JP7479157B2 - ダイオード - Google Patents
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Description
図4、図5を参照して、本実施例のダイオード200について第1実施例と異なる点を説明する。本実施例では、隣り合う2個のトレンチ18の間隔が、第1実施例の隣り合うトレンチ18の間隔と異なる。なお、第1実施例と同様の構成は、同様の符号を付している。なお、図面上では、トレンチ18の本数は異なるが、第1実施例及び第2実施例では、トレンチ18の本数に制限はない。そのため、本実施例では、トレンチ18の本数の相違点については、説明を省略する。
Claims (6)
- 半導体層と、
前記半導体層の表面に配置される表面電極と、
前記半導体層の表面から裏面に向かって延びる複数のトレンチと、
前記複数のトレンチの内壁面を覆う絶縁膜と、
前記トレンチに充填されるとともに、前記表面電極に接触する導電部と、
前記半導体層の裏面に配置される裏面電極と、を備え、
前記複数のトレンチのうちの隣り合う2個のトレンチでは、前記半導体層の前記裏面側に位置する裏面側端部近傍における間隔が、前記半導体層の前記表面側に位置する表面端における間隔よりも小さく、
前記複数のトレンチのうちの少なくとも一部のトレンチの前記裏面側端の前記半導体層の前記裏面側に位置する前記半導体層は、前記半導体層の他の部分よりも不純物濃度が低い低濃度領域を有する、ダイオード。 - 前記表面電極は、金属電極であり、
前記表面電極と前記半導体層とは、ショットキー接触している、請求項1に記載のダイオード。 - 前記複数のトレンチよりも前記半導体層の外周側において前記複数のトレンチを一巡しており、前記半導体層の前記表面から前記裏面に向かって延びる終端側トレンチと、
前記終端側トレンチに充填される絶縁層と、をさらに備え、
前記表面電極と前記絶縁層とは、互いに接触することによって、フィールドプレート構造を構成している、請求項1または2に記載のダイオード。 - 前記複数のトレンチのうちの隣り合う2個のトレンチの間隔は、前記表面端から前記裏面端に向かって徐々に小さくなる、請求項1から3のいずれか一項に記載のダイオード。
- 前記複数のトレンチのうち、前記ダイオードの終端側に配置される2個以上の端側トレンチの前記表面端の間隔は、前記複数のトレンチのうち、前記端側トレンチよりも前記ダイオードの中央側に配置される2個以上の中央側トレンチの前記表面端の間隔よりも小さい、請求項1から4のいずれか一項に記載のダイオード。
- ダイオードであって、
半導体層と、
前記半導体層の表面に配置される表面電極と、
前記半導体層の表面から裏面に向かって延びる複数のトレンチと、
前記複数のトレンチの内壁面を覆う絶縁膜と、
前記トレンチに充填されるとともに、前記表面電極に接触する導電部と、
前記半導体層の裏面に配置される裏面電極と、を備え、
前記複数のトレンチのうちの隣り合う2個のトレンチでは、前記半導体層の前記裏面側に位置する裏面側端部近傍における間隔が、前記半導体層の前記表面側に位置する表面端における間隔よりも小さく、
前記複数のトレンチのうち、前記ダイオードの終端側に配置される2個以上の端側トレンチの前記表面端の間隔は、前記複数のトレンチのうち、前記端側トレンチよりも前記ダイオードの中央側に配置される2個以上の中央側トレンチの前記表面端の間隔よりも小さい、ダイオード。
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