JP7493124B2 - チャンバー装置 - Google Patents

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Description

本発明は、天井裏や階間空間に設置される、チャンバー装置に関する。
複数の部屋に供給するために空調機から流入する空気を分岐させるチャンバー装置として、例えば、下記特許文献1に記載される分岐チャンバーがある。
従来の分岐チャンバーの構成を図5に示す。
この分岐チャンバー300は、主ダクト602からの空気を分岐チャンバー300内に送り込むための主ダクト接続口304と、分岐チャンバー300内の空気を複数の部屋に送り込むための分岐ダクト接続口305とを備える。
それぞれの分岐ダクト接続口305には、分岐チャンバー300内において、分岐チャンバー300から吹き出す空気の風量を調節するダンパ400を備える。
ダンパ400は、分岐ダクト接続口305に対して着脱可能に取付けられている。このダンパ400は、遠隔制御される電動式ダンパである。
また、天井空間と屋内空間とを仕切る天井仕切り部には、天井点検口が設けられ、分岐チャンバー300は、天井点検口に隣接して設けられる。
また、分岐チャンバー(チャンバー)300の筐体には筐体の内部を点検するためのチャンバー点検口310が設けられている。
上記構成により、風量の調節を行って、各部屋の温度を調節することができ、メンテナンスが容易にできるとしている。
特開2019-178793号公報
このような従来のチャンバーは、制御部のコネクタが、当該制御部の一側面に配置されている。このため、流量調整部側コネクタと制御部側コネクタを接続する際、接続線が制御部本体の幅方向以上の長さを確保する必要があるという課題を有していた。
そこで、本発明は、上記課題を解決するものであり、配線作業の施工性向上を図ることができるチャンバー装置を提供することを目的とする。
そして、この目的を達成するために、本発明に係るチャンバー装置は、天井に設けられた点検口の鉛直上方に配置されるチャンバー装置であって、天面と底面と側面とを有し外郭を形成するボディと、ボディの内側に形成される分流空間と、ボディの側面に分流空間に空気を取り入れるための流入口と、流入口にダクトを接続するための主ダクト接続部と、側面に分流空間に取り込まれた空気を流出させるための複数の流出口と、流出口にダクトを接続するための分岐ダクト接続部と、流出口の近傍に配置された流量調整部と、流量調整部を制御する制御部と、を備え、制御部は、ボディの底面に当該制御部の側面とボディの側面とが平行になるように配置され、制御部の対向する二つの側面に、当該制御部の四つの側面に対応するボディの側面に設けられた流量調整部と電気接続を行うための配線接続部を備え、制御部および流量調整部は、前記点検口からの平面投影面よりも内側にすべて配置されるものであり、これにより所期の目的を達成するものである。
本発明によれば、配線作業の施工性を良化させることができるチャンバー装置を提供することができる。
本発明の実施の形態1に係るチャンバー装置の主な構成部品を分解した概略分解斜視図。 本発明の実施の形態1に係る流量調整部の概略図。 本発明の実施の形態1に係るチャンバー装置を点検口を含め制御部側からみた概略図。 本発明の実施の形態1に係るチャンバー装置を制御部側からみた概略図。 従来の分岐チャンバーを示す模式図であって、(A)は横断面図、(B)は背面図、(C)は正面図。
以下、添付図面を参照して本発明の実施の形態につき説明し、本発明の理解に供する。なお、以下の実施の形態は、本発明を具体化した一例であって、本発明の技術的範囲を限定するものではない。また、全図面を通して、同一の部位については同一の符号を付して二度目以降の説明を省略している。
(実施の形態1)
図1は本実施の形態に係るチャンバー装置100の分解斜視図である。
チャンバー装置100は、ボディ1の内側に形成された分流空間(図示しない)に流入した気体を、複数に分岐させて送風することで、例えば一つのファンにより供給された空調された気体を複数の部屋に分配するために利用される。
チャンバー装置100は、図1、図3に示すように、中空矩形形状のボディ1に側面13aと側面13bと側面13cと側面13dと天面14と、底面15とを備えている。
ボディ1は、チャンバー装置100の外郭を構成し、例えば発泡スチロールを素材とする複数の部位を組み立てて形成される。
