KR100826344B1 - Via hole laser drilling scanning method - Google Patents

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KR100826344B1
KR100826344B1 KR1020070013750A KR20070013750A KR100826344B1 KR 100826344 B1 KR100826344 B1 KR 100826344B1 KR 1020070013750 A KR1020070013750 A KR 1020070013750A KR 20070013750 A KR20070013750 A KR 20070013750A KR 100826344 B1 KR100826344 B1 KR 100826344B1
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scanning
laser drilling
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안석환
전동주
유기영
조정우
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삼성전기주식회사
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Abstract

A method for laser drilling and scanning of a substrate is provided to improve working speed and increase productivity accordingly by performing scanning on portions where the substrate units are substantially formed when forming holes in a panel substrate with a predetermined size on which a plurality of substrate units are dividingly formed. In a scanning method using a scanner for forming through holes on the respective substrate units relative to a panel substrate(p) which is placed on an XY operating table of a laser drilling apparatus, and on which a plurality of substrate units(p') are regularly arranged, a method for laser drilling and scanning of the substrate comprises the steps of: performing scanning on an effective substrate face except a dummy part relative to the panel substrate to acquire information on positions and sizes of the respective substrate units based on substrate design data comprising through-hole position coordinates of the respective substrate units; and dividing scan regions(s) on the target panel substrate correspondingly to the acquired information on positions and sizes of the respective substrate units, and performing scanning on the divided scan regions.

Description

기판 레이저 드릴링 스캐닝 방법{Via Hole Laser Drilling Scanning Method}Substrate Laser Drilling Scanning Method

도 1은 일반적인 기판 레이저 드릴링 장치의 구성을 개략적으로 나타낸 도면,1 is a view schematically showing the configuration of a general substrate laser drilling apparatus,

도 2는 종래 기술에 따른 기판 레이저 드릴링 스캐닝 방법에 의한 기판의 스캔 구간을 나타낸 도면,2 is a view showing a scan interval of a substrate by a substrate laser drilling scanning method according to the prior art,

도 3은 본 발명에 따른 기판 레이저 드릴링 스캐닝 방법에 의한 기판의 스캔 구간을 나타낸 도면.3 is a view showing a scan interval of the substrate by the substrate laser drilling scanning method according to the present invention.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

100 : 드릴링 장치 100: drilling device

*100s : 스캐너* 100s: Scanner

110,120 : 갈바노 미러110,120: Galvano Mirror

200 : XY 가동 테이블 200: XY operation table

p : 판넬 기판p: panel substrate

p' : 기판 유닛p ': substrate unit

s : 스캔 영역s: scan area

본 발명은 레이저빔을 이용하여 회로기판에 구멍을 가공하기 위한 스캐닝 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기판 디자인 데이터를 기준으로 드릴 데이터를 취득하여 이를 기초로 기판의 유효 지역에 대해서 스캐닝을 실시하여 공정 효율을 높일 수 있는 기판 레이저 드릴링 스캐닝 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a scanning method for processing a hole in a circuit board using a laser beam, and more particularly, to obtain drill data based on the substrate design data, and to scan the effective area of the substrate based on the scanning data. The present invention relates to a substrate laser drilling scanning method capable of increasing process efficiency.

일반적으로 인쇄회로기판(Printed Circuit Board; PCB)은 여러 전자제품 소자들을 일정한 틀에 따라 간편하게 연결시켜 주는 역할을 하며, 디지털 TV를 비롯한 가전제품부터 첨단 통신기기까지 모든 전자제품에 광범위하게 사용되는 부품으로서, 용도에 따라 범용 PCB, 모듈용 PCB, 패키지용 PCB 등으로도 분류된다.In general, a printed circuit board (PCB) serves to easily connect various electronic devices according to a certain frame, and is widely used in all electronic products such as digital TV and other home appliances to high-tech communication devices. According to the application, it is also classified into general purpose PCB, module PCB, package PCB, and the like.

