JP2006259326A - 赤外顕微鏡 - Google Patents
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Abstract
赤外顕微鏡において、指定した領域のマッピング測定に要する時間を短縮する。
【解決手段】
積算回数が少ない段階でスペクトルを評価する手段を設け、現測定点において既に基準を満たすスペクトルを得ているのであれば、次の測定点に移動して新たな測定点での測定を開始する。得たスペクトルの質に基づいて各測定点で必要とされる積算回数を算出し、積算を繰り返すようにする。あらかじめ設定した積算回数だけ繰り返すのではなく、状況に応じて現測定点での測定回数を予測して減少させ、または次の測定点に移動することで、マッピング測定に要する総時間を短縮する。
【選択図】 図3
Description
12・・・・・・X‐Yステージ
13・・・・・・試料
14・・・・・・検出器
15・・・・・・ステージ駆動装置
16・・・・・・制御部
17・・・・・・入力部
18・・・・・・表示部
30・・・・・・視野
31・・・・・・測定対象
32・・・・・・測定領域
P1〜P7,P11〜P76・・・・・・測定点
PBG・・・・・・バックグラウンド測定点
Claims (3)
- 試料表面の微小領域を一次元的或いは二次元的に指定して測定点を指定し、前記測定点について赤外スペクトルの測定を逐次行う機能を有する赤外顕微鏡において、
赤外スペクトルを所定回数積算する積算手段と、基準を設けて赤外スペクトルを評価する評価手段とを備え、
前記所定回数に満たない積算回数で前記積算手段により得た赤外スペクトルを評価し、
前記基準を満たしたときの赤外スペクトルを保存するようにしたこと
を特徴とする赤外顕微鏡。 - 請求項1に記載の赤外顕微鏡において、
前記評価に基づいて新たに積算回数を決定する手段を有すること
を特徴とする赤外顕微鏡。 - 試料表面の微小領域を一次元的或いは二次元的に指定して測定点を指定し、前記測定点について赤外スペクトルの測定を逐次行う機能を有する赤外顕微鏡において、
赤外スペクトルを所定回数積算する積算手段と、基準を設けて赤外スペクトルを評価する評価手段とを備え、
前記所定回数に満たない積算回数で前記積算手段により得た赤外スペクトルを評価し、
前記評価に基づいて新たに積算回数を決定する手段を有すること
を特徴とする赤外顕微鏡。
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2005
- 2005-03-17 JP JP2005077468A patent/JP4710366B2/ja active Active
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