JP7429545B2

JP7429545B2 - プローブ装置

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Publication number: JP7429545B2
Application number: JP2020007468A
Authority: JP
Inventors: 祐一佐々木; 康彦河村
Original assignee: Mitsubishi Heavy Industries Compressor Corp
Current assignee: Mitsubishi Heavy Industries Compressor Corp
Priority date: 2020-01-21
Filing date: 2020-01-21
Publication date: 2024-02-08
Anticipated expiration: 2040-01-21
Also published as: JP2021113779A; US11435264B2; US20210223142A1

Description

本開示は、プローブ装置に関する。

蒸気タービン等の回転機械は、回転軸を備えている。回転機械の運転時に回転軸の状態を監視するため、振動計をはじめとする各種のセンサが設けられている。例えば、特許文献１には、回転軸を支持する軸受装置に固定される振動計のプローブと、軸受装置よりも外側に位置するケーシング（ケース）を貫通して設けられるガイド筒と、プローブに接続されてガイド筒に挿通された取付具と、を備える構成が開示されている。この構成において、取付具は、軸受装置に形成された雌ねじ孔に螺合する雄ねじ部を有している。また、取付具は、ケーシングの外側で螺合するナットにより、ガイド筒またはケーシングに固定されている。

国際公開第２０１８／１０４９８１号

ところで、特許文献１に開示された構成では、プローブに接続された取付具は、その一端が軸受装置に螺合することで固定され、他端がナットによりガイド筒またはケーシングに固定されている。このため、ナットを締め込んで行くと、取付部には、一端と他端とを結ぶ方向の引張力が作用する。その結果、ナットを強く締め込みすぎると、取付具が破断したり、損傷してしまう場合がある。これを防ぐために、ナットの締付トルクを厳しく管理することもできるが、それでは取付作業の手間が増えてしまう。

本開示は、上記課題を解決するためになされたものであって、取付作業の手間が増えることを抑えつつ、損傷を抑えることが可能なプローブ装置を提供することを目的とする。

上記課題を解決するために、本開示に係るプローブ装置は、軸線周りに回転する回転軸と、回転機械のケーシングの内部に配置された軸受部によって支持された回転軸の状態を計測するプローブ装置であって、前記回転軸の状態を検出可能なプローブと、第一端が前記軸受部に対して固定可能とされ、前記第一端に前記プローブが固定されたプローブ保持部材と、前記ケーシングの内外を連通する連通孔に挿入可能とされ、内部に前記プローブ保持部材の第二端が挿入された筒状のガイドスリーブと、前記プローブ保持部材の前記第二端と前記ガイドスリーブの内周面との間で、前記第一端と前記第二端とを結ぶ前記プローブ保持部材の延伸方向に間隔をあけて複数が配置され、前記プローブ保持部材の外周面に沿って延びる環状をなすように弾性材料から形成された弾性支持部材と、を備え、前記ガイドスリーブは、前記連通孔に挿入された際に、前記ケーシングの外部から前記連通孔の途中までに至る長さで形成され、前記連通孔内で、前記プローブ保持部材の外周面と前記連通孔の内周面との間には、空間が形成され、前記弾性支持部材は、前記空間内に配置されないように、前記連通孔内であって前記プローブ保持部材の前記第二端と前記ガイドスリーブの内周面との間のみに配置されている。

本開示のプローブ装置によれば、取付作業の手間が増えることを抑えつつ、損傷を抑えることが可能となる。

本開示の実施形態に係る回転機械の構成を示す模式図である。上記回転機械の軸受部に設けられたプローブ装置を示す断面図である。図２のＡ－Ａ矢視断面図である。上記プローブ装置の要部を示す拡大断面図である。