즉, 인쇄회로기판은 페놀수지 절연판 또는 에폭시수지 절연판 등의 일측면에 구리 등의 박판을 부착시킨 다음 회로의 배선패턴 에 따라 식각(선상의 회로만 남기고 부식시켜 제거)하여 필요한 회로를 구성하고 부품들을 부착 탑재시키기 위한 구멍을 뚫어 형성한 것으로서, 배선 회로면의 수에 따라 단면기판·양면기판·다층기판 등으로 분류되며 층수가 많을수록 부품의 실장력이 우수하여 고정밀 제품에 채용되며, 근래 들어 전자산업의 발전으로 초박판의 인쇄회로기판(두께가 0.04mm ~ 0.2mm)이 널리 사용되고 있다.In other words, the printed circuit board is formed by attaching a thin plate such as copper to one side of a phenolic resin insulating plate or an epoxy resin insulating plate, and then etching it according to the wiring pattern of the circuit (corroding and removing only the circuit on the line) to form a necessary circuit. They are formed by drilling holes for attaching them.They are classified into single-sided boards, double-sided boards, and multi-layered boards according to the number of wiring circuits. With the development of the industry, ultra-thin printed circuit boards (thickness of 0.04mm to 0.2mm) are widely used.

이러한, 인쇄회로기판은 비교적 간단한 전자기기에는 단면이 사용되고 있으 나, 최근에는 양면에 회로를 형성시키고 스루홀(through hole)을 통하여 상호 연결시킨 양면 기판 또는, 이를 양면 뿐만 아니라 복수개의 층으로 확대시킨 다층 기판이 사용이 증가하고 있다. Such a printed circuit board has a cross-section used for a relatively simple electronic device, but recently, a double-sided board having a circuit formed on both sides and interconnected through a through hole, or expanded to a plurality of layers as well as both sides. Multilayer substrates are increasing in use.

통상적으로 알려진 기판의 제조방법을 간략하게 살펴보면, 절연체판 위에 ㎛ 단위의 두께를 갖는 동박이 입혀진 클래딩된 원판을 사용하는 것으로서, 상기 클래딩된 원판의 전처리 단계, 스루홀 가공단계, 무전해 화학 동도금단계, 회로인쇄단계, 에칭단계 및 후처리단계를 거친다. A brief description of a commonly known method of manufacturing a substrate is to use a clad plated plate coated with a copper foil having a thickness of μm on an insulator plate, and to pretreat the plated plate, through hole processing step, and electroless chemical copper plating step. After the circuit printing step, the etching step and the post-treatment step.

여기서, 전처리 단계는 클래딩된 원판을 절단하여 본격적인 PCB 제조공정을 준비하는 단계로서, 전처리 단계에서 적당한 크키로 절단된 클래딩 원판에 드릴을 이용하여 스루홀을 형성시킨 다음 무전해 도금으로 상기 단계에서 형성된 스루홀 표면에 박막의 동박을 형성하여 나중의 화학동도금을 가능하게 한다. Here, the pretreatment step is to prepare a full-fledged PCB manufacturing process by cutting the cladding disc, to form a through hole using a drill in the cladding disc cut to a suitable size in the pretreatment step, and then formed in the step by electroless plating A thin film of copper foil is formed on the surface of the through hole to enable later chemical copper plating.

이어서, 회로인쇄 단계는 클래딩된 원판에 감광성 필름을 입힌 후 노광, 현상하여 미리 설계된 배선도의 구리 회로부분과 스루홀 부분을 제외한 나머지 부분을 마스킹한 후, 그 위에 솔더 도금이나 니켈 및 금 도금을 형성시켜 회로 부분의 동박을 보호하는 보호막을 형성하고, 그 다음 에칭단계에서는 감광성 필름 마스킹을 박리시키고 회로 이외 부분의 동박을 에칭하여 회로배선 부분만 남게 하며, 솔더 도금을 입혔을 경우에는 솔더 도금을 박리시킨다. Subsequently, in the circuit printing step, a photosensitive film is coated on the cladding disc, followed by exposure and development to mask the remaining portions except the copper circuit portion and the through hole portion of the predesigned wiring diagram, and then form solder plating or nickel and gold plating thereon. To form a protective film to protect the copper foil of the circuit portion, and then, in the etching step, the photosensitive film masking is peeled off, and the copper foil of the non-circuit portion is etched to leave only the circuit wiring portion, and the solder plating is peeled off when solder plating is applied .

그리고, 후처리 단계에서는 중간검사, 외형가공, 최종검사 등을 거쳐 기판의 제조를 완성한다. In the post-treatment step, the substrate is manufactured through intermediate inspection, external processing, and final inspection.

상기와 같은 공정을 거치는 인쇄회로기판은 에칭(etching) 및 에칭 후에 마스크(mask)로서 사용되는 레지스트(regist)의 박리처리를 행하는 웨트(wet) 공정이나, 상기 인쇄회로기판을 열처리 및 세척 처리하는 공정에서는 이송장치에 의해 한 장씩 연속하여 이송된다.The printed circuit board that undergoes the above process is a wet process for performing a etching treatment of a resist used as a mask after etching and etching, or for heat treatment and cleaning of the printed circuit board. In the process, the sheet is continuously conveyed one by one.

