JP7485523B2 - チャックテーブル - Google Patents
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Description
本発明は、ダイシングフレームに貼着された被着体をダイシングテープを介して吸着保持可能なチャックテーブルに関するものである。
半導体製造分野では、シリコンウェハ等の半導体基板（以下、「被着体」という）の裏面を研削して薄くする工程があり、その工程では被着体の表面に粘着フィルム等から成る保護シートを貼り付けて、被着体の表面に形成されたデバイスを保護している。
特許文献１には、ダイシングテープＤＴ上にマウントされたウエハＷがテーブルＴに載置され、剥離用テープＰＴを接着シートＳに溶融接着し、テーブルＴと剥離用テープＰＴを挟持するチャック３２とが相対的に移動することにより、接着シートＳがウエハＷから剥離される装置が開示されている。なお、符号は、特許文献１のものである。
ところで、ウエハＷ及び剥離テープＰＴは薄くなる傾向にあり、特許文献１記載のようなシート剥離装置においては、ダイシングテープＤＴがテーブルＴの上面（吸着面）が剥離し難くなりがちで、ダイシングテープＤＴ全面がテーブルＴの上面（吸着面）から剥離される前にウエハＷの搬送を開始すると、ウエハＷが破損してしまう虞があった。
そこで、ダイシングテープを介して被着体を吸着保持した場合であっても、容易にリリース可能なチャックテーブルを提供するために解決すべき技術的課題が生じてくるのであり、本発明はこの課題を解決することを目的とする。
上記目的を達成するために、本発明に係るチャックテーブルは、ダイシングフレームに張設されたダイシングテープに貼着された被着体を吸着保持可能なチャックテーブルであって、前記ダイシングテープを介して前記被着体を載置するポーラスチャックと、前記ポーラスチャックを上面に収容するチャックベースと、前記チャックベースの略中央に設けられた第１の供給口と、前記第１の供給口を囲繞するように前記チャックベースに設けられた複数の第２の供給口と、前記第１の供給口及び複数の前記第２の供給口を介して前記ポーラスチャックに向けて負圧又は圧縮空気を供給する供給源と、前記供給源から前記第１の供給口に供給される前記圧縮空気の圧力及び流量を調整する第１調整機構と、前記供給源から複数の前記第２の供給口に供給される前記圧縮空気の圧力及び流量を調整する第２調整機構と、を備え、前記第１の供給口は、前記第２の供給口より大径に形成され、複数の前記第２の供給口は、前記チャックベースの中央部分にのみ設けられ、前記第１調整機構は、前記第１の供給口周辺において前記ポーラスチャックの気孔に入り込んだ前記ダイシングテープを前記ポーラスチャックの外部に押し出すように、前記供給源から前記第１の供給口に供給される前記圧縮空気の圧力及び流量を調整し、前記第２調整機構は、前記第２の供給口周辺において前記ポーラスチャックの気孔に入り込んだ前記ダイシングテープを前記ポーラスチャックの外部に押し出すように、前記供給源から複数の前記第２の供給口に供給される前記圧縮空気の圧力及び流量を調整する。
この構成によれば、第１の供給口及び第２の供給口から吐出された圧縮空気がポーラスチャックを通じてポーラスチャックの表面とダイシングテープとの間に供給されることにより、第１の供給口及び第２の供給口近傍において、ポーラスチャックの微細な気孔に入り込んだダイシングテープが気孔から押し出されるとともに、第１の供給口から吐出された圧縮空気が、第２の供給口から吐出された圧縮空気に衝突して、チャックテーブルの径方向内周側で留まるため、ポーラスチャックの中央付近においてダイシングテープを効率的に剥離することができる。
