JP7489961B2 - 受光装置、及び受光装置の製造方法 - Google Patents
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Description
[第1実施形態]
[第2実施形態]
[第3実施形態]
[変形例]
Claims (28)
- 複数の受光部が設けられた受光素子と、
第1表面、及び前記第1表面とは反対側の第2表面を有し、前記第2表面が前記受光素子と向かい合うように前記受光素子上に固定されたガラスカバーと、
前記受光素子が配置された内側表面、及び前記内側表面とは反対側の外側表面、並びに、前記内側表面及び前記外側表面に開口する貫通孔を有し、前記受光素子を収容するパッケージを前記ガラスカバーと共に構成する基板と、
前記貫通孔の内面に設けられた金属膜と、
前記貫通孔内に配置された金属ボールと、
前記貫通孔内において前記金属膜と前記金属ボールとの間に配置され、前記貫通孔内に前記金属ボールを固定する半田部材と、を備え、
前記ガラスカバーは、前記第1表面及び内部の少なくとも一方に設けられた複数の回折格子を含み、
前記複数の回折格子のそれぞれは、前記ガラスカバーの前記第1表面に入射する測距用レーザ光を前記複数の受光部のそれぞれに集光するように構成されており、
前記貫通孔は、前記内側表面に位置する内側開口部、前記外側表面に位置する外側開口部、及び前記内側表面と前記外側表面との間に位置する中間開口部を含み、
前記外側開口部は、前記金属ボールが通過可能な形状を呈しており、
前記中間開口部は、前記金属ボールが通過不可能な形状を呈しており、
前記金属膜は、前記貫通孔の前記内面のうち前記外側開口部と前記中間開口部との間に位置する側面に設けられた筒部を有し、
前記金属ボールは、前記筒部に包囲されるように前記貫通孔内に配置されており、
前記半田部材は、前記金属ボールから前記筒部に渡った状態で、前記筒部と前記金属ボールとの間の領域を封止しており、
前記中間開口部は、長尺形状を呈している、受光装置。 - 前記ガラスカバーは、前記受光素子から離間した状態で前記受光素子上に固定されている、請求項1に記載の受光装置。
- 前記ガラスカバーは、前記受光素子に接触した状態で前記受光素子上に固定されている、請求項1に記載の受光装置。
- 前記測距用レーザ光を出射する光源を更に備え、
前記複数の回折格子のそれぞれは、前記光源から出射されて対象物で反射された前記測距用レーザ光を前記複数の受光部のそれぞれに集光するように構成されている、請求項1~3のいずれか一項に記載の受光装置。 - 前記ガラスカバーは、ガラス基板と、前記ガラス基板における前記第1表面側の表面に設けられた第1膜と、を含み、
前記複数の回折格子は、前記第1膜に形成されている、請求項1~4のいずれか一項に記載の受光装置。 - 前記ガラスカバーは、ガラス基板を含み、
前記複数の回折格子は、前記ガラス基板における前記第1表面側の表面に形成されている、請求項1~4のいずれか一項に記載の受光装置。 - 前記ガラスカバーは、前記複数の回折格子に対して前記受光素子とは反対側に配置されたフィルタを更に含み、
前記フィルタは、前記測距用レーザ光に対して透過性を有し、前記測距用レーザ光の波長以外の波長を有する光に対して遮光性を有する、請求項1~6のいずれか一項に記載の受光装置。 - 前記貫通孔は、前記内側表面から前記外側表面に向かって広がるテーパ孔である、請求項1~7のいずれか一項に記載の受光装置。
- 前記貫通孔は、前記外側表面側において拡幅された段付き孔である、請求項1~7のいずれか一項に記載の受光装置。
- 前記金属膜は、前記外側開口部の外縁に沿って延在するように前記外側表面に設けられた鍔部を更に有し、
前記筒部は、前記鍔部に接続されている、請求項1~9のいずれか一項に記載の受光装置。 - 前記半田部材における前記外側開口部側の表面は、前記筒部と前記金属ボールとの間の前記領域において、前記内側開口部側に凹の曲面となっている、請求項1~10のいずれか一項に記載の受光装置。
- 複数の受光部が設けられた受光素子、並びに、第1表面、及び前記第1表面とは反対側の第2表面を有するガラスカバーを用意する第1工程と、