以下、添付図面を参照して、本開示による回転機械を実施するための形態を説明する。しかし、本開示はこの実施形態のみに限定されるものではない。

（蒸気タービンの構成）
以下、本開示の実施形態に係る回転機械について、図１～図４を参照して説明する。本開示の実施形態では、回転機械として、蒸気タービンを一例に示す。図１に示すように、回転機械としての蒸気タービン１は、ケーシング２と、ロータ３と、軸受部４と、を備えている。

（ケーシングの構成）
ケーシング２は、軸線方向Ｄａに延びる筒状をなしている。軸線方向Ｄａは、ロータ３の中心軸Ｏの延びる方向である。ケーシング２は、蒸気流入口２１と、蒸気流出口２２とを有している。蒸気流入口２１は、ケーシング２において、軸線方向Ｄａの第一側の端部に近い位置に配置されている。蒸気流入口２１は、ケーシング２の外部から蒸気を内部に導入する。蒸気流出口２２は、ケーシング２において、中心軸Ｏ方向の第二側の端部に近い位置に配置されている。蒸気流出口２２は、ケーシング２内を流れた蒸気を外部に排出する。

（ロータの構成）
ロータ３は、回転軸３１と、動翼３２と、を備えている。回転軸３１は、ケーシング２の内部に収容されている。回転軸３１は、中心軸Ｏを中心として軸線方向Ｄａに延びている。回転軸３１の軸線方向Ｄａの両端部は、ケーシング２に固定された軸受部４により、中心軸Ｏ回りに回転自在に支持されている。動翼３２は、回転軸３１の軸線方向Ｄａに間隔をあけて複数段配置されている。各動翼３２は、回転軸３１の外周面に、回転軸３１の中心軸Ｏを中心とした径方向Ｄｒの外側に向かって延びるように設けられている。

軸受部４は、ケーシング２の内部に配置されている。軸受部４は、第一軸受部４Ａと、第二軸受部４Ｂと、を備えている。第一軸受部４Ａは、軸線方向Ｄａの第一側のケーシング２の端部に近い位置に配置されている。第一軸受部４Ａは、回転軸３１を中心軸Ｏ回りに回転自在に支持するジャーナル軸受４１と、回転軸３１を軸線方向Ｄａで支持するスラスト軸受４２と、を備えている。第二軸受部４Ｂは、軸線方向Ｄａの第二側のケーシング２の端部に近い位置に配置されている。第二軸受部４Ｂは、ジャーナル軸受４１を備えている。

（プローブ装置の構成）
図２及び図３に示すように、第一軸受部４Ａ及び第二軸受部４Ｂのそれぞれのジャーナル軸受４１には、プローブ１１を備えたプローブ装置１０が取り付けられている。各ジャーナル軸受４１は、ケーシング２と一体に設けられた軸受台２４上に配置されている。ジャーナル軸受４１は、軸受本体４１１と、軸受ハウジング４１２と、を備えている。軸受本体４１１は、円環状で、その径方向Ｄｒの内側に回転軸３１が挿入されている。軸受ハウジング４１２は、軸受本体４１１を支持する。軸受ハウジング４１２は、円環状で、軸受本体４１１の径方向Ｄｒの外側に配置されている。軸受ハウジング４１２は、軸受台２４上に、図示しないハウジング支持部を介して支持されている。

ジャーナル軸受４１の上方は、軸受台カバー２５により覆われている。軸受台カバー２５は、ケーシング２の一部を構成し、軸受台２４上に、ボルト（図示無し）等により着脱可能に固定されている。軸受台カバー２５は、軸受ハウジング４１２に対し、径方向Ｄｒの外側に間隔をあけて配置されている。

図３に示すように、プローブ装置１０は、プローブ１１と、プローブ保持部材１２と、ガイドスリーブ１３と、複数の弾性支持部材１５と、を備えている。

（プローブの構成）
プローブ１１は、回転軸３１の状態を検出する。本開示の実施形態において、プローブ１１は、回転軸３１の中心軸Ｏに直交する径方向Ｄｒにおける回転軸３１の振動を検出する振動計である。プローブ１１は、円柱状をなしている。