また、本発明に係るチャックテーブルは、前記第１の供給口から吐出される圧縮空気の圧力が、前記第２の供給口から吐出される圧縮空気の圧力より高く設定されていることが好ましい。
この構成によれば、第１の供給口から吐出された圧縮空気が、第２の供給口から吐出された圧縮空気にせき止められるようにチャックテーブルの径方向内周側に留まり易く、ダイシングテープとポーラスチャックとの吸着を効率的に解除することができる。
また、本発明に係るチャックテーブルは、前記第１の供給口から吐出される圧縮空気の圧力と前記第２の供給口から吐出される圧縮空気の圧力とが、略等しく設定されていることが好ましい。
この構成によれば、被着体に過度な圧力を作用させることなく、ダイシングテープとポーラスチャックとの吸着を解除することができる。
上記目的を達成するために、本発明に係るチャックテーブルは、ダイシングフレームに張設されたダイシングテープに貼着された被着体を吸着保持可能なチャックテーブルであって、前記ダイシングテープを介して前記被着体を載置するポーラスチャックと、前記ポーラスチャックを上面に収容するチャックベースと、前記チャックベースの径方向において異なる複数の地点に設けられた供給口と、前記供給口を介して前記ポーラスチャックに向けて負圧又は圧縮空気を供給する供給源と、前記径方向において異なる複数の地点に設けられた供給口毎に前記供給源から供給される前記圧縮空気の圧力及び流量を調整する複数の調整機構と、を備え、複数の前記供給口のうち前記チャックベースの中央に設けられた供給口は、他の供給口より大径に形成され、前記他の供給口は、前記チャックベースの中央部分にのみ設けられ、前記供給源は、前記ポーラスチャックから前記ダイシングテープを剥離可能な範囲内で低圧に設定された前記圧縮空気を供給し、前記調整機構は、前記供給口周辺において前記ポーラスチャックの気孔に入り込んだ前記ダイシングテープを前記ポーラスチャックの外部に押し出すように、前記供給源から前記供給口に供給される前記圧縮空気の圧力を調整する。
この構成によれば、異なる供給口からそれぞれ吐出された圧縮空気がポーラスチャックを通じてポーラスチャックの表面とダイシングテープとの間に供給されることにより、各供給口近傍において、ポーラスチャックの微細な気孔に入り込んだダイシングテープが気孔から押し出されるとともに、チャックベースの径方向内周側に設けられた供給口から吐出された圧縮空気が、径方向外周側に設けられた供給口から吐出された圧縮空気に衝突して、チャックテーブルの径方向内周側で留まるため、広範囲に亘ってダイシングテープを効率的に剥離することができる。
本発明は、ダイシングテープを介して被着体を吸着保持した場合であっても、被着体をポーラスチャックから簡便に剥離することができる。
本発明の実施形態について図面に基づいて説明する。なお、以下では、構成要素の数、数値、量、範囲等に言及する場合、特に明示した場合及び原理的に明らかに特定の数に限定される場合を除き、その特定の数に限定されるものではなく、特定の数以上でも以下でも構わない。
また、構成要素等の形状、位置関係に言及するときは、特に明示した場合及び原理的に明らかにそうでないと考えられる場合等を除き、実質的にその形状等に近似又は類似するもの等を含む。
また、図面は、特徴を分かり易くするために特徴的な部分を拡大する等して誇張する場合があり、構成要素の寸法比率等が実際と同じであるとは限らない。
図１は、シート剥離装置１の斜視図である。図２は、シート剥離装置１の側面図である。シート剥離装置１は、被着体Ｗの裏面研削を行うにあたって被着体Ｗの表面を保護するために粘着された保護シートＳ（ＢＧテープ）を剥離するものである。被着体Ｗは、例えば、シリコンウェハ等の半導体基板であるが、これに限定されるものではない。
