KR200438110Y1 - 반도체 제조용 박스 오븐 장치 - Google Patents

반도체 제조용 박스 오븐 장치 Download PDF

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Abstract

본 고안은 박스 오븐 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 건조를 위한 내부 공간에 균일하게 열풍을 안내할 수 있는 수단을 구비한 박스 오븐 장치에 관한 것이다.
본 고안에 따른 박스 오븐 장치는, 내부 공간을 한정하기 위한 측벽을 구비한 박스와, 측벽과의 사이에 열풍의 통로가 형성되도록 상기 측벽에서 일정거리 이격되어 설치되고 내부 공간과 연통되는 복수의 관통구멍이 형성된 열풍분배판을 포함하는 박스 오븐 장치에 있어서, 상기 열풍분배판과 측벽 사이의 통로에 설치되어 있으며, 상기 열풍분배판의 복수의 관통구멍을 통하여 내부 공간으로 열풍이 균일하게 흐르도록 안내하기 위한 열풍안내수단을 포함하는 것을 특징으로 한다.
오븐, 열풍분배판, 측벽, 관통구멍, 열풍안내수단

Description

반도체 제조용 박스 오븐 장치{BOX OVEN FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR}
도 1은 본 고안에 따른 박스 오븐 장치의 일실시예의 개략 단면도
도 2는 본 고안에 따른 박스 오븐 장치의 다른 실시예의 개략 단면도
도 3은 종래의 박스 오븐 장치의 개략 단면도
<도면 부호의 간단한 설명>
100 오븐 장치 110 모터
120 팬 130 히터
140 박스 141 측벽
142 경사벽 143 압력조절바
150 열풍분배판 151 관통구멍
160 흡입구 170 배출구
181 경사판 181a 관통구멍
182 압력조절바 183 힌지
184 너트 185 조절봉
본 고안은 박스 오븐 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 건조를 위한 내부 공간에 균일하게 열풍을 안내할 수 있는 수단을 구비한 박스 오븐 장치에 관한 것이다.
반도체 제조 공정에 있어서, 웨이퍼를 균일한 온도로 가열하기 위한 박스 오븐 장치가 사용된다. 도 3에는 종래의 박스 오븐 장치가 도시되어 있다.
상기 오븐 장치(10)는, 내부 공간을 한정하기 위해 측벽(14a)을 구비한 박스(14)와, 내부 공간에 설치되며 열풍이 유동되도록 복수의 관통구멍(15a)이 형성된 열풍분배판(15)을 설치한다. 또한 내부 공간과 열풍분배판(15)에 열풍을 공급할 수 있도록 박스(14)의 내측에 설치된 히터(13)와, 히터(13)의 열기를 순환시켜 주기 위해 회전축에 팬(12)이 설치된 모터(11)가 박스(14)의 외측에 설치된다. 또한 박스(14)의 일측면에는 외기를 흡입하거나 박스(14)의 따뜻한 공기를 배출하기 위해 흡입구(16) 및 배출구(17)가 설치된다.
그러나 상기에서와 같이 내부 공간에 일정거리 이격되어 설치된 열풍분배판의 상부 및 하부와, 대응되는 측벽의 상부 및 하부의 열풍이 순환되는 통로의 폭은 평행하게 동일 폭을 유지하고 있다. 따라서 열풍분배판의 상류에는 가열된 많은 량의 열풍이 공급되나 하류로 갈 수 록 손실이 발생되기 때문에 소량의 열풍만이 공급된다.
이와 같이 상류와 하류가 균일하게 열풍이 공급되지 못함으로 인해 열풍분배판 내부의 상부 및 하부에 수용된 반도체 장치를 균일하고 신속하게 베이킹 할 수 없는 문제점이 있다.
본 고안의 목적은 박스 오븐장치의 내부 공간에 균일하게 열풍을 공급하기 위한 열풍안내수단을 구비한 박스 오븐 장치를 제공하는 것이다. 또한, 본 고안의 목적은 열풍 흐름의 양에 따라서 내부공간에 열풍량을 균일하게 공급할 수 있도록 조절이 가능한 열풍안내수단을 구비한 박스 오븐장치를 제공하는 것이다.
본 고안에 따른 박스 오븐 장치는, 내부 공간을 한정하기 위한 측벽을 구비한 박스와, 측벽과의 사이에 열풍의 통로가 형성되도록 상기 측벽에서 일정거리 이격되어 설치되고 내부 공간과 연통되는 복수의 관통구멍이 형성된 열풍분배판을 포함하는 박스 오븐 장치에 있어서, 상기 열풍분배판과 측벽 사이의 통로에 설치되어 있으며, 상기 열풍분배판의 복수의 관통구멍을 통하여 내부 공간으로 열풍이 균일하게 흐르도록 안내하기 위한 열풍안내수단을 포함한다.
상기 열풍안내수단은, 열풍 흐름의 상류보다 하류의 통로의 폭이 좁아지도록 측벽에 경사벽을 형성하여 구성할 수 있다. 또한, 열풍 흐름을 방해하여 균일한 양의 열풍이 내부 공간으로 흐르도록 상기 경사벽에 폭방향으로 연장되도록 압력조절바를 설치하는 것이 바람직하다.
또한, 측벽과 열풍분배판 사이를 통과하는 열풍의 량에 따라서 경사각도를 조절할 수 있도록, 상기 열풍안내수단으로 열풍 흐름의 상류보다 하류의 통로의 폭이 좁아지도록 측벽에 경사판과 경사판의 각도를 조절하기 위한 수단을 설치할 수도 있다. 경사판에는 상기 열풍안내수단은 열풍 흐름을 방해하도록 상기 경사판에 폭방향으로 압력조절바를 추가로 설치하는 것이 바람직하다.
이하에서는 첨부의 도면을 참조하여 본 고안의 바람직한 실시예에 대하여 상세히 설명한다.
도 1은 본 고안에 따른 박스 오븐 장치의 일실시예의 개략 단면도로서, 본 고안의 오븐 장치(100)는, 박스(140)와 열풍분배판(150) 및 팬(120)이 설치된 모터(110) 그리고 히터(130)를 포함한다.
박스(140)는 내부 공간을 한정하기 위해 복수의 측벽(141)을 구비하며, 측벽(141)의 일단에는 외기를 흡입하기 위한 흡입구(160)와 박스(140)의 내부 공간을 냉각시키기 위해 열풍을 배출하는 배출구(170)가 설치되어 있다.
또한 측벽(141)의 타단에는 내부 공간을 향하여 상부에서 하부방향으로 넓어지도록 경사벽(142)을 형성하고, 경사벽(142) 및 기타 측벽(141)과 일정거리 이격되고 박스(140)의 내부 공간에 설치되며 복수의 관통구멍(151)이 형성된 열풍분배판(150)을 설치한다.