（プローブ保持部材の構成）
プローブ保持部材１２は、第一端１２ａから第二端１２ｂに向かって直線状に延びる円筒状の部材である。プローブ保持部材１２は、ジャーナル軸受４１に対して、プローブ保持部材１２の延伸方向Ｄｅを、径方向Ｄｒに一致させて配置されている。延伸方向Ｄｅは、プローブ保持部材１２の第一端１２ａと第二端１２ｂとを結ぶ方向である。プローブ保持部材１２の第一端１２ａは、ジャーナル軸受４１に対して固定可能とされている。プローブ保持部材１２の第一端１２ａには、プローブ１１が固定されている。

具体的には、プローブ保持部材１２の第一端１２ａの外周面には、雄ねじ溝１２ｎが形成されている。プローブ保持部材１２の第一端１２ａは、軸受ハウジング４１２に形成された保持部材挿入孔４１２ｈに挿入されている。保持部材挿入孔４１２ｈの内周面には、雄ねじ溝１２ｎに噛み合う雌ネジ溝４１２ｍが形成されている。プローブ保持部材１２の第一端１２ａは、保持部材挿入孔４１２ｈにねじ込まれることで、軸受ハウジング４１２に固定されている。

プローブ保持部材１２の第一端１２ａには、プローブ１１が挿入可能なプローブ挿入孔１２ｈが形成されている。プローブ挿入孔１２ｈにプローブ１１が圧入されることで、プローブ保持部材１２にプローブ１１が保持されている。プローブ１１は、その先端部１１ｓを、プローブ保持部材１２から径方向Ｄｒの内側に突出させている。プローブ１１は、先端部１１ｓを回転軸３１の外周面に近接させて配置させることで、回転軸３１の径方向Ｄｒへの変位を検出する。プローブ１１の配線（図示無し）は、筒状のプローブ保持部材１２の内部に挿通されて、ケーシング２の外部に導出されている。

（ガイドスリーブの構成）
図３に示すように、ガイドスリーブ１３は、ケーシング２の一部を構成する軸受台カバー２５に固定されている。軸受台カバー２５には、ケーシング２の内外を連通する連通孔２６が形成されている。連通孔２６は、径方向Ｄｒに沿って直線状に軸受台カバー２５を貫通している。連通孔２６は、径方向Ｄｒに延長させた場合に、保持部材挿入孔４１２ｈと連続するような位置に形成されている。連通孔２６の内周面には、雌ねじ部２６ｎが形成されている。

ガイドスリーブ１３は、円筒状に形成されている。ガイドスリーブ１３の外周面には、雌ねじ部２６ｎに螺合する雄ねじ部１３ｎを備えている。ガイドスリーブ１３は、連通孔２６に対して径方向Ｄｒの外側（ケーシング２の外部側）から挿入され、雄ねじ部１３ｎを雌ねじ部２６ｎに螺合させている。ここで、雄ねじ部１３ｎは、径方向Ｄｒの外側から内側、つまりプローブ保持部材１２の第一端１２ａ側に向かってネジ径が漸次小さくなるテーパねじである。

また、ガイドスリーブ１３は、ケーシング２の外部から連通孔２６に挿入された際に、ケーシング２の外部から連通孔２６の途中までに至る長さで形成されている。つまり、径方向Ｄｒにおけるガイドスリーブ１３の長さは、径方向における連通孔２６の長さよりも小さい。したがって、ガイドスリーブ１３は、連通孔２６において径方向Ｄｒの外側（ケーシング２の外部側）の一部にのみで、連通孔２６と重なるように配置されている。

