JP2001235452A - 試料の欠陥測定装置及び方法 - Google Patents
試料の欠陥測定装置及び方法Info
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- G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
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- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 試料に損傷を加えることなく客観的な評価が
できると共に、試料の欠陥（材料基板等の割れ、内部ク
ラック）の大小並びに場所に関係なく試料の欠陥を検出
できることを目的とする。 【解決手段】 試料１を取り付ける試料取付部１１、試
料１を加振させる振動子２２、振動子２２により試料１
を加振させた時の振動音を収集する音収集器２０を備え
た検査治具１０と、音収集器２０により収集された振動
音を周波数分析する音検知機３０とを備えた装置におい
て、振動子２２により試料１を加振させた時の加振音を
時系列的に抽出して分析することにより、試料の欠陥を
判定する。
できると共に、試料の欠陥（材料基板等の割れ、内部ク
ラック）の大小並びに場所に関係なく試料の欠陥を検出
できることを目的とする。 【解決手段】 試料１を取り付ける試料取付部１１、試
料１を加振させる振動子２２、振動子２２により試料１
を加振させた時の振動音を収集する音収集器２０を備え
た検査治具１０と、音収集器２０により収集された振動
音を周波数分析する音検知機３０とを備えた装置におい
て、振動子２２により試料１を加振させた時の加振音を
時系列的に抽出して分析することにより、試料の欠陥を
判定する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、材料基板（Phot
o Voltaic Cell，多結晶シリコン基板）等の試料につい
て、その基板割れや内部クラック等の欠陥を測定する装
置に関するものである。
o Voltaic Cell，多結晶シリコン基板）等の試料につい
て、その基板割れや内部クラック等の欠陥を測定する装
置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、材料基板等の試料を損傷させるこ
となく、試料の均一性を迅速かつ客観的に評価する測定
装置として、例えば特開平７−１１３７９１号公報に示
された装置があった。
となく、試料の均一性を迅速かつ客観的に評価する測定
装置として、例えば特開平７−１１３７９１号公報に示
された装置があった。
【０００３】図９は上記試料の均質性測定装置を示すブ
ロック構成図である。この測定装置は、平板状の試料１
０１の端部に振動を与えるための振動子１０２、振動子
１０２の加振部位から所定の距離を隔てて配置され試料
１０１を伝達した振動を検出するための第１の振動セン
サ１０３、振動センサ１０３から所定の距離を隔てて配
置され試料１０１を伝達した振動を検出するための第２
の振動センサ１０４を備えている。
ロック構成図である。この測定装置は、平板状の試料１
０１の端部に振動を与えるための振動子１０２、振動子
１０２の加振部位から所定の距離を隔てて配置され試料
１０１を伝達した振動を検出するための第１の振動セン
サ１０３、振動センサ１０３から所定の距離を隔てて配
置され試料１０１を伝達した振動を検出するための第２
の振動センサ１０４を備えている。
【０００４】振動子１０２から与えられた振動は試料１
０１の加振部位から他端方向へ伝達し、第１及び第２の
振動センサ１０３，１０４により検出される。第１及び
第２の振動センサ１０３，１０４により検出された振動