被着体Ｗは、保護シートＳを上面側にした状態でダイシングテープＤＴを介してリングフレームＲＦにマウントされたものである。ダイシングテープＤＴは、紫外線硬化テープ等である。
シート剥離装置１は、被着体Ｗを載置するチャックテーブル２を備えている。図３に示すように、チャックテーブル２は、ポーラスチャック２１と、チャックベース２２と、を備えている。
ポーラスチャック２１は、内部に無数の気孔を有する多孔質材料からなる吸着体である。ポーラスチャック２１の気孔の粗さは、例えば、＃４００又は＃８００等である。
チャックベース２２は、ポーラスチャック２１を上面に収容している。チャックベース２２には、１つの第１の供給口２３と、８つの第２の供給口２４と、が形成されている。
第１の供給口２３は、チャックベース２２の上面に開口して、チャックベース２２の略中央に形成されている。第１の供給口２３は、第２の供給口２４より僅かに大径に形成されている。
第２の供給口２４は、チャックベース２２の上面に開口して、第１の供給口２３を囲繞するように略同心円状に且つ互いに等間隔に隙間を空けて配置されている。なお、第１の供給口２３及び第２の供給口２４の個数は、上述したものに限定されるものではない。
第１の供給口２３及び第２の供給口２４は、真空源Ｓ１及び圧縮空気源Ｓ２に切換自在に接続されている。真空源Ｓ１が起動すると、ポーラスチャック２１に載置された被着体Ｗとポーラスチャック２１の上面（吸着面２１ａ）との間に負圧が供給されて、被着体Ｗが吸着面２１ａに吸着保持される。また、圧縮空気源Ｓ２が起動すると、被着体Ｗと吸着面２１ａとの間に圧縮空気（リリースエアー）が供給されて、被着体Ｗと吸着面２１ａとの吸着が解除される。なお、符号２５、２６は、ニードルバルブである。ニードルバルブ２５、２６の開度を調整することにより、リリースエアーの圧力を調整可能である。リリースエアーの圧力は、例えば０．２ＭＰａ等に設定される。
チャックテーブル２は、図示しない移動手段を介してスライド方向（図２の紙面右から左）に移動可能に設けられている。
また、チャックテーブル２の近傍には、ダイシングフレームＤＦを把持し、被着体Ｗを搬送可能な搬送ハンド２７が設けられている。
シート剥離装置１は、帯状の剥離テープＴを繰り出し可能な繰出手段３を備えている。繰出手段３は、送りローラー３１と、巻取ローラー３２と、第１～第４のガイドローラー３３～３６と、押圧部材３７と、を備えている。
送りローラー３１は、帯状の剥離テープＴを繰り出し可能に支持している。巻取ローラー３２は、剥離テープＴに繰出力を付与して巻き取る。第１～第４のガイドローラー３３～３６及び押圧部材３７は、剥離テープＴに張力を作用させるとともに剥離テープＴの軌道を規制するように適当な位置に配置されている。
シート剥離装置１は、剥離テープＴを保護シートＳに貼着する貼付手段としてのヒートスタンプ４を備えている。ヒートスタンプ４には、ヒートスタンプ４を上下に昇降させる図示しないシリンダが設けられている。
ヒートスタンプ４は、第１のヘッド４１と、第２のヘッド４２と、を備えている。第１のヘッド４１及び第２のヘッド４２は、スライド方向の前方から後方に向かってこの順に僅かに隙間を空けて並設されている。第１のヘッド４１及び第２のヘッド４２は、所定温度に昇温された状態で剥離テープＴに押し付けられることにより、剥離テープＴと保護シートＳとを溶着させる。
第１のヘッド４１は、下面４３が被着体Ｗの周縁に対向するように配置されている。下面４３は、底面から視て保護シートＳの半径と略同径の扇環状に形成されている。
