JP7534947B2 - 研削装置 - Google Patents
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Description
また、別の対策として、ノズルから噴射する研削水の方向を変更することによって着水点を該半径エリアになるようにすることが可能になるが、噴射方向の調整は、装置を一時停止させ、作業者が行わなければならない。そのため、時間がかかる。
そして、連れ回りエアの速度は、研削砥石の回転速度に比例して変化するし、研削砥石の砥粒径によって変化する研削砥石の側面の凹凸の大きさに比例して変化する。
上記の研削装置は、該エア層破壊板を、該研削砥石の磨耗状態に応じて該保持面に垂直な方向に移動させる昇降手段を備えていることが望ましい。
また、昇降手段を用いてエア層破壊板を昇降させることにより、エア層破壊板を適宜の高さ位置に位置づけることができ、これによりエア層破壊板を用いて連れ回りエア層を確実に破壊できる。
図1に示す研削装置1は、研削手段3を用いて被加工物17を研削加工する研削装置である。図1の例における被加工物17の下面には保護テープ172が貼着されているが、保護テープ172が貼着されない場合もある。以下、研削装置1の構成について説明する。
水平移動手段5を用いてスライド板53をY軸方向に水平移動させることによってチャックテーブル2をY軸方向に移動させることができる。
なお、水平移動手段は、チャックテーブル2を複数配設したターンテーブルであってもよい。
基台22には図1に示すケーシング23が連結されている。ケーシング23の内部には、チャックテーブル2を回転させる図示しない回転手段等が配設されている。該回転手段を用いることによりチャックテーブル2を回転させることができる。
研削砥石340の下面342が被加工物17の中心1700を通るように位置づけられている状態では、図3に示すように、研削砥石340の回転軌道の内周側の一部はチャックテーブル2の外周から+Y方向にはみ出したはみ出し部344を備えている。なお、はみだし部344がはみ出す方向は、チャックテーブル2と研削手段3との位置関係に応じて定まるものであり、+Y方向には限られない。
また、エア層破壊板6の-Y方向側の部分には、+Z方向に向けて突出してホイール基台341の下面に接触する凸状部分600が形成されている。凸状部分600は、図3に示すように、研削ホイール34の回転時に回転しない部分であるホイール基台341の下面の中心3415に接触している。研削送り手段4に駆動されて研削ホイール34が-Z方向に下降する際には、ホイール基台341の下面によってエア層破壊板6が保持面200に垂直な方向である-Z方向に押し下げられることとなる。凸状部分600とホイール基台341の下面とが接触する部分を除き、エア層破壊板6とホイール基台341及び研削砥石340との間には隙間604が形成されている。
なお、図1~図3に示した例におけるエア層破壊板6は、長手方向がY軸方向に平行となるように配設されているが、研削砥石340の回転軌道の半径方向に向いていれば、図示の例には限られない。図4に示すように、エア層破壊板6は、エアが研削砥石340の外に排出しやすいようにチャックテーブル2の外周に沿って円弧に形成されていてもよい。
なお、昇降手段60は、ボールネジを回転させる機構を備え、ボールネジを回転させエア層破壊板6を昇降可能にしてもよい。
例えば、研削送り手段4に駆動されて研削ホイール34が-Z方向に下降し、ホイール基台341の下面によってエア層破壊板6が保持面200に垂直な方向である-Z方向に押し下げられると、これに伴ってピストンロッド63が-Z方向に下降することとなる。
なお、該エア供給手段は、ピストンロッド63を+Z方向に上昇させる力が研削ホイール34を-Z方向に下降させる力より小さくなるようシリンダ62に供給するエアの供給圧力を調整する電空レギュレータを備えていてもよい。