検出信号は、それぞれ、雑信号を除去し所定の周波数の
信号を選択するためのフィルタ１０５，１０６に付与さ
れ、増幅回路１０７，１０８により増幅される。第１の
振動センサ１０３からの検出信号はオシロスコープ１０
９のチャンネル１の端子に与えられ、第２の振動センサ
１０４からの検出信号はオシロスコープ１０９のチャン
ネル２の端子に与えられ、それぞれ表示される。そし
て、オシロスコープ１０９に表示された各々の検出信号
に基づいて、振動伝達時間差や伝達速度差を算出するこ
とにより、試料１０１の均質性を評価できる。
０１の加振部位から他端方向へ伝達し、第１及び第２の
振動センサ１０３，１０４により検出される。第１及び
第２の振動センサ１０３，１０４により検出された振動
検出信号は、それぞれ、雑信号を除去し所定の周波数の
信号を選択するためのフィルタ１０５，１０６に付与さ
れ、増幅回路１０７，１０８により増幅される。第１の
振動センサ１０３からの検出信号はオシロスコープ１０
９のチャンネル１の端子に与えられ、第２の振動センサ
１０４からの検出信号はオシロスコープ１０９のチャン
ネル２の端子に与えられ、それぞれ表示される。そし
て、オシロスコープ１０９に表示された各々の検出信号
に基づいて、振動伝達時間差や伝達速度差を算出するこ
とにより、試料１０１の均質性を評価できる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】以上のように従来装置
は、試料に対する振動の伝達時間と伝達速度を用いて均
一性を評価する方法を用いている。すなわち、この判別
方法は時系列での変化ではなく、２点間の瞬時データ
（伝達時間差、伝達速度差）を差異分析し、演算にによ
り試料の均一性や割れやクラックを判別する方法として
いたので、試料を固定するポイントの割れ及び内部クラ
ックの検出、試料内部の振動伝達域で遠ポイントまたは
２点間からの等ポイントの欠陥（割れや内部クラック）
の検出、及び微細なマイクロクラックなどの検出には、
十分な結果を得られなかった。
は、試料に対する振動の伝達時間と伝達速度を用いて均
一性を評価する方法を用いている。すなわち、この判別
方法は時系列での変化ではなく、２点間の瞬時データ
（伝達時間差、伝達速度差）を差異分析し、演算にによ
り試料の均一性や割れやクラックを判別する方法として
いたので、試料を固定するポイントの割れ及び内部クラ
ックの検出、試料内部の振動伝達域で遠ポイントまたは
２点間からの等ポイントの欠陥（割れや内部クラック）
の検出、及び微細なマイクロクラックなどの検出には、
十分な結果を得られなかった。
【０００６】この発明は、上述のような課題を解決する
ためになされたもので、試料に損傷を加えることなく客
観的な評価が出来ると共に、試料の欠陥（材料基板等の
割れ、内部クラック）の大小並びに場所に関係なくを検
出できることを目的とする。
ためになされたもので、試料に損傷を加えることなく客
観的な評価が出来ると共に、試料の欠陥（材料基板等の
割れ、内部クラック）の大小並びに場所に関係なくを検
出できることを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、試料
を取り付ける試料取付部、試料を加振させる振動子、こ
の振動子により試料を加振させた時の振動音を収集する
音収集器を備えた検査治具と、音収集器により収集され
た振動音を周波数分析する音検知機とを備えた試料の欠
陥測定装置において、振動子により試料を加振させた時
の加振音を時系列的に抽出して分析することにより、試
料の欠陥を判定することを特徴とする。
を取り付ける試料取付部、試料を加振させる振動子、こ
の振動子により試料を加振させた時の振動音を収集する
音収集器を備えた検査治具と、音収集器により収集され
た振動音を周波数分析する音検知機とを備えた試料の欠