여기서, 상기 이송장치는 프레임 상에 다수의 롤러가 구동원으로부터 구동력을 전달받는 회전축에 축결합되어 일체로 회전하는 것에 의해 판재형의 기판이 일방향 이동이 이루어진다.Here, the conveying apparatus is a plate-like substrate is moved in one direction by axially coupled to the rotating shaft receiving a driving force from the driving source is a plurality of rollers on the frame integrally.

한편, 상기와 같은 공정에 의해 제조되는 통상의 인쇄회로기판은 레이저빔을 이용한 드릴링 장치에 의해 구멍 가공이 이루어지고 있다.On the other hand, in the conventional printed circuit board manufactured by the above process, the hole processing is made by a drilling device using a laser beam.

이러한 드릴링 장치는 가공기 제어부를 포함하는 구성이며, 이때의 상기 가공기 제어부는 XY 가동 테이블상에 탑재된 기판을 위치 결정 제어하는 위치 결정 제어부 및 기판에 조사하는 레이저광을 제어하는 레이저 제어부를 구비한다. 여기서 레이저 제어부는 레이저 발진기가 접속되어 있고 상기 레이저 제어부의 제어신호를 받아 레이저 발진기에서 레이저광이 출사된다.This drilling apparatus is a structure including a processor control part, and this machine control part is provided with the positioning control part for positioning control of the board | substrate mounted on the XY movable table, and the laser control part for controlling the laser beam irradiated to a board | substrate. The laser control unit is connected to a laser oscillator, the laser light is emitted from the laser oscillator under the control signal of the laser control unit.

한편, 상기 레이저 발진기로부터 출사된 레이저광은 그 하방에 위치된 마스크를 거쳐 편광 빔스플리터에 입사되고, 이 편광 빔스플리터는 레이저광의 광로에 대해 소정각도로 배치되어 레이저광의 방향을 변환시킨다. 진행방향이 변환된 레이저광은 스캐너에 유도되며, 이러한 스캐너의 하방에는 fθ 렌즈가 배치되는 구성이고, 이 fθ 렌즈와 기판 사이에는 파장판이 배치된다. 상기 스캐너는 fθ 렌즈에 입사되는 레이저광의 각도를 제어하고 상기 파장판을 거쳐 기판의 소정위치에 레이저광을 조사하는 것에 의해 구멍을 가공하게 된다.On the other hand, the laser light emitted from the laser oscillator is incident on the polarizing beam splitter via a mask located below the polarizing beam splitter, which is arranged at a predetermined angle with respect to the optical path of the laser light to change the direction of the laser light. The laser light converted from the advancing direction is guided to the scanner, and a f? Lens is disposed below the scanner, and a wave plate is disposed between the f? Lens and the substrate. The scanner processes the hole by controlling the angle of the laser light incident on the f? Lens and irradiating the laser light to a predetermined position on the substrate via the wave plate.

도 1은 통상의 레이저빔을 이용한 드릴링 장치의 요부 구성을 개략적으로 나타낸 도면이다.1 is a view schematically showing a main configuration of a drilling device using a conventional laser beam.

이에 나타내 보인 바와 같이, 드릴링 장치는 가공 대상 판넬 기판을 인식하기 위한 스캐너(100s)를 포함하는 구성이며, 이러한 스캐너(100s)는 하나 이상의 갈바노 미러(110,120)를 구비하는 구조이다. As shown therein, the drilling apparatus is configured to include a scanner (100s) for recognizing a panel substrate to be processed, such a scanner (100s) is a structure having one or more galvano mirrors (110, 120).

여기서, 상기 일측의 갈바노 미러(110)는 수평축 주위로 요동 가능하게 구성되어 XY 가동 테이블(200) 상에 안착된 판넬 기판(p)의 피가공 영역 상의 X축 방향으로 레이저광(l)을 주사한다. 또한 타측에 배치된 갈바노 미러(120)는 수직축 주위로 요동 가능하게 구성되어 XY 가동 테이(200)블 상에 탑재된 판넬 기판(p)의 피가공 영역 상의 Y축 방향으로 레이저광(l)을 주사한다. Here, the galvano mirror 110 on one side is configured to be able to swing around a horizontal axis to direct the laser light l in the X-axis direction on the workpiece region of the panel substrate p seated on the XY movable table 200. Inject. In addition, the galvano mirror 120 disposed on the other side is configured to be able to swing around the vertical axis so that the laser light l is directed in the Y-axis direction on the processing region of the panel substrate p mounted on the XY movable table 200. Inject