このようなガイドスリーブ１３の内部には、プローブ保持部材１２の第二端１２ｂが挿入されている。ガイドスリーブ１３の内径は、プローブ保持部材１２の第二端１２ｂの外径よりも僅かに大きい。つまり、ガイドスリーブ１３の内周面とプローブ保持部材１２の外周面との間には微小な隙間が形成されている。また、プローブ保持部材１２は、ガイドスリーブ１３よりも径方向Ｄｒの内側の部分で、連通孔２６内に露出している。連通孔２６内で、プローブ保持部材１２の外周面と連通孔２６の内周面との間には、空間２６ｓが形成されている。

複数の弾性支持部材１５は、第二端１２ｂに近い位置でのプローブ保持部材１２の外周面とガイドスリーブ１３の内周面との間に配置されている。複数の弾性支持部材１５は、プローブ保持部材１２の延伸方向Ｄｅに間隔をあけて配置されている。各弾性支持部材１５は、プローブ保持部材１２の外周面に沿って延びる円環状をなしている。各弾性支持部材１５は、ゴム系材料、シリコーン系材料等の弾性材料から形成されている。このような弾性支持部材１５は、いわゆるＯリングである。本開示の実施形態において、各弾性支持部材１５は、プローブ保持部材１２の外周面に、延伸方向Ｄｅに間隔をあけて形成された溝に嵌め込まれている。溝は、プローブ保持部材１２の外周面に沿って周方向の全周にわたって連続している。溝に嵌め込まれた各弾性支持部材１５は、ガイドスリーブ１３の内周面に密着している。各弾性支持部材１５は、プローブ保持部材１２の第二端１２ｂとガイドスリーブ１３の内周面との間で、圧縮方向に弾性変形している。これら弾性支持部材１５により、プローブ保持部材１２が、ガイドスリーブ１３内で弾性的に支持されている。

本開示の実施形態において、上記のような弾性支持部材１５は、延伸方向Ｄｅに間隔をあけて例えば二つが配置されている。弾性支持部材１５は、延伸方向Ｄｅに間隔をあけて三つ以上を配置することも可能である。

また、複数の弾性支持部材１５の少なくとも一つは、延伸方向Ｄｅにおいて、雄ねじ部１３ｎ及び雌ねじ部２６ｎの少なくとも一方と重なる位置に配置されている。本開示の実施形態では、径方向Ｄｒの外側に位置する弾性支持部材１５である外側弾性支持部材１５Ａが、延伸方向Ｄｅにおいて雌ねじ部２６ｎと重なる位置に配置されている。

プローブ保持部材１２の第二端１２ｂが挿入されたガイドスリーブ１３には、キャップ１８が装着されている。キャップ１８は、ガイドスリーブ１３のケーシング２の外部側を向く開口を塞いでいる。

（作用効果）
上記構成のプローブ装置１０は、プローブ１１を保持するプローブ保持部材１２の第一端１２ａが、軸受部４に固定されている。プローブ保持部材１２の第二端１２ｂは、ガイドスリーブ１３に挿入されている。プローブ保持部材１２の第二端１２ｂとガイドスリーブ１３の内周面との間には、プローブ保持部材１２の延伸方向Ｄｅに間隔をあけて複数の弾性支持部材１５が配置されている。これにより、プローブ保持部材１２の第二端１２ｂは、間隔を空けて配置された複数の弾性支持部材１５によって、ガイドスリーブ１３と同心状に、ガイドスリーブ１３に安定的に保持される。したがって、ナットを用いることなくプローブ保持部材１２の第二端１２ｂを固定することができる。これにより、ナットの締め込み過ぎに起因するプローブ保持部材１２の損傷を抑えることができる。また、プローブ装置１０の組立に際しては、ガイドスリーブ１３内にプローブ保持部材１２を挿入すればよい。その結果、取付作業の手間が増えることを抑えつつ、損傷を抑えることが可能となる。