陥測定装置において、振動子により試料を加振させた時
の加振音を時系列的に抽出して分析することにより、試
料の欠陥を判定することを特徴とする。
【０００８】請求項２の発明は、音収集器により収集し
た振動音を、音検知機のローパスフィルタとハイパスフ
ィルタを通してそれぞれ増幅した後で差動演算を行うと
共に、オシロスコープに合成波を出力させることを特徴
とする。
た振動音を、音検知機のローパスフィルタとハイパスフ
ィルタを通してそれぞれ増幅した後で差動演算を行うと
共に、オシロスコープに合成波を出力させることを特徴
とする。
【０００９】請求項３の発明は、試料取付部の試料を固
定する固定部を緩衝材で構成し、試料取付部をベアリン
グを介して検査治具固定側の軸に装着することを特徴と
する。
定する固定部を緩衝材で構成し、試料取付部をベアリン
グを介して検査治具固定側の軸に装着することを特徴と
する。
【００１０】請求項４の発明は、試料を試料取付部の音
収集器と固定部により弾性的に挟み込んで固定すること
を特徴とする。
収集器と固定部により弾性的に挟み込んで固定すること
を特徴とする。
【００１１】請求項５の発明は、振動子により試料取付
部に取り付けられた試料を加振させ、この振動子により
試料を加振させた時の振動音を音収集器により時系列的
に収集し、音収集器により収集された振動音を周波数分
析することにより試料の欠陥を判定することを特徴とす
る試料の欠陥測定方法である。
部に取り付けられた試料を加振させ、この振動子により
試料を加振させた時の振動音を音収集器により時系列的
に収集し、音収集器により収集された振動音を周波数分
析することにより試料の欠陥を判定することを特徴とす
る試料の欠陥測定方法である。
【００１２】請求項６の発明は、第１回の試料の欠陥判
定の実施後、所定角度回転した試料を固定して再度、振
動子により試料を加振させて試料の欠陥を判定すること
を特徴とする。
定の実施後、所定角度回転した試料を固定して再度、振
動子により試料を加振させて試料の欠陥を判定すること
を特徴とする。
【００１３】
【発明の実施の形態】実施の形態１．図１はこの発明の
実施の形態１による試料の欠陥測定装置を示す図であ
り、図（ａ）は欠陥測定装置全体を示す概略構成図、図
（ｂ）は欠陥測定装置の検査治具を示す側面図である。
本実施の形態による試料の欠陥測定装置は、材料基板等
の試料１を固定した状態で振動子２２により振動を加
え、その加振音をコンデンサマイク等の音収集器２０に
より収集する検査治具１０と、音収集器２０により収集
した振動音をＬＰＦ（ローパスフィルタ）とＨＰＦ（ハ
イパスフィルタ）を通して増幅した後、演算して合成波
として出力する音検知機３０と、音検知機３０で演算し
た波形を表示し、その波形により試料の欠陥を判定する
オシロスコープ５０を備えている。
実施の形態１による試料の欠陥測定装置を示す図であ
り、図（ａ）は欠陥測定装置全体を示す概略構成図、図
（ｂ）は欠陥測定装置の検査治具を示す側面図である。
本実施の形態による試料の欠陥測定装置は、材料基板等
の試料１を固定した状態で振動子２２により振動を加
え、その加振音をコンデンサマイク等の音収集器２０に
より収集する検査治具１０と、音収集器２０により収集
した振動音をＬＰＦ（ローパスフィルタ）とＨＰＦ（ハ
イパスフィルタ）を通して増幅した後、演算して合成波
として出力する音検知機３０と、音検知機３０で演算し
た波形を表示し、その波形により試料の欠陥を判定する
オシロスコープ５０を備えている。
【００１４】図２は本実施の形態の検査冶具１０の全体
構成を示す斜視図である。図において、検査治具１０
は、主として、試料１を取り付けるための試料取付部１
１と、振動子２２を取り付けるための振動子取付部１２
から構成されている。試料取付部１１は、図３に示すよ
うに、検査治具固定側１０ａに設けられた軸１３に、ベ
