JP6669189B2 - 赤外顕微鏡 - Google Patents
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Description
分析者は、ステージ移動ボタン204を押下して試料Sの位置を移動させることにより試料S上における試料モニター測定領域の位置を変えてゆき、その間、スペクトル表示領域205にリアルタイムに表示されるスペクトルの形状の変化を目視で追ってゆくことにより、異物iの存在箇所を特定していた。図3の例では、モニター測定領域203の軌跡Tが異物i上を2回通過している。異物iの存在に気付くためには、軌跡Tが試料Sと異物iの境界線を通過した際、スペクトル表示領域205に表示されるスペクトルの形状が変化することに気が付く必要がある。
a) 試料の所定の測定範囲内の狭い領域であるモニター領域に赤外光を照射する赤外光照射部と、
b) 前記モニター領域から出射される赤外光の吸収スペクトルを作成する吸収スペクトル作成部と、
c) 異物を含む測定領域を決定するために行われるサンプリング測定であるモニター測定を行う際に、前記吸収スペクトルを、前記モニター領域の位置と関連付けて記憶部に記憶するモニター記憶部と
を備えることを特徴とする。
d) 試料の前記モニター領域を含む領域の画像である広域画像を作成し、表示部に表示する広域画像表示部と、
e) 前記モニター記憶部によって記憶部に記憶された赤外吸収スペクトルのデータから、該吸収スペクトルを特徴付ける値を計算する特徴値計算部と、
f) 前記モニター記憶部により、赤外吸収スペクトルと関連付けられて記憶部に記憶された前記広域画像の位置に、前記特徴値計算部によって計算された値と関連付けられた画像を表示するモニター画像重畳表示部。
g) 前記モニター画像重畳表示部によって表示される画像の透明度と表示色を設定する重畳表示設定部。
100…吸収スペクトル作成部
101…モニター記憶部
102…広域画像表示部
103…特徴値計算部
104…モニター画像重畳表示部
105…重畳表示設定部
11…記憶部
21…顕微鏡測定プログラム
210…モニター測定ボタン
211…マッピング測定ボタン
212…試料画像表示領域
213…モニター測定領域
214…ステージ移動ボタン
215…スペクトル表示領域
216…モニター画像設定インタフェース
Claims (5)
- 試料の表面画像を取得する画像取得部と、
前記試料に赤外光を照射する赤外光照射部と、
前記赤外光照射部により前記赤外光が照射される前記試料上のモニター領域に対応する前記表面画像上の領域であるモニター測定領域とその軌跡を示す重畳画像を、前記表面画像中に重畳表示するモニター画像重畳表示部と、
前記モニター測定領域を移動させることが可能な移動手段と、
前記移動手段により前記モニター測定領域が移動されたことに伴い前記モニター領域が移動されるとともに前記赤外光が前記試料に照射されて、前記モニター測定領域での赤外吸収スペクトルを順次取得するスペクトル作成部と、
前記画像取得部が取得した前記表面画像、及び、前記スペクトル作成部により順次取得された前記赤外吸収スペクトルを表示する表示部と、
前記赤外吸収スペクトルを、前記モニター領域の位置と関連付けて記憶部に記憶するモニター記憶部と
を備えることを特徴とする赤外顕微鏡。 - 請求項1に記載の赤外顕微鏡であって、さらに、
前記モニター記憶部によって前記記憶部に記憶された前記赤外吸収スペクトルのデータから、該赤外吸収スペクトルを特徴付ける値である特徴値を計算する特徴値計算部を備え、
前記モニター画像重畳表示部が、前記モニター記憶部により前記赤外吸収スペクトルと関連付けられて前記記憶部に記憶された前記モニター領域の位置と対応する前記モニター測定領域の位置に、前記特徴値と関連付けられた画像を表示することを特徴とする赤外顕微鏡。 - 請求項2に記載の赤外顕微鏡であって、
前記表示部に表示する前記重畳画像の色を前記特徴値に応じて段階的に変化させることを特徴とする赤外顕微鏡。 - 請求項1に記載の赤外顕微鏡であって、さらに、
前記モニター画像重畳表示部によって表示される前記重畳画像の透明度と表示色を設定する重畳表示設定部を備えることを特徴とする赤外顕微鏡。 - 請求項4に記載の赤外顕微鏡であって、
前記モニター画像重畳表示部が前記表示部に表示する前記重畳画像の大きさを、前記重畳表示設定部において設定することができることを特徴とする赤外顕微鏡。
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