JP2015217444A - 研削装置 - Google Patents
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Abstract
Description
また、研削液供給手段では、研削液供給口から被加工物の上面に向けて研削液を供給することから、研削砥石の側壁に研削液が衝突して周囲に飛散するおそれも低減する。よって、従来に比べて使用する研削液の使用量を抑えるとともに、研削液を効果的に加工領域に供給することができる。更に、研削屑を含んだ研削液が飛散し被加工物上に研削屑が付着することも防止できる。
また、研削液供給部が円弧状加工領域の弦と平行な軸周りに回動可能に配設されているため、上壁部が所定の圧力で被加工物の上面に対して研削液供給層を押圧することにより、被加工物の上面と上壁部とにより区画される空間の断面積を最小にすることができ、保持テーブルの回転速度に応じて研削液供給層の流速を最適な速度に設定できる。よって、使用する研削液の使用量を抑えるとともに、研削液を効果的に円弧状加工領域に供給することができる。
また、研削液供給手段40は、被加工物Wの上方側に配置された研削液供給口43から被加工物Wの上面Waに向けて研削液を供給するため、研削砥石26の側壁に研削液が衝突して飛散するおそれも低減する。これにより、従来のように過度に多量の研削液を被加工物Wに供給する必要がなくなる。
さらに、研削液供給部41が円弧状加工領域100の弦101と平行にのびる回転軸45の軸周りに回動可能に配設されているため、上壁部44が所定の圧力で被加工物Wの上面Waに対して研削液供給層50を押圧することにより、被加工物Wの上面Waと上壁部44とにより区画される空間の断面積を調整することができ、保持テーブル10の回転速度に応じて研削液供給層50の流速を最適な速度に設定できる。したがって、研削液の使用量を抑えつつ、円弧状加工領域100に効率よく研削液を供給することができる。
4a,4b:カセット 5:搬送手段 6:仮置き手段 7:洗浄手段
8a:第1の搬送手段 8b:第2の搬送手段 9:蛇腹
10:保持テーブル 11:カバー
20:研削手段 21:スピンドル 22:スピンドルハウジング 23:モータ
24:マウント 25:研削ホイール 26:研削砥石 27:支持部
30:昇降手段 31:ボールネジ 32:モータ 33:ガイドレール
34:昇降板
40,40a:研削液供給手段 41:研削液供給部 42:支持部材
43:研削液供給口 430:噴出孔 44:上壁部 45:回転軸
46:吸引部 460:吸引口 461:吸引路
47:バルブ 48:吸引源
50:研削液供給層
100:円弧状加工領域 101:弦 200:回転軌跡
Claims (2)
- 被加工物を保持し所定の向きに回転可能な保持テーブルと、該保持テーブルで保持された被加工物を研削する環状に配設された研削砥石を含む研削ホイールを有した研削手段と、被加工物と該研削砥石とに研削液を供給する研削液供給手段と、を備えた研削装置であって、
該研削液供給手段は、被加工物に対して該研削砥石が作用する円弧状加工領域の該研削砥石より該保持テーブルの回転方向後方側から被加工物の上面に向けて研削液を供給する研削液供給口と、
該研削液供給口と該円弧状加工領域の該研削砥石との間で被加工物の上面側に所定の間隔を有し、該研削液供給口から被加工物上面に供給された研削液が該保持テーブルの回転に伴って該円弧状加工領域の該研削砥石に向かって流動する研削液供給層を形成する上壁部と、を有する研削液供給部を備え、
該研削液供給部は、該円弧状加工領域の弦と平行な軸周りに回動可能に配設され、一定圧力で該上壁部が該研削液供給層を被加工物の上面に対して押圧する研削装置。 - 前記研削ホイールは、基台の自由端に複数の研削砥石が互いに所定の間隔を有して環状に配設され、
前記研削液供給手段は、前記円弧状加工領域より前記保持テーブルの回転方向前方側に配設され、前記研削液供給口から被加工物の上面に供給され該円弧状加工領域に到達した後に該研削砥石の外側に排出された研削液を吸引する吸引口を有する吸引部を備える請求項1に記載の研削装置。
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JPS63306870A (ja) * | 1987-06-10 | 1988-12-14 | Hitachi Ltd | 研磨方法及びその装置 |
JPH11347902A (ja) * | 1998-06-08 | 1999-12-21 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | 薄板の加工方法および加工装置 |
JP2002367933A (ja) * | 2001-06-11 | 2002-12-20 | Disco Abrasive Syst Ltd | 半導体ウェーハの分離方法 |
JP2013082061A (ja) * | 2011-10-06 | 2013-05-09 | Rolls Royce Plc | スロット状ノズルを持つ研削装置 |
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2014
- 2014-05-14 JP JP2014100372A patent/JP6280809B2/ja active Active
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