JP7548838B2 - 熱処理装置 - Google Patents

Description

本発明は、熱処理装置に関するものである。本発明の熱処理装置は、基板等の被加熱物を熱風によって加熱する装置や、乾燥機、オーブン、エージング装置、環境試験装置、その他の加熱装置として使用することができるものである。

特許文献１に開示されているような熱処理装置が液晶ディスプレイ（ＬＣＤ：Liquid Crystal Display）やプラズマディスプレイ（ＰＤＰ：Plasma Display）、有機ＥＬディスプレイ等のようなフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ：Flat Panel Display）等の製作に使用されている。
特許文献１に開示された熱処理装置は、ＰＤＰを加熱する炉空間と、電気ヒータと、熱風循環ファンを有している。
従来技術の熱処理装置では、炉空間の側面に、パンチングメタルによる熱風の進入口が設けられている。

特開２００３－１７２５８３号公報

従来技術の熱処理装置では、熱風の吹き出し口にパンチングメタルを設置して、炉空間（処理室）に導入される空気の風速や風量の均一化を図っている。
しかしながら、単に処理室への空気導入部にパンチングメタルを装着しただけでは、処理室に導入される空気の風速等が均一にならない場合があり、細かい調節を行うことが必要な場合がある。
例えば、場所によってパンチングメタルの開口率を変えるといった工夫が必要である場合がある。また最適条件を得るために、パンチングメタルを取り換えて実験を繰り返すことが必要となる場合がある。
また送風機をインバータ制御する等によって、送風量を変更する場合がある。しかしながら送風量自体を変更すると、パンチングメタルの開口率の最適条件が変わってしまう場合がある。
本発明は、従来技術の上記した課題に注目し、処理室にバランスよく熱風を供給することができる、熱処理装置を開発することを課題とするものである。

上記した課題を解決するための態様は、被処理物を収容する処理室と、ヒータと、送風機とを有し、前記ヒータで温度調節された空気が前記処理室に供給される熱処理装置において、複数の往路側送風路を有し、前記処理室には、前記送風機からの距離が異なる位置に設けられた複数の空気導入部があり、前記各往路側送風路が、前記各空気導入部のいずれかに接続されており、前記各往路側送風路を経由して前記処理室に温度調節された空気が供給され、少なくとも複数の前記往路側送風路に、ダンパーが設けられており、前記ダンパーと前記空気導入部との間に整流化部があることを特徴とする熱処理装置である。

本態様の熱処理装置は、ヒータ側から処理室に至る送風路が、複数の往路側送風路に分かれている。
また複数の往路側送風路にダンパーが設けられているので、各空気導入部から処理室に供給される空気量を個別に調節することができる。
そのため、処理室にバランスよく熱風を供給することができる。
また本態様の熱処理装置では、ダンパーと空気導入部との間に整流化部がある。そのため、ダンパーで乱れた空気の流れを整流化部で整えることができ、さらにバランスよく処理室に熱風を供給することができる。

上記した態様において、複数の復路側送風路を有し、前記処理室には、前記ヒータまでの距離が異なる位置に設けられた複数の空気排出部があり、前記各復路側送風路が、前記各空気排出部のいずれかに接続されており、前記各復路側送風路を経由して前記ヒータ側に前記処理室内の空気が戻され、少なくとも複数の前記復路側送風路に、ダンパーが設けられていることが望ましい。

本態様の熱処理装置では、処理室からヒータ側に至る送風路についても、複数の復路側送風路に分かれている。
また複数の復路側送風路にダンパーが設けられているので、処理室の各部から排出される空気量を個別に調節することができる。
そのため、処理室からの空気の排気バランスが良く、結果的に処理室内の空気の流れが安定する。

上記した各態様において、複数の復路側送風路を有し、前記処理室には、前記ヒータまでの距離が異なる位置に設けられた複数の空気排出部があり、前記各復路側送風路が、前記各空気排出部のいずれかに接続されており、前記各復路側送風路を経由して前記ヒータの異なる領域に前記処理室内の空気が戻されることが望ましい。