이러한 2개의 갈바노 미러(110,120)는 직교 배치되는 구성이며, 각각의 회전각도는 위치 결정 제어부(미도시)에 의해 제어된다. 그리고, 상기 갈바노 미러(110,120)에서 주사된 레이저광은 그 하측에 배치된 fθ 렌즈(130)를 통과하면서 수광 편차 등이 보정된다. 여기서 상기 fθ 렌즈(130)는 복수매의 렌즈로 구성되고, 각 렌즈의 양면에는 반사 방지막이 코팅되는 구성이다. The two galvano mirrors 110 and 120 are orthogonally arranged, and each rotation angle is controlled by a positioning controller (not shown). The laser beam scanned by the galvano mirrors 110 and 120 passes through the f? Here, the fθ lens 130 is composed of a plurality of lenses, and the antireflection film is coated on both surfaces of each lens.

이와 같이 스캐너(100s)를 사용한 피가공 영역에서의 가공이 종료되면, XY 가동 테이블(200)은 X축 또는 Y축으로 소정 거리만큼 이동하고, 이동된 위치에서 상기 스캐너(100s)를 구성하는 갈바노 미러(110,120)가 해당 스캔 영역 즉, 다음의 피가공 주사 영역에 대하여 스캐닝을 실시하고 위치 결정한다.When the machining in the processing area using the scanner 100s is completed in this manner, the XY movable table 200 moves by a predetermined distance on the X-axis or the Y-axis, and the galvan constitutes the scanner 100s at the moved position. The furnace mirrors 110 and 120 scan and position the corresponding scan area, that is, the next workpiece scan area.

그러나, 종래에는 상기 드릴링 장치(100)가 XY 가동 테이블(200)에 올려진 가공 대상 판넬 기판(p)에 대하여 스캔을 실시함에 있어 구멍을 가공하지 않아도 되는 영역 즉, 판넬 기판의 테두리에 존재하는 더미 부분 등과 같은 불필요한 영역에 대해서도 일괄적으로 스캔을 실시하는 것에 의해 구멍 가공 공정의 작업성이 크게 저하될 뿐만 아니라 작업시간이 길어져 결과적으로 생산성이 크게 저하되는 문제점이 있었다.However, conventionally, the drilling apparatus 100 is present in the area where the hole does not need to be processed in scanning the target panel substrate p mounted on the XY movable table 200, that is, at the edge of the panel substrate. By collectively scanning the unnecessary areas such as the dummy part, the workability of the hole machining process is greatly reduced, and the working time is long, resulting in a significant decrease in productivity.

즉, 도 2에서 보는 바와 같이 통상의 판넬 기판(p)은 워크보드(work board)라하여 가로와 세로의 크기가 대략 600mm×600mm로 제작된 판넬로 제공되며, 이러한 소정크기를 갖는 워크보드인 판넬 기판(p)은 복수개의 기판 유닛(p')으로 분할되며, 이때의 상기 기판 유닛(p')은 실질적으로 전자제품에 탑재하기 위한 크기와 형태를 갖는 실질적인 기판이다. That is, as shown in Figure 2 is a conventional panel board (p) is provided as a work board (work board) is made of a panel made of approximately 600mm × 600mm in size of the horizontal and vertical, and the work board having such a predetermined size The panel substrate p is divided into a plurality of substrate units p ', wherein the substrate unit p' is substantially a substrate having a size and shape for mounting on an electronic product.

이러한 소정크기의 기판 유닛(p')으로 분할되는 판넬 기판(p)은 상기 도 1에서의 드릴링 장치(100)를 구성하는 XY 가동 테이블(200)의 상면에 안착되며, 상기 판넬 기판(p)에 초기 위치를 인식한 뒤 드릴 데이터를 제공받아 도 2에서와 같이 매트릭스 형태로 분할된 스캔 영역을 구분지어 스캐닝을 실시한다.The panel substrate p divided into the substrate unit p 'having a predetermined size is mounted on the upper surface of the XY movable table 200 constituting the drilling apparatus 100 in FIG. 1, and the panel substrate p After recognizing the initial position, the drill data is provided, and the scan area divided into a matrix is scanned as shown in FIG. 2.

