JP7496438B2 - イオン源バッフル、イオンエッチング装置及びその使用方法 - Google Patents
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Description
中空構造のバッフル本体を含み、
前記バッフル本体の内壁には対称に設けられるバッフルが固定されており、前記バッフルは前記バッフル本体の中心に向かって延在しており、
前記バッフル本体の内壁から前記バッフル本体の中心への方向において、前記バッフルによる遮断領域は小さくなるイオン源バッフルを提案している。
前記イオン源バッフルに基づくものであり、放電室と反応室を含み、
前記反応室は接続チャンバと、前記接続チャンバに連通している反応チャンバと、を含み、
前記放電室は前記接続チャンバ内に位置し、前記反応チャンバに連通しており、
前記接続チャンバ内にはプラズマを集束してプラズマビームを形成するイオン源Gridモジュールが設けられ、前記イオン源Gridモジュールは放電室のうち反応チャンバに連通している側に近く、
前記イオン源Gridモジュールは、内孔と外孔が設けられ、前記内孔の直径が前記外孔の直径よりも小さいスクリーングリッドを含むイオンエッチング装置であって、
前記イオン源バッフルは前記放電室の内壁に係着され、前記プラズマは前記イオン源バッフル及び前記イオン源Gridモジュールを順次通過するイオンエッチング装置を提案している。
前記イオンエッチング装置に基づくイオンエッチング装置の使用方法であって、
前記放電室のうち前記イオン源Gridモジュールに近い側に前記イオン源バッフルを係着するステップ(1)と、
前記放電室内で前記プラズマを発生させるステップ(2)と、
前記プラズマが前記イオン源バッフルで遮断されると、前記放電室のエッジ領域から前記放電室の中心領域まで、前記プラズマの数が徐々に多くなるステップ(3)と、
前記プラズマは前記イオン源Gridモジュールのスクリーングリッド内に入射されてから、前記スクリーングリッドを順次透過してプラズマビームを形成し、前記プラズマビームはGridモジュールの加速グリッドを透過して前記反応チャンバ内に入射されるステップ(4)と、を含むイオンエッチング装置の使用方法を提案している。
(1)バッフル本体の内壁からバッフル本体の中心への方向において、バッフルによる遮断領域は小さくなり、これによって、バッフル本体のエッジ領域で遮断されるプラズマがバッフル本体の中心領域で遮断されるプラズマよりも多く、プラズマがバッフルで遮断されると、このバッフルの作用により、放電室のエッジ領域から放電室の中心領域まで、プラズマの数が徐々に増加し、すなわち、放電室の中心領域よりも、放電室のエッジ領域のプラズマ密度が低下する。
(2)イオンエッチング装置にイオン源バッフルが増設されることによって、放電室内で発生させたプラズマがイオン源バッフル、スクリーングリッド及び加速グリッドを順次通過し、プラズマがイオン源バッフルで遮断されると、放電室のエッジ領域から放電室の中心領域まで、プラズマの数が徐々に増加し、放電室の中心領域よりも、放電室のエッジ領域でのプラズマ密度が低下し、これによって、スクリーングリッドの外孔が内孔よりも大きいという構造の設計に対して補償を行い、プラズマがスクリーングリッド及び加速グリッドを通過してから均一に分布する傾向にあるプラズマビームを形成することで、プラズマがイオン源Gridモジュールを透過してなるプラズマビームの均一性が確保される。
放電室2のエッジ領域のプラズマの密度を効果的に調整し、対象基板5のエッジ領域及び中心領域に至るプラズマの密度分布を均一にするために、イオン源バッフル1のバッフル12の数は好ましくは2~20個であってもよく、イオンエッチング装置の様々なエッチング速度、イオン源バッフル1については、各イオン源バッフル1のバッフル12の数は以下の作業状況を参照する。
放電室2のうちイオン源Gridモジュール4に近い側にイオン源バッフル1を係着するステップ(1)と、
放電室2内でプラズマを発生させるステップ(2)と、
プラズマがイオン源バッフル1で遮断されると、放電室2のエッジ領域から放電室2の中心領域まで、プラズマの数が徐々に多くなるステップ(3)と、
プラズマはイオン源Gridモジュール4のスクリーングリッド41内に入射されてから、スクリーングリッド41を順次透過してプラズマビームを形成し、プラズマビームはGridモジュールの加速グリッド42を透過して反応チャンバ32内に入射されるステップ(4)と、を含むイオンエッチング装置の使用方法を提案している。
11 バッフル本体
12 バッフル
2 放電室
3 反応室
31 接続チャンバ
32 反応チャンバ
4 イオン源Gridモジュール
41 スクリーングリッド
42 加速グリッド
411 外孔
5 対象基板
Claims (8)
- 中空構造のバッフル本体を含み、
前記バッフル本体の内壁には対称に設けられるバッフルが固定されており、前記バッフルは前記バッフル本体の中心に向かって延在しており、
前記バッフル本体の内壁から前記バッフル本体の中心への方向において、前記バッフルによる遮断領域は小さくなり、
前記バッフルは扇形であることを特徴とするイオン源バッフル。 - 前記バッフル本体は環状であることを特徴とする請求項1に記載のイオン源バッフル。
- 前記バッフルの内段は多角形又は円形であることを特徴とする請求項1に記載のイオン源バッフル。