本態様の熱処理装置では、処理室内の空気がヒータの各領域に、バランスよく戻される。そのため、送風が保有する熱量が均一化し、処理室内に供給する空気の温度が均一化する。

上記した各態様において、前記ダンパーは、前記処理室の前記各空気導入部が設けられた壁面の幅方向に長いものであることが望ましい。

本態様の熱処理装置が採用するダンパーは、外形形状が長い。そのため、送風路の断面積の変化が比較的小さく、送風が乱流状態になりにくい。

本発明の熱処理装置によると、処理室にバランスよく熱風を供給することができる。

本発明の実施形態の熱処理装置の斜視図である。 図１の熱処理装置の内部構造を示す断面図である。 図２の部分拡大図であり、往路側送風領域と、復路側送風領域を拡大して示したものである。 図１の熱処理装置で採用するダンパー及び往路側送風路の斜視図である。

以下、本発明の実施形態について説明する。
本実施形態の熱処理装置１は、例えばガラス板を加熱するものである。
熱処理装置１は、図２の様に、断熱壁で覆われた筐体３を有し、当該筐体３内に、処理室６と、ヒータ７と送風機８が内蔵されている。
また筐体３内に、一連の空気循環路が形成されている。
以下、説明する。

筐体３は、図１の様に、正面に扉１０を有しており、当該扉１０を開くことによって、処理室６の一面を開放することができる。
筐体３の内部は、図２の様に、大きく４領域に分かれている。
即ち、筐体３の上部側に、空調部領域１１がある。当該空調部領域１１の下に処理室６が位置し、その図面右側が往路側送風領域１５となっており、図面左側が復路側送風領域１６となっている。

処理室６は、金属板で正面を除く５面が覆われた部屋である。
図２、図３の様に、処理室６の図面右側の側面壁１７に、複数の空気導入部２０、２１、２２がある。本実施形態では、空気導入部２０、２１、２２が３か所に設けられている。
空気導入部２０、２１、２２は、高さ方向の上下に分かれている。説明の便宜上、３個の空気導入部を、上部空気導入部２０、中部空気導入部２１、下部空気導入部２２と称する。
各空気導入部２０、２１、２２は、高さに比べて幅（奥行）が広い。また、各空気導入部２０、２１、２２の幅の全長は側面壁１７の幅の６０パーセント以上に及んでいる。望ましくは、各空気導入部２０、２１、２２の幅の全長は側面壁１７の幅の８０％以上である。更に望ましくは、各空気導入部２０、２１、２２の幅の全長は側面壁１７の幅の９０％以上である。各空気導入部２０、２１、２２には小孔２３が多数設けられた板が装着されている。

また処理室６の図面左側の側面壁１８に、複数の空気排出部３０、３１、３２がある。空気排出部３０、３１、３２は、それぞれ空気導入部２０、２１、２２と対向する位置にあり、その大きさや構造は、空気導入部２０、２１、２２と同等である。
即ち空気排出部３０、３１、３２は、高さ方向の上下に分かれている。説明の便宜上、３個の空気排出部を、上部空気排出部３０、中部空気排出部３１、下部空気排出部３２と称する。
各空気排出部３０、３１、３２は、高さに比べて幅（奥行）が広い。また、各空気排出部３０、３１、３２の幅の全長は側面壁１８の幅の６０パーセント以上に及んでいる。望ましくは、各空気排出部３０、３１、３２の幅の全長は側面壁１８の幅の８０％以上である。更に望ましくは、各空気排出部３０、３１、３２の幅の全長は側面壁１８の幅の９０％以上である。各空気排出部３０、３１、３２には小孔３３が多数設けられた板が装着されている。

空調部領域１１には、ヒータ７と、複数の送風機８が設置されている。
ヒータ７は、高さに比べて幅（奥行）が広いものである。ヒータ７の幅の全長は、側面壁１７、１８の幅の６０パーセント以上に及んでいる。望ましくは、ヒータ７の幅の全長は側面壁１７、１８の幅の８０％以上である。更に望ましくは、ヒータ７の幅の全長は側面壁１７、１８の幅の９０％以上である。ヒータ７は側面壁１７、１８に沿う方向に配置されている。