また、複数の弾性支持部材１５の少なくとも一つの弾性支持部材１５であって、最も外部に近い位置に配置された外側弾性支持部材１５Ａは、延伸方向Ｄｅにおいて、連通孔２６の雌ねじ部２６ｎと重なる位置に配置されている。これにより、プローブ保持部材１２の第二端１２ｂが、ガイドスリーブ１３がケーシング２に固定される位置に対して、非常に近い位置で固定される。したがって、弾性材料からなる弾性支持部材１５を用いつつ、プローブ保持部材１２の第二端１２ｂを、より強固に保持することができる。

また、雄ねじ部１３ｎは、プローブ保持部材１２の第一端１２ａ側に向かってネジ径が漸次小さくなるテーパねじである。これにより、ガイドスリーブ１３を、ケーシング２に形成された連通孔２６の中心に容易に芯合わせすることができる。したがって、ガイドスリーブ１３に挿入されるプローブ保持部材１２の第二端１２ｂを、連通孔２６の中心に芯合わせして配置することができる。

また、ガイドスリーブ１３は、連通孔２６においてケーシング２の外部に寄った一部にのみに配置されている。これにより、延伸方向Ｄｅにおけるガイドスリーブ１３の長さが小さくて済む。したがって、ガイドスリーブ１３を連通孔２６に脱着する際に、ケーシング２の外部近傍に位置する他の部材等にガイドスリーブ１３が干渉することを抑えることができる。また、連通孔２６において、ケーシング２の内部側には、ガイドスリーブ１３が配置されていない。このため、プローブ保持部材１２と連通孔２６の内周面との間の空間２６ｓを大きく確保することができる。これにより、回転軸３１の振動やミスアライメントにより、プローブ保持部材１２の第一端１２ａが固定された軸受部４と、プローブ保持部材１２の第二端１２ｂが固定されたケーシング２とが相対変形することで、連通孔２６内でプローブ保持部材１２が変位しても、プローブ保持部材１２が連通孔２６の内周面に干渉しにくくなる。

また、プローブ１１は、回転軸３１の振動を検出する振動計である。振動計は、回転軸３１の振動やミスアライメントによる変位が生じやすい場所に設けられる。このような振動計であるプローブ１１を支持するプローブ保持部材１２の第一端１２ａが軸受部４に固定され、第二端１２ｂがケーシング２に設けられたガイドスリーブ１３に複数の弾性支持部材１５を介して支持される。これにより、振動計が、より安定的に保持され、取付作業の手間が増えるのを抑えつつ、損傷を抑えることが可能となる。

（その他の実施形態）
以上、本開示の実施の形態について図面を参照して詳述したが、具体的な構成はこの実施の形態に限られるものではなく、本開示の要旨を逸脱しない範囲の設計変更等も含まれる。

なお、上記実施形態では、ガイドスリーブ１３を、連通孔２６の一部にのみ設けるようにしたが、これに限るものではない。例えば、ガイドスリーブ１３を、軸受台カバー２５よりも径方向Ｄｒの内側に突出させて設けるようにしてもよい。

また、プローブ保持部材１２を、延伸方向Ｄｅに延びる筒状としたが、プローブ保持部材１２を、延伸方向Ｄｅに１以上の関節を有する構成として、屈曲可能な構成としてもよい。