アリングを介して摺動自在かつ着脱自在に取付けられて
いる。また、振動子取付部１２も、検査治具固定側１０
ａに設けられた軸２６にベアリングを介して摺動自在に
取付けられ、吊り下げ線（銅線等）２３を介して振動子
２２を取付けている。
構成を示す斜視図である。図において、検査治具１０
は、主として、試料１を取り付けるための試料取付部１
１と、振動子２２を取り付けるための振動子取付部１２
から構成されている。試料取付部１１は、図３に示すよ
うに、検査治具固定側１０ａに設けられた軸１３に、ベ
アリングを介して摺動自在かつ着脱自在に取付けられて
いる。また、振動子取付部１２も、検査治具固定側１０
ａに設けられた軸２６にベアリングを介して摺動自在に
取付けられ、吊り下げ線（銅線等）２３を介して振動子
２２を取付けている。
【００１５】図４は検査治具１０の試料取付部１１の詳
細を示す断面図である。図において、試料取付部１１
は、検査治具固定側１０ａの軸１３に摺動自在に装着さ
れるベアリング１４と、このベアリング１４を囲むよう
に配設された保護部１５と、試料１を固定するためのＰ
Ｅライト等の試料固定部１７（緩衝作用を有する）と、
保護部１５及び試料固定部１７を被覆するように設置さ
れた金属板１６から構成されている。コンデンサマイク
等の音収集器２０は、試料固定部１７の一部に設けられ
た孔部に取付けられる。そして、音収集器２０の接触面
２０ａと、この接触面２０ａと同面積の固定部接触部１
７ａにより、試料１が挟み込まれて固定される。金属板
１６は、図示Ｃ方向に開かせることにより試料１を試料
固定部１７に挿入することを可能にし、図示Ｄ方向に弾
性的に復帰させることにより試料１を安定的に試料固定
部１７に支持することを可能にする。
細を示す断面図である。図において、試料取付部１１
は、検査治具固定側１０ａの軸１３に摺動自在に装着さ
れるベアリング１４と、このベアリング１４を囲むよう
に配設された保護部１５と、試料１を固定するためのＰ
Ｅライト等の試料固定部１７（緩衝作用を有する）と、
保護部１５及び試料固定部１７を被覆するように設置さ
れた金属板１６から構成されている。コンデンサマイク
等の音収集器２０は、試料固定部１７の一部に設けられ
た孔部に取付けられる。そして、音収集器２０の接触面
２０ａと、この接触面２０ａと同面積の固定部接触部１
７ａにより、試料１が挟み込まれて固定される。金属板
１６は、図示Ｃ方向に開かせることにより試料１を試料
固定部１７に挿入することを可能にし、図示Ｄ方向に弾
性的に復帰させることにより試料１を安定的に試料固定
部１７に支持することを可能にする。
【００１６】また、試料１を試料固定部１７に固定する
場合、試料１の凹凸が少ない面、例えば材料基板の裏面
に、音収集器２０の接触面２０ａが接地するようにす
る。これにより、音収集器２０による加振音の収集をよ
り確実にして、検出ミスを低減することができる。
場合、試料１の凹凸が少ない面、例えば材料基板の裏面
に、音収集器２０の接触面２０ａが接地するようにす
る。これにより、音収集器２０による加振音の収集をよ
り確実にして、検出ミスを低減することができる。
【００１７】図５は検査治具１０の振動子取付部１２の
詳細を示す側面図である。図において、振動子取付本体
１２ａは、検査治具固定側１０ａに設けられた軸２６に
ベアリングを介して摺動自在に取付けられ、吊り下げ線
（銅線等）２３を介して振動子２２を取付けている。振
動子取付部１２のハンドル２４は、振動子２２の高さを
調整するためのもので、試料取付部１１に装着された試
料１の所定の打点に振動子２２が衝突するように位置合
せする。また、検査治具固定側１０ａに設けられた位置
合せ用のポール２５は、振動子２２のリリースポイント
を一定にさせる役割を果す。
詳細を示す側面図である。図において、振動子取付本体
１２ａは、検査治具固定側１０ａに設けられた軸２６に