그러나, 종래의 스캐닝 방법은 가공하고자 하는 판넬 기판(p)에 대하여 그 크기나 디자인을 고려하지 않고 스캔 영역(s)을 구획한 뒤 구획된 스캔 영역(s)에 해당되는 드릴 데이터를 읽어들여 구멍 가공을 실시하므로 결과적으로 기판(p)에서 불필요한 더미 부분이나 구멍이 형성되지 않는 부분까지 스캔을 실시함에 따라 작업효율성이 크게 저하되는 폐단이 있었다.However, the conventional scanning method divides the scan area s without considering the size or design of the panel substrate p to be processed, and then reads the drill data corresponding to the divided scan area s and drills the holes. As a result of the processing, as a result of scanning from the substrate p to a portion where unnecessary dummy portions or holes are not formed, there is a closed end in which work efficiency is greatly reduced.

즉, XY 가동 테이블(200)은 모터 또는 액추에이터 등과 같은 구동원으로부터 구동력을 전달받아 이동해야 하므로 스캔 영역 간 이동시 많은 시간이 소요되는데 반해, 스캔 영역 내에서의 레이저광 각도 변경을 통한 구멍 가공은 상대적으로 고속이므로 상기와 같이 판넬 기판(p)에서 불필요한 부분까지 스캔을 실시하는 경우에는 결과적으로 작업 속도가 크게 저하되어 생산성이 낮아지는 문제점이 있는 것이다.That is, since the XY movable table 200 needs to be moved by receiving a driving force from a driving source such as a motor or an actuator, it takes a lot of time when moving between scan regions, whereas hole processing by changing the angle of laser light in the scan region is relatively performed. As a result of the high speed, when the scanning is performed from the panel substrate p to an unnecessary part as described above, the working speed is greatly reduced, resulting in a problem of low productivity.

본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로서, 본 발명의 목적은 복수개의 기판 유닛이 분할 형성되는 소정크기를 갖는 판넬 기판에 대하여 구멍 가공을 실시함에 있어 실질적으로 기판 유닛이 형성되는 부분에서 스캔이 실시되도록 하여 작업속도 향상에 따른 생산성을 높일 수 있는 기판 레이저 드릴링 스캐닝 방법을 제공하는데 있다.The present invention has been made to solve the problems of the prior art as described above, and an object of the present invention is to substantially eliminate the perforation of a panel substrate having a predetermined size in which a plurality of substrate units are divided. It is to provide a substrate laser drilling scanning method that can be performed in the portion to be formed to increase the productivity according to the improvement of the working speed.

상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 기판 레이저 드릴링 스캐닝 방법은, 레이저 드릴링 장치의 XY 가동 테이블에 안착되는 것으로 복수개의 기판유닛이 규칙적으로 배열되는 판넬 기판에 대해 각 기판 유닛 상에 관통홀을 형성하기 위한 스캐너를 이용한 스캐닝 방법에 있어서,In order to achieve the above object, the substrate laser drilling scanning method according to the present invention is mounted on the XY movable table of the laser drilling apparatus, and a through hole is formed on each substrate unit with respect to a panel substrate on which a plurality of substrate units are regularly arranged. In the scanning method using a scanner for forming,

상기 판넬 기판에 대하여 더미 부분을 제외한 유효 기판면에 대하여 스캐닝을 실시하는 것으로 각 기판 유닛의 관통홀 위치 좌표를 포함하는 기판 디자인 설계 데이터를 기준으로 각 기판 유닛의 위치와 크기 정보를 획득하는 단계와; 상기 획득된 각 기판유닛에 대응되게 상기 대상 판넬 기판에 스캔 영역을 구획하고 스캐닝을 실시하는 단계를 포함하여 수행되는 것을 그 특징으로 한다.Acquiring the position and size information of each substrate unit based on substrate design design data including through hole position coordinates of each substrate unit by scanning the effective substrate surface except the dummy portion of the panel substrate; ; And partitioning a scan area on the target panel substrate so as to correspond to each of the obtained substrate units, and performing scanning.

본 발명의 바람직한 한 특징으로서, 상기 각 스캔 영역은 매트릭스 형태로 구획되고, 상기 판넬 기판의 더미 부분을 제외한 외곽측에서 스캔이 순차적으로 실시되는 것을 더 포함하여 수행되는 것에 있다.As a preferred feature of the present invention, each scan area is partitioned into a matrix, and the scan is performed further on the outer side except the dummy portion of the panel substrate is sequentially performed.

본 발명의 특징 및 이점들은 첨부도면에 의거한 다음의 상세한 설명으로 더욱 명백해질 것이다. The features and advantages of the present invention will become more apparent from the following detailed description based on the accompanying drawings.