本実施形態では、送風機８を複数有している。
送風機８は、遠心送風機であり、羽根４０とモータ４１とを有している。送風機８は、それぞれケーシング４８を有し、当該ケーシング４８内に羽根４０が設けられたものである。
モータ４１は、筐体３の外に配置されており、ケーシング４８及び羽根４０は、筐体３の天井部から垂下されている。
送風機８は前記した様に遠心送風機であり、羽根４０の下部側に吸気部４２があり図面右側に向かって排気される。
複数の送風機８は、側面壁１７、１８の幅（奥行）方向に向かって直線的に配置されている。即ち、複数の送風機８は、図１の様に、熱処理装置１の奥行方向に直線的に配置されている。
本実施形態では送風機８を４台有しているが、送風機８の台数は任意である。送風機８は、１台であってもよいが、複数台であることが望ましい。

空調部領域１１は、一連の空気流路となっている。
即ち空調部領域１１の図面左側には、後記する複数の復路側送風路３５、３６、３７の末端が開口し、空調部領域１１の図面右側には、後記する複数の往路側送風路２５、２６、２７の始端が開口している。
ヒータ７の下流側の流路は、図２の様に下方に誘導され、各送風機８の吸気部４２に繋がっている。

図２、図３の様に、往路側送風領域１５には往路側送風路２５、２６、２７が配置されている。また復路側送風領域１６には復路側送風路３５、３６、３７が配置されている。
往路側送風路２５、２６、２７は、空調部領域１１の送風機８の下流側と、処理室６と、を繋ぐダクトである。往路側送風路２５、２６、２７は、それぞれ独立したダクトであり、独立した流路である。
説明の便宜上、各往路側送風路を、第一往路側送風路２５、第二往路側送風路２６、第三往路側送風路２７と称する。

第一往路側送風路２５は、空調部領域１１と処理室６の上部空気導入部２０とを繋ぐ空気流路である。
本実施形態では、送風機８が筐体３内の上部に設置されているから、上部空気導入部２０は、送風機８に最も近い位置、即ち送風機８からの送風距離が最も短い位置にある。
第一往路側送風路２５は、上部空気導入部２０に末端部が接続されている。すなわち、第一往路側送風路２５は、処理室６への接続口の高さが最も高い上部空気導入部２０と空調部領域１１とを繋ぐ空気流路である。

第二往路側送風路２６は、空調部領域１１と処理室６の中部空気導入部２１とを繋ぐ空気流路である。
中部空気導入部２１は、送風機８から中程度の位置、即ち送風機８からの送風距離が中程度の位置にある。
第二往路側送風路２６は、中部空気導入部２１に末端部が接続されている。すなわち、第二往路側送風路２６は、処理室６への接続口の高さが前記した上部空気導入部２０とは異なる位置にある中部空気導入部２１と、空調部領域１１とを繋ぐ空気流路である。

第三往路側送風路２７は、空調部領域１１と処理室６の下部空気導入部２２とを繋ぐ空気流路である。
下部空気導入部２２は、送風機８から最も遠い位置、即ち送風機８からの送風距離が最も長い位置にある。
第三往路側送風路２７は、下部空気導入部２２に末端部が接続されている。すなわち、第三往路側送風路２７は、処理室６への接続口の高さが前記した上部空気導入部２０及び中部空気導入部２１のいずれとも異なる位置にある下部空気導入部２２と、空調部領域１１とを繋ぐ空気流路である。