第２のヘッド４２の下面４４は、下面４３より広面積で形成されている。具体的には、下面４４は、下面４３に比べて、スライド方向及びスライド方向に垂直な幅方向（図２の紙面垂直方向）にそれぞれ幅広に形成されている。
なお、第１のヘッド４１及び第２のヘッド４２の形状は、上述したものに限定されないことは言うまでもない。また、第１のヘッド４１及び第２のヘッド４２は、単一のヒートスタンプに設けられたものに限定されず、独立した２つのヒートスタンプにそれぞれ設けられても構わない。また、剥離テープＴと保護シートＳとを粘着させるヘッドの数は、３個以上であっても構わない。
シート剥離装置１は、規制手段としての規制ローラー５を備えている。規制ローラー５は、保護シートＳが剥離し始める位置（剥離開始位置）の略上方に約２～３ｍｍ程度離間して配置されている。規制ローラー５の長さは、被着体Ｗの直径より大きく設定されている。規制ローラー５は、剥離テープＴの繰出をスムーズに行えるように、図示しない略水平に取り付けられた支持軸回りに回転自在に設けられている。
規制ローラー５の表面（ガイド面５１）には、剥離テープＴが不用意に付着しないよう、例えば、ガイド面５１をフッ素樹脂でコーティングしたり、ガイド面５１にローレット加工を施すのが好ましい。これにより、剥離テープＴの繰出をスムーズに行うことができる。
なお、規制手段は、上述した形態に限定されるものではなく、例えば、滑りの良い円弧状のガイド面を備えた扇形柱を用いて、剥離テープＴの撓みを押えこむように撓み方向を規制するものであっても構わない。
また、ガイド面の滑りが良く、剥離テープＴの繰出をスムーズに行えるのであれば、支持軸回りに回転不能に構成し、剥離テープＴをガイド面５１上で摺動させるように構成されても構わない。
シート剥離装置１の動作は、図示しないコントローラを介して制御される。コントローラは、シート剥離装置１を構成する構成要素をそれぞれ制御するものである。コントローラは、例えばコンピュータであり、ＣＰＵ、メモリ等により構成される。なお、コントローラの機能は、ソフトウェアを用いて制御することにより実現されても良く、ハードウェアを用いて動作するものにより実現されても良い。
次に、シート剥離装置１の動作について説明する。
［被着体チャック］
まず、搬送ハンド２７が、ダイシングフレームＤＦを把持して、厚み約２０μｍ、直径約４００ｍｍの被着体Ｗをポーラスチャック２１上に載置する。
まず、搬送ハンド２７が、ダイシングフレームＤＦを把持して、厚み約２０μｍ、直径約４００ｍｍの被着体Ｗをポーラスチャック２１上に載置する。
次に、図４（ａ）に示すように、ニードルバルブ２５、２６を開き、第１の供給口２３及び第２の供給口２４並びにポーラスチャック２１内部を介してダイシングテープＤＴと吸着面２１ａとの間に負圧を供給し、被着体ＷがダイシングテープＤＴを介してチャックテーブル２に吸着される。
［シート剥離］
まず、ヒートスタンプ４の下方に被着体Ｗの外周部が配置されるように、チャックテーブル２を移動させる。
まず、ヒートスタンプ４の下方に被着体Ｗの外周部が配置されるように、チャックテーブル２を移動させる。
次に、シリンダを駆動してヒートスタンプ４を降下させ、第１のヘッド４１及び第２のヘッド４２が剥離テープＴに接触して１８０℃のスタンプ温度で加熱・押圧することにより、剥離テープＴと保護シートＳの外周部とが溶着される。
第１のヘッド４１及び第２のヘッド４２の溶着範囲は、下面４３、４４の形状に応じて設定され、第２のヘッド４２の溶着範囲は、第１のヘッド４１の溶着範囲より大きく形成される。保護シートＳのうち第１のヘッド４１によって剥離テープＴが溶着された位置が、保護シートＳの剥離開始位置となる。