이에 앞서 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이고 사전적인 의미로 해석되어서는 아니 되며, 발명자가 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합되는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.Prior to this, the terms or words used in this specification and claims are not to be interpreted in a conventional and dictionary sense, and the inventors may appropriately define the concept of terms in order to best explain their invention in the best way possible. It should be interpreted as meaning and concept corresponding to the technical idea of the present invention based on the principle that the present invention.

이하, 본 발명에 따른 기판 레이저 드릴링 스캐닝 방법의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, a preferred embodiment of a substrate laser drilling scanning method according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 3은 본 발명에 따른 기판 레이저 드릴링 스캐닝 방법에 의한 기판의 스캔 구간을 나타낸 도면이다.3 is a view showing a scan interval of the substrate by the substrate laser drilling scanning method according to the present invention.

이에 나타내 보인 바와 같이, 본 발명에 따른 기판 레이저 드릴링 스캐닝 방법은 기존의 레이저 드릴링 장치의 구성을 사용한다. As shown therein, the substrate laser drilling scanning method according to the present invention uses the configuration of the conventional laser drilling apparatus.

즉, 도 1을 참조하면 드릴링 장치는 기판 유닛(p') 들을 규칙적으로 배열되는 판넬 기판(p)에 대하여 스캔을 실시한 뒤, 관통홀을 형성하는 장치로서, 상기 판넬 기판(p)을 인식하기 위한 스캐너(100s)를 포함하는 구성이다.That is, referring to FIG. 1, the drilling apparatus scans a panel substrate p regularly arranged with the substrate units p ', and then forms a through hole, and recognizes the panel substrate p. It is a configuration including a scanner (100s) for.

여기서, 상기 스캐너(100s)는 하나 이상의 갈바노 미러(110,120)를 구비하는 구조로서, 이들 한쌍의 갈바노 미러(110,120) 중 어느 하나의 갈바노 미러(110)는 수평축 주위로 요동 가능하게 구성되어 XY 가동 테이블(200) 상에 안착된 판넬 기판(p)의 피가공 영역 상의 X축 방향으로 레이저광(l)을 주사하도록 구성되고, 남은 하나의 갈바노 미러(120)는 수직축 주위로 요동 가능하게 구성되어 XY 가동 테이(200)블 상에 탑재된 판넬 기판(p)의 피가공 영역 상의 Y축 방향으로 레이저광(l)을 주사하도록 구성된다. Here, the scanner 100s has a structure having one or more galvano mirrors 110 and 120, and any one of the galvano mirrors 110 and 120 of the pair of galvano mirrors 110 and 120 is configured to swing around a horizontal axis. It is configured to scan the laser light l in the X-axis direction on the workpiece region of the panel substrate p seated on the XY movable table 200, and the remaining one galvano mirror 120 can swing around the vertical axis. The laser beam 1 is configured to scan the laser beam 1 in the Y-axis direction on the processing region of the panel substrate p mounted on the XY movable table 200.

이와 같이 구성되는 한쌍의 갈바노 미러(110,120)은 상호 직교 배치되는 구 성이며, 각각의 회전각도는 위치 결정 제어부(미도시)에 의해 제어된다. The pair of galvano mirrors 110 and 120 configured as described above are arranged to be orthogonal to each other, and each rotation angle is controlled by a positioning controller (not shown).

또한, 상기 갈바노 미러(110,120)에서 주사된 레이저광은 그 하측에 배치된 fθ 렌즈(130)를 통과하면서 수광 편차 등이 보정된다. 여기서 상기 fθ 렌즈(130)는 복수매의 렌즈로 구성되고, 각 렌즈의 양면에는 반사 방지막이 코팅되는 구성이다. 이와 같이 스캐너(100s)를 사용한 피가공 영역에서의 가공이 종료되면, XY 가동 테이블(200)은 X축 또는 Y축으로 소정 거리만큼 이동하고, 이동된 위치에서 상기 스캐너(100s)를 구성하는 갈바노 미러(110,120)가 해당 스캔 영역 즉, 다음의 피가공 주사 영역에 대하여 스캐닝을 실시하고 위치 결정한다.In addition, the laser beams scanned by the galvano mirrors 110 and 120 pass through the f? Here, the fθ lens 130 is composed of a plurality of lenses, and the antireflection film is coated on both surfaces of each lens. When the machining in the processing area using the scanner 100s is completed in this manner, the XY movable table 200 moves by a predetermined distance on the X-axis or the Y-axis, and the galvan constitutes the scanner 100s at the moved position. The furnace mirrors 110 and 120 scan and position the corresponding scan area, that is, the next workpiece scan area.