前記第1工程の後に、前記第2表面が前記受光素子と向かい合うように前記受光素子上に前記ガラスカバーを配置する第2工程と、
前記第2工程の後に、前記ガラスカバーに加工用レーザ光を照射することにより、複数の集光要素を前記ガラスカバーに形成する第3工程と、を備え、
前記第3工程においては、前記ガラスカバーの前記第1表面に入射する測距用レーザ光を前記複数の集光要素のそれぞれが前記複数の受光部のそれぞれに集光するように前記複数の集光要素を形成する、受光装置の製造方法。 - 前記第2工程においては、前記ガラスカバーが前記受光素子から離れるように前記受光素子上に前記ガラスカバーを固定する、請求項12に記載の受光装置の製造方法。
- 前記第2工程においては、前記ガラスカバーが前記受光素子に接触するように前記受光素子上に前記ガラスカバーを固定する、請求項12に記載の受光装置の製造方法。
- 前記ガラスカバーは、ガラス基板と、前記ガラス基板における前記第1表面側の表面に設けられた第1膜と、を含み、
前記第3工程においては、前記第1膜に前記複数の集光要素を形成する、請求項12~14のいずれか一項に記載の受光装置の製造方法。 - 前記複数の集光要素は、複数の回折格子である、請求項15に記載の受光装置の製造方法。
- 前記ガラスカバーは、ガラス基板を含み、
前記第3工程においては、前記ガラス基板に前記複数の集光要素を形成する、請求項12~14のいずれか一項に記載の受光装置の製造方法。 - 前記第3工程においては、前記ガラス基板における前記第1表面側の表面に前記複数の集光要素を形成する、請求項17に記載の受光装置の製造方法。
- 前記複数の集光要素は、複数の回折格子である、請求項18に記載の受光装置の製造方法。
- 前記第3工程においては、前記ガラス基板の内部に前記複数の集光要素を形成する、請求項17に記載の受光装置の製造方法。
- 前記複数の集光要素は、複数の回折格子、複数のレンズ面又は複数の導光部である、請求項20に記載の受光装置の製造方法。
- 前記ガラスカバーは、ガラス基板と、前記ガラス基板における前記第2表面側の表面に設けられた第2膜と、を含み、
前記第2膜は、前記測距用レーザ光に対して透過性を有し、前記加工用レーザ光に対して遮光性を有する、請求項12~21のいずれか一項に記載の受光装置の製造方法。 - 前記ガラスカバーは、ガラス基板を含み、
前記ガラス基板は、前記測距用レーザ光に対して透過性を有し、前記加工用レーザ光に対して遮光性を有する、請求項12~21のいずれか一項に記載の受光装置の製造方法。 - 前記第1工程においては、前記受光素子となる部分を複数含む半導体ウェハ、及び前記ガラスカバーとなる部分を複数含むガラスウェハを用意し、
前記第2工程においては、前記半導体ウェハ上に前記ガラスウェハを固定し、
前記第3工程においては、前記ガラスウェハに前記加工用レーザ光を照射することにより、前記受光素子となる部分ごとに前記複数の集光要素を形成する、請求項12~23のいずれか一項に記載の受光装置の製造方法。 - 前記第3工程の後に、前記半導体ウェハ及び前記ガラスウェハを前記受光素子となる部分ごとに切断する第4工程を更に備える、請求項24に記載の受光装置の製造方法。
- 請求項1~11のいずれか一項に記載の受光装置の製造方法であって、
前記貫通孔の前記内面に前記金属膜が設けられた前記基板の前記内側表面に、前記受光素子を配置し、前記受光素子を収容する前記パッケージを前記ガラスカバー及び基板によって構成する第5工程と、
前記第5工程の後に、前記金属ボール、及び前記金属ボールを被覆する半田層を有する半田ボールを、前記外側開口部から前記貫通孔内に配置し、前記半田層を溶融させることで前記半田部材を形成する第6工程と、を備える、受光装置の製造方法。 - 前記第6工程においては、前記半田ボールにレーザ光を照射することで、前記半田層を溶融させる、請求項26に記載の受光装置の製造方法。
- 前記第6工程においては、前記貫通孔を介して前記パッケージ内の脱気を実施しながら、前記半田層を溶融させる、請求項26又は27に記載の受光装置の製造方法。
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