次に、シリンダを駆動してヒートスタンプ４を上昇させた後に、剥離開始位置を規制ローラー５に接近させるように（図２の紙面左側に向けて）、チャックテーブル２を移動させる。剥離テープＴは、剥離開始位置よりチャックテーブル２の進行方向の前方側に膨らむような側面から視て横向きの略Ｕ字状に撓む。
チャックテーブル２をさらに移動させると、規制ローラー５が、剥離テープＴに接触して、剥離テープＴの撓みを略垂直方向に剥離テープＴの撓みを押え込んだ状態で、剥離テープＴに作用する張力によって、保護シートＳを被着体Ｗから剥離する剥離力が保護シートＳに作用して、保護シートＳが被着体Ｗから剥離され始める。
このようにして、規制ローラー５が、剥離テープＴの撓みを略垂直方向に剥離テープＴの撓みを押え込むことにより、保護シートＳに作用する剥離力の垂直方向成分が低減されて、被着体Ｗが保護シートＳに追従して跳ね上がることが抑制され、被着体Ｗにダメージを与えることなく保護シートＳを剥離することができる。
そして、被着体Ｗの外周に貼付された保護シートＳが完全に剥離した後には、チャックテーブル２をさらに移動させて、保護シートＳ全面を被着体Ｗから剥離させる。
［被着体リリース］
保護シートＳが剥離された被着体Ｗを別の装置に移送するために、ポーラスチャック２１とダイシングテープＤＴとの間にリリースエアーＡを供給して、被着体Ｗとチャックテーブル２との真空吸着を解除する。
保護シートＳが剥離された被着体Ｗを別の装置に移送するために、ポーラスチャック２１とダイシングテープＤＴとの間にリリースエアーＡを供給して、被着体Ｗとチャックテーブル２との真空吸着を解除する。
しかしながら、ダイシングテープＤＴの下面は、ポーラスチャック２１の微細な気孔に入り込んで、ダイシングテープＤＴがポーラスチャック２１に密着保持されている。そして、リリースエアーＡの供給範囲が、ダイシングテープＤＴの表面積に対して著しく狭い場合、例えば、図５（ａ）に示すように、チャックテーブル２に第１の供給口２３が設けられておらず、第２の供給口２４からのみリリースエアーＡが吐出される場合、ポーラスチャック２１の中央付近では、ダイシングテープＤＴの下面がポーラスチャック２１の微細な気孔から剥がれず、図５（ｂ）に示すように、ダイシングテープＤＴと吸着面２１ａとの吸着が解除できない虞がある。
また、第２の供給口２４からのリリースエアーＡの圧力を上げてダイシングテープＤＴ全面を剥離させることも考えられるが、過度に高い圧力によって薄い被着体Ｗが割れる虞がある。
一方、図４（ｂ）に示すように、チャックテーブル２の径方向において異なる２地点からリリースエアーＡを供給することにより、ダイシングテープＤＴと吸着面２１ａとの吸着を解除することができる。
すなわち、図４（ｃ）に示すように、第１の供給口２３から吐出されてポーラスチャック２１を通じて供給されたリリースエアーＡが、第１の供給口２３近傍において、ポーラスチャック２１の微細な気孔に入り込んだダイシングテープＤＴをポーラスチャック２１の外部に押し出し、且つ、第２の供給口２４から吐出されポーラスチャック２１を通じて供給されたリリースエアーＡが、第２の供給口２４近傍において、ポーラスチャック２１の微細な気孔に入り込んだダイシングテープＤＴをポーラスチャック２１の外部に押し出す。
さらに、図４（ｄ）に示すように、第１の供給口２３及び第２の供給口２４からそれぞれ吐出されたリリースエアーＡは、吸着面２１ａ上を水平方向に拡がり、広範囲に亘って、ポーラスチャック２１の微細な気孔に入り込んだダイシングテープＤＴを吸着面２１ａから引き剥がして、ダイシングテープＤＴと吸着面２１ａとの吸着を解除する。