이와 같은 구성의 드릴링 장치는 종래의 구성과 대동소이하므로 상세한 설명은 생략한다.Since the drilling apparatus of such a structure is substantially the same as the conventional structure, detailed description is abbreviate | omitted.

다만, 본 발명은 상기 드릴링 장치를 이용하여 관통홀을 가공하기 위한 스캐닝 방법에 있어 스캔 영역을 최소화하여 스캔 영역간 이동에 따른 작업성 저하를 개선함으로서 생산수율성을 높이고자 하는데 주요한 기술적 특징을 갖는다. However, the present invention has a major technical feature in order to improve productivity yield by improving the workability degradation due to the movement between scan areas by minimizing the scan area in the scanning method for processing the through-hole using the drilling device.

즉, 본 발명은 판넬 기판(p)을 구성하는 기판 유닛(p')들의 크기나 형태에 관련된 정보를 수치적으로 포함하고 캠(CAM;computer aided manufacturing)디자인 데이터 즉, 기판 디자인 설계 데이터를 필요로 하며, 이때의 상기 기판 디자인 설계 데이터는 제품의 규정·생산공정·설비·관리에 필요한 정보처리와 제어 등에 컴퓨터를 이용하여 생성된 데이터를 지칭하는 것이다.That is, the present invention numerically includes information related to the size or shape of the substrate units p 'constituting the panel substrate p and requires CAM (computer aided manufacturing) design data, that is, substrate design design data. In this case, the substrate design design data refers to data generated by using a computer for information processing and control required for product regulation, production process, equipment, and management.

이러한 기판 디자인 설계 데이터는 기판 설계 작업시 생성되는 것이므로 상세한 설명은 생략한다. Since the substrate design design data is generated during the substrate design work, detailed description thereof will be omitted.

한편, 본 발명은 상기 기판 디자인 설계 데이터를 기준으로 기판 유닛(p') 들의 위치와 크기 정보를 추출하여 획득한다. 이렇게 획득된 정보에는 각 기판 유닛(p')의 크기와 위치 좌표 뿐만 아니라 각 기판 유닛(p') 들에 형성되는 관통홀의 직경 및 위치 좌표와 같은 드릴 데이터가 포함된다.Meanwhile, the present invention extracts and acquires position and size information of the substrate units p 'based on the substrate design design data. The information thus obtained includes not only the size and position coordinates of each substrate unit p ', but also drill data such as diameters and position coordinates of through holes formed in each substrate unit p'.

이어서, 상기 획득된 각 기판 유닛(p')에 대응되게 상기 대상 판넬 기판(p)에 스캔 영역(s)을 가상 구획하고, 구획된 스캔 영역(s)에 대하여 순차적으로 스캐닝을 실시하는 것에 의해 본 발명이 달성된다.Subsequently, the scanning area s is virtually partitioned on the target panel substrate p corresponding to each of the obtained substrate units p ', and scanning is sequentially performed on the divided scan area s. The present invention is achieved.

여기서, 상기 스캔 영역(s)은 격자 배열구조 즉, 매트릭스 형태로 구획되고, 상기 각 스캔 영역(s)은 각 기판 유닛(p')에 대응되게 매칭된다. Here, the scan area s is partitioned into a lattice arrangement structure, that is, a matrix, and each scan area s is matched to correspond to each substrate unit p '.

한편, 상기와 같이 스캔 영역(s)을 구획하고 스캔을 실시하게 되면, 상기 판넬 기판(p)의 더미 부분과 관통홀이 형성되지 않는 부분이 제외되는데, 이때 유효 기판면의 외곽측에서부터 순차적으로 스캐닝이 실시되는 것이 바람직할 것이다.Meanwhile, when the scan area s is partitioned and scanned as described above, the dummy part of the panel substrate p and the part where the through-hole is not formed are excluded. In this case, sequentially from the outer side of the effective substrate surface It will be desirable for scanning to be performed.

상기와 같이 구성되는 기판 레이저 드릴링 스캐닝 방법을 요약하면, 판넬 기판(p)의 설계시 생성된 기판 디자인 설계 데이터를 기준으로 각 기판 유닛(p')의 위치와 크기 및 관통홀에 관련된 드릴 데이터를 취득하고, 취득된 데이터를 기준으로 각 기판 유닛(p')과 스캔 영역(s)을 컴퓨터의 프로그램을 이용하여 매칭시켜 대상 판넬 기판(p)에 대한 스캔 영역(s)을 가상 구획한다. Summarizing the above-described substrate laser drilling scanning method, the drill data related to the position and size of each substrate unit p 'and the through-holes are based on the substrate design design data generated during the design of the panel substrate p. Based on the acquired data, each board unit p 'and the scan area s are matched using a computer program to virtually divide the scan area s with respect to the target panel substrate p.

