JP7429732B2 - Multi-head multi-wavelength PCB laser drilling device and method - Google Patents

Multi-head multi-wavelength PCB laser drilling device and method Download PDF

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Description

本発明はPCB加工製造機器の技術分野に関して、特にマルチヘッド多波長PCBレーザー孔開け装置及び方法に関している。 The present invention relates to the technical field of PCB processing and manufacturing equipment, particularly to a multi-head multi-wavelength PCB laser drilling apparatus and method.

近年、携帯電話、ノートパソコン、デジタルカメラを代表としての電子関連製品の高機能化は迅速に発展している。これらの電子製品の高機能化を実現するために、装着された半導体電子素子の小型化、高性能化、これらの電子素子が装着されたPCBの高密度化、多層化、及び導通孔の小径化、高精度化は何れも不可欠である。 In recent years, electronic products such as mobile phones, notebook computers, and digital cameras have rapidly become more sophisticated. In order to improve the functionality of these electronic products, the size and performance of semiconductor electronic devices mounted on them must be reduced, the PCBs on which these electronic devices are mounted must be made denser and multilayered, and the diameter of conductive holes must be made smaller. Both of these improvements are essential.

HDI(高密度相互接続)PCB技術の発展に連れて、機械孔開け技術は、穿孔の小径化、高精度及び高効率という市場のニーズを満たすことができないため、レーザー穿孔はだんだん機械孔開けに取って代わる。 With the development of HDI (High Density Interconnect) PCB technology, laser drilling is gradually replacing mechanical drilling, because mechanical drilling technology cannot meet the market needs of small hole diameter, high precision and high efficiency. supersede.

孔開けの異なる要求に連れて、現在、市販のほとんどのレーザー孔開け機器は何れもダブルヘッド単一波長加工モードを採用して加工し、PCB孔開けの効率要求を満たすことができず、異なる銅箔層及び樹脂層を加工する場合、薄化及び黒化の前処理を必要とし、孔開けの効率及び孔開けの精度を低減させ、上記問題を解决するために、孔開けの効率が高く、孔開けの精度が高いマルチヘッド多波長PCBレーザー孔開け機器を必要とする。 With the different requirements of drilling, at present, most laser drilling equipment on the market adopts the double-head single wavelength processing mode, which cannot meet the efficiency requirements of PCB drilling and has different When processing the copper foil layer and resin layer, it requires pre-treatment of thinning and blackening, which reduces the drilling efficiency and drilling accuracy, and in order to solve the above problems, the drilling efficiency is high. , requires multi-head multi-wavelength PCB laser drilling equipment with high drilling accuracy.

上記従来技術に存在する問題を解决するために、本発明は、マルチヘッド多波長PCBレーザー孔開け装置及び方法を提供することを目的とする。 In order to solve the problems existing in the above prior art, the present invention aims to provide a multi-head multi-wavelength PCB laser drilling apparatus and method.

上記目的を実現するために、本発明は以下の解決策を提供し、即ち、本発明はマルチヘッド多波長PCBレーザー孔開け装置を提供し、複数のPCB加工ラインが平行配置される台座を備え、
前記PCB加工ラインは前記台座に固定装着されるY方向軸を備え、前記Y方向軸の上方には、平行する第1X方向軸及び第2X方向軸が設けられ、前記第1X方向軸及び前記第2X方向軸の運動方向は、前記Y方向軸の運動方向に垂直し、
前記第1X方向軸には第1孔開けモジュールが固定装着され、前記第2X方向軸には第2孔開けモジュールが固定装着され、前記第1孔開けモジュール及び前記第2孔開けモジュールはそれぞれ前記Y方向軸に対応するように配置され、
前記第1孔開けモジュールは、前記第1X方向軸に固定装着されるとともに前記Y方向軸に対応する第1レーザーユニットを備え、前記第2孔開けモジュールは、前記第2X方向軸に固定装着されるとともに前記Y方向軸に対応するように配置される第2レーザーユニットを備え、
前記第1孔開けモジュール及び前記第2孔開けモジュールは何れも測位監視ユニットを備える。
In order to realize the above object, the present invention provides the following solutions, namely, the present invention provides a multi-head multi-wavelength PCB laser drilling device, comprising a pedestal on which a plurality of PCB processing lines are arranged in parallel. ,
The PCB processing line includes a Y-direction axis fixedly attached to the pedestal, and a first X-direction axis and a second X-direction axis are provided above the Y-direction axis in parallel, and the first X-direction axis and the second X-direction axis are parallel to each other. The direction of movement of the 2X direction axis is perpendicular to the movement direction of the Y direction axis,
A first hole punching module is fixedly attached to the first X-direction axis, a second hole punch module is fixedly attached to the second X-direction axis, and the first hole punch module and the second hole punch module are respectively fixed to the first hole punch module. arranged to correspond to the Y direction axis,
The first hole punching module is fixedly attached to the first X direction axis and includes a first laser unit corresponding to the Y direction axis, and the second hole punching module is fixedly attached to the second X direction axis. and a second laser unit arranged to correspond to the Y-direction axis,
The first drilling module and the second drilling module both include a positioning monitoring unit.

好ましくは、前記台座はベースを備え、前記Y方向軸は前記ベースの天井面に固定装着され、前記ベースの中心位置には、前記Y方向軸に垂直するガントリービームが設けられ、前記第1X方向軸及び前記第2X方向軸は前記ガントリービームの2つの側辺にそれぞれ設けられる。 Preferably, the pedestal includes a base, the Y-direction axis is fixedly attached to a ceiling surface of the base, a gantry beam perpendicular to the Y-direction axis is provided at a center position of the base, and the first X-direction axis The axis and the second X-direction axis are respectively provided on two sides of the gantry beam.

好ましくは、前記第1レーザーユニットは前記ベースの天井面に固定装着される紫外線レーザー装置と、前記第1X方向軸に固定装着される紫外線光学システムとを備え、前記紫外線レーザー装置は前記紫外線光学システムに連通し、前記紫外線光学システムは前記Y方向軸に対応するように配置され、前記第2レーザーユニットは、前記ガントリービームの先端に固定装着される二酸化炭素レーザー装置と、前記第1X方向軸に固定装着される二酸化炭素光学システムとを備え、前記二酸化炭素レーザー装置は前記二酸化炭素光学システムに連通し、前記二酸化炭素光学システムは前記Y方向軸に対応するように配置される。 Preferably, the first laser unit includes an ultraviolet laser device fixedly attached to the ceiling surface of the base and an ultraviolet optical system fixedly attached to the first X-direction axis, and the ultraviolet laser device is connected to the ultraviolet optical system. , the ultraviolet optical system is arranged to correspond to the Y-direction axis, and the second laser unit is connected to a carbon dioxide laser device fixedly attached to the tip of the gantry beam, and the second laser unit is connected to the first X-direction axis. a fixedly mounted carbon dioxide optical system, the carbon dioxide laser device communicates with the carbon dioxide optical system, and the carbon dioxide optical system is arranged to correspond to the Y-direction axis.