なお、本実施の形態では、空調された気体がボディ1に流入するため、断熱の目的でボディ1の素材を発泡スチロールとしているが、断熱を必要としない場合は、ポリプロピレンなどの樹脂、板金などの発泡スチロール以外の素材としてもよい。
側面13aは、ボディ1の一側面を形成し、流入口3と流出口5aを備えている。
流入口3は、円筒形状を有し、ボディ1の外部に突出する主ダクト接続部4が設けられている。流入口3は、例えば主ダクト接続部4及びダクトを介して接続されたファンからボディ1内部、すなわち分流空間に空気を流入するための開口である。流入口3は、側面13aの幅方向における中央より側面13c側に、流入口3の中心軸をずらして設けられる。また、流入口3は、側面13aの高さ方向における中央に、流入口3の中心軸を一致させて設けられる。
流出口5aは、円筒形状を有し、例えばボディ1外部に突出する分岐ダクト接続部6aが設けられており、分岐ダクト接続部6a及びダクトを介して接続された部屋に、ボディ1内部の分流空間の空気を流出するための開口である。流出口5aは、側面13aの幅方向における中央より側面13d側に、流出口5aの中心軸をずらして設けられる。また、流出口5aは、側面13aの高さ方向における中央より天面14側に、流出口5aの中心軸をずらして設けられる。
分岐ダクト接続部6aは、着脱開口10aと、流量調整部7aと、流量調整部7aを固定するための固定部品8aを備え、流量調整部7aは固定部品8aにネジ固定されている。
着脱開口10aは、矩形形状を有し、流量調整部7aを着脱するための開口である。着脱開口10aは、ボディ1の底面15側であって流出口5aの近傍に設けられる。本実施の形態では、着脱開口10aは、分岐ダクト接続部6aに設けられているが、例えばボディ1自体に設けられてもよい。着脱開口10aは、幅方向において、流出口5aの中心軸に、着脱開口10aの中心軸を一致させて設けられる。また、着脱開口10aは、分岐ダクト接続方向における中央に着脱開口10aの中心点を一致させて流出口下流側に設けられる。
流量調整部7aについては後述する。
側面13bは、側面13aと対向するボディ1の一側面を形成し、流出口5dと流出口5eを備えている。
流出口5d、5eは、流出口5aと同一径の円筒形状を有し、それぞれ、例えばボディ1外部に突出する分岐ダクト接続部6d、6eが設けられている。流出口5d、5eは、分岐ダクト接続部6d、6e及びダクトを介して接続された部屋に、ボディ1内部の空気を流出するための開口である。
流出口5dは、側面13bの幅方向における中央より側面13d側に、流出口5dの中心軸をずらして設けられる。
流出口5eは、側面13bの幅方向における中央より側面13c側に、流出口5eの中心軸をずらして設けられる。
流出口5d、5eは、側面13bの幅方向に均等に配置される。
また、流出口5d、5eは、流出口5aと流出口5d、5eの中心軸が同一平面上となるように、側面13bの高さ方向における中央より天面14側に、流出口5d、5eの中心軸をずらして設けられる。
分岐ダクト接続部6d、6eは、それぞれ、着脱開口10d、10eと流量調整部7d、7eと、流量調整部7d、7eを固定するための固定部品8d、8eを備え、流量調整部7d、7eは固定部品8d、8eにネジ固定されている。
流量調整部7d、7eについては後述する。
着脱開口10d、10eは、矩形形状を有し、流量調整部7d、7eを着脱するための開口である。
着脱開口10d、10eは、分岐ダクト接続部6d、6eの制御部9側に開けられた開口であり、幅方向は、流出口5d、5eの中心軸に、着脱開口10d、10eの中心軸を一致させ設けられる。着脱開口10d、10eは、ボディ1の底面15側であって流出口5d、5eの近傍に設けられる。本実施の形態では、着脱開口10d、10eは、分岐ダクト接続部6d、6eに設けられているが、例えばボディ1自体に設けられてもよい。着脱開口10d、10eは、幅方向において、流出口5d、5eの中心軸に、着脱開口10d、10eの中心軸を一致させて設けられる。また、着脱開口10d、10eは、分岐ダクト接続方向における流出口下流側に設けられる。また、着脱開口10d、10eは、分岐ダクト接続方向における中央に着脱開口10d、10eの中心点を一致させて設けられる。
側面13cと側面13dは、側面13aと側面13bとに隣接し、互いに対向するボディ1の二つの側面である。
側面13cは、流出口5fと流出口5gを備えている。
