JP2015178986A - 赤外顕微鏡 - Google Patents
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- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 70
- 238000000862 absorption spectrum Methods 0.000 claims abstract description 47
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 29
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 claims description 10
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 5
- 238000012545 processing Methods 0.000 abstract description 16
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract description 15
- 238000003825 pressing Methods 0.000 abstract description 2
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 16
- 238000013507 mapping Methods 0.000 description 11
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 238000002835 absorbance Methods 0.000 description 3
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 3
- 238000005033 Fourier transform infrared spectroscopy Methods 0.000 description 2
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 238000011179 visual inspection Methods 0.000 description 2
- 238000012790 confirmation Methods 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000004141 dimensional analysis Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 238000000513 principal component analysis Methods 0.000 description 1
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 1
- 238000002798 spectrophotometry method Methods 0.000 description 1
- 238000005211 surface analysis Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Microscoopes, Condenser (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
Description
分析者は、ステージ移動ボタン204を押下して試料Sの位置を移動させることにより試料S上における試料モニター測定領域の位置を変えてゆき、その間、スペクトル表示領域205にリアルタイムに表示されるスペクトルの形状の変化を目視で追ってゆくことにより、異物iの存在箇所を特定していた。図3の例では、モニター測定領域203の軌跡Tが異物i上を2回通過している。異物iの存在に気付くためには、軌跡Tが試料Sと異物iの境界線を通過した際、スペクトル表示領域205に表示されるスペクトルの形状が変化することに気が付く必要がある。
a) 試料の所定の測定範囲内の狭い領域であるモニター領域に赤外光を照射する赤外光照射部と、
b) 前記モニター領域から出射される赤外光の吸収スペクトルを作成する吸収スペクトル作成部と、
c) 前記吸収スペクトルを、前記モニター領域の位置と関連付けて記憶部に記憶するモニター記憶部と
を備えることを特徴とする。
d) 試料の前記モニター領域を含む領域の画像である広域画像を作成し、表示部に表示する広域画像表示部と、
e) 前記モニター記憶部によって記憶部に記憶された赤外吸収スペクトルのデータから、該吸収スペクトルを特徴付ける値を計算する特徴値計算部と、
f) 前記モニター記憶部により、赤外吸収スペクトルと関連付けられて記憶部に記憶された前記広域画像の位置に、前記特徴値計算部によって計算された値と関連付けられた画像を表示するモニター画像重畳表示部。
g) 前記モニター画像重畳表示部によって表示される画像の透明度と表示色を設定する重畳表示設定部。
100…吸収スペクトル作成部
101…モニター記憶部
102…広域画像表示部
103…特徴値計算部
104…モニター画像重畳表示部
105…重畳表示設定部
11…記憶部
21…顕微鏡測定プログラム
210…モニター測定ボタン
211…マッピング測定ボタン
212…試料画像表示領域
213…モニター測定領域
214…ステージ移動ボタン
215…スペクトル表示領域
216…モニター画像設定インタフェース
Claims (5)
- 試料に赤外光を照射して透過又は反射してくる赤外光の吸収スペクトルを測定することにより試料の分析を行う赤外顕微鏡において、
a) 試料の所定の測定範囲内の狭い領域であるモニター領域に赤外光を照射する赤外光照射部と、
b) 前記モニター領域から出射される赤外光の吸収スペクトルを作成する吸収スペクトル作成部と、
c) 前記吸収スペクトルを、前記モニター領域の位置と関連付けて記憶部に記憶するモニター記憶部と
を備えることを特徴とする赤外顕微鏡。 - 請求項1に記載の赤外顕微鏡であって、さらに、
d) 試料の前記モニター領域を含む領域の画像である広域画像を作成し、表示部に表示する広域画像表示部と、
e) 前記モニター記憶部によって記憶部に記憶された赤外吸収スペクトルのデータから、該吸収スペクトルを特徴付ける値を計算する特徴値計算部と、
f) 前記モニター記憶部により、赤外吸収スペクトルと関連付けられて記憶部に記憶された前記広域画像の位置に、前記特徴値計算部によって計算された値と関連付けられた画像を表示するモニター画像重畳表示部と
を備えることを特徴とする赤外顕微鏡。 - 請求項2に記載の赤外顕微鏡であって、前記モニター画像重畳表示部が、表示部に表示する画像の色を前記特徴値に応じて段階的に変化させることを特徴とする赤外顕微鏡。
- 請求項3に記載の赤外顕微鏡であって、さらに、
g) 前記モニター画像重畳表示部によって表示される画像の透明度と表示色を設定する重畳表示設定部
を備えることを特徴とする赤外顕微鏡。 - 請求項4に記載の赤外顕微鏡であって、前記モニター画像重畳表示部が表示部に表示する画像の大きさを、前記重畳表示設定部において設定することができることを特徴とする赤外顕微鏡。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014055811A JP2015178986A (ja) | 2014-03-19 | 2014-03-19 | 赤外顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014055811A JP2015178986A (ja) | 2014-03-19 | 2014-03-19 | 赤外顕微鏡 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018075020A Division JP6669189B2 (ja) | 2018-04-09 | 2018-04-09 | 赤外顕微鏡 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015178986A true JP2015178986A (ja) | 2015-10-08 |
Family
ID=54263138
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014055811A Pending JP2015178986A (ja) | 2014-03-19 | 2014-03-19 | 赤外顕微鏡 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2015178986A (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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