また、プローブ１１として、振動計を例示したが、これに限らない。プローブ１１は、回転軸３１の状態を検出するのであれば、例えば、温度計等であってもよい。

さらに、上記実施形態で示したプローブ装置１０の設置位置、設置数等は適宜変更可能である。

さらに、回転機械として、蒸気タービン１を例示したが、これに限らない。回転軸を備える回転機械であれば、例えば、遠心圧縮機等であってもよい。

＜付記＞
実施形態に記載のプローブ装置１０は、例えば以下のように把握される。

（１）第１の態様に係るプローブ装置１０は、回転機械のケーシング２の内部に配置された軸受部４によって支持された回転軸３１の状態を計測するプローブ装置１０であって、前記回転軸３１の状態を検出可能なプローブ１１と、第一端１２ａが前記軸受部４に対して固定可能とされ、前記第一端１２ａに前記プローブ１１が固定されたプローブ保持部材１２と、前記ケーシング２の内外を連通する連通孔２６に挿入可能とされ、内部に前記プローブ保持部材１２の第二端１２ｂが挿入された筒状のガイドスリーブ１３と、前記プローブ保持部材１２の前記第二端１２ｂと前記ガイドスリーブ１３の内周面との間で、前記第一端１２ａと前記第二端１２ｂとを結ぶ前記プローブ保持部材１２の延伸方向Ｄｅに間隔をあけて複数が配置され、前記プローブ保持部材１２の外周面に沿って延びる環状をなすように弾性材料から形成された弾性支持部材１５と、を備える。
回転機械としては、蒸気タービン１や遠心圧縮機が挙げられる。また、プローブ１１としては、振動計、温度計が挙げられる。また、弾性材料としては、ゴム系材料、シリコーン系材料が挙げられる。

プローブ保持部材１２の第二端１２ｂは、間隔を空けて配置された複数の弾性支持部材１５によって、ガイドスリーブ１３に安定的に保持される。したがって、ナットを用いることなくプローブ保持部材１２の第二端１２ｂを固定することができる。これにより、ナットの締め込み過ぎに起因するプローブ保持部材１２の損傷を抑えることができる。また、プローブ装置１０の組立に際しては、ガイドスリーブ１３内にプローブ保持部材１２を挿入すればよい。その結果、取付作業の手間が増えることを抑えつつ、損傷を抑えることが可能となる。

（２）第２の態様に係るプローブ装置１０は、（１）のプローブ装置１０であって、
前記ガイドスリーブ１３の外周面には、前記連通孔２６の内周面に形成された雌ねじ部２６ｎに螺合可能とされた雄ねじ部１３ｎが形成され、複数の前記弾性支持部材１５の少なくとも一つは、前記延伸方向Ｄｅで前記雄ねじ部１３ｎ及び前記雌ねじ部２６ｎの少なくとも一方と重なる位置に配置されていてもよい。

これにより、プローブ保持部材１２の第二端１２ｂが、ガイドスリーブ１３がケーシング２に固定される部分に近い位置で固定される。したがって、弾性材料からなる弾性支持部材１５を用いつつ、プローブ保持部材１２の第二端１２ｂを、より強固に保持することができる。

（３）第３の態様に係るプローブ装置１０は、（２）のプローブ装置１０であって、前記雄ねじ部１３ｎは、前記プローブ保持部材１２の前記第一端１２ａに向かってネジ径が漸次小さくなるテーパねじであってもよい。

これにより、ガイドスリーブ１３を、ケーシング２に形成された連通孔２６の中心に容易に芯合わせすることができる。したがって、ガイドスリーブ１３に挿入されるプローブ保持部材１２の第二端１２ｂを、連通孔２６の中心に芯合わせして配置することができる。

（４）第４の態様に係るプローブ装置１０は、（１）から（３）の何れか一つのプローブ装置１０であって、前記ガイドスリーブ１３は、前記連通孔２６に挿入された際に、前記ケーシング２の外部から前記連通孔２６の途中までに至る長さで形成されていてもよい。

これにより、延伸方向Ｄｅにおけるガイドスリーブ１３の長さが小さくて済む。ガイドスリーブ１３を連通孔２６に脱着する際に、ケーシング２の外周側に位置する他の部材等にガイドスリーブ１３が干渉することを抑えることができる。また、連通孔２６において、ケーシング２の内部側にガイドスリーブ１３が設けられていない。このため、プローブ保持部材１２と連通孔２６の内周面との間の空間２６ｓを大きく確保することができる。これにより、回転軸３１の振動やミスアライメントにより軸受部４とケーシング２とが相対変形することで、連通孔２６内でプローブ保持部材１２が変位しても、プローブ保持部材１２が連通孔２６の内周面に干渉しにくくなる。