流出口5f、5gは、流出口5aと同一径の円筒形状を有し、それぞれ、例えばボディ1外部に突出する分岐ダクト接続部6f、6gが設けられている。流出口5f、5gは、分岐ダクト接続部6f、6g及びダクトを介して接続された部屋に、ボディ1内部の空気を流出するための開口である。
流出口5fは、側面13cの幅方向における中央より側面13b側に、流出口5fの中心軸を一致させてずらして設けられる。
流出口5gは、側面13cの幅方向における中央より側面13a側に、流出口5gの中心軸を一致させてずらして設けられる。
流出口5f、5gは、側面13cの幅方向に均等に配置される。
また、流出口5f、5gは、流出口5aと流出口5f、5gの中心軸が同一平面上となるように、側面13cの高さ方向における中央より天面14側に、流出口5f、5gの中心軸をずらして設けられる。
分岐ダクト接続部6f、6gは、それぞれ、着脱開口10f、10gと流量調整部7f、7gと、流量調整部7f、7gを固定するための固定部品8f、8gを備え、流量調整部7f、7gは固定部品8f、8gにネジ固定されている。
流量調整部7f、7gについては後述する。
着脱開口10f、10gは、矩形形状を有し、流量調整部7f、7gを着脱するための開口である。着脱開口10f、10gは、分岐ダクト接続部6f、6gの制御部9側に開けられた開口であり、幅方向は、流出口5f、5gの中心軸に、着脱開口10f、10gの中心軸を一致させ設けられる。着脱開口10f、10gは、ボディ1の底面15側であって流出口5f、5gの近傍に設けられる。本実施の形態では、着脱開口10f、10gは、分岐ダクト接続部6f、6gに設けられているが、例えばボディ1自体に設けられてもよい。着脱開口10f、10gは、幅方向において、流出口5f、5gの中心軸に、着脱開口10f、10gの中心軸を一致させて設けられる。また、着脱開口10f、10gは、分岐ダクト接続方向における流出口下流側に設けられる。また、着脱開口10f、10gは、分岐ダクト接続方向における中央に着脱開口10f、10gの中心点を一致させて設けられる。
側面13dは、流出口5bと流出口5cを備えている。
流出口5b、5cは、流出口5aと同一径の円筒形状を有し、それぞれ、例えばボディ1外部に突出する分岐ダクト接続部6b、6cが設けられており、いる。流出口5b、5cは、分岐ダクト接続部6b、6c及びダクトを介して接続された部屋に、ボディ1内部の空気を流出するための開口である。
流出口5bは、側面13dの幅方向における中央より側面13a側に、流出口5bの中心軸を一致させてずらして設けられる。
流出口5cは、側面13dの幅方向における中央より側面13b側に、流出口5cの中心軸を一致させてずらして設けられる。
流出口5b、5cは、側面13dの幅方向に均等に配置される。
また、流出口5b、5cは、流出口5aと流出口5b、5cの中心軸が同一平面上となるように、側面13dの高さ方向における中央より天面14側に、流出口5b、5cの中心軸をずらして設けられる。
分岐ダクト接続部6b、6cは、それぞれ、着脱開口10b、10cと流量調整部7b、7cと、流量調整部7b、7cを固定するための固定部品8b、8cを備え、流量調整部7b、7cは固定部品8b、8cにネジ固定されている。
流量調整部7b、7cついては後述する。
着脱開口10b、10cは、矩形形状を有し、流量調整部7b、7cを着脱するための開口である。着脱開口10b、10cは、ボディ1の底面15側であって流出口5b、5cの近傍に設けられる。本実施の形態では、着脱開口10b、10cは、分岐ダクト接続部6b、6cに設けられているが、例えばボディ1自体に設けられてもよい。着脱開口10b、10cは、幅方向において、流出口5b、5cの中心軸に、着脱開口10b、10cの中心軸を一致させて設けられる。また、着脱開口10b、10cは、分岐ダクト接続方向における流出口下流側に設けられる。
着脱開口10b、10cは、分岐ダクト接続部6b、6cの制御部9側に開けられた開口であり、幅方向は、流出口5b、5cの中心軸に、着脱開口10bの中心軸を一致させ設けられる。また、着脱開口10b、10cは、分岐ダクト接続方向における中央に着脱開口10b、10cの中心点を一致させて設けられる。
流出口5a、流出口5b、流出口5c、流出口5d、流出口5e、流出口5f、流出口5g、は、上記構成によりそれぞれの中心軸が同一平面上に位置することとなる。