ベアリングを介して摺動自在に取付けられ、吊り下げ線
（銅線等）２３を介して振動子２２を取付けている。振
動子取付部１２のハンドル２４は、振動子２２の高さを
調整するためのもので、試料取付部１１に装着された試
料１の所定の打点に振動子２２が衝突するように位置合
せする。また、検査治具固定側１０ａに設けられた位置
合せ用のポール２５は、振動子２２のリリースポイント
を一定にさせる役割を果す。
【００１８】図６は音検知機３０の回路ブロック図を示
す。音検知機３０はコンデンサマイク等の音検知器２０
により収集された振動音を振動開始から減衰・収束まで
逐次収集する。すなわち、音検知器２０により収集され
た振動音は増幅器３１により増幅された後、ローパスフ
ィルタ（ＬＰＦ）３２及びハイパスフィルタ（ＨＰＦ）
３３に送られる。そして、ＬＰＦ３２及びＨＰＦ３３に
より周波数を層別された後、それぞれ整流回路３４及び
３５に送られる。整流回路３４の出力信号は、増幅回路
３６により増幅された後、ＬＰＦ３８を通過し端子６に
出力される。また、整流回路３４の出力信号は、差動回
路３９において、整流回路３５の出力信号を増幅器３７
により増幅した信号と差し引かれ端子７に出力される。
す。音検知機３０はコンデンサマイク等の音検知器２０
により収集された振動音を振動開始から減衰・収束まで
逐次収集する。すなわち、音検知器２０により収集され
た振動音は増幅器３１により増幅された後、ローパスフ
ィルタ（ＬＰＦ）３２及びハイパスフィルタ（ＨＰＦ）
３３に送られる。そして、ＬＰＦ３２及びＨＰＦ３３に
より周波数を層別された後、それぞれ整流回路３４及び
３５に送られる。整流回路３４の出力信号は、増幅回路
３６により増幅された後、ＬＰＦ３８を通過し端子６に
出力される。また、整流回路３４の出力信号は、差動回
路３９において、整流回路３５の出力信号を増幅器３７
により増幅した信号と差し引かれ端子７に出力される。
【００１９】上記のように音検知機３０により演算され
た合成波は、オシロスコープ５０へ逐次出力される。す
なわち、音検知機３０の演算結果は、試料１の振動開始
から減衰・収束まで逐次オシロスコープ５０に出力さ
れ、その波形の表示領域から基板の割れ、内部クラック
等の欠陥を判別する。
た合成波は、オシロスコープ５０へ逐次出力される。す
なわち、音検知機３０の演算結果は、試料１の振動開始
から減衰・収束まで逐次オシロスコープ５０に出力さ
れ、その波形の表示領域から基板の割れ、内部クラック
等の欠陥を判別する。
【００２０】図７はオシロスコープ５０に出力された波
形から試料の欠陥を判別する図である。本実施の形態の
場合、試料の欠陥の判別領域は、良品（割れ、内部クラ
ックなし）は、図７（ａ）に示すように波形が−領域の
みで振動・収束する。一方、不良品（割れ、内部クラッ
クあり）は、図７（ｂ）及び（ｃ）に示すように波形が
＋領域のみあるいは＋／−領域で振動・収束するように
周波数の演算を行っている。なお、図７の縦軸は合成波
の振幅、横軸は時間を表す。
形から試料の欠陥を判別する図である。本実施の形態の
場合、試料の欠陥の判別領域は、良品（割れ、内部クラ
ックなし）は、図７（ａ）に示すように波形が−領域の
みで振動・収束する。一方、不良品（割れ、内部クラッ
クあり）は、図７（ｂ）及び（ｃ）に示すように波形が
＋領域のみあるいは＋／−領域で振動・収束するように
周波数の演算を行っている。なお、図７の縦軸は合成波
の振幅、横軸は時間を表す。
【００２１】図８は、上述した試料の欠陥（基板割れ、
内部クラック）を判別方法の精度を上げるための作業手
順を示すフローチャートである。図において、まず試料
１を検査治具１０にセットした後、振動子２２により試
料１を加振させ、その振動音を音収集器２０により収集
して音検知機３０に送る。音検知機３０では音収集器２
