JP7449925B2 - Atr結晶と試料との間の接触を自動化する方法及び装置 - Google Patents
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Description
なお、出願当初の特許請求の範囲の記載は以下の通りである。
請求項1:
入射する光が全反射される反射面を特徴とするATR対物レンズと、
光ビームを前記ATR対物レンズに入射させ、前記光ビームが、コントローラによって制御される前記反射面上のあるポイントにおいて前記反射面から全反射されるように、前記光ビームを前記ポイントに合焦させる前記コントローラであって、前記反射面上の複数の異なるポイントのそれぞれにおいて前記反射面から反射された光の強度を計測することによって、前記反射面の画像を形成するコントローラと、
前前記コントローラによって決定された速度で前記反射面に向かう方向に試料を移動させるz軸ステージと、
前記z軸ステージが第1の速度で前記試料を移動させているときに、前記試料と前記反射面との間の最小距離を計測する高さプロファイラと
を備える、ATR走査システム。
請求項2:
前記コントローラは、前記試料が前記反射面の第1の距離内にある前に、前記反射面の背景画像を形成する、請求項1に記載のATR走査システム。
請求項3:
前記コントローラは、前記反射面のアプローチ画像を形成し、前記アプローチ画像を前記背景画像と比較しつつ、前記第1の速度未満の第2の速度で前記反射面に向けて前記z軸ステージを移動させる、請求項2に記載のATR走査システム。
請求項4:
前記第2の速度は5ミクロン/秒未満である、請求項3に記載のATR走査システム。
請求項5:
前記アプローチ画像のうちの1つが、前記試料と前記反射面との間の接触に一致するある領域を示しているとき、前記コントローラは、前記z軸ステージの更なる移動を停止する、請求項3に記載のATR走査システム。
請求項6:
前記コントローラが前記z軸ステージを停止した後に、前記コントローラは、前記試料が前記反射面と接触していることを確認する、請求項5に記載のATR走査システム。
請求項7:
試料をATR対物レンズの反射面と自動的に接触させる方法であって、前記試料は、コントローラによって前記反射面に向かう方向に前記試料を移動させるz軸ステージ上に取り付けられ、
前記試料と前記反射面との間の距離が、前記試料が前記反射面に接触しないことを保証するのに十分な第1の距離よりも大きい間、高さプロファイラを用いて前記試料と前記反射面との間の前記距離を計測しながら、第1のz軸速度で前記反射面に向けて前記試料を移動させることと、
前記試料が前記第1の距離よりも接近しているときに、前記反射面の第1の画像を形成しつつ、前記第1の画像が前記試料が前記反射面と接触していることを示すまで、アプローチステップサイズずつ前記z軸ステージを繰り返し段階的に進行させることと
を含む方法。
請求項8:
前記第1の画像は、光が前記反射面から反射された後の所定の波長の前記光の減衰を前記反射面上の位置の関数として計測することによって形成される、請求項7に記載の方法。
請求項9:
前記第1の画像は、前記試料が前記反射面に接触していないときの前記反射面の第2の画像と比較され、前記試料が前記試料と接触しているか否かが判断される、請求項8に記載の方法。
請求項10:
前記反射面は、所定の波長の光を反射するように構成され、前記反射面から反射する前記光によって生成される電場が、前記反射面から前記試料に向かって第1の距離だけ広がり、前記アプローチステップサイズは前記第1の距離よりも小さい、請求項7に記載の方法。
請求項11:
前記アプローチサイズは5ミクロン未満である、請求項7に記載の方法。
請求項12:
前記アプローチサイズは3ミクロン未満である、請求項7に記載の方法。
請求項13:
前記アプローチサイズは5ミクロン未満である、請求項7に記載の方法。
Claims (10)
- 入射する光が全反射される反射面を特徴とするATR対物レンズと、
光ビームを前記ATR対物レンズに入射させ、前記光ビームが、コントローラによって制御される前記反射面上のあるポイントにおいて前記反射面から全反射されるように、前記光ビームを前記ポイントに合焦させる前記コントローラであって、前記反射面上の複数の異なるポイントのそれぞれにおいて前記反射面から反射された光の強度を計測することによって、前記反射面の画像を形成するコントローラと、
前記コントローラによって決定された速度で前記反射面に向かう方向に試料を移動させるz軸ステージと、
前記z軸ステージが第1の速度で前記試料を移動させているときに、前記試料と前記反射面との間の距離を計測する高さプロファイラと
を備え、
前記コントローラは、前記試料と前記反射面との距離が第1の距離になる前に、前記反射面の背景画像を形成し、
前記コントローラは、前記試料と前記反射面との距離が前記第1の距離内になったら、前記反射面のアプローチ画像を形成し、前記反射面の前記アプローチ画像を前記背景画像と光の吸収に関して比較しつつ、前記第1の速度未満の第2の速度で前記反射面に向けて前記z軸ステージを移動させるものである、ATR走査システム。 - 前記第2の速度は5μm/秒未満である、請求項1に記載のATR走査システム。
- 前記反射面の前記画像を前記背景画像と光の吸収に関して前記比較した結果として、前記反射面の前記アプローチ画像のうちの1つが、前記試料と前記反射面との間の接触に一致する光の吸収を示すある領域を示しているとき、前記コントローラは、前記z軸ステージの更なる移動を停止する、請求項1に記載のATR走査システム。
- 前記コントローラが前記z軸ステージを停止した後に、前記コントローラは、前記試料が前記反射面と接触していることを確認する、請求項3に記載のATR走査システム。
- 試料をATR対物レンズの反射面と自動的に接触させる方法であって、前記試料は、コントローラによって前記反射面に向かう方向に前記試料を移動させるz軸ステージ上に取り付けられ、
前記試料と前記反射面との間の距離が、前記試料が前記反射面に接触しないことを保証するのに十分な第1の距離よりも大きいときには、高さプロファイラを用いて前記試料と前記反射面との間の前記距離を計測しながら、第1のz軸速度で前記反射面に向けて前記試料を移動させることと、
前記試料が前記第1の距離よりも接近しているときには、前記反射面の第1の画像を形成しつつ、前記第1の画像が前記試料が前記反射面と接触していることを示すまで、アプローチステップサイズずつ前記z軸ステージを繰り返し段階的に進行させることと
を含み、
前記第1の画像は、前記試料が前記反射面に接触していないときの前記反射面の第2の画像と光の吸収に関して比較されて、前記試料が前記反射面と接触しているか否かが判断され、
前記反射面は、所定の波長の光を反射するように構成され、
前記光の吸収は、前記反射面から反射する前記光によって生成される電場との相互作用による吸収を示すものである、方法。 - 前記第1の画像は、光が前記反射面から反射された後の所定の波長の前記光の減衰を前記反射面上の位置の関数として計測することによって形成される、請求項5に記載の方法。
- 前記反射面から反射する前記光によって生成される前記電場が、前記反射面から前記試料に向かって前記第1の距離だけ広がり、前記アプローチステップサイズは前記第1の距離よりも小さい、請求項5に記載の方法。
- 前記アプローチステップサイズは5μm未満である、請求項5に記載の方法。
- 前記アプローチステップサイズは3μm未満である、請求項5に記載の方法。
- 前記アプローチステップサイズは1μm未満である、請求項5に記載の方法。
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