好ましくは、前記Y方向軸にはY軸ロータが移動可能に配置され、前記Y軸ロータには負圧吸盤が固定装着され、前記第1X方向軸には第1X軸ロータが設けられ、前記紫外線光学システムは前記第1X軸ロータに固定装着され、前記第2X方向軸には第2X軸ロータが設けられ、前記二酸化炭素光学システムは前記第2X軸ロータに固定装着される。 Preferably, a Y-axis rotor is movably arranged on the Y-direction axis, a negative pressure suction cup is fixedly attached to the Y-axis rotor, a first X-axis rotor is provided on the first X-direction axis, and the ultraviolet rays An optical system is fixedly mounted on the first X-axis rotor, a second X-axis rotor is disposed on the second X-direction axis, and the carbon dioxide optical system is fixedly mounted on the second X-axis rotor.

好ましくは、前記測位監視ユニットは前記負圧吸盤の側壁に固定装着されるレーザーパワープローブを備え、前記レーザーパワープローブは前記紫外線光学システム及び前記二酸化炭素光学システムにそれぞれ対応するように配置される。 Preferably, the positioning monitoring unit includes a laser power probe fixedly attached to a side wall of the negative pressure suction cup, and the laser power probe is arranged to correspond to the ultraviolet optical system and the carbon dioxide optical system, respectively.

好ましくは、前記測位監視ユニットはCCD測位ユニットをさらに備え、前記CCD測位ユニットは前記第1X軸ロータ及び前記第2X軸ロータにそれぞれ固定装着され、前記CCD測位ユニットは、前記負圧吸盤上に吸引されるとともに、固定接続される回路基板に対応するように配置される。 Preferably, the positioning monitoring unit further includes a CCD positioning unit, the CCD positioning units are fixedly attached to the first X-axis rotor and the second X-axis rotor, respectively, and the CCD positioning unit is sucked onto the negative pressure suction cup. and is arranged to correspond to the circuit board to which it is fixedly connected.

好ましくは、前記負圧吸盤は前記Y軸ロータに固定装着されるハウジングを備え、前記ハウジングの天井面にはハニカム板が設けられ、前記レーザーパワープローブは前記ハウジングの側壁に固定装着される。 Preferably, the negative pressure suction cup includes a housing fixedly attached to the Y-axis rotor, a honeycomb plate is provided on a ceiling surface of the housing, and the laser power probe is fixedly attached to a side wall of the housing.

好ましくは、前記紫外線光学システムと前記第1X軸ロータの間にはZ軸フォーカス調整装置が設けられ、前記Z軸フォーカス調整装置の固定端は前記第1X軸ロータに固定接続され、その可動端は前記紫外線光学システムに固定接続され、前記二酸化炭素光学システムと前記第2X軸ロータの間には、同じように前記Z軸フォーカス調整装置が設けられる。 Preferably, a Z-axis focus adjustment device is provided between the ultraviolet optical system and the first X-axis rotor, a fixed end of the Z-axis focus adjustment device is fixedly connected to the first X-axis rotor, and a movable end thereof is Fixedly connected to the ultraviolet optical system and between the carbon dioxide optical system and the second X-axis rotor, the Z-axis focus adjustment device is likewise provided.

マルチヘッド多波長PCBレーザー孔開け方法であって、
孔開け対象となる回路基板を固定装着するステップS1と、
回路基板を1回目移転するステップS2と、
回路基板を1回目測位して孔開けするステップS3と、
回路基板を2回目移転するステップS4と、
回路基板を2回目測位して孔開けするステップS5と、
回路基板を3回目移転するステップS6と、
回路基板を3回目測位して孔開けするステップS7と、
加工された回路基板を検出して移転するステップS8と、を備える。
A multi-head multi-wavelength PCB laser drilling method, comprising:
Step S1 of fixing and mounting a circuit board to be drilled;
Step S2 of transferring the circuit board for the first time;
step S3 of positioning the circuit board for the first time and drilling a hole;
Step S4 of transferring the circuit board for a second time;
step S5 of positioning the circuit board a second time and drilling a hole;
Step S6 of transferring the circuit board for the third time;
step S7 of positioning the circuit board for the third time and drilling a hole;
Step S8 of detecting and transferring the processed circuit board.

好ましくは、回路基板には盲孔が孔開けされた場合、前記ステップS6及び前記ステップS7をスキップし、前記ステップS8を直接的に実行する。 Preferably, when a blind hole is drilled in the circuit board, step S6 and step S7 are skipped, and step S8 is directly performed.

本発明は以下の技術効果を開示し、本発明はマルチヘッド多波長PCBレーザー孔開け装置及び方法を開示し、台座には複数のPCB加工ラインが設けられ、孔開け操作を同時且つ独立に行って、孔開け効率を大幅に高め、単一のPCB生産ラインはY方向軸、第1X方向軸、及び第2X方向軸を備え、途中で取り外してからクランプする必要がなく、1回の装着は回路基板のいろんな形態の孔開けを完了でき、再クランプによる測位誤差を低減させ、孔開けの精度及び最終製品の品質を向上させ、独立の光学システム及び測位監視ユニットをセットとして配置し、テーブルのパワーを容易に検出し、孔開けのパワーの一致性を保証し、さらに、孔開けの一致性を保証する。本発明の構造がコンパクトで、配置が合理であり、複数回のクランプを必要とせず、回路基板の孔開け工程を1回で完了でき、孔開けの効率が高く、孔開けの誤差が小さく、孔開けの精度が高く、Y方向軸及び孔開けモジュールの数を増やすことで、4ヘッド、6ヘッド、8ヘッド、10ヘッド、さらにこれ以上の孔開けを実現し、回路基板の加工製造の効率を大幅に高めて、市場のニーズを満たす。 The present invention discloses the following technical effects, the present invention discloses a multi-head multi-wavelength PCB laser drilling device and method, the pedestal is provided with a plurality of PCB processing lines, and the drilling operation is performed simultaneously and independently. This greatly increases the drilling efficiency, and the single PCB production line is equipped with a Y axis, a first X axis, and a second It can complete the drilling of various forms of circuit boards, reduce the positioning error caused by re-clamping, improve the drilling accuracy and the quality of the final product, and arrange the independent optical system and positioning monitoring unit as a set. Easily detect power, ensure consistency of drilling power, and further ensure consistency of drilling. The structure of the present invention is compact, the arrangement is reasonable, there is no need for multiple clamping, the drilling process of the circuit board can be completed in one time, the drilling efficiency is high, the drilling error is small, With high drilling accuracy, increasing the number of Y-direction axes and drilling modules enables drilling of 4 heads, 6 heads, 8 heads, 10 heads, and more, increasing the efficiency of circuit board processing and manufacturing. to meet market needs.

