JP7465205B2 - セッター - Google Patents
セッター Download PDFInfo
- Publication number
- JP7465205B2 JP7465205B2 JP2020216296A JP2020216296A JP7465205B2 JP 7465205 B2 JP7465205 B2 JP 7465205B2 JP 2020216296 A JP2020216296 A JP 2020216296A JP 2020216296 A JP2020216296 A JP 2020216296A JP 7465205 B2 JP7465205 B2 JP 7465205B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- setter
- holes
- outer edge
- slit
- slits
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 10
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims description 3
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 34
- 101700004678 SLIT3 Proteins 0.000 description 16
- 102100027339 Slit homolog 3 protein Human genes 0.000 description 16
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 9
- 239000000463 material Substances 0.000 description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 6
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 3
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 2
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000000644 propagated effect Effects 0.000 description 2
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- KZHJGOXRZJKJNY-UHFFFAOYSA-N dioxosilane;oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Si]=O.O=[Si]=O.O=[Al]O[Al]=O.O=[Al]O[Al]=O.O=[Al]O[Al]=O KZHJGOXRZJKJNY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 229910052863 mullite Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 229910021426 porous silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
- 238000012916 structural analysis Methods 0.000 description 1
- 239000013589 supplement Substances 0.000 description 1
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 1
- 239000013585 weight reducing agent Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Furnace Charging Or Discharging (AREA)
Description
このセッターの肉薄化に関し、特許文献1には、「被焼成物を載置し、前記被焼成物と共に焼成炉内に収容される焼成用道具材であって、前記焼成用道具材は炭化珪素焼結体からなり、かつ、少なくとも被焼成物を載置する部分の厚みが0.2mm以上1mm以下、かつ気孔率が15%以上60%以下である焼成用道具材」が示されている。
しかしながら、セッターの大型化に伴い、それに伴う強度確保のためにセッターの肉厚を厚くする必要があり、セッターの肉厚を厚くすると、急速な昇降温による熱衝撃に弱く、亀裂、破損が生じるという新たな課題が生じる。
例えば、特許文献2の発明では、円形のサセプタの中心部に位置する穴に、スリットを形成しているが、RHKで用いるセッターは矩形状であり、スリットを入れる場合に、どのようなスリットを、いかなる位置に形成するのが良いか、特許文献2には示されていない。
しかしながら、RHK内で搬送されるセッターは、搬送の進行方向に向かって温度差が発生するため、熱膨張差により矩形が台形に変形する。そのため、セッターのエッジ部分に引張応力が発生し、何らかの対策がなされていない限り、割れの発生が起こるが、この点について特許文献3には示されていない。
本発明にかかるセッター1は、図1に示すように、矩形の載置面1aを有する、セラミックス製の板状のセッター本体1Aを備えている。即ち、セッター本体1Aは、平面視上(上面から見た形状)載置面が矩形であり、互いに対向する載置面1a(表面)および裏面を有しており、厚さが略一定の平板に形成されている。
尚、載置面1aが矩形である場合(セッター本体1Aが矩形の板状体である場合)には、ハンドリング時に、より強度のある辺(短辺)を手で保持する必要があるが、載置面1aが正方形である場合(セッター本体1Aが正方形の板状体である場合)には、ハンドリング時に、より強度のある辺(短辺)を手で保持することを制限する必要がない点で、より望ましい。