즉, 드릴 가공 데이터를 기준으로 판넬 기판(p)에 대한 스캔 영역(s)을 가상 구획하고 스캐닝을 실시하므로 결과적으로 판넬 기판(p)의 더미 부분이나 관통홀이 형성되지 않는 부분과 같이 불필요한 부분에 대한 스캔을 수반하지 않으므로 스캔 영역(s)간 이동을 위한 XY 가동 테이블(200)의 이동에 따른 소요시간을 대폭적으로 단축시킬 수 있어 생산수율의 향상이 가능하게 한다.That is, since the scanning area s of the panel substrate p is virtually partitioned and scanned based on the drilled data, unnecessary portions such as a dummy portion of the panel substrate p or a portion where a through hole is not formed as a result. Since it does not involve a scan for, the time required for the movement of the XY movable table 200 for the movement between the scan areas s can be significantly shortened, thereby improving the production yield.

한편, 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형을 할 수 있음은 이 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게는 자명하다. 따라서, 그러한 변형예 또는 수정예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 해야 할 것이다.On the other hand, the present invention is not limited to the described embodiments, it is obvious to those skilled in the art that various modifications and variations can be made without departing from the spirit and scope of the present invention. Therefore, such modifications or variations will have to belong to the claims of the present invention.

상기와 같이 구성되고 작용되는 본 발명에 따른 기판 레이저 드릴링 스캐닝 방법은, 판넬 기판에 형성되는 기판유닛 들의 위치 좌표와 크기 정보를 포함하는 캠디자인 데이터 즉, 기판 디자인 설계 데이터를 기준으로 대상 판넬 기판에 스캔 영역을 구획하고 스캐닝을 실시하므로 결과적으로 상기 판넬 기판에 대하여 더미 부분과 같이 불필요한 부분을 제외한 유효 기판면에 대한 정밀 스캔이 가능하여 작업속도 향상에 따른 생산 수율성을 개선시킬 수 있는 산업상 유용한 효과를 제공한다.The substrate laser drilling scanning method according to the present invention constructed and operated as described above comprises cam design data including position coordinates and size information of the substrate units formed on the panel substrate, that is, the target panel substrate based on the substrate design design data. The scanning area is partitioned and the scanning is performed. As a result, the panel substrate can be accurately scanned on the effective substrate surface except for unnecessary parts such as a dummy part, thereby improving industrial yield. Provide effect.

Claims (2)

레이저 드릴링 장치의 XY 가동 테이블에 안착되는 것으로 복수개의 기판유닛이 규칙적으로 배열되는 판넬 기판에 대해 각 기판 유닛 상에 관통홀을 형성하기 위한 스캐너를 이용한 스캐닝 방법에 있어서,A scanning method using a scanner for forming through holes on each substrate unit for a panel substrate on which a plurality of substrate units are regularly arranged by being seated on an XY movable table of a laser drilling apparatus. 상기 판넬 기판에 대하여 더미 부분을 제외한 유효 기판면에 대하여 스캐닝을 실시하는 것으로 각 기판 유닛의 관통홀 위치 좌표를 포함하는 기판 디자인 설계 데이터를 기준으로 각 기판 유닛의 위치와 크기 정보를 획득하는 단계와;Acquiring the position and size information of each substrate unit based on substrate design design data including through hole position coordinates of each substrate unit by scanning the effective substrate surface except the dummy portion of the panel substrate; ; 상기 획득된 각 기판유닛에 대응되게 상기 대상 판넬 기판에 스캔 영역을 구획하고 스캐닝을 실시하는 단계;Partitioning a scan area on the target panel substrate so as to correspond to each of the obtained substrate units, and performing scanning; 를 포함하여 수행되는 것을 특징으로 하는 기판 레이저 드릴링 스캐닝 방법.Substrate laser drilling scanning method characterized in that it comprises a. 제 1항에 있어서, 상기 각 스캔 영역은 매트릭스 형태로 구획되고, 상기 판넬 기판의 더미 부분을 제외한 외곽측에서 스캔이 순차적으로 실시되는 것을 더 포함하여 수행되는 것을 특징으로 하는 기판 레이저 드릴링 스캐닝 방법.The method of claim 1, wherein each of the scan areas is partitioned into a matrix, and the scan is sequentially performed on the outer side of the panel substrate except for the dummy part.
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