本発明の実施例又は従来技術の技術的解決策を明らかに説明するために、以下は実施例の必要な図を簡単に紹介し、明らかに、以下に記載の図は本発明の複数の実施例を例示するものであり、当業者は、進歩性に値する労働をしないことを前提として、これらの図に基づき、他の図を取得できる。
本発明のマルチヘッド多波長PCBレーザー孔開け装置の斜視図である。 本発明のマルチヘッド多波長PCBレーザー孔開け装置の平面図である。 本発明のマルチヘッド多波長PCBレーザー孔開け装置の正面図である。 本発明の紫外線光学システムの斜視図である。 図4におけるA箇所の局所拡大図である。
In order to clearly explain the embodiments of the present invention or the technical solutions of the prior art, the following briefly introduces the necessary figures of the embodiments, and obviously the figures described below are used for multiple implementations of the present invention. These figures are given by way of example only, and a person skilled in the art can derive other figures based on these figures without any effort worthy of inventive step.
1 is a perspective view of a multi-head multi-wavelength PCB laser drilling apparatus of the present invention; FIG. 1 is a plan view of a multi-head multi-wavelength PCB laser drilling apparatus of the present invention; FIG. 1 is a front view of a multi-head multi-wavelength PCB laser drilling apparatus of the present invention; FIG. 1 is a perspective view of an ultraviolet optical system of the present invention; FIG. 5 is a locally enlarged view of location A in FIG. 4. FIG.

以下は本発明の実施例の図を結合して、本発明の実施例の技術的解決策を明らか且つ完全に記載し、明らかに、記載の実施例は全ての実施例ではなく、本発明の一部の実施例のみである。本発明の実施例に基づき、当業者が進歩性に値する労働をしないことを前提として、取得した他の全ての実施例は、何れも本発明の保護範囲に属する。 The following combines the figures of the embodiments of the present invention to clearly and completely describe the technical solutions of the embodiments of the present invention, and obviously the described embodiments are not all the embodiments, but the embodiments of the present invention. Only some examples. Based on the embodiments of the present invention, all other embodiments obtained by those skilled in the art without any effort worthy of inventive step will fall within the protection scope of the present invention.

本発明の上記目的、特徴及び利点をより明らかで且つわかりやすくするために、以下は図及び具体的な実施形態を結合して本発明をさらに詳しく説明する。 In order to make the above objects, features and advantages of the present invention more clear and understandable, the present invention will be described in more detail below by combining figures and specific embodiments.

図1~5を参照、本発明はマルチヘッド多波長PCBレーザー孔開け装置を提供し、複数のPCB加工ラインが平行配置される台座1を備え、
PCB加工ラインは、台座1に固定装着されるY方向軸2を備え、Y方向軸2の上方には、平行する第1X方向軸4及び第2X方向軸6が設けられ、第1X方向軸4及び第2X方向軸6の運動方向はY方向軸2の運動方向に垂直し、
第1X方向軸4には第1孔開けモジュールが固定装着され、第2X方向軸6には第2孔開けモジュールが固定装着され、第1孔開けモジュール及び第2孔開けモジュールはそれぞれY方向軸2に対応するように配置され、
第1孔開けモジュールは、第1X方向軸4に固定装着されるとともに、Y方向軸2に対応する第1レーザーユニットを備え、第2孔開けモジュールは、第2X方向軸6に固定装着されるとともに、Y方向軸2に対応するように配置される第2レーザーユニットを備え、
第1孔開けモジュール及び第2孔開けモジュールは何れも測位監視ユニットを備える。
Referring to FIGS. 1 to 5, the present invention provides a multi-head multi-wavelength PCB laser drilling device, comprising a pedestal 1 on which a plurality of PCB processing lines are arranged in parallel;
The PCB processing line includes a Y-direction axis 2 fixedly attached to a pedestal 1, and above the Y-direction axis 2, a first X-direction axis 4 and a second X-direction axis 6 are provided which are parallel to each other. and the direction of movement of the second X-direction axis 6 is perpendicular to the movement direction of the Y-direction axis 2;
A first hole punching module is fixedly attached to the first X direction shaft 4, a second hole punch module is fixedly attached to the second X direction shaft 6, and the first hole punch module and the second hole punch module are respectively attached to the Y direction axis. arranged to correspond to 2,
The first hole punching module is fixedly attached to the first X direction axis 4 and includes a first laser unit corresponding to the Y direction axis 2, and the second hole punching module is fixedly attached to the second X direction axis 6. and a second laser unit arranged so as to correspond to the Y-direction axis 2,
Both the first drilling module and the second drilling module include a positioning monitoring unit.

本発明が開示したマルチヘッド多波長PCBレーザー孔開け装置及び方法によれば、台座1には複数のPCB加工ラインが設けられ、孔開け操作を同時且つ独立して行って、孔開け効率を大幅に高め、単一のPCB生産ラインはY方向軸2、第1X方向軸4及び第2X方向軸6を備え、途中で取り外してからクランプする必要がなく、1回の装着は回路基板20のいろんな形態の孔開けを完了でき、再クランプによる測位誤差を低減させ、孔開けの精度及び最終製品の品質を向上させ、独立の光学システム及び測位監視ユニットをセットとして配置し、テーブルのパワーを容易に検出し、孔開けのパワーの一致性を保証し、さらに、孔開けの一致性を保証する。 According to the multi-head multi-wavelength PCB laser drilling device and method disclosed by the present invention, the pedestal 1 is provided with a plurality of PCB processing lines, and the drilling operations can be performed simultaneously and independently, greatly increasing the drilling efficiency. The single PCB production line is equipped with a Y direction axis 2, a first X direction axis 4 and a second It can complete the drilling of the shape, reduce the positioning error due to re-clamping, improve the drilling accuracy and the quality of the final product, and the independent optical system and positioning monitoring unit can be arranged as a set, making it easy to power the table. detecting, ensuring consistency of drilling power, and further ensuring consistency of drilling.

さらなる最適化の解決策として、台座1はベース8を備え、Y方向軸2はベース8の天井面に固定装着され、ベース8の中心位置には、Y方向軸2に垂直するガントリービーム9が設けられ、第1X方向軸4及び第2X方向軸6はガントリービーム9の2つの側辺にそれぞれ設けられる。Y方向軸2はベース8の天井面に固定装着され、Y方向軸2はガントリービーム9とベース8の間の孔隙を通過し、第1X方向軸4及び第2X方向軸6は、ガントリービーム9の、Y方向軸2に沿う運動方向と同様な前後両側にそれぞれ設けられ、第1X方向軸4及び第2X方向軸6は何れもY方向軸2の上方に位置し、Y方向軸2は回路基板20を運動させ、運動の過程で、第1X方向軸4及び第2X方向軸6を通過する場合、第1孔開けモジュール及び第2孔開けモジュールは順に回路基板20を孔開けする。 As a further optimization solution, the pedestal 1 is equipped with a base 8, the Y-direction axis 2 is fixedly attached to the ceiling surface of the base 8, and a gantry beam 9 perpendicular to the Y-direction axis 2 is installed at the center position of the base 8. The first X-direction axis 4 and the second X-direction axis 6 are provided on two sides of the gantry beam 9, respectively. The Y-direction axis 2 is fixedly attached to the ceiling surface of the base 8, the Y-direction axis 2 passes through a hole between the gantry beam 9 and the base 8, and the first X-direction axis 4 and the second X-direction axis 6 are connected to the gantry beam 9. The first X-direction axis 4 and the second X-direction axis 6 are both located above the Y-direction axis 2, and the Y-direction axis 2 is connected to the circuit. When the substrate 20 is moved and passes through the first X-direction axis 4 and the second X-direction axis 6 during the movement, the first hole punching module and the second hole punching module sequentially punch holes in the circuit board 20.