また、セッター本体1Aは、セラミックス製であることが好ましい。材質の一例として、アルミナ、ジルコニア、ムライト、炭化ケイ素が挙げられる。
本発明のセッターにあっては、セッターに一般的に用いられている素材を用いることができ、材質は限定されないが、軽量で強度にも優れた炭化ケイ素を好適に用いることができる。尚、本発明のセッターは、単体のセラミックスでもよいが、その表面に各種コーテイングを施したものでもよい。
また、前記貫通孔2は、図1に示すように、載置面1aの外縁部1B(各辺1b、1c、1d、1e)と平行に列をなして配置され、全体として、碁盤の目状(格子状)に配置されている。
このように、セッター本体1Aの載置面1aには、セッター本体1Aの厚さ方向に貫通する円形の貫通孔2が複数形成され、貫通孔2によって、セッター1の軽量化、熱容量の低減効果を図ることができる。
更に、前記貫通孔2は、前記したように、複数形成されることが好ましく、特に、セッター本体1に形成される貫通孔2が4個以下の場合には、軽量化の効果が得られにくく、熱容量の低減効果を図ることができため、好ましくない。したがって、貫通孔2が4個を超える個数形成されているのが好ましい。
尚、前記スリット3は、前記載置面1aと前記セッター本体の裏面(図示せず)に開口している。
そのため、セッター本体1A全体で応力が適切に分散され、クラックの発生が抑制される。
即ち、図1に示すように、載置面1aの外縁部1Bに最も近い位置に複数の貫通孔2がある場合には、前記スリット3は、最も近い位置にある複数の貫通孔2のすべてと、前記外縁部1Bと連通することが望ましい。
尚、図1において、セッター本体1Aの角部に形成された貫通孔2g(2)には、スリット3が形成されていないが、これは、セッターを手で持って搬送する際に、四角の対向する2か所を持つことが多く、角部にスリットが入っていると、強度が著しく低下するためである。ただし、スリットを入れたものでも、本発明の効果が得られるので、図1で、貫通孔2g(2)にスリット3が形成されていても、格別不都合ではない。
しかしながら、図2に示すように、スリット3と長さ寸法の異なる第2のスリット3Aを設けても良い。この第2のスリット3Aは、載置面1aの外縁部1Bに最も近い貫通孔2に隣接する貫通孔2Aから前記外縁部1Bに向けて延設され、前記外縁部1Bと隣接する貫通孔2Aとを連通し、外縁部1Bに開口を有するように形成されている。
しかしながら、使用者がセッター1を、スリットを覆うように掴んだ時、スリットに荷重がかかるので、長いスリットほど不利である。一方、短すぎるスリットでは、セッター本体1Aの内側の応力が十分に外縁部1Bに伝播されない。
そのため、短いスリット3と長いスリット(第2のスリット3A)の組み合わせを最適化する(例えば、図2に示すように、短いスリット3と長いスリット(第2のスリット3A)を交互に配置する)ことで、上記2つの相反する作用効果のバランスをとるのが望ましい。
即ち、載置面1aの外縁部1B(各辺1b、1c、1d、1e)に最も近い位置に複数の貫通孔2がある場合には、前記スリット3は、最も近い位置にある複数の貫通孔2うち、一定の間隔で配置された貫通孔2Bと、前記外縁部1Bと連通するように構成しても良い。
この図3に示したセッター1は、スリットが少ないので、スリット部の破損のリスクは小さく、特に、薄肉のセッターには好適といえる。
次に、セッター内の平面方向における温度分布と応力分布について、静解析を行ったが、この時、セッターの自重と260g×4枚の板を被載置物と想定した荷重を設定した。また、RHKでの焼成状態を想定して、RHK内でのセッターの送り速度は180mm/min、焼成時の最高温度は1260℃とした。
なお、さらにその上に焼成物などが載っている場合もあるが、セッターに与える荷重はごくわずかとなるため、温度分布の評価ができるよう矩形の板のみ載せた状態で比較した。
尚、図4は、上記符号r、a、w、lを説明する図であって、セッター1の1/4を示している。
応力比σn/σ1<0.7となる形状が望ましいが、過酷な条件で使用することを考えると、σn/σ1<0.5となることがより好ましい。
0.7≦σn/σ1は×、0.5≦σn/σ1<0.7は〇、そして、σn/σ1<0.5は◎、として、◎と〇を合格とした。表1に、各条件と応力比と応力比の判定結果を示す。
特に解析例5は、図2に示すような、長さの異なるスリット(34mmと68mm)を交互に入れたものであり、解析例4~6の中で最も応力比が下がった。
表1の結果から、応力比をより効果的に下げることのできる(n1/n2)は、1.43~1.86、セラミックスの加工誤差も誤差を考慮して、1.4~1.9の範囲が、より好ましいものといえる。
いずれも解析例1よりも応力比が高くなり、本発明との差が明確になった。
また、解析例4、5、6、12の結果より、単にセッターの外周部にスリットと貫通孔が存在するだけでは、応力抑制効果は期待できず、載置部にも貫通孔が必要であることがわかった。
1A セッター本体
1B 外縁部
1a 載置部
1b、1c、1d、1e 載置面の一辺
2 貫通孔
2b、2c、2d、2e 外縁部の外縁部に最も近い貫通孔
2g セッター本体の角部に位置する貫通孔
3 スリット
Claims (5)
- 矩形の載置面を有する、セラミックス製の板状のセッター本体と、
前記セッター本体を厚さ方向に貫通し、前記載置面と前記セッター本体の裏面に開口を有する円形の複数の貫通孔と、
前記板状のセッター本体の角部に位置する貫通孔を除いて、前記載置面の外縁部に最も近い貫通孔から前記外縁部に向けて延設され、前記外縁部と貫通孔とを連通し、外縁部に開口を有するスリットと、を備え、
前記載置面の外縁部に最も近い貫通孔には前記スリットが形成され、前記板状のセッター本体の角部に位置する貫通孔には、前記スリットが形成されていないことを特徴とするセッター。 - 前記載置面の外縁部に最も近い位置に複数の貫通孔がある場合には、
前記スリットは、
最も近い位置にある複数の貫通孔のすべてと、前記外縁部と連通することを特徴とする請求項1記載のセッター。 - 前記載置面の外縁部に最も近い位置に複数の貫通孔がある場合には、
前記スリットは、
