JP7493124B2 - チャンバー装置 - Google Patents
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Description
この分岐チャンバー300は、主ダクト602からの空気を分岐チャンバー300内に送り込むための主ダクト接続口304と、分岐チャンバー300内の空気を複数の部屋に送り込むための分岐ダクト接続口305とを備える。
図1は本実施の形態に係るチャンバー装置100の分解斜視図である。
2 分流空間
3 流入口
4 主ダクト接続部
5、5a、5b、5c、5d、5e、5f、5g 流出口
6、6a、6b、6c、6d、6e、6f、6g 分岐ダクト接続部
7、7a、7b、7c、7d、7e、7f、7g 流量調整部
8、8a、8b、8c、8d、8e、8f、8g 固定部品
9 制御部
10、10a、10b、10c、10d、10e、10f、10g 着脱開口
11 固定部
12、12a、12b、12c、12d、12e、12f、12g 固定金具
13、13a、13b、13c、13d 側面
14 天面
15 底面
16 開閉機構部
17 電装部
18 回転軸
19 風止板
20 保持部
21 電動機
22 点検口
23 封止リブ
24、24a、24b、24c、24d、24e、24f、24g 流量調整部側コネクタ
25、25a、25b、25c、25d、25e、25f、25g 制御部側コネクタ
26 配線
Claims (3)
- 天井に設けられた点検口の鉛直上方に配置されるチャンバー装置であって、
天面と底面と側面とを有し外郭を形成するボディと、
前記ボディの内側に形成される分流空間と、
前記ボディの側面に前記分流空間に空気を取り入れるための流入口と、
前記流入口にダクトを接続するための主ダクト接続部と、
前記側面に前記分流空間に取り込まれた空気を流出させるための複数の流出口と、
前記流出口にダクトを接続するための分岐ダクト接続部と、
前記流出口の近傍に配置された流量調整部と、
前記流量調整部を制御する制御部と、を備え、
前記制御部は、
前記ボディの底面に当該制御部の側面と前記ボディの側面とが平行になるように配置され、
前記制御部の対向する二つの側面に、当該制御部の四つの側面に対応する前記ボディの側面に設けられた流量調整部と電気接続を行うための配線接続部を備え、
前記制御部および前記流量調整部は、
前記点検口からの平面投影面よりも内側にすべて配置される、チャンバー装置。 - 前記ボディは、
矩形形状を有し、
前記制御部は、
矩形形状を有し、
前記ボディの側面に設けられた流量調整部と、前記制御部の側面に設けられた配線接続部との配置位置を、底面視にして接続ペアが周方向に一致する配置とした、請求項1記載のチャンバー装置。 - 前記制御部は、
前記底面に対する固定方向が一意に定まる請求項2に記載のチャンバー装置。
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