さらなる最適化の解決策として、第1レーザーユニットはベース8の天井面に固定装着される紫外線レーザー装置10、及び第1X方向軸4に固定装着される紫外線光学システム11を備え、紫外線レーザー装置10は紫外線光学システム11に連通し、紫外線光学システム11はY方向軸2に対応するように配置され、第2レーザーユニットはガントリービーム9の先端に固定装着される二酸化炭素レーザー装置12、及び第1X方向軸4に固定装着される二酸化炭素光学システム13を備え、二酸化炭素レーザー装置12は二酸化炭素光学システム13に連通し、二酸化炭素光学システム13はY方向軸2に対応するように配置される。回路基板20はY方向軸2によって、紫外線光学システム11の下方を通過する場合、第1X方向軸4は測位するように紫外線光学システム11を駆動し、紫外線レーザー装置10は高出力レーザーを発振し、レーザーは紫外線光学システム11に入射してから、出力され、回路基板20の表面の銅箔に孔開けし、下方の樹脂を露出させ、Y方向軸2は二酸化炭素光学システム13の下方に達するように、回路基板20を引き続いて前に移動させ、第2X方向軸6は、紫外線光学システム11の開けられた孔を測位するように、二酸化炭素光学システム13を駆動し、二酸化炭素レーザー装置12は、二酸化炭素光学システム13から発射され、測位点に落ちるように、レーザーを励起することで、銅箔の下方の樹脂を除去し、必要な孔を形成し、
さらに、必要な孔は貫通孔であると、2層の銅箔の間の孔開け対象となる位置の樹脂を完全に除去し、Y方向軸2によって、逆方向に紫外線光学システム11の下方に移動し、別の層の銅箔を除去し、貫通孔を形成し、必要な孔は盲孔であると、二酸化炭素光学システム13の下方で樹脂を除去し、貫通して穿孔することがなく、紫外線光学システム11による銅箔で開けられた孔と盲孔を形成する。
As a further optimization solution, the first laser unit includes an ultraviolet laser device 10 fixedly mounted on the ceiling surface of the base 8 and an ultraviolet optical system 11 fixedly mounted on the first X-direction axis 4. communicates with an ultraviolet optical system 11, the ultraviolet optical system 11 is arranged to correspond to the Y direction axis 2, a second laser unit is connected to a carbon dioxide laser device 12 fixedly attached to the tip of the gantry beam 9, and a first X It comprises a carbon dioxide optical system 13 fixedly mounted on the direction axis 4 , the carbon dioxide laser device 12 communicates with the carbon dioxide optical system 13 , and the carbon dioxide optical system 13 is arranged to correspond to the Y direction axis 2 . When the circuit board 20 passes under the UV optical system 11 by the Y direction axis 2, the first X direction axis 4 drives the UV optical system 11 for positioning, and the UV laser device 10 emits a high power laser. , the laser enters the ultraviolet optical system 11, and then is outputted to make a hole in the copper foil on the surface of the circuit board 20, exposing the resin underneath, and the Y direction axis 2 reaches the bottom of the carbon dioxide optical system 13. As the circuit board 20 continues to move forward, the second X-direction axis 6 drives the carbon dioxide optical system 13 to position the drilled hole of the ultraviolet optical system 11, and the carbon dioxide laser device 12 is emitted from the carbon dioxide optical system 13 and excites the laser so that it falls on the positioning point, removes the resin under the copper foil and forms the necessary hole,
Furthermore, if the required hole is a through hole, the resin at the position to be drilled between the two layers of copper foil is completely removed, and the UV optical system 11 is inserted in the opposite direction by the Y direction axis 2. Move and remove another layer of copper foil, form a through hole, the required hole is a blind hole, remove the resin under the carbon dioxide optical system 13, without drilling through. , a hole drilled in the copper foil and a blind hole are formed by the ultraviolet optical system 11 .

さらに、好ましくは、紫外線レーザー装置10は高出力ナノ秒紫外線レーザー装置であり、紫外線光学システム11は紫外線光学ガルバノミラー及び紫外線テレセントリックレンズから構成され、好ましくは、二酸化炭素レーザー装置12は無線周波二酸化炭素レーザー装置であり、二酸化炭素光学システム13は二酸化炭素光学ガルバノミラー及び二酸化炭素テレセントリックレンズから構成され、上記部材は何れも通常の光学素子であり、その動作原理及び使用方法は何れも従来技術であるため、ここで、贅言していない。 Furthermore, preferably, the UV laser device 10 is a high power nanosecond UV laser device, the UV optical system 11 is comprised of a UV optical galvanometer mirror and a UV telecentric lens, and preferably the carbon dioxide laser device 12 is a radio frequency carbon dioxide It is a laser device, and the carbon dioxide optical system 13 is composed of a carbon dioxide optical galvanometer mirror and a carbon dioxide telecentric lens, and the above members are all ordinary optical elements, and their operating principles and usage methods are all conventional technology. So, I'm not exaggerating here.

さらなる最適化の解決策として、Y方向軸2にはY軸ロータ3が移動可能に配置され、Y軸ロータ3には負圧吸盤14が固定装着され、第1X方向軸4には第1X軸ロータ5が設けられ、紫外線光学システム11は第1X軸ロータ5に固定装着され、第2X方向軸6には第2X軸ロータ7が設けられ、二酸化炭素光学システム13は第2X軸ロータ7に固定装着される。Y軸ロータ3はY方向軸2に沿って並進運動して、負圧吸盤14をともに移動させ、孔開けの過程で、回路基板20の、生産ライン方向に沿う運動を実現し、第1X軸ロータ5は紫外線光学システム11をY方向軸2に垂直して並進運動させ、負圧吸盤14のY方向軸2に沿う運動に合わせて、紫外線光学システム11は、回路基板20の天井面の任意の位置で孔開けでき、表面の銅箔を除去し、第2X軸ロータ7は二酸化炭素光学システム13をX軸方向に沿って並進運動させ、紫外線光学システム11による銅箔で開けられた孔を測位し、下方の樹脂に対して孔開けを行う。 As a further optimization solution, a Y-axis rotor 3 is movably arranged on the Y-direction axis 2, a negative pressure suction cup 14 is fixedly mounted on the Y-axis rotor 3, and a first A rotor 5 is provided, an ultraviolet optical system 11 is fixedly mounted on the first X-axis rotor 5, a second X-axis rotor 7 is provided on the second X-direction axis 6, and a carbon dioxide optical system 13 is fixed on the second X-axis rotor 7. It will be installed. The Y-axis rotor 3 moves in translation along the Y-direction axis 2 to move the negative pressure sucker 14 together, and in the process of drilling, realizes the movement of the circuit board 20 along the production line direction, and the first X-axis The rotor 5 translates the ultraviolet optical system 11 perpendicularly to the Y-direction axis 2, and in accordance with the movement of the negative pressure suction cup 14 along the Y-direction axis 2, the ultraviolet optical system 11 moves anywhere on the ceiling surface of the circuit board 20. After removing the copper foil on the surface, the second X-axis rotor 7 moves the carbon dioxide optical system 13 in translation along the X-axis direction to open the hole drilled in the copper foil by the ultraviolet optical system 11. Measure the position and drill a hole in the resin below.