상기 열풍분배판(150)은 내부에 수용된 반도체 장치를 균일하고 신속하게 베이킹을 하기 위한 것이다. 따라서 본 고안의 실시예의 오븐 장치(100)는 동일한 시간 동안 균일하고 신속하게 열풍을 공급할 수 있도록 열풍분배판(150)의 상부 및 하부와 경사벽(142)의 상부 및 하부의 통로의 폭을 상류에서 하류로 갈 수 록 좁아지도록 형성된 것을 특징으로 한다.
또한 경사벽(142)에는 폭방향으로 연장되고 돌출된 적어도 하나 이상의 압력조절바(143)를 더 포함한다. 상기 압력조절바(143)는 열풍의 흐름을 방해하여 유 속을 증가시킴으로서 열풍분배판(150)의 통로 하류에 빠른 속도로 열풍을 공급하여 손실된 열풍을 신속하게 보충할 수 있다. 따라서 공급되는 열풍의 시간 차이가 적기 때문에 열풍분배판(150)의 상부 및 하부가 균일한 온도를 유지할 수 있게 된다.
상기에서와 같이 열풍을 공급하기 위해 박스(140)의 내부 공간의 상부 소정 위치에 히터(130)를 설치한다. 상기 히터(130)의 후방에는 열풍을 순환시키기 위해 바람을 공급하는 팬(120)이 설치되고, 팬(120)을 회전시켜 주기 위해 팬(120)과 고정된 축을 구비한 모터(110)가 박스(140)의 외측 상부에 설치되어 있다.
작동상태를 구체적으로 설명하면, 배출구(170)를 차단한 후 흡입구(160)를 개방하여 외기를 박스(140)에 공급한다. 이때 외기를 가열하거나 순환시키기 위해 박스(140)의 상부에 설치된 모터(110)를 회전시켜 팬(120)을 작동시키게 되며, 팬(120)의 전방에 설치된 가열된 히터(130) 통과하면서 외기는 고온의 열풍으로 변환한다. 변환된 열풍은 경사벽(143)과 열풍분배판(150)의 일정거리 이격된 상류 및 하류의 통로를 따라 순환되며, 열풍분배판(150)의 상부에서 하부방향으로 형성된 복수의 관통구멍(151)에 순차적으로 공급되고, 상류보다 하류가 폭이 좁은 경사벽(142)에 의해 열풍분배판(150)의 상부 및 하부에 균일한 열풍을 공급한다.
박스(140)의 내부 공간의 설정된 온도를 유지할 수 있도록 소정 시간이 흐르면, 흡입구(160)를 차단한 상태에서 팬(120)을 계속적으로 작동시켜 박스(140)의 내부 공간에 가열된 열풍을 열풍분배판(150)의 상부 및 하부에 균일한 온도를 유지하도록 순환시킨다.
상기에서와 같이 열풍을 순환시켜 일정시간 경과 후 열풍분배판(150)의 내부 에 수용된 반도체 장치의 베이킹 작업이 완료되면, 배출구(170)를 개방하여 신속하게 고온의 열풍을 배출함으로서 전체적인 작업을 완료한다.
도 2는 본 고안에 따른 박스 오븐 장치의 다른 실시예의 개략 단면도로서, 본 고안의 일실시예와 열풍안내수단의 구성이 다르다.
본 고안의 열풍안내수단은, 일단이 고정되고 타단이 자유롭게 작동되는 경사판(181)과, 경사판(181)의 타단을 작동시켜 경사판(181)의 전체적인 각도를 조절할 수 있도록 각도조절수단을 포함한다.
상기 경사판(181)은 본 고안의 일실시예인 경사벽(142)과 동일한 목적으로 사용되는 것으로, 일단 즉 상부에 관통구멍(181a)이 형성되고 관통구멍(181a)을 통해 핀(183)을 삽입하여 측벽(141)에 고정한다. 이와 같이 고정된 경사판(181)은 핀(183)을 기점으로 하부면이 벌어지거나 좁아지도록 경사면이 작동함으로서 열풍분배판(150)의 상부 및 하부에 균일하게 열풍을 공급할 수 있다.
또한 경사판(181)의 폭방향으로 연장된 적어도 하나 이상의 압력조절바(182)를 더 포함하며, 목적은 일실시예의 압력조절바(143)와 동일하다.
상기 경사판(181)의 하부면에는 각도조절수단이 설치되며, 상기 각도조절수단은 조절봉(185) 및 너트(184)를 구비한다.
즉, 효과적으로 열풍을 공급하기 위해 경사판(181)의 경사 각도를 조절할 수 있도록 경사판(181)의 하부면에 일단이 회전 가능하도록 설치되고 타단은 나사가 형성된 조절봉(185)을 설치한다. 상기 조절봉(185)의 나사가 형성된 타단은 박스(140)의 외측에 설치되고, 일단은 박스(140)를 관통하여 경사판(181)의 하부면에 설치되어 있다. 이와 같이 설치된 조절봉(185)을 회전시켜 경사판(181)을 경사 각도를 조절할 수 있도록 박스(140)의 외측에 연장 설치된 조절봉(185)의 나사가 형성된 타단과 체결되기 위해 너트(184)를 설치한다.
따라서 너트(184) 및 조절봉(185)을 선택적으로 회전시킴으로서 경사판(181)의 타단을 작동시켜 경사판(181)의 경사 각도를 조절하게 되고, 이는 열풍분배판(150)의 상부에서와 같이 동일하고 균일하게 하부에도 열풍을 효과적으로 공급할 수 있다.
본 고안에 따르면, 측벽과 복수의 관통구멍이 형성된 열풍분배판 사이에 경사판을 설치하여 열풍이 통과하는 통로의 폭을 조절할 수 있는 박스 오븐 장치를 제공한다. 본 고안에 따른 박스 오븐 장치는 통로의 폭을 상부보다 하부를 좁게하여 열풍 흐름의 하류에 압력이 형성되도록 하여, 열풍분배판의 상류측 관통구멍을 통과하는 열풍의 양이나 하류측 관통구멍을 통과하는 열풍의 양을 균일하게 조절할 있다. 따라서, 박스 오븐 장치의 내부 공간에 열풍을 균일하게 공급할 수 있어서 반도체 장치를 균일하고 신속하게 베이킹 할 수 있는 효과가 있다.
앞에서 설명되고 도면에 도시된 본 고안의 일실시예는, 본 고안의 기술적 사상을 한정하는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 고안의 보호범위는 청구범위에 기재된 사항에 의하여만 제한되고, 본 고안의 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 고안의 기술적 사상을 다양한 형태로 개량 변경하는 것이 가능하다. 따라서 이러한 개량 및 변경은 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 것인 한 본 고안의 보호 범위에 속하게 될 것이다.