本実施形態の熱処理装置１では、往路側送風路２５、２６、２７の幅（奥行）Ｗが広く、処理室６の側面壁１７の幅（奥行）に匹敵し、略同じである。すなわち、図４の様に、各往路側送風路２５、２６、２７は、いずれも幅（奥行）Ｗが広い。また、各往路側送風路２５、２６、２７の幅Ｗの全長は側面壁１７の幅の６０パーセント以上に及んでいる。望ましくは、各往路側送風路２５、２６、２７の幅Ｗの全長は側面壁１７の幅の８０％以上である。更に望ましくは、各往路側送風路２５、２６、２７の幅Ｗの全長は側面壁１７の幅の９０％以上である。
図３の様に、各往路側送風路２５、２６、２７の始端には、送風機８に向かって開口する曲路部２８がある。各往路側送風路２５、２６、２７の開口部４５、４６、４７は、上下方向に積み重ねられている。
各往路側送風路２５、２６、２７の始端の近傍には、それぞれダンパー５０、５１、５２が設けられている。
説明の便宜上、第一往路側送風路２５に設けられたダンパー５０を第一ダンパー５０と称し、第二往路側送風路２６に設けられたダンパー５１を第二ダンパー５１と称し、第三往路側送風路２７に設けられたダンパー５２を第三ダンパー５２と称する。

ダンパー５０、５１、５２の幅（奥行）Ｗは、往路側送風路２５、２６、２７の他の部分に匹敵し、略同じである。また処理室６の側面壁１７の幅（奥行）にも匹敵し、略同じである。すなわち、図４の様に、各ダンパー５０、５１、５２は、いずれも幅（奥行）Ｗが広い。また、各ダンパー５０、５１、５２の幅Ｗの全長は側面壁１７の幅の６０パーセント以上に及んでいる。望ましくは、各ダンパー５０、５１、５２の幅Ｗの全長は側面壁１７の幅の８０％以上である。更に望ましくは、各ダンパー５０、５１、５２の幅Ｗの全長は側面壁１７の幅の９０％以上である。

各ダンパー５０、５１、５２は、いずれも長手方向に２分割されている。
即ち、第一ダンパー５０は、第一前ダンパー５０ａと第一後ダンパー５０ｂが直列的に接続されたものである。
第一前ダンパー５０ａは、操作ハンドル５３ａを有し、当該操作ハンドル５３ａを手動で回すことによって、第一前ダンパー５０ａの開度を変更することができる。
操作ハンドル５３ａは、筐体３の正面側に突出している。
第一後ダンパー５０ｂにも同様に操作ハンドル５３ｂがある。第一後ダンパー５０ｂは、操作ハンドル５３ｂを有し、当該操作ハンドル５３ｂを手動で回すことによって、第一後ダンパー５０ｂの開度を変更することができる。すなわち、本実施形態では、一前ダンパー５０ａと第一後ダンパー５０ｂを独立して動作する。
操作ハンドル５３ｂは、筐体３の背面側に突出している。
他のダンパー５１、５２についても、第二前ダンパー５１ａ、第三前ダンパー５２ａ、第二後ダンパー５１ｂ、第三後ダンパー５２ｂに分割され、操作ハンドル５３ａ、５３ｂを有している。

なお、第一前ダンパー５０ａと第一後ダンパー５０ｂを連動して動作させるようにしてもよい。すなわち、操作ハンドル５３ａ及び操作ハンドル５３ｂの少なくとも一方を手動で回すことによって、ダンパー５０の開度を変更してもよい。他のダンパー５１、５２についても同様である。

図３の様に、各往路側送風路２５、２６、２７は、いずれも直線部６０と、大容積部６１を有している。各ダンパー５０、５１、５２の下流側は、垂直下方にのびる直線部６０となっている。そして、空気導入部２０、２１、２２に接続されている部分は、容積が他の領域に比べて大きな大容積部６１となっている。本実施形態では、直線部６０と、大容積部６１で、整流化部６３が構成されている。本実施形態では、整流化部６３は、各ダンパー５０、５１、５２と、空気導入部２０、２１、２２との間にある。

復路側送風領域１６には復路側送風路３５、３６、３７が配置されている。
復路側送風領域１６の構造は、往路側送風領域１５と略同様であり、復路側送風領域１６は、往路側送風領域１５と対称のダクトである。
説明の便宜上、各復路側送風領域１６を、第一復路側送風路３５、第二復路側送風路３６、第三復路側送風路３７と称する。