天面14は、側面13aと側面13bと側面13cと側面13d隣接する。
底面15は、側面13aと側面13bと側面13cと側面13d隣接し、天面14に対向する。
なお、天面14及び底面15が示す上下の関係は必ずしも名称と一致する必要は無い。つまり、チャンバー装置100の設置状態において、天面14が鉛直下方に、底面15が鉛直上方に位置しても問題は無い。
天面14において、分岐ダクト接続部6b、分岐ダクト接続部6c、分岐ダクト接続部6d及び分岐ダクト接続部6eは、それぞれ固定金具12a、固定金具12b、固定金具12c及び固定金具12dを備える。
固定金具12(12a~12d)は、断面がL字の形状をしており、略垂直な2つの平面を備え、一方の平面は、設置の際、ボルトにより固定される固定平面を成し、ボルトが貫通するためのU字状の開口、いわゆるUカットを備えている。
固定金具12aは、固定平面が天面14と同一平面上にあり、固定平面は外周側に突出し、もう一方の面は分岐ダクト接続部6bの側面13a側に接するように設けられている。
固定金具12bは、固定平面が天面14と同一平面上にあり、固定平面は外周側に突出し、もう一方の面は分岐ダクト接続部6cの側面13b側に接するように設けられている。
固定金具12cは、固定平面が天面14と同一平面上にあり、固定平面は外周側に突出し、もう一方の面は分岐ダクト接続部6fの側面13b側に接するように設けられている。
固定金具12dは、固定平面が天面14と同一平面上にあり、固定平面は外周側に突出し、もう一方の面は分岐ダクト接続部6gの側面13a側に接するように設けられている。
底面15は、制御部9を取り付けるための固定部11を備えている。
固定部11は、コの字形状で鉛直方向においてボディ1と反対方向に平面を有し、流入口3方向が開いた形状である。固定部11は、底面15の主ダクト接続方向(図3における上下方向)における中央より側面13b側に、固定部11の中心をずらして設けられ、主ダクト接続方向に対し垂直な方向(図3における左右方向)における中央に設けられる。
チャンバー装置100を設置する際、固定金具12a、固定金具12b、固定金具12c及び固定金具12dによって、天井裏や階間空間に固定される。
制御部9は、直方体で、固定部11に固定される平面に対向する面、つまり底面15とは逆側の下面に開閉可能な蓋を有した中空矩形形状を備える。制御部9は、流入口3及び主ダクト接続部4のある側面13aに対向する側面13bに寄せて取り付けられる。従って、流入口3の直径が流出口5の直径よりも大径の場合、底面15の側面13a側に、流入口3から流出口5d、流出口5eに向かって傾斜するテーパー部を設けることができる。また制御部9は、当該制御部9の側面がボディ1の側面13と平行に配置され、ボディ1の底面15に対する固定方向が一意にのみ定まる形状を有する。つまり、制御部9は、着脱可能ではあるがボディ1に対する向きは一意であり、後述の接続についても、流量調整部7と制御部9の各コネクタとが近接して接続可能となる。
続いて、図2を参照しながら流量調整部7について説明する。
流量調整部7は、電装部17と開閉機構部16とを備える。
電装部17は中空矩形形状であり、開閉機構部16に対し対向方向に着脱可能な蓋を備え、内部には電動機21が配置されている。
また、電装部17の幅方向の両側面には、突出した矩形形状の封止リブ23を備える。
開閉機構部16は、回転軸18と、風止板19と、保持部20を備える。
回転軸18は、円柱形状であり、電動機21の回転軸に接続され、電動機21の回転力を風止板19に伝達する。
風止板19は、円形板状であり、回転軸18の回動により保持部20と平行な状態である0度から、保持部20に対して垂直な状態である90度まで回転可能である。
保持部20は、風止板19を保持するための部位であり、風止板19の外縁のさらに外周に位置し、風止板19を囲み、外形が板状のU字形状を有する。すなわち、保持部20は、電装部17の反対側の円弧形状の枠と、電装部17側の2本の平行棒とでU字形状を形成したものである。
流量調整部7は、回転軸18をそれぞれに対応する着脱開口10の中心軸に一致させながら開閉機構部16側から着脱開口10に挿入される。挿入された流量調整部7は、電装部17が分岐ダクト接続部6から突出した状態、つまりボディ1の外部に露出した状態で固定される。
分岐ダクト接続部6に挿入された流量調整部7は、封止リブ23が着脱開口10の周囲と接触することで、着脱開口10からの風漏れを防止する。