上面ハイトゲージ70は、例えば被加工物17の上面170にレーザー光線を投光して被加工物17の上面170において反射した反射光を受光することによって被加工物17の上面170の高さを測定する非接触式のハイトゲージである。また、保持面ハイトゲージ71は、枠体21の上面210にレーザー光線を投光して枠体21の上面210において反射した反射光を受光することによって枠体21の上面210に面一な保持面200の高さを測定する非接触式のハイトゲージである。
厚み測定手段7は厚み算出手段72を備えている。上面ハイトゲージ70によって測定された被加工物17の上面170の高さの情報と保持面ハイトゲージ71によって測定された保持面200の高さの情報とは厚み算出手段72に伝達され、厚み算出手段72において被加工物17の上面170の高さから保持面200の高さが差し引かれることによって被加工物17の厚みが算出される構成となっている。
研削装置1を用いて被加工物17を研削加工する際の研削装置1の動作について説明する。研削装置1を用いて被加工物17を研削加工する際には、まず図1に示した被加工物17をチャックテーブル2の保持面200に保持してから、水平移動手段5を用いてチャックテーブル2を+Y方向に水平移動させ、チャックテーブル2に保持された被加工物17を研削手段3の下方に位置づける。
このとき、図2及び図3に示すように研削砥石340の下面342が被加工物17の中心1700を通るように被加工物17の水平位置を調整する。
被加工物17の上面170に研削砥石340の下面342が接触している状態で、研削送り手段4を用いてさらに研削砥石340を-Z方向に下降させていくことにより、被加工物17が研削加工される。
具体的には、研削ホイール34を-Z方向に下降させてホイール基台341の下面でエア層破壊板6を-Z方向に押し下げるときには、そのときに研削砥石340にかかる荷重が荷重センサ9によって測定される。そして、測定された研削砥石340にかかる荷重の大きさに応じて該エア供給手段からシリンダ62の内部に供給するエアの供給圧力を減少させることにより、ピストンロッド63がエア層破壊板6を+Z方向に付勢する力を小さくする。これにより、エア層破壊板6を容易に下降させることが可能になり好適である。
170:上面 1700:中心 1701:外周 1702:研削エリア
172:保護テープ
2:チャックテーブル 20:吸引部 200:保持面
21:枠体 210:上面 22:基台 23:ケーシング 24:連結部材
3:研削手段 30:スピンドル 31:ハウジング 32:スピンドルモータ
33:マウント 34:研削ホイール 340:研削砥石 341:ホイール基台
342:下面 344:はみ出し部 35:回転軸
4:研削送り手段 40:ボールネジ 41:ガイドレール 42:Z軸モータ
420:エンコーダ 43:昇降板
44:ホルダ 440:側板 441:底板 442:留め具 45:回転軸
5:水平移動手段 50:ボールネジ 51:ガイドレール 52:Y軸モータ
53:スライド板 54:ナット 55:回転軸
6:エア層破壊板 60:昇降手段 600:凸状部分
61:支持板 62:シリンダ 63:ピストンロッド
7:厚み測定手段 70:上面ハイトゲージ 71:保持面ハイトゲージ
72:厚み算出手段
8:ノズル 80:噴射口 9:荷重センサ
Claims (2)
- 保持面に被加工物を保持するチャックテーブルと、スピンドルの先端に装着した回転可能な環状の研削砥石の下面を該保持面に保持された被加工物の中心を通り外周から中心に至る円弧の研削エリアに接触させ該被加工物を研削する研削手段と、該環状の研削砥石の内側に配置された噴射口から該研削エリアに研削水を供給するノズルと、を備える研削装置であって、
該研削砥石の内周側には、該チャックテーブルの外周より外側にはみ出すはみ出し部を備え、
該はみ出し部に配置され、該研削砥石の回転に伴って該研削砥石の内側面に沿って形成された連れ回りエア層を破壊するエア層破壊板を備える研削装置。 - 該エア層破壊板を、該研削砥石の磨耗状態に応じて該保持面に垂直な方向に移動させる昇降手段を備える請求項1記載の研削装置。
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