第一復路側送風路３５は、処理室６の上部空気排出部３０と空調部領域１１とを繋ぐ空気流路である。
本実施形態では、ヒータ７が筐体３内の上部に設置されているから、上部空気排出部３０は、ヒータ７に最も近い位置、即ちヒータ７への送風距離が最も短い位置にある。第一復路側送風路３５は、上部空気排出部３０に先端部が接続されている。すなわち、第一復路側送風路３５は、処理室６への接続口の高さが最も高い上部空気排出部３０と空調部領域１１とを繋ぐ空気流路である。

第二復路側送風路３６は、処理室６の中部空気排出部３１と、空調部領域１１とを繋ぐ空気流路である。
中部空気排出部３１は、ヒータ７から中程度の位置、即ちヒータ７への送風距離が中程度の位置にある。
第二復路側送風路３６は、中部空気排出部３１に先端部が接続されている。すなわち、第二復路側送風路３６は、処理室６への接続口の高さが前記した上部空気排出部３０とは異なる位置にある中部空気排出部３１と、空調部領域１１とを繋ぐ空気流路である。

第三復路側送風路３７は、処理室６の下部空気排出部３２と、空調部領域１１とを繋ぐ空気流路である。第三復路側送風路３７は、ヒータ７から最も遠い位置、即ちヒータ７への送風距離が最も長い位置にある。
第三復路側送風路３７は、下部空気排出部３２に先端部が接続されている。すなわち、第三復路側送風路３７は、処理室６への接続口の高さが前記した上部空気排出部３０及び中部空気排出部３１のいずれとも異なる位置にある下部空気排出部３２と、空調部領域１１とを繋ぐ空気流路である。

本実施形態の熱処理装置１では、復路側送風路３５、３６、３７の幅（奥行）Ｗが広く、処理室６の側面壁１８の幅（奥行）に匹敵し、略同じである。すなわち、各復路側送風路３５、３６、３７は、いずれも幅（奥行）が広い。また、各復路側送風路３５、３６、３７の幅の全長は側面壁１８の幅の６０パーセント以上に及んでいる。望ましくは、各復路側送風路３５、３６、３７の幅の全長は側面壁１８の幅の８０％以上である。更に望ましくは、各復路側送風路３５、３６、３７の幅の全長は側面壁１８の幅の９０％以上である。
各復路側送風路３５、３６、３７の末端には、ヒータ７に向かって開口する曲路部６５、６６、６７がある。各復路側送風路３５、３６、３７の開口部８０、８１、８２は、上下方向に積み重ねられている。

第一復路側送風路３５の一部たる曲路部６５は、ヒータ７の下部領域に向かって開口している。即ち、第一復路側送風路３５の開口部８０は、ヒータ７の下部領域に向かって開口している。
第二復路側送風路３６の一部たる曲路部６６は、ヒータ７の中間高さ領域に向かって開口している。即ち、第二復路側送風路３６の開口部８１は、ヒータ７の中間高さ領域に向かって開口している。
第三復路側送風路３７の一部たる曲路部６７は、ヒータ７の上部領域に向かって開口している。即ち、第三復路側送風路３７の開口部８２は、ヒータ７の上部領域に向かって開口している。
このように、本実施形態では、各復路側送風路３５、３６、３７の末端が、ヒータ７の異なる領域に向かって開口している。

各復路側送風路３５、３６、３７の末端の近傍には、それぞれダンパー７０、７１、７２が設けられている。
ダンパー７０、７１、７２の形状及び構造は、前記したダンパー５０、５１、５２と同じである。
ダンパー７０、７１、７２の幅（奥行）Ｗは、復路側送風路３５、３６、３７の他の部分に匹敵し、略同じである。また処理室６の側面壁１８の幅（奥行）にも匹敵し、略同じである。すなわち、ダンパー７０、７１、７２は、いずれも幅（奥行）が広い。また、ダンパー７０、７１、７２の幅の全長は側面壁１８の幅の６０パーセント以上に及んでいる。望ましくは、各ダンパー７０、７１、７２の幅の全長は側面壁１８の幅の８０％以上である。更に望ましくは、各ダンパー７０、７１、７２の幅の全長は側面壁１８の幅の９０％以上である。また各ダンパー７０、７１、７２は、いずれも長手方向に２分割されている。さらに各ダンパー７０、７１、７２は操作ハンドル７３ａ、７３ｂを有している。