電装部17は、底面を鉛直下方、天面を鉛直上方に配置し、さらにそれぞれの電装部17に対応する流出口5の突出面から見た正面視にして、右側面に、電動機21からの配線を接続する流量調整部側コネクタ24を備える。
流量調整部側コネクタ24は、制御部9の側面に設けられた制御部側コネクタ25と同形状である。配線26は、両端に、流量調整部側コネクタ24及び制御部側コネクタ25と合致する同型のコネクタを有し、一端は流量調整部側コネクタ24と、他端は制御部側コネクタ25と接続されることで電気的接続を行う。ここで、制御部側コネクタ25は、制御部9における配線接続部に該当する。
なお、本実施の形態では電装部17の側面と制御部9にコネクタを設け、配線を着脱可能な構造としているが、電装部17あるいは制御部9の一方にのみ流量調整部側コネクタ24を設け、配線を着脱可能な構造としてもよい。
制御部9からの指示により、電動機21が所定の角度の回転動作を行うことで、電動機21と回転軸18を介して接続された風止板19が回転し、流出口5を通過する風量を調整することができる。
続いて図3を参照しながら制御部9、流量調整部7及び点検口22について説明する。
チャンバー装置100は、固定金具12に通された吊りボルト(図示しない)により階間空間に設置されており、制御部9及び電装部17が鉛直下向きとなる向きで設置されている。
配置チャンバー装置100の直下の天井には、矩形形状の点検口22が配置されている。
チャンバー装置100の制御部9及びすべての流量調整部7は、点検口22よりも内側に配置されている。
すなわち、点検口22の開口部のチャンバー装置100への平面投影面よりも内側に、制御部9及びすべての流量調整部7が収まっている。このため、流量調整部7の点検や交換を行う際、点検口22を開いた作業者は、点検口22から制御部9及びすべての流量調整部7が鉛直方向から直接目視可能となる。
また、制御部9及び複数の流量調整部7がすべて底面15から同一方向に着脱可能であるため、チャンバー装置100の流量調整部7と固定部品8とを固定しているねじと、流量調整部7にコネクタを介して接続されている配線を外すことで、制御部9と流量調整部7を取り外し可能となる。つまり、チャンバー装置100を取り外しや移動させることなく、制御部9や流量調整部7のみを取り外し、容易に点検や交換を行うことができる。また、制御部9に関しては、下方が開閉可能としているため、取り外すまでもなくそのままメンテナンス等の対応が可能である。
また、チャンバー装置100を配置した直下の天井に点検口22を配置できない場合は、チャンバー装置100の上下を反転させ、階間空間の木材などに固定金具12をボルト固定することで床置き状態での設置が可能となる。この場合、チャンバー装置100の真上の床に点検口22を配置することで、点検口22の開口部から制御部9及びすべての流量調整部7が鉛直方向から直接目視可能となる。チャンバー装置100の流量調整部7と固定部品8とを固定しているねじと、流量調整部7にコネクタを介して接続されている接続線を外すことで、流量調整部7をチャンバー装置100から取り外し、点検や交換を行うことができ、チャンバー装置100の設置場所の制約条件を緩和することができる。
続いて、図4を参照しながら流量調整部側コネクタ24と制御部側コネクタ25と配線26について説明する。
制御部側コネクタ25(制御部側コネクタ25a~25g)は凸型の形状を有し、制御部側コネクタ25a~25dは、制御部9の側面のうち、流出口5bまたは5cが突出する側面13dに設けられている。また、制御部側コネクタ25a~25gは、幅方向に、隣接する制御部側コネクタ25との間に等間隔の空間を空けて設けられている。
一方、流量調整部側コネクタ24e~24gは、制御部9の側面のうち、流出口5fまたは5gが突出する側面13cに設けられている。また、制御部側コネクタ25e~25gも同様に、幅方向に、隣接する制御部側コネクタ25との間に等間隔の空間を空けて設けられている。
流量調整部側コネクタ24と制御部側コネクタ25の配置関係は、互いを接続するペアを、流量調整部側コネクタ24a、制御部側コネクタ25aを開始点として時計回り方向に一致する配置としている。言い換えると、ボディ1の側面13近傍に設けられた流量調整部7と、制御部9の側面に設けられた制御部側コネクタ25(配線接続部)との配置位置を、底面視にして接続ペアが周方向に一致する配置となっている。