特に、第１の供給口２３から吐出されたリリースエアーＡは、第２の供給口２４から吐出されたリリースエアーＡに衝突してチャックテーブル２の径方向内周側で留まるため、ポーラスチャック２１の中央付近のダイシングテープＤＴを効率的に剥離することができる。
なお、第２の供給口２４から吐出されるリリースエアーＡの圧力が、第１の供給口２３から吐出されるリリースエアーＡの圧力より高く設定された場合、第１の供給口２３から吐出されたリリースエアーＡが、第２の供給口２４から吐出されたリリースエアーＡにせき止められるようにチャックテーブル２の内周側に留まり易く、ダイシングテープＤＴと吸着面２１ａとの吸着をさらに効率的に解除することができる。
また、第１の供給口２３から吐出されるリリースエアーＡの圧力と第２の供給口２４から吐出されるリリースエアーＡの圧力とが略等しく設定された場合、被着体Ｗに過度な圧力が作用して破損させることなく、ダイシングテープＤＴと吸着面２１ａとの吸着を解除することができる。
なお、リリースエアーＡは、ダイシングフレームＤＦを剥離可能な範囲内で低圧に設定されるのが好ましい。
そして、ダイシングテープＤＴ全面が吸着面２１ａから剥がされると、搬送ハンド２８がダイシングフレームＤＦを把持して、被着体Ｗが搬送される。
このようにして、本実施形態に係るシート剥離装置１は、第１の供給口２３及び第２の供給口２４から吐出されたリリースエアーＡがポーラスチャック２１を通じて吸着面２１ａとダイシングテープＤＴとの間に供給されることにより、第１の供給口２３及び第２の供給口２４近傍において、ポーラスチャック２１の微細な気孔に入り込んだダイシングテープＤＴが気孔から押し出されるとともに、第１の供給口２３から吐出されたリリースエアーＡが、第２の供給口２４から吐出されたリリースエアーＡに衝突して、チャックテーブル２の径方向内周側で留まるため、ポーラスチャック２１の中央付近においてダイシングテープＤＴを効率的に剥離することができる。
また、本発明は、本発明の精神を逸脱しない限り、上記以外にも種々の改変を為すことができ、そして、本発明が該改変されたものに及ぶことは当然である。
例えば、上述した実施形態では、チャックテーブルの径方向において異なる２地点に第１の供給口２３及び第２の供給口２４を設けたが、リリースエアーＡを吐出する供給口は、チャックテーブルの径方向に沿って３か所以上に設けられても構わない。
１ ：シート剥離装置
２ ：チャックテーブル
２１ ：ポーラスチャック
２１ａ：吸着面
２２ ：チャックベース
２３ ：第１の供給口
２４ ：第２の供給口
２５、２６：ニードルバルブ
２７、２８ ：搬送ハンド
３ ：繰出手段
３１ ：送りローラー
３２ ：巻取ローラー
３３ ：第４のガイドローラー
３４ ：第４のガイドローラー
３５ ：第４のガイドローラー
３６ ：第４のガイドローラー
３７ ：押圧部材
４ ：ヒートスタンプ
４１ ：第１のヘッド
４２ ：第２のヘッド
４３ ：（第１のヘッドの）下面
４４ ：（第２のヘッドの）下面
５ ：規制ローラー
５１ ：ガイド面
Ａ ：リリースエアー
ＤＦ ：ダイシングフレーム
ＤＴ ：ダイシングテープ
ＰＴ ：剥離用テープ
ＲＦ ：リングフレーム
Ｓ ：保護シート
Ｓ１ ：真空源（供給源）
Ｓ２ ：圧縮空気源（供給源）
Ｔ ：剥離テープ
Ｗ ：被着体
２ ：チャックテーブル
２１ ：ポーラスチャック
２１ａ：吸着面
２２ ：チャックベース
２３ ：第１の供給口
２４ ：第２の供給口
２５、２６：ニードルバルブ
２７、２８ ：搬送ハンド
３ ：繰出手段
３１ ：送りローラー
３２ ：巻取ローラー
３３ ：第４のガイドローラー
３４ ：第４のガイドローラー
３５ ：第４のガイドローラー
３６ ：第４のガイドローラー
３７ ：押圧部材
４ ：ヒートスタンプ
４１ ：第１のヘッド