- 前記扇形に対応する扇形の中心角が3°~15°であることを特徴とする請求項1に記載のイオン源バッフル。
- 前記バッフルの材料は石英材料又はセラミックス材料であることを特徴とする請求項1に記載のイオン源バッフル。
- 請求項1~5のいずれか1項に記載のイオン源バッフルに基づくものであり、放電室と反応室を含み、
前記反応室は接続チャンバと、前記接続チャンバに連通している反応チャンバと、を含み、
前記放電室は前記接続チャンバ内に位置し、前記反応チャンバに連通しており、
前記接続チャンバ内にはプラズマを集束してプラズマビームを形成するイオン源Gridモジュールが設けられ、前記イオン源Gridモジュールは放電室のうち反応チャンバに連通している側に近く、
前記イオン源Gridモジュールは、内孔と外孔が設けられ、前記内孔の直径が前記外孔の直径よりも小さいスクリーングリッドを含むイオンエッチング装置であって、
前記イオン源バッフルは前記放電室の内壁に係着され、前記プラズマは前記イオン源バッフル及び前記イオン源Gridモジュールを順次通過することを特徴とするイオンエッチング装置。 - 前記イオン源バッフルと前記イオン源Gridモジュールとの間の距離が0よりも大きいことを特徴とする請求項6に記載のイオンエッチング装置。
- 請求項6に記載のイオンエッチング装置に基づくイオンエッチング装置の使用方法であって、
前記放電室のうち前記イオン源Gridモジュールに近い側に前記イオン源バッフルを係着するステップ(1)と、
前記放電室内で前記プラズマを発生させるステップ(2)と、
前記プラズマが前記イオン源バッフルで遮断されると、前記放電室のエッジ領域から前記放電室の中心領域まで、前記プラズマの数が徐々に多くなるステップ(3)と、
前記プラズマは前記イオン源Gridモジュールのスクリーングリッド内に入射されてから、前記スクリーングリッドを順次透過してプラズマビームを形成し、前記プラズマビームは前記イオン源Gridモジュールの加速グリッドを透過して前記反応チャンバ内に入射されるステップ(4)と、を含むことを特徴とするイオンエッチング装置の使用方法。
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---|---|---|---|---|
CN117690773A (zh) * | 2023-12-12 | 2024-03-12 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 电子束发生器及离子束刻蚀设备 |
Citations (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001160368A (ja) | 1999-12-01 | 2001-06-12 | Sumitomo Eaton Noba Kk | イオン源 |
JP2002216653A (ja) | 2001-01-23 | 2002-08-02 | Hitachi Ltd | イオンビーム分布制御方法およびイオンビーム処理装置 |
JP2002270598A (ja) | 2001-03-13 | 2002-09-20 | Tokyo Electron Ltd | プラズマ処理装置 |
JP2003031175A (ja) | 2001-07-12 | 2003-01-31 | Hitachi Ltd | イオンビーム処理装置 |
WO2007029777A1 (ja) | 2005-09-09 | 2007-03-15 | Ulvac, Inc. | イオン源およびプラズマ処理装置 |
JP2008130430A (ja) | 2006-11-22 | 2008-06-05 | Ae Kiki Engineering Co Ltd | 高周波イオン源 |
JP2009544839A (ja) | 2006-07-20 | 2009-12-17 | アビザ テクノロジー リミティド | イオンデポジション装置 |
JP2012142398A (ja) | 2010-12-28 | 2012-07-26 | Canon Anelva Corp | イオンビームエッチング装置、方法及び制御装置 |
JP2015146355A (ja) | 2014-01-31 | 2015-08-13 | 株式会社東芝 | デバイス製造装置及び磁気デバイスの製造方法 |
JP2016225508A (ja) | 2015-06-01 | 2016-12-28 | キヤノンアネルバ株式会社 | イオンビームエッチング装置、およびイオンビーム発生装置 |
JP2017526179A (ja) | 2014-08-06 | 2017-09-07 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated | 上流のプラズマ源を使用するチャンバ後の軽減 |
CN108428611A (zh) | 2017-11-22 | 2018-08-21 | 中国电子科技集团公司第五十五研究所 | 一种调节离子铣均匀性的方法 |
JP2020071907A (ja) | 2018-10-29 | 2020-05-07 | 三菱電機株式会社 | イオン注入装置 |
JP2020167107A (ja) | 2019-03-29 | 2020-10-08 | キヤノン株式会社 | イオン源及び蒸着装置 |