最も近い位置にある複数の貫通孔のうち、一定の間隔で配置された貫通孔と、前記外縁部と連通することを特徴とする請求項1記載のセッター。 - 更に、前記載置面の外縁部に最も近い貫通孔に隣接する貫通孔から前記外縁部に向けて延設され、前記外縁部と隣接する貫通孔とを連通し、外縁部に開口を有する第2のスリットを備えることを特徴とする請求項1記載のセッター。
- スリットが形成されていない前記貫通孔の数は、前記スリットが形成された貫通孔の数の1.4倍以上1.9倍以下であることを特徴とする請求項1に記載のセッター。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020216296A JP7465205B2 (ja) | 2020-12-25 | 2020-12-25 | セッター |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020216296A JP7465205B2 (ja) | 2020-12-25 | 2020-12-25 | セッター |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2022101913A JP2022101913A (ja) | 2022-07-07 |
JP7465205B2 true JP7465205B2 (ja) | 2024-04-10 |
Family
ID=82273599
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020216296A Active JP7465205B2 (ja) | 2020-12-25 | 2020-12-25 | セッター |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7465205B2 (ja) |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003262477A (ja) | 2002-03-07 | 2003-09-19 | Kazuaki Ito | 陶磁器類焼成用の棚板および棚組 |
-
2020
- 2020-12-25 JP JP2020216296A patent/JP7465205B2/ja active Active
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003262477A (ja) | 2002-03-07 | 2003-09-19 | Kazuaki Ito | 陶磁器類焼成用の棚板および棚組 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2022101913A (ja) | 2022-07-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5858103A (en) | Vertical wafer boat | |
JP5722897B2 (ja) | 焼成用ラック | |
JP7312952B2 (ja) | 水平基板ボート | |
JP7465205B2 (ja) | セッター | |
EP2851639A1 (en) | Setter for roller hearth kiln | |
JP6113272B2 (ja) | 棚システム用のセラミックの板 | |
JP7027041B2 (ja) | 焼成用セッター | |
US4725474A (en) | Batt of refractory material | |
US20140302447A1 (en) | Wafer boat having dual pitch | |
JPH10242237A (ja) | ウエハ移載装置および移載方法 | |
JP6224396B2 (ja) | ワーク収納用容器およびこれを用いた光学素子収納用容器 | |
JP2001174164A (ja) | プッシャー式トンネル炉用台板 | |
JP3153992U (ja) | 焼成治具 | |
JP2003194469A (ja) | プッシャー式トンネル炉用台板 | |
JP4987580B2 (ja) | 縦型ウエハボート | |
JP7506842B1 (ja) | セッターと敷板とからなる焼成治具 | |
JP7507076B2 (ja) | セッター | |
WO2024127845A1 (ja) | セッターと敷板とからなる焼成治具 | |
JP2014181840A (ja) | ベースセッター | |
CN219190236U (zh) | 机械手 | |
JP3083919B2 (ja) | 電子部品熱処理用冶具 | |
CN111868907B (zh) | 水平式衬底舟皿 | |
JP5218039B2 (ja) | 気相成長装置 | |
JPH0978105A (ja) | 焼結用治具 | |
JPH0327280Y2 (ja) |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20221207 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20231117 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20231219 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20240119 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20240321 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20240329 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7465205 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |