JP7446125B2 - 半導体装置およびその製造方法 - Google Patents
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Description
モールド樹脂と半導体素子の間にモールド樹脂よりもヤング率の小さい低応力樹脂膜を設けることで、半導体素子にかかる応力を低減することができる(例えば、特許文献1参照)。
本発明は、かかる課題に鑑みてなされたもので、半導体素子への応力を低減することができる半導体装置の提供を目的とする。
半導体素子と、
前記半導体素子が載置されたダイパッドと、
前記ダイパッドと離間して配置されたリードと、
前記半導体素子の素子面に設けられた低応力樹脂膜と、
前記半導体素子と前記低応力樹脂膜と前記ダイパッドと前記リードを被覆する封止樹脂と、を備え、
前記低応力樹脂膜は、前記封止樹脂よりも小さいヤング率を有し、前記低応力樹脂膜の前記半導体素子と接する面の反対面に第1凹状曲面を有することを特徴とする半導体装置とする。
また、半導体素子と、
前記半導体素子を載置されたダイパッドと、
前記ダイパッドと離間して配置されたリードと、
前記半導体素子の素子面に設けられた低応力樹脂膜と、
前記半導体素子と前記低応力樹脂膜と前記ダイパッドと前記リードを被覆する封止樹脂と、を備える半導体装置の製造方法であって、
前記ダイパッド上に前記半導体素子が搭載され、前記ダイパッドと離間して配置したリードを用意する工程と、
前記半導体素子の素子面上に、第1裏面が平面であって前記第1裏面と反対面である第1主面が第1凹状曲面である低応力樹脂膜を形成する工程と、
前記半導体素子と前記低応力樹脂膜と前記ダイパッドと前記リードを被覆する封止樹脂を形成する工程と、からなることを特徴とする半導体装置の製造方法を用いる。
図1は、本発明の第1実施形態にかかる半導体装置の構造図である。図1(a)の断面図に示すように、ダイパッド5上に半導体素子1が搭載されている。ダイパッド5の周囲にはダイパッド5と離間してリード4が設けられている。そして、半導体素子1の上面に設けられた電極パッド(図示せず)とリード4の上面とが接続部材であるワイヤ3を介して電気的に接続されている。ワイヤ3の材料としては金(Au)や銅(Cu)が用いられる。なお、半導体素子1とリード4との電気的接続はワイヤ法に限られることなく、バンプを介したフリップチップボンディング法を用いても構わない。
以上では、封止樹脂2の2つの側面のそれぞれにリード4を設けたDFN(Dual Flat Non-leaded)パッケージの例で説明したが、本技術は封止樹脂2の4つの側面のそれぞれにリード4を設けたQFN(Quad Flat Non-leaded)パッケージにも適用可能である。また、本技術は、ダイパッドを封止樹脂から露出した半導体装置に限らず、フルモールドタイプの半導体装置にも適用可能である。
ダイパッド5上に半導体素子1が搭載され、ダイパッド5の周囲にはダイパッド5と離間してリード4が設けられている。半導体素子1上の電極パッド(図示せず)とリード4がワイヤ3を介して電気的に接続されている。リード4はインナーリード部4aとアウターリード部4bからなり、インナーリード部4aがアウターリード部4bよりも高くなるように折り曲げられている。そして、ダイパッド5上の半導体素子1、ワイヤ3、リード4は封止樹脂2によって封止されている。ダイパッド5の半導体素子1搭載面と反対側である裏面は封止樹脂2から露出し、その露出面はメッキ層12にて被覆されており、放熱性にすぐれている。ダイパッド5の上端部にはダイパッド5の厚みを薄くした肉薄部5aが設けられ、肉薄部5aの裏面には封止樹脂2が回り込んでダイパッド5が封止樹脂から抜けにくい構造となっている。
リード4のインナーリード部4aは封止樹脂2によって封止されているが、封止樹脂2の底面と同一平面となるダイパッド5の裏面およびアウターリード部4bの底面は封止樹脂2から露出し、メッキ層12で覆われている。
本実施形態ではリード4をアップセットしたノンリードタイプの半導体装置にて説明したが、封止樹脂2に凹状球面19を設けることは図1に図示した他のノンリードタイプの半導体装置にも適用可能である。
なお、図4では封止樹脂2の凹状球面19と低応力樹脂膜57の凹状球面16の曲率を同じとしているが、この例に限らず、互いに異なる曲率としても構わない。また、凹状球面19は複数の曲率を有する凹状曲面であっても良い。
第1実施形態では、半導体素子1の素子面がリード4と反対方向に向く構造であったのに対し、本実施形態では、図5(a)の断面図に示すように、金属材料からなる放熱板13の下面に固着した半導体素子1の素子面がリード4に向く構造としている。半導体素子1の素子面にはバンプ電極11が設けられ、このバンプ電極11を介して半導体素子1の素子面とリード4が向い合って電気的に接続している。バンプ電極11は錫(Sn)や金(Au)などの金属材料からなる。
半導体素子1の素子面の一部には、応力に対する感度が高い素子領域1aがあり、その下には低応力樹脂膜58が設けられている。低応力樹脂膜58は応力に対する感度が高い素子領域1aの下に選択的に設けられ、半導体素子1の全領域と重なるように設けられていない。
以上のように、応力に対する感度が高い素子領域1aの下に主面に凹状球面16を有する低応力樹脂膜58を設けることで、この素子領域1aにかかる応力が低減することができる。その結果、この素子領域1aに形成された回路から得られる電気特性値が本来の値からずれてしまうことを低減できる。このように、上記構造とすることで半導体素子1への封止樹脂からの応力を低減できる半導体装置28を実現できる。
以上では、封止樹脂2の2つの側面のそれぞれにリード4を設けたDFN(Dual Flat Non-leaded)パッケージの例で説明したが、本技術は封止樹脂2の4つの側面のそれぞれにリード4を設けたQFN(Quad Flat Non-leaded)パッケージにも適用可能である。また、低応力樹脂膜には図1乃至図3で説明した平面形状や断面形状を適用することも可能である。
次いで、図6(c)に示すように、ダイパッド5上に半導体素子1を搭載し、半導体素子1上に設けられた電極パッド(図示せず)とリード4とをワイヤ3を介して電気的に接続する。
図9は、本発明の第1実施形態にかかる半導体装置と比較例を示す構造図であって、図9(a)には、本発明の第1実施形態にかかる半導体装置A、図9(b)には比較例である半導体装置B、図9(c)には比較例である半導体装置Cを図示している。半導体装置Aは半導体素子1の素子面上に主面が凹状球面16である低応力樹脂膜10aを載せ、半導体素子1上に設けられた電極パッド(図示せず)とリード4とをワイヤ(図示せず)を介して電気的に接続している。そして、半導体素子1と低応力樹脂膜10aとダイパッド5とリード4を封止樹脂2で被覆した構成である。なお、本図では半導体素子1上に設けられた電極パッドとリード4を電気的に接続するワイヤは図示していない。半導体素子1の素子面と封止樹脂2の上表面の間の封止樹脂2の厚さT2は0.17mm、応力に対する感度が高い素子領域1a上の低応力樹脂膜10aの厚さは0.1mm、低応力樹脂膜10aの主面端部における厚さは0.135mm、低応力樹脂膜10aの幅L1は0.9mm、凹状球面の曲率半径は2.9mmである。また、低応力樹脂膜51のヤング率は0.1GPa、封止樹脂2のヤング率は20GPaである。
以上のように、半導体装置A、B、Cは低応力樹脂膜10a。10b、10cの主面の形状が異なるだけで他のディメンジョンは同一である。
以上説明したように、低応力樹脂膜の主面を凹状球面とすることで半導体素子1にかかる応力を大幅に低減でき、半導体素子を封止しても電気特性の変動が小さい半導体装置とすることができる。
1a 応力に対する感度が高い素子領域
1b 応力に対する感度が低い素子領域
2 封止樹脂
3 ワイヤ
4 リード
4a インナーリード部
4b アウターリード部
5 ダイパッド
5a 肉薄部
6 電極パッド
7 リードフレーム
7a ユニット
7b フレーム枠
7c 吊りリード
8 金型
8a 上金型
8b 下金型
9 キャビティ
10a、10b、10c 低応力樹脂膜
11 バンプ電極
12 メッキ層
13 放熱板
14 回転ブレード
15 封止体
16 凹状球面
17 平面
18 凸状球面
19 凹状球面
21、22、23、24,25、26、27、28 半導体装置
51、52、53、54、55、56、57、58 低応力樹脂膜
A、B、C 半導体装置
T1、T2、T3 厚さ
L1 長さ
Claims (7)
- 応力に対する感度が高い素子領域が素子面に形成された半導体素子と、
前記応力に対する感度が高い素子領域の上面を覆うように設けられた低応力樹脂膜と、
前記半導体素子と前記低応力樹脂膜を被覆する封止樹脂と、
を備え、
前記低応力樹脂膜は、前記封止樹脂よりも小さいヤング率を有し、前記半導体素子と接する裏面が平面であって前記裏面の反対面の主面に最外の端部が最も厚い第1凹状曲面を有することを特徴とする半導体装置。 - 平面視において、前記低応力樹脂膜の周縁部が多角形を成し、そのすべての内角が鈍角であることを特徴とする請求項1記載の半導体装置。
- 平面視において、前記低応力樹脂膜の周縁部が円もしくは楕円であることを特徴とする請求項1記載の半導体装置。
- 前記半導体素子の素子面と前記封止樹脂の上表面が平行であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項記載の半導体装置。
- 前記封止樹脂の上表面に第2凹状曲面を有することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項記載の半導体装置。
- 半導体素子の素子面に形成された応力に対する感度が高い素子領域の上面を覆うように、前記半導体素子と接する裏面が平面であって前記裏面の反対面の主面に最外の端部が最も厚い第1凹状曲面を有する低応力樹脂膜を形成する工程と、
前記半導体素子と前記低応力樹脂膜を被覆する封止樹脂を形成する工程と、
からなることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記半導体素子の素子面に前記低応力樹脂膜を形成する工程では、フィルム状低応力樹脂膜を貼り付ける方法を用いることを特徴とする請求項6記載の半導体装置の製造方法。
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