さらに、Y方向軸2、第1X方向軸4及び第2X方向軸6に対して何れもダブルロータリニアモータを採用することで、Y軸ロータ3、第1X軸ロータ5及び第2X軸ロータ7を安定に並進運動させ、移動精度が高く、誤差が小さく、回路基板20などの高精度素子の孔開け加工に適して、通常の技術であるため、ここで、贅言していない。 Furthermore, by adopting double rotary linear motors for the Y-direction axis 2, the first X-direction axis 4, and the second X-direction axis 6, the Y-axis rotor 3, the first X-axis rotor 5, and the second X-axis rotor 7 are It is a common technique that allows stable translational movement, high movement accuracy, and small errors, and is suitable for drilling holes in high-precision elements such as the circuit board 20, so it will not be overstated here.

さらなる最適化の解決策として、測位監視ユニットは負圧吸盤14の側壁に固定装着されるレーザーパワープローブ15を備え、レーザーパワープローブ15は紫外線光学システム11及び二酸化炭素光学システム13にそれぞれ対応するように配置される。測位監視ユニットの作用は、主に孔開けの精度への制御であり、孔開けにおいて、レーザーパワープローブ15は対応する光学システムから発射されたレーザーのパワーを監視し、即ち、孔開けのパワーの一致性を保証し、さらに、孔開けの一致性を保証する。 As a further optimization solution, the positioning and monitoring unit comprises a laser power probe 15 fixedly mounted on the side wall of the negative pressure suction cup 14, the laser power probe 15 corresponding to the ultraviolet optical system 11 and the carbon dioxide optical system 13, respectively. will be placed in The function of the positioning monitoring unit is mainly to control the accuracy of drilling, and during drilling, the laser power probe 15 monitors the power of the laser emitted from the corresponding optical system, that is, to control the drilling power. Guarantees consistency and also guarantees consistency of drilling.

さらなる最適化の解決策として、測位監視ユニットはCCD測位ユニット17をさらに備え、CCD測位ユニット17は第1X軸ロータ5及び第2X軸ロータ7にそれぞれ固定装着されており、負圧吸盤14に吸引されるとともに、固定接続される回路基板20に対応するように配置される。CCD測位ユニット17は光学システムと回路基板20の孔開け位置との関係を測位し、光学システムの必要な移動距離を取得し、これは機械加工における通常の測位方法及び測位装置であり、その技術及び動作原理は何れも従来技術である。 As a further optimization solution, the positioning monitoring unit further includes a CCD positioning unit 17, which is fixedly attached to the first X-axis rotor 5 and the second X-axis rotor 7, respectively, and is sucked by the negative pressure suction cup 14. and is arranged so as to correspond to the circuit board 20 to which it is fixedly connected. The CCD positioning unit 17 positions the relationship between the optical system and the hole-drilling position of the circuit board 20 and obtains the required moving distance of the optical system. and the operating principle are both conventional techniques.

さらに、当該装置にはさらに制御センター(図示せず)が設けられ、制御センターは各部品の運転を制御するとともに、CCD測位ユニット17及びレーザーパワープローブ15から戻されたデータを受信し、各部品の運転に対して対応する調節制御を行って、孔開けの精度を確保する。制御センターは通常の機械加工制御センターであり、従来技術であり、各部品に対する制御及び各フィードバックデータに対する処理は何れも従来技術であるため、ここで、贅言していない。 Furthermore, the device is further provided with a control center (not shown), which controls the operation of each component, receives data returned from the CCD positioning unit 17 and the laser power probe 15, and receives data returned from the CCD positioning unit 17 and the laser power probe 15. Corresponding adjustment control is applied to the operation of the machine to ensure drilling accuracy. The control center is a normal machining control center and is a conventional technique, and the control for each part and the processing for each feedback data are both conventional techniques, so they will not be overstated here.

さらなる最適化の解決策として、負圧吸盤14はY軸ロータ3に固定装着されるハウジング18を備え、ハウジング18の天井面にはハニカム板19が設けられ、レーザーパワープローブ15はハウジング18の側壁に固定装着される。使用際、回路基板20の孔開け対象となる面は、光学システムに向かって、裏面はハニカム板19に吸引され、加工過程における回路基板20の平坦性及び安定性を保証し、孔開けの効果が一致するという要求を達成する。 As a further optimization solution, the negative pressure suction cup 14 is provided with a housing 18 fixedly mounted on the Y-axis rotor 3, a honeycomb plate 19 is provided on the ceiling surface of the housing 18, and the laser power probe 15 is mounted on the side wall of the housing 18. It is fixedly attached to. During use, the surface of the circuit board 20 to be drilled faces the optical system, and the back surface is attracted to the honeycomb plate 19, which ensures the flatness and stability of the circuit board 20 during the processing process and improves the effectiveness of the hole punching. Achieve the requirement that they match.

さらなる最適化の解決策として、紫外線光学システム11と第1X軸ロータ5の間にはZ軸フォーカス調整装置16が設けられ、Z軸フォーカス調整装置16の固定端は第1X軸ロータ5に固定接続され、その可動端は紫外線光学システム11に固定接続され、二酸化炭素光学システム13と第2X軸ロータ7の間には、同じようにZ軸フォーカス調整装置16が設けられる。Z軸フォーカス調整装置16は光学システムのフォーカス高さを調節し、CCD測位ユニット17と協働して、2つの光学システムの焦点距離の偏差による、孔開け効果が不一致であるという問題を補うことができる。 As a further optimization solution, a Z-axis focus adjustment device 16 is provided between the UV optical system 11 and the first X-axis rotor 5, and the fixed end of the Z-axis focus adjustment device 16 is fixedly connected to the first X-axis rotor 5. The movable end thereof is fixedly connected to the ultraviolet optical system 11, and a Z-axis focus adjustment device 16 is similarly provided between the carbon dioxide optical system 13 and the second X-axis rotor 7. The Z-axis focus adjustment device 16 adjusts the focus height of the optical system and cooperates with the CCD positioning unit 17 to compensate for the problem of mismatched drilling effects due to the deviation of the focal lengths of the two optical systems. I can do it.

マルチヘッド多波長PCBレーザー孔開け方法であって、以下のステップを備え、
ステップS1:孔開け対象となる回路基板20を固定装着し、材料供給装置によって、孔開け対象となる面が上向くように、回路基板20を負圧吸盤14のハウジング18内に配置し、底面はハニカム板19の天井面に吸引され、固定を完成させる。
A multi-head multi-wavelength PCB laser drilling method, comprising the following steps:
Step S1: The circuit board 20 to be punched is fixedly attached, and the circuit board 20 is placed in the housing 18 of the negative pressure suction cup 14 using the material supply device so that the surface to be punched faces upward, and the bottom surface is It is sucked to the ceiling surface of the honeycomb board 19 and the fixation is completed.