各復路側送風路３５、３６、３７は、いずれも直線部７５と、大容積部７６を有している。即ち、空気排出部３０、３１、３２に接続されている部分は、容積が他の領域に比べて大きな大容積部７６となっている。大容積部７６と各ダンパー７０、７１、７２の間は、垂直上方にのびる直線部７５となっている。

次に、本実施形態の熱処理装置１の機能について説明する。
本実施形態の熱処理装置１は、処理室６に棚７７が設置され、当該棚７７に処理対象たるガラス板（図示せず）が設置される。
そしてヒータ７及び送風機８を起動する。送風機８によって、筐体３内の空気がヒータ７を経由して循環する。
また図示しない温度センサーによって、処理室６内の温度がヒータ７にフィードバックされ、処理室６内の温度が熱処理に適した高温に調整される。

熱風の流れについて、ヒータ７を起点として説明すると、ヒータ７で加熱された空気が、送風機８の吸気部４２に吸引されて加圧され、往路側送風路２５、２６、２７の始端の開口部４５、４６、４７に向かって吐出される。
そして加熱された空気が、各往路側送風路２５、２６、２７を通過して処理室６に供給される。
ここで、第一往路側送風路２５に導入された空気は、送風機８からの送風距離が近い位置に設けられた上部空気導入部２０に供給される。
第二往路側送風路２６に導入された空気は、送風機８からの送風距離が中程度の中部空気導入部２１に供給される。
第三往路側送風路２７に導入された空気は、送風機８からの送風距離が最も遠い下部空気導入部２２に供給される。

各往路側送風路２５、２６、２７はいずれも独立したダクトであり、他の送風路の影響を受けない。
そのため各往路側送風路２５、２６、２７に導入された空気がすべて、それぞれ対応する空気導入部２０、２１、２２に供給され、処理室６に導入される。

また各往路側送風路２５、２６、２７にそれぞれダンパー５０、５１、５２が設けられているので、ダンパー５０、５１、５２の開度を調節することによって、各往路側送風路２５、２６、２７に導入される空気の割合を任意に調節することができる。
そのため、各空気導入部２０、２１、２２から処理室６に向かって吹き出される送風は、位置によるばらつきが少なく、バランスが良い。

また、本実施形態の熱処理装置１では、往路側送風路２５、２６、２７の幅Ｗが広く、処理室６の側面壁１７の幅（奥行）に匹敵する。そのため、流路の断面積の変化が小さく、空気の流れは層流状態に近い。
往路側送風路２５、２６、２７には、ダンパー５０、５１、５２があり、当該ダンパー５０、５１、５２の部分で流路の断面積が絞られるが、ダンパー５０、５１、５２の幅（奥行）Ｗは、往路側送風路２５、２６、２７の他の部分と略同じであり、流路の幅方向の長さは変化しない。
さらに、ダンパー５０、５１、５２の下流に整流化部６３が設けられているので、各空気導入部２０、２１、２２の各小孔から均等に空気が処理室６に放出される。

前記した様に、整流化部６３は、直線部６０と、大容積部６１によって構成されている。整流化部６３は、ダンパー５０、５１、５２の下流側にある。ダンパー５０、５１、５２は、流路を一時的に絞る部材であり、ダンパー５０、５１、５２を通過した直後の送風は、乱流状態である。
本実施形態では、ダンパー５０、５１、５２の下流に、直線部６０があり、当該直線部６０を流れるうちに、空気流が整流され、層流化が進む。
そして空気は、容積が大きい大容積部６１に入る。大容積部６１は、容積が大きいので、内部の圧力が均一化する。その結果、各小孔２３から、均等に空気が処理室６に放出される。