JP2020181745A (ja) | 2019-04-25 | 2020-11-05 | キヤノン株式会社 | イオン源及び蒸着装置 |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5562734A (en) * | 1978-11-01 | 1980-05-12 | Toshiba Corp | Ion source and ion etching method |
JPH06204181A (ja) * | 1992-12-29 | 1994-07-22 | Ibiden Co Ltd | プラズマエッチング用電極板 |
US6761796B2 (en) * | 2001-04-06 | 2004-07-13 | Axcelis Technologies, Inc. | Method and apparatus for micro-jet enabled, low-energy ion generation transport in plasma processing |
US7015146B2 (en) * | 2004-01-06 | 2006-03-21 | International Business Machines Corporation | Method of processing backside unlayering of MOSFET devices for electrical and physical characterization including a collimated ion plasma |
US20050241767A1 (en) * | 2004-04-30 | 2005-11-03 | Ferris David S | Multi-piece baffle plate assembly for a plasma processing system |
CN101490794A (zh) * | 2006-07-20 | 2009-07-22 | 阿维扎技术有限公司 | 等离子体源 |
JP2014209406A (ja) * | 2011-07-20 | 2014-11-06 | キヤノンアネルバ株式会社 | イオンビーム発生装置、およびイオンビームプラズマ処理装置 |
US8497486B1 (en) * | 2012-10-15 | 2013-07-30 | Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | Ion source having a shutter assembly |
EP3084804B1 (en) * | 2013-12-20 | 2018-03-14 | Nicholas R. White | A ribbon beam ion source of arbitrary length |
US9406535B2 (en) * | 2014-08-29 | 2016-08-02 | Lam Research Corporation | Ion injector and lens system for ion beam milling |
CN106683966B (zh) * | 2016-08-31 | 2019-05-07 | 北京埃德万斯离子束技术研究所股份有限公司 | 一种大束径离子源及屏栅 |
US11239060B2 (en) * | 2018-05-29 | 2022-02-01 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Ion beam etching chamber with etching by-product redistributor |
CN109950121B (zh) * | 2019-04-15 | 2021-07-27 | 江苏鲁汶仪器有限公司 | 一种通电离子源挡板 |
CN110223903B (zh) * | 2019-04-22 | 2021-07-02 | 江苏鲁汶仪器有限公司 | 一种均匀对称布置且同步开合的离子源挡板 |
CN110047724B (zh) * | 2019-04-22 | 2021-07-27 | 江苏鲁汶仪器有限公司 | 一种离子束刻蚀用双层挡板 |
CN110571121B (zh) * | 2019-09-17 | 2022-08-26 | 江苏鲁汶仪器有限公司 | 采用远程等离子体源自清洗离子束刻蚀装置及清洗方法 |
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- 2021-05-24 TW TW110118704A patent/TWI825422B/zh active
Patent Citations (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001160368A (ja) | 1999-12-01 | 2001-06-12 | Sumitomo Eaton Noba Kk | イオン源 |
JP2002216653A (ja) | 2001-01-23 | 2002-08-02 | Hitachi Ltd | イオンビーム分布制御方法およびイオンビーム処理装置 |
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