ステップS2:回路基板20を1回目移転し、Y軸ロータ3を起動させ、負圧吸盤14及び回路基板20を紫外線光学システム11の下方に運動させる。 Step S2: Transfer the circuit board 20 for the first time, start the Y-axis rotor 3, and move the negative pressure suction cup 14 and the circuit board 20 below the UV optical system 11.

ステップS3:回路基板20を1回目測位して孔開けし、紫外線光学システム11でのCCD測位ユニット17を起動させ、回路基板20を測位してから、測位情報を制御センターに伝達し、制御センターは第1X軸ロータ5及びY軸ロータ3を紫外線光学システム11と連動させるように制御し、紫外線光学システム11のレンズ焦点を孔開け対象となる位置に合わせて、紫外線レーザー装置10を起動させ、回路基板20のフォーカス位置の回路基板20の表面の銅箔を除去し、回路基板20に複数の孔を開ける必要がある場合、全ての孔開け対象となる位置の銅箔を除去するまで、上記の測位及び孔開け過程を複数回繰り返す。 Step S3: Position the circuit board 20 for the first time and make a hole, start the CCD positioning unit 17 in the ultraviolet optical system 11, position the circuit board 20, and then transmit the positioning information to the control center. controls the first X-axis rotor 5 and Y-axis rotor 3 to interlock with the ultraviolet optical system 11, aligns the lens focus of the ultraviolet optical system 11 with the position to be drilled, and starts the ultraviolet laser device 10; If it is necessary to remove the copper foil on the surface of the circuit board 20 at the focus position of the circuit board 20 and drill a plurality of holes in the circuit board 20, the above steps should be performed until the copper foil at the positions where all the holes are to be drilled is removed. The positioning and drilling process is repeated multiple times.

ステップS4:回路基板を202回目移転し、Y軸ロータ3を再起動させ、負圧吸盤14及び回路基板20を二酸化炭素光学システム13の下方に運動させる。 Step S4: Transfer the circuit board for the 202nd time, restart the Y-axis rotor 3, and move the negative pressure suction cup 14 and the circuit board 20 below the carbon dioxide optical system 13.

ステップS5:回路基板20を2回目測位して孔開けし、二酸化炭素光学システム13でのCCD測位ユニット17を起動させ、回路基板20を測位してから、測位情報を制御センターに伝達し、制御センターは第2X軸ロータ7及びY軸ロータ3を二酸化炭素光学システム13と連動させるように制御し、二酸化炭素光学システム13のレンズ焦点を回路基板20の、銅箔が除去された位置に合わせて、二酸化炭素レーザー装置12を起動させ、回路基板20の孔開けされたフォーカス位置の樹脂を除去し、全ての孔の位置を開けるまで、上記の測位及び孔開け過程を繰り返す。 Step S5: Position the circuit board 20 for the second time and make a hole, start the CCD positioning unit 17 in the carbon dioxide optical system 13, position the circuit board 20, and then transmit the positioning information to the control center and control it. The center controls the second X-axis rotor 7 and Y-axis rotor 3 to interlock with the carbon dioxide optical system 13, and adjusts the lens focus of the carbon dioxide optical system 13 to the position of the circuit board 20 where the copper foil is removed. , the carbon dioxide laser device 12 is activated, the resin at the hole-pierced focus position of the circuit board 20 is removed, and the above-described positioning and hole-making process is repeated until all hole positions are opened.

ステップS6:回路基板20を3回目移転し、開けられる孔は貫通孔である場合、Y軸ロータ3を起動させ、逆方向に移動させ、負圧吸盤14及び回路基板20を紫外線光学システム11の下方に戻させる。 Step S6: When the circuit board 20 is transferred for the third time and the drilled hole is a through hole, the Y-axis rotor 3 is started and moved in the opposite direction, and the negative pressure suction cup 14 and the circuit board 20 are moved to the ultraviolet optical system 11. Bring it back down.

ステップS7:回路基板20を3回目測位して孔開けし、ステップS5の測位過程を繰り返して、回路基板20の、貫通孔開け対象となる位置を測位してから、樹脂が除去された孔内から回路基板20の下端面の銅箔を順に除去し、貫通孔を形成する。 Step S7: Position the circuit board 20 for the third time and drill a hole, repeat the positioning process of step S5, position the position of the circuit board 20 to be drilled, and then position the hole from which the resin has been removed. Then, the copper foil on the lower end surface of the circuit board 20 is sequentially removed to form a through hole.

ステップS8:加工された回路基板20を検出して移転する。品質検査ユニット(図示せず)によって加工・孔開けが完了した回路基板20に対して品質検査を行って、合格であれば、材料投下ユニット(図示せず)によって次の工程に移転される。 Step S8: Detect and transfer the processed circuit board 20. A quality inspection unit (not shown) performs a quality inspection on the circuit board 20 that has been processed and drilled, and if it passes the quality inspection, the circuit board 20 is transferred to the next process by a material dispensing unit (not shown).

本発明の構造がコンパクトで、配置が合理であり、複数回のクランプを必要とせず、回路基板20の孔開け工程を1回完了でき、孔開けの効率が高く、孔開けの誤差が小さく、孔開けの精度が高く、Y方向軸及び孔開けモジュールの数を増やすことで、4ヘッド、6ヘッド、8ヘッド、10ヘッド、さらにこれ以上の孔開けを実現し、回路基板20の加工製造の効率を大幅に高めて、市場のニーズを満たす。 The structure of the present invention is compact, the arrangement is reasonable, the drilling process of the circuit board 20 can be completed once without the need for multiple clamping, the drilling efficiency is high, the drilling error is small, By increasing the accuracy of hole drilling and increasing the number of Y axis and hole drilling modules, it is possible to drill holes of 4 heads, 6 heads, 8 heads, 10 heads, and more, making it possible to process and manufacture circuit boards 20. Dramatically increase efficiency to meet market needs.

本発明の記載において、理解すべきことは、用語である「縦方向」、「横方向」、「上」、「下」、「前」、「後」、「左」、「右」、「垂直」、「水平」、「天井」、「底」、「内」、「外」などによって指示される方位又は位置関係は、図示による方位又は位置関係であり、指された装置又は素子が特定の方位を有し、特定の方位で構造され、操作されなければならないと指示又は暗示していなく、ただ本発明を便利に記載するためのものであるため、本発明に対する限定として理解されるべきではない。 In describing the present invention, it should be understood that the terms "vertical", "lateral", "above", "bottom", "front", "rear", "left", "right", " The orientation or positional relationship indicated by "vertical", "horizontal", "ceiling", "bottom", "inside", "outside", etc. is the orientation or positional relationship as shown in the diagram, and the pointed device or element is specified. The invention is not intended to indicate or imply that it must be constructed or operated in any particular orientation, but is merely a convenient description of the invention and should therefore be construed as a limitation on the invention. isn't it.