０により得られた振動音を周波数分析してオシロスコー
プ５０に合成波形を出力する。作業者は図７のグラフに
より試料の良品・不良品を判別する。この時、不良品
（ＮＧ）と判定されれば、検査作業は完了する。次に、
良品と判定された場合、試料１を所定角度（１８０度
等）回転させた後、検査治具１０に再セットする。そし
て、振動子２２により試料１を加振させ、その振動音を
音収集器２０により収集し、更に音検知機３０により振
動音を周波数分析してオシロスコープ５０に合成波形を
出力する。作業者は再び図７のグラフにより試料の良品
・不良品を判別する。このように、所定回（通常は２
回）の検査でＯＫの場合のみ、良品と判定する。
内部クラック）を判別方法の精度を上げるための作業手
順を示すフローチャートである。図において、まず試料
１を検査治具１０にセットした後、振動子２２により試
料１を加振させ、その振動音を音収集器２０により収集
して音検知機３０に送る。音検知機３０では音収集器２
０により得られた振動音を周波数分析してオシロスコー
プ５０に合成波形を出力する。作業者は図７のグラフに
より試料の良品・不良品を判別する。この時、不良品
（ＮＧ）と判定されれば、検査作業は完了する。次に、
良品と判定された場合、試料１を所定角度（１８０度
等）回転させた後、検査治具１０に再セットする。そし
て、振動子２２により試料１を加振させ、その振動音を
音収集器２０により収集し、更に音検知機３０により振
動音を周波数分析してオシロスコープ５０に合成波形を
出力する。作業者は再び図７のグラフにより試料の良品
・不良品を判別する。このように、所定回（通常は２
回）の検査でＯＫの場合のみ、良品と判定する。
【００２２】
【発明の効果】以上のようにこの発明によれば、材料基
板等の試料についての割れ、内部クラック等の欠陥の判
別作業を効率化することができ、欠陥判別の精度が向上
し、かつ試料の損傷がなく品質を維持することができ
る。
板等の試料についての割れ、内部クラック等の欠陥の判
別作業を効率化することができ、欠陥判別の精度が向上
し、かつ試料の損傷がなく品質を維持することができ
る。
【００２３】特に、請求項１及び請求項５の発明によれ
ば、振動子により試料を加振させた時の加振音を時系列
的に抽出して分析することにより、試料の欠陥を判定す
るようにしたので、振動波形の開始から減衰・収束まで
時系列的に観測することができ、試料を固定するポイン
トの欠陥の検出、試料内部の振動伝達域で遠ポイントに
ある欠陥の検出、及びマイクロクラックなど微細なクラ
ックの検出にも最適となる。
ば、振動子により試料を加振させた時の加振音を時系列
的に抽出して分析することにより、試料の欠陥を判定す
るようにしたので、振動波形の開始から減衰・収束まで
時系列的に観測することができ、試料を固定するポイン
トの欠陥の検出、試料内部の振動伝達域で遠ポイントに
ある欠陥の検出、及びマイクロクラックなど微細なクラ
ックの検出にも最適となる。
【００２４】また、請求項２の発明によれば、音収集器
により収集した振動音を音検知機のローパスフィルタと
ハイパスフィルタを通してそれぞれ増幅した後で差動演
算を行うと共に、オシロスコープに合成波を出力させる
ようにしたので、試料の欠陥を客観的に判定することが
できる。
により収集した振動音を音検知機のローパスフィルタと
ハイパスフィルタを通してそれぞれ増幅した後で差動演
算を行うと共に、オシロスコープに合成波を出力させる
ようにしたので、試料の欠陥を客観的に判定することが
できる。
【００２５】また、請求項３の発明によれば、試料取付
部内の試料を固定する固定部を緩衝材で構成し、試料取
付部をベアリングを介して検査治具固定側の軸に装着す
るようにしたので、試料取付部が可動式となり、検出波
形の減衰・収束までを明確に抽出・観測することができ
る。また、試料加振時の衝