Claims (7)

  1. 내부 공간을 한정하기 위한 측벽을 구비한 박스와, 측벽과의 사이에 열풍의 통로가 형성되도록 상기 측벽에서 일정거리 이격되어 설치되고 내부 공간과 연통되는 복수의 관통구멍이 형성된 열풍분배판을 포함하는 박스 오븐 장치에 있어서,
    상기 열풍분배판과 측벽 사이의 통로에 설치되어 있으며, 상기 열풍분배판의 복수의 관통구멍을 통하여 내부 공간으로 열풍이 균일하게 흐르도록 안내하기 위한 열풍안내수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 박스 오븐 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 열풍안내수단은 열풍 흐름의 상류보다 하류의 통로의 폭이 좁아지도록 측벽에 형성된 경사벽을 포함하는 것을 특징으로 하는 박스 오븐 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 열풍안내수단은 열풍 흐름을 방해하도록 상기 경사벽에 폭방향으로 연장되도록 설치된 압력조절바를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 박스 오븐 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 열풍안내수단은 열풍 흐름의 상류보다 하류의 통로의 폭이 좁아지도록 측벽에 설치된 경사판을 포함하는 것을 특징으로 하는 박스 오븐 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 열풍안내수단은 경사판의 경사 각도를 조절하기 위한 각도조절수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 박스 오븐 장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 열풍안내수단은 열풍 흐름을 방해하도록 상기 경사판에 폭방향으로 연장되도록 설치된 압력조절바를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 박스 오븐 장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 각도조절수단은, 일단이 경사판에 회전이 가능하도록 연결되고 타단에 나사가 형성된 조절봉과, 상기 타단에 연결된 너트를 포함하는 것을 특징으로 하는 박스 오븐 장치.
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