以上の実施例は本発明の範囲を限定していなく、ただ本発明の好適な形態を記載するためのものであり、本発明の設計精神から逸脱しないことを前提として、当業者の、本発明の技術的解決策に対するいろんな変形及び改良は、何れも本発明の請求項によって決定された保護範囲内に該当すべきである。 The above examples do not limit the scope of the invention, but are merely to describe preferred forms of the invention, and are intended to be used by those skilled in the art to describe the invention without departing from the design spirit of the invention. Various modifications and improvements to the technical solution should fall within the scope of protection determined by the claims of the present invention.

1 台座、
2 Y方向軸、
3 Y軸ロータ、
4 第1X方向軸、
5 第1X軸ロータ、
6 第2X方向軸、
7 第2X軸ロータ、
8 ベース、
9 ガントリービーム、
10 紫外線レーザー装置、
11 紫外線光学システム、
12 二酸化炭素レーザー装置、
13 二酸化炭素光学システム、
14 負圧吸盤、
15 レーザーパワープローブ、
16 Z軸フォーカス調整装置、
17 CCD測位ユニット、
18 ハウジング、
19 ハニカム板、
20 回路基板
1 pedestal,
2 Y direction axis,
3 Y-axis rotor,
4 1st X direction axis,
5 1st X-axis rotor,
6 second X direction axis,
7 2nd X-axis rotor,
8 base,
9 Gantry beam,
10 ultraviolet laser device,
11 UV optical system,
12 carbon dioxide laser device,
13 Carbon dioxide optical system,
14 Negative pressure sucker,
15 Laser power probe,
16 Z-axis focus adjustment device,
17 CCD positioning unit,
18 housing,
19 Honeycomb board,
20 Circuit board

Claims (10)