配線26は、一定長さを有しており、各線の本体長さはすべて同一である。配線26は、制御部9が発する信号を流量調整部7の電装部17へ伝達するため、流量調整部側コネクタ24と制御部側コネクタ25間を接続する。
制御部側コネクタ25は、制御部9のうち、流出口5bまたは5cが突出する面と、流出口5fまたは5gが突出する面の二側面、いわゆる互いが対向する面に設けられている。そのため、流量調整部側コネクタ24と制御部側コネクタ25を結ぶ配線26の本体長さは、制御部側コネクタが制御部9の一側面のみにある場合に対して、極力短くすることが可能となる。
以上より、流量調整部と制御部の配線作業の施工性を良化させることができるチャンバー装置を提供することができる。
なお、本実施の形態では、側面13aに流入口3と流出口5aを設けたため、流入口3を側面13c側に配置し、流出口5aを側面13d側に配置したが、側面13aに流入口3のみを備え、流入口3を側面13aの中央に配置してもよい。
また、本実施の形態では、流出口5の個数を7個としているが、その個数は2個以上の複数個であれば、流入口3からの流入した空気を複数に分岐させるというチャンバー装置100としての機能を有することになる。
また、本実施の形態では、電動機21と回転軸18を介して接続された円形の風止板19が回転することで風量を変化させる構成としたが、スライド構造など、他の方法で風路面積を変化させ、風量を変更できる構造であればよい。
本発明に係るチャンバー装置は、流量調整部が点検口から直接アクセスでき、着脱可能なことでメンテナンスを容易に行うことが可能であり、制御部も同じように点検口から直接、アクセスし、メンテナンスが実現でき、チャンバー装置は底面を鉛直上方に、前記天面を鉛直下方に向けて配置が実現できる。
1 ボディ
2 分流空間
3 流入口
4 主ダクト接続部
5、5a、5b、5c、5d、5e、5f、5g 流出口
6、6a、6b、6c、6d、6e、6f、6g 分岐ダクト接続部
7、7a、7b、7c、7d、7e、7f、7g 流量調整部
8、8a、8b、8c、8d、8e、8f、8g 固定部品
9 制御部
10、10a、10b、10c、10d、10e、10f、10g 着脱開口
11 固定部
12、12a、12b、12c、12d、12e、12f、12g 固定金具
13、13a、13b、13c、13d 側面
14 天面
15 底面
16 開閉機構部
17 電装部
18 回転軸
19 風止板
20 保持部
21 電動機
22 点検口
23 封止リブ
24、24a、24b、24c、24d、24e、24f、24g 流量調整部側コネクタ
25、25a、25b、25c、25d、25e、25f、25g 制御部側コネクタ
26 配線

Claims (3)

  1. 天井に設けられた点検口の鉛直上方に配置されるチャンバー装置であって、
    天面と底面と側面とを有し外郭を形成するボディと、
    前記ボディの内側に形成される分流空間と、
    前記ボディの側面に前記分流空間に空気を取り入れるための流入口と、
    前記流入口にダクトを接続するための主ダクト接続部と、
    前記側面に前記分流空間に取り込まれた空気を流出させるための複数の流出口と、
    前記流出口にダクトを接続するための分岐ダクト接続部と、
    前記流出口の近傍に配置された流量調整部と、
    前記流量調整部を制御する制御部と、を備え、
    前記制御部は、
    前記ボディの底面に当該制御部の側面と前記ボディの側面とが平行になるように配置され、
    前記制御部の対向する二つの側面に、当該制御部の四つの側面に対応する前記ボディの側面に設けられた流量調整部と電気接続を行うための配線接続部を備え、
    前記制御部および前記流量調整部は、
    前記点検口からの平面投影面よりも内側にすべて配置される、チャンバー装置。
  2. 前記ボディは、
    矩形形状を有し、
    前記制御部は、
    矩形形状を有し、
    前記ボディの側面に設けられた流量調整部と、前記制御部の側面に設けられた配線接続部との配置位置を、底面視にして接続ペアが周方向に一致する配置とした、請求項1記載のチャンバー装置。
  3. 前記制御部は、
    前記底面に対する固定方向が一意に定まる請求項2に記載のチャンバー装置。
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