部分の平面図である。 １・・・基板　　　　　　２・・・下部磁性層３・・・
上部磁性層　　　４・・・信号コイル５・・・絶縁層　
　　　　Ａ・・・コア接続部■・・・トラック幅 柔　　１　図 基２図 藁　３　図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、基板に下部磁性層を設け、信号コイル、非磁性絶縁
   層を挾んで上部磁性層を配設し、前記下部磁性層と上部
   磁性層との間に少なくとも一つの磁気ギャップを有する
   磁気回路を形成し、該磁気ギャップを記録媒体と当接さ
   せて記録再生を行なわせる薄膜磁気ヘッドにおいて、前
   記上下部磁性層が前記磁気ギャップを挾み対向する面で
   、前記上下部磁性層の少なくとも一方の前記信号コイル
   側の稜線を、トラック中央に対向する部分がトラック縁
   部に対向する部分よりも前記記録媒体が摺接する面側に
   凸となる形状としたことを特徴とする薄膜磁気ヘッド。