マルチヘッド多波長PCBレーザー孔開け装置であって、複数のPCB加工ラインが平行配置される台座(1)を備え、
前記PCB加工ラインは前記台座(1)に固定装着され、孔開け加工される回路基板(20)を移動させるY方向軸(2)を備え、前記Y方向軸(2)の上方には、平行する第1X方向軸(4)及び第2X方向軸(6)が設けられ、前記第1X方向軸(4)及び前記第2X方向軸(6)の運動方向は、前記Y方向軸(2)の運動方向に垂直し、
前記第1X方向軸(4)には第1孔開けモジュールが固定装着され、前記第2X方向軸(6)には第2孔開けモジュールが固定装着され、前記第1孔開けモジュール及び前記第2孔開けモジュールはそれぞれ前記Y方向軸(2)に対応するように配置され、
前記第1孔開けモジュールは、前記第1X方向軸(4)に固定装着されるとともに前記Y方向軸(2)に対応する第1レーザーユニットを備え、前記第2孔開けモジュールは、前記第2X方向軸(6)に固定装着されるとともに前記Y方向軸(2)に対応するように配置される第2レーザーユニットを備え、
前記第1孔開けモジュール及び前記第2孔開けモジュールは何れも測位監視ユニットを備え、
前記測位監視ユニットが、前記第1レーザーユニットの紫外線光学システム(11)および第2レーザーユニットの二酸化炭素光学システム(13)から発射されたレーザーのパワーを監視するレーザーパワープローブ(15)と、前記紫外線光学システム(11)および前記二酸化炭素光学システム(13)と前記回路基板(20)の孔開け位置との関係を測位するCCD測位ユニット(17)とを有することを特徴とするマルチヘッド多波長PCBレーザー孔開け装置。
A multi-head multi-wavelength PCB laser drilling device, comprising a pedestal (1) on which a plurality of PCB processing lines are arranged in parallel,
The PCB processing line includes a Y-direction axis (2) that is fixedly attached to the pedestal (1) and moves the circuit board (20) to be drilled , and above the Y-direction axis (2) there is a parallel A first X-direction axis (4) and a second X-direction axis (6) are provided, and the movement direction of the first X-direction axis (4) and the second perpendicular to the direction of motion,
A first hole-drilling module is fixedly attached to the first X-direction axis (4), a second hole-drilling module is fixedly attached to the second X-direction axis (6), and the first hole-drilling module and the second hole-drilling module are fixedly attached to the second X-direction axis (6). The drilling modules are each arranged to correspond to the Y-direction axis (2),
The first hole punching module includes a first laser unit that is fixedly attached to the first X axis (4) and corresponds to the Y axis (2), and the second hole punch module includes a first laser unit that is fixedly attached to the first X axis (4) and corresponds to the Y axis (2). a second laser unit fixedly attached to the direction axis (6) and arranged to correspond to the Y direction axis (2);
The first hole punching module and the second hole punching module both include a positioning monitoring unit,
a laser power probe (15), wherein the positioning monitoring unit monitors the power of the laser emitted from the ultraviolet optical system (11) of the first laser unit and the carbon dioxide optical system (13) of the second laser unit; A multi-head multi-wavelength device comprising an ultraviolet optical system (11) and a CCD positioning unit (17) for positioning the relationship between the carbon dioxide optical system (13) and the perforation position of the circuit board (20). PCB laser drilling equipment.
前記台座(1)はベース(8)を備え、前記Y方向軸(2)は前記ベース(8)の天井面に固定装着され、前記ベース(8)の中心位置には、前記Y方向軸(2)に垂直するガントリービーム(9)が設けられ、前記第1X方向軸(4)及び前記第2X方向軸(6)は前記ガントリービーム(9)の2つの側辺にそれぞれ設けられることを特徴とする請求項1に記載のマルチヘッド多波長PCBレーザー孔開け装置。 The pedestal (1) includes a base (8), the Y-direction axis (2) is fixedly attached to the ceiling surface of the base (8), and the Y-direction axis (2) is mounted at the center of the base (8). 2) is provided with a gantry beam (9) perpendicular to the gantry beam (9), and the first X-direction axis (4) and the second X-direction axis (6) are provided on two sides of the gantry beam (9), respectively. The multi-head multi-wavelength PCB laser drilling apparatus according to claim 1. 前記第1レーザーユニットは前記ベース(8)の天井面に固定装着される紫外線レーザー装置(10)と、前記第1X方向軸(4)に固定装着される前記紫外線光学システム(11)とを備え、前記紫外線レーザー装置(10)は前記紫外線光学システム(11)に連通し、前記紫外線光学システム(11)は前記Y方向軸(2)に対応するように配置され、前記第2レーザーユニットは、前記ガントリービーム(9)の先端に固定装着される二酸化炭素レーザー装置(12)と、前記第1X方向軸(4)に固定装着される前記二酸化炭素光学システム(13)とを備え、前記二酸化炭素レーザー装置(12)は前記二酸化炭素光学システム(13)に連通し、前記二酸化炭素光学システム(13)は前記Y方向軸(2)に対応するように配置されることを特徴とする請求項2に記載のマルチヘッド多波長PCBレーザー孔開け装置。 The first laser unit includes an ultraviolet laser device (10) fixedly attached to the ceiling surface of the base (8), and the ultraviolet optical system (11) fixedly attached to the first X-direction axis (4). , the ultraviolet laser device (10) communicates with the ultraviolet optical system (11), the ultraviolet optical system (11) is arranged to correspond to the Y-direction axis (2), and the second laser unit: The carbon dioxide laser device (12) is fixedly attached to the tip of the gantry beam (9), and the carbon dioxide optical system (13) is fixedly attached to the first X-direction axis (4). 2. A laser device (12) communicating with said carbon dioxide optical system (13), said carbon dioxide optical system (13) being arranged to correspond to said Y-direction axis (2). The multi-head multi-wavelength PCB laser drilling device described in . 前記Y方向軸(2)にはY軸ロータ(3)が移動可能に配置され、前記Y軸ロータ(3)には負圧吸盤(14)が固定装着され、前記第1X方向軸(4)には第1X軸ロータ(5)が設けられ、前記紫外線光学システム(11)は前記第1X軸ロータ(5)に固定装着され、前記第2X方向軸(6)には第2X軸ロータ(7)が設けられ、前記二酸化炭素光学システム(13)は前記第2X軸ロータ(7)に固定装着されることを特徴とする請求項3に記載のマルチヘッド多波長PCBレーザー孔開け装置。 A Y-axis rotor (3) is movably arranged on the Y-direction axis (2), a negative pressure suction cup (14) is fixedly attached to the Y-axis rotor (3), and the first X-direction axis (4) is provided with a first X-axis rotor (5), the ultraviolet optical system (11) is fixedly mounted on the first X-axis rotor (5), and the second X-axis (6) is provided with a second X-axis rotor (7). ) and the carbon dioxide optical system (13) is fixedly mounted on the second X-axis rotor (7). 前記測位監視ユニットは前記負圧吸盤(14)の側壁に固定装着される前記レーザーパワープローブ(15)を備え、前記レーザーパワープローブ(15)は前記紫外線光学システム(11)及び前記二酸化炭素光学システム(13)にそれぞれ対応するように配置されることを特徴とする請求項4に記載のマルチヘッド多波長PCBレーザー孔開け装置。 The positioning monitoring unit includes the laser power probe (15) fixedly attached to the side wall of the negative pressure suction cup (14), and the laser power probe (15) is connected to the ultraviolet optical system (11) and the carbon dioxide optical system. 5. The multi-head multi-wavelength PCB laser drilling apparatus according to claim 4, wherein the multi-head multi-wavelength PCB laser drilling apparatus is arranged to correspond to (13), respectively. 前記測位監視ユニットは前記CCD測位ユニット(17)をさらに備え、前記CCD測位ユニット(17)は前記第1X軸ロータ(5)及び前記第2X軸ロータ(7)にそれぞれ固定装着され、前記CCD測位ユニット(17)は、前記負圧吸盤(14)に吸引されるとともに、固定接続される回路基板(20)に対応するように配置されることを特徴とする請求項4に記載のマルチヘッド多波長PCBレーザー孔開け装置。 The positioning monitoring unit further includes the CCD positioning unit (17), the CCD positioning unit (17) is fixedly attached to the first X-axis rotor (5) and the second X-axis rotor (7), and the CCD positioning The multi-head multi-head unit according to claim 4, wherein the unit (17) is sucked by the negative pressure suction cup (14) and arranged to correspond to the circuit board (20) to which it is fixedly connected. Wavelength PCB laser drilling equipment. 前記負圧吸盤(14)は前記Y軸ロータ(3)に固定装着されるハウジング(18)を備え、前記ハウジング(18)の天井面にはハニカム板(19)が設けられ、前記レーザーパワープローブ(15)は前記ハウジング(18)の側壁に固定装着されることを特徴とする請求項5に記載のマルチヘッド多波長PCBレーザー孔開け装置。 The negative pressure suction cup (14) includes a housing (18) fixedly attached to the Y-axis rotor (3), and a honeycomb plate (19) is provided on the ceiling surface of the housing (18), and the laser power probe The multi-head multi-wavelength PCB laser drilling apparatus according to claim 5, characterized in that (15) is fixedly attached to the side wall of the housing (18). 前記紫外線光学システム(11)と前記第1X軸ロータ(5)の間にはZ軸フォーカス調整装置(16)が設けられ、前記Z軸フォーカス調整装置(16)の固定端は前記第1X軸ロータ(5)に固定接続され、その可動端は前記紫外線光学システム(11)に固定接続され、前記二酸化炭素光学システム(13)と前記第2X軸ロータ(7)の間には、同じように前記Z軸フォーカス調整装置(16)が設けられることを特徴とする請求項4に記載のマルチヘッド多波長PCBレーザー孔開け装置。 A Z-axis focus adjustment device (16) is provided between the ultraviolet optical system (11) and the first X-axis rotor (5), and a fixed end of the Z-axis focus adjustment device (16) is connected to the first X-axis rotor. (5), the movable end of which is fixedly connected to the ultraviolet optical system (11), and between the carbon dioxide optical system (13) and the second X-axis rotor (7), the The multi-head multi-wavelength PCB laser drilling device according to claim 4, characterized in that a Z-axis focus adjustment device (16) is provided. 請求項1~8の何れか1項に記載のマルチヘッド多波長PCBレーザー孔開け装置によるマルチヘッド多波長PCBレーザー孔開け方法であって、
孔開け対象となる前記回路基板(20)を固定装着するステップS1と、
前記回路基板(20)を1回目移転するステップS2と、
前記回路基板(20)を1回目測位して孔開けするステップS3と、
前記回路基板(20)を2回目移転するステップS4と、
前記回路基板(20)を2回目測位して孔開けするステップS5と、
前記回路基板(20)を3回目移転するステップS6と、
前記回路基板(20)を3回目測位して孔開けするステップS7と、
加工された回路基板(20)を検出して移転するステップS8と、を備えることを特徴とするマルチヘッド多波長PCBレーザー孔開け方法。
A multi-head multi-wavelength PCB laser drilling method using the multi-head multi-wavelength PCB laser drilling device according to any one of claims 1 to 8,
a step S1 of fixing and mounting the circuit board (20) to be drilled;
Step S2 of transferring the circuit board (20) for the first time;
step S3 of positioning the circuit board (20) for the first time and drilling a hole;
Step S4 of transferring the circuit board (20) for a second time;
step S5 of positioning the circuit board (20) for a second time and drilling a hole;
Step S6 of transferring the circuit board (20) for a third time;
Step S7 of positioning the circuit board (20) for the third time and drilling a hole;
A multi-head multi-wavelength PCB laser drilling method, comprising step S8 of detecting and transferring a processed circuit board (20).
前記回路基板(20)には盲孔が孔開けされた場合、前記ステップS6及び前記ステップS7をスキップし、前記ステップS8を直接的に実行することを特徴とする請求項9に記載のマルチヘッド多波長PCBレーザー孔開け方法。 The multi-head according to claim 9, characterized in that when a blind hole is drilled in the circuit board ( 20), the step S6 and the step S7 are skipped, and the step S8 is directly executed. Multi-wavelength PCB laser drilling method.
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