４２ ：第２のヘッド
４３ ：（第１のヘッドの）下面
４４ ：（第２のヘッドの）下面
５ ：規制ローラー
５１ ：ガイド面
Ａ ：リリースエアー
ＤＦ ：ダイシングフレーム
ＤＴ ：ダイシングテープ
ＰＴ ：剥離用テープ
ＲＦ ：リングフレーム
Ｓ ：保護シート
Ｓ１ ：真空源（供給源）
Ｓ２ ：圧縮空気源（供給源）
Ｔ ：剥離テープ
Ｗ ：被着体
Claims (4)
- ダイシングフレームに張設されたダイシングテープに貼着された被着体を吸着保持可能なチャックテーブルであって、
前記ダイシングテープを介して前記被着体を載置するポーラスチャックと、
前記ポーラスチャックを上面に収容するチャックベースと、
前記チャックベースの略中央に設けられた第１の供給口と、
前記第１の供給口を囲繞するように前記チャックベースに設けられた複数の第２の供給口と、
前記第１の供給口及び複数の前記第２の供給口を介して前記ポーラスチャックに向けて負圧又は圧縮空気を供給する供給源と、
前記供給源から前記第１の供給口に供給される前記圧縮空気の圧力及び流量を調整する第１調整機構と、
前記供給源から複数の前記第２の供給口に供給される前記圧縮空気の圧力及び流量を調整する第２調整機構と、
を備え、
前記第１の供給口は、前記第２の供給口より大径に形成され、
複数の前記第２の供給口は、前記チャックベースの中央部分にのみ設けられ、
前記第１調整機構は、前記第１の供給口周辺において前記ポーラスチャックの気孔に入り込んだ前記ダイシングテープを前記ポーラスチャックの外部に押し出すように、前記供給源から前記第１の供給口に供給される前記圧縮空気の圧力及び流量を調整し、
前記第２調整機構は、前記第２の供給口周辺において前記ポーラスチャックの気孔に入り込んだ前記ダイシングテープを前記ポーラスチャックの外部に押し出すように、前記供給源から複数の前記第２の供給口に供給される前記圧縮空気の圧力及び流量を調整することを特徴とするチャックテーブル。 - 前記第１の供給口から吐出される圧縮空気の圧力が、前記第２の供給口から吐出される圧縮空気の圧力より高く設定されていることを特徴とする請求項１記載のチャックテーブル。
- 前記第１の供給口から吐出される圧縮空気の圧力と前記第２の供給口から吐出される圧縮空気の圧力とが、略等しく設定されていることを特徴とする請求項１記載のチャックテーブル。
- ダイシングフレームに張設されたダイシングテープに貼着された被着体を吸着保持可能なチャックテーブルであって、
前記ダイシングテープを介して前記被着体を載置するポーラスチャックと、
前記ポーラスチャックを上面に収容するチャックベースと、
前記チャックベースの径方向において異なる複数の地点に設けられた供給口と、
前記供給口を介して前記ポーラスチャックに向けて負圧又は圧縮空気を供給する供給源と、
前記径方向において異なる複数の地点に設けられた供給口毎に前記供給源から供給される前記圧縮空気の圧力及び流量を調整する複数の調整機構と、
を備え、
複数の前記供給口のうち前記チャックベースの中央に設けられた供給口は、他の供給口より大径に形成され、
前記他の供給口は、前記チャックベースの中央部分にのみ設けられ、
前記供給源は、前記ポーラスチャックから前記ダイシングテープを剥離可能な範囲内で低圧に設定された前記圧縮空気を供給し、
前記調整機構は、前記供給口周辺において前記ポーラスチャックの気孔に入り込んだ前記ダイシングテープを前記ポーラスチャックの外部に押し出すように、前記供給源から前記供給口に供給される前記圧縮空気の圧力を調整することを特徴とするチャックテーブル。
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