（５）第５の態様に係るプローブ装置１０は、（１）から（４）の何れか一つのプローブ装置１０であって、前記プローブ１１は、前記回転軸３１の振動を検出する振動計である。

これにより、振動計は、回転軸３１の振動やミスアライメントによる変位が生じやすい場所に設けられる。このような振動計を支持するプローブ保持部材１２の第一端１２ａが軸受部４に固定され、第二端１２ｂがケーシング２に設けられたガイドスリーブ１３に複数の弾性支持部材を介して支持される。これにより、振動計が、より安定的に保持され、取付作業の手間が増えるのを抑えつつ、損傷を抑えることが可能となる。

１…蒸気タービン（回転機械）
２…ケーシング
３…ロータ
４…軸受部
４Ａ…第一軸受部
４Ｂ…第二軸受部
１０…プローブ装置
１１…プローブ
１１ｓ…先端部
１２…プローブ保持部材
１２ａ…第一端
１２ｂ…第二端
１２ｍ…溝
１２ｎ…雄ねじ溝
１２ｈ…プローブ挿入孔
１３…ガイドスリーブ
１３ｎ…雄ねじ部
１５…弾性支持部材
１５Ａ…外側弾性支持部材
１８…キャップ
２１…蒸気流入口
２２…蒸気流出口
２４…軸受台
２５…軸受台カバー
２６…連通孔
２６ｎ…雌ねじ部
２６ｓ…空間
３１…回転軸
３２…動翼
４１…ジャーナル軸受
４１１…軸受本体
４１２…軸受ハウジング
４１２ｈ…保持部材挿入孔
４１２ｍ…雌ネジ溝
４２…スラスト軸受
Ｄａ…軸線方向
Ｄｃ…周方向
Ｄｅ…延伸方向
Ｄｒ…径方向
Ｏ…中心軸

Claims

軸線周りに回転する回転軸と、
回転機械のケーシングの内部に配置された軸受部によって支持された回転軸の状態を計測するプローブ装置であって、
前記回転軸の状態を検出可能なプローブと、
第一端が前記軸受部に対して固定可能とされ、前記第一端に前記プローブが固定されたプローブ保持部材と、
前記ケーシングの内外を連通する連通孔に挿入可能とされ、内部に前記プローブ保持部材の第二端が挿入された筒状のガイドスリーブと、
前記プローブ保持部材の前記第二端と前記ガイドスリーブの内周面との間で、前記第一端と前記第二端とを結ぶ前記プローブ保持部材の延伸方向に間隔をあけて複数が配置され、前記プローブ保持部材の外周面に沿って延びる環状をなすように弾性材料から形成された弾性支持部材と、を備え、
前記ガイドスリーブは、前記連通孔に挿入された際に、前記ケーシングの外部から前記連通孔の途中までに至る長さで形成され、
前記連通孔内で、前記プローブ保持部材の外周面と前記連通孔の内周面との間には、空間が形成され、
前記弾性支持部材は、前記空間内に配置されないように、前記連通孔内であって前記プローブ保持部材の前記第二端と前記ガイドスリーブの内周面との間のみに配置されているプローブ装置。
前記ガイドスリーブの外周面には、前記連通孔の内周面に形成された雌ねじ部に螺合可能とされた雄ねじ部が形成され、
複数の前記弾性支持部材の少なくとも一つは、前記延伸方向で前記雄ねじ部及び前記雌ねじ部の少なくとも一方と重なる位置に配置されている請求項１に記載のプローブ装置。
前記雄ねじ部は、前記プローブ保持部材の前記第一端に向かってネジ径が漸次小さくなるテーパねじである請求項２に記載のプローブ装置。
前記プローブは、前記回転軸の振動を検出する振動計である請求項１から３の何れか一項に記載のプローブ装置。