各空気導入部２０、２１、２２は、処理室６の一方の側面壁１７に設けられているので、各空気導入部２０、２１、２２から放出された空気は、対向する側面壁１８に向かって送風される。
本実施形態では、対向する側面壁１８に、空気排出部３０、３１、３２があり、空気導入部２０、２１、２２から放出された空気は、対向する位置の空気排出部３０、３１、３２から処理室６の外部に排出される。
そして各空気排出部３０、３１、３２から排出された空気は、それぞれ連通する復路側送風路３５、３６、３７を流れて、空調部領域１１に戻る。

ここで、本実施形態では、各復路側送風路３５、３６、３７にダンパー７０、７１、７２が設けられているから、ダンパー７０、７１、７２の開度を調節することによって、各空気排出部３０、３１、３２に排出される空気の割合を任意に調節することができる。
そのため、各空気導入部２０、２１、２２から処理室６に導入される空気と、処理室６から各空気排出部３０、３１、３２に排出される空気のバランスを確保することができ、処理室６内の空気流を均一にすることができる。

処理室６内の空気は、各復路側送風路３５、３６、３７の末端の開口部８０、８１、８２から空調部領域１１に戻される。ここで、各復路側送風路３５、３６、３７の末端の開口部８０、８１、８２は、それぞれヒータ７の異なる領域に向かって開口している。
そのため、ヒータ７の各部を均等に空気が通過し、加熱される。そのため、ヒータ７を通過した空気は、温度むらが少なく、均質である。その結果、温度むらが少ない空気が処置室に供給される。

以上の様に、本実施形態の熱処理装置１によると、ダンパー５０、５１、５２、７０、７１、７２の開度を調節することにより、処理室６内にバランスよく送風することができる。
上記した流路の説明では、空気導入部２０、２１、２２の送風機８からの距離について説明したが、空気導入部２０、２１、２２のヒータ７からの距離についても送風機８と同様の関係にある。
また上記した流路の説明では、空気排出部３０、３１、３２とヒータ７との距離について説明したが、空気排出部３０、３１、３２と送風機８の距離についてもヒータ７と同様の関係にある。

以上説明した実施形態で採用するダンパー５０、５１、５２、７０、７１、７２は、２分割された構造であるが、一体のものであってもよい。
以上説明した実施形態では、ダンパー５０、５１、５２、７０、７１、７２に操作ハンドル５３、７３を設け、当該操作ハンドル５３、７３を手動で回すことによって、ダンパー５０、５１、５２、７０、７１、７２の開度を調節した。
これを発展させ、モータ等のアクチェータによってダンパー５０、５１、５２、７０、７１、７２を調節してもよい。
また処理室６内の各部の風量や風速を図示しないセンサーで監視し、これらが均等になる様に、アクチェータを制御装置で自動制御してもよい。また故意に、処理室６内の風量量にばらつきができるように、ダンパー５０、５１、５２、７０、７１、７２の開度を調節してもよい。

以上説明した実施形態では、ヒータ７の下流に送風機８が設置されているが、両者の順番は逆であってもよく、送風機８の下流にヒータ７があってもよい。
以上説明した実施形態では、全ての往路側送風路２５、２６、２７にダンパー５０、５１、５２を設けたが、ダンパーを持たない往路側送風路があってもよい。ただし、少なくとも複数の往路側送風路にダンパーがあることが必要である。復路側送風路３５、３６、３７のダンパー７０、７１、７２は、無くてもよい。

以上説明した実施形態では、３系統の往路側送風路２５、２６、２７と、３系統の復路側送風路３５、３６、３７を設けたが、往路側送風路の数と、復路側送風路の数は、より多くてもよい。
以上説明した実施形態では、往路側送風路の数と、復路側送風路の数が同数であるが、両者が異なっていてもよい。
復路側送風路は、１系統であってもよい。

以上説明した実施形態では、ヒータ７と送風機８が、処理室６の上部側に設置されているが、これらのレイアウトは任意でありヒータ７や送風機８が、処理室６の下部に設置されていてもよい。またヒータ７や送風機８が、処理室６の側方や後方にあってもよい。

以上説明した実施形態では、ダンパー５０、５１、５２、７０、７１、７２は、いずれもバタフライ型のダンパーであり、板状の弁体の中心にシャフトがあり、当該シャフトを中心として弁体を回動するものである。本発明は、ダンパーの構造を実施形態に限定するものではなく、公知のあらゆるダンパーを採用することができる。例えば、板状の弁体の端部や、一辺を中心として揺動するものであってもよい。

１ 熱処理装置
３ 筐体
６ 処理室
７ ヒータ
８ 送風機
１１ 空調部領域
１５ 往路側送風領域
１６ 復路側送風領域
１７ 側面壁
１８ 側面壁
２０ 上部空気導入部
２１ 中部空気導入部
２２ 下部空気導入部
２５ 第一往路側送風路
２６ 第二往路側送風路
２７ 第三往路側送風路
３０ 上部空気排出部
３１ 中部空気排出部
３２ 下部空気排出部
３５ 第一復路側送風路
３６ 第二復路側送風路
３７ 第三復路側送風路
５０ａ 第一前ダンパー（風量調節手段）
５０ｂ 第一後ダンパー（風量調節手段）
５１ａ 第二前ダンパー（風量調節手段）
５１ｂ 第二後ダンパー（風量調節手段）
５２ａ 第三前ダンパー（風量調節手段）
５２ｂ 第三後ダンパー（風量調節手段）
５３ａ、５３ｂ 操作ハンドル
６０ 直線部
６１ 大容積部
６３ 整流化部
６５、６６、６７ 曲路部
７０、７１、７２ ダンパー（風量調節手段）

Claims (5)

1. 被処理物を収容する処理室と、ヒータと、送風機とを有し、前記ヒータで温度調節された空気が前記処理室に供給される熱処理装置において、
   複数の往路側送風路を有し、
   前記処理室には、前記送風機からの距離が異なる位置に設けられた複数の空気導入部があり、
   前記各往路側送風路が、前記各空気導入部のいずれかに接続されており、
   前記各往路側送風路を経由して前記処理室に温度調節された空気が供給され、
   少なくとも複数の前記往路側送風路に、ダンパーが設けられており、
   前記ダンパーと前記空気導入部との間に設けられ、前記ダンパーの下流側で直線的にのびて空気流を整流する直線部と、当該直線部の下流で内部の圧力を均一化する大容積部とによって構成される整流化部があることを特徴とする熱処理装置。
2. 被処理物を収容する処理室と、ヒータと、送風機とを有し、前記ヒータで温度調節された空気が前記処理室に供給される熱処理装置において、
   複数の往路側送風路を有し、
   前記処理室には、前記送風機からの距離が異なる位置に設けられた複数の空気導入部があり、
   前記各往路側送風路が、前記各空気導入部のいずれかに接続されており、
   前記各往路側送風路を経由して前記処理室に温度調節された空気が供給され、
   少なくとも複数の前記往路側送風路に、ダンパーが設けられており、
   前記ダンパーと前記空気導入部との間に設けられ、空気流を整流する直線部を有する整流化部があり、
   複数の復路側送風路を有し、
   前記処理室には、前記ヒータまでの距離が異なる位置に設けられた複数の空気排出部があり、
   前記各復路側送風路が、前記各空気排出部のいずれかに接続されており、
   前記各復路側送風路を経由して前記ヒータ側に前記処理室内の空気が戻され、
   少なくとも複数の前記復路側送風路に、ダンパーが設けられていることを特徴とする熱処理装置。
3. 複数の復路側送風路を有し、
   前記処理室には、前記ヒータまでの距離が異なる位置に設けられた複数の空気排出部があり、
   前記各復路側送風路が、前記各空気排出部のいずれかに接続されており、
   前記各復路側送風路を経由して前記ヒータの異なる領域に前記処理室内の空気が戻されることを特徴とする請求項１に記載の熱処理装置。
4. 前記各復路側送風路を経由して前記ヒータの異なる領域に前記処理室内の空気が戻されることを特徴とする請求項２に記載の熱処理装置。
5. 前記ダンパーは、前記処理室の前記各空気導入部が設けられた壁面の幅方向の長さが前記壁面の幅の６０パーセント以上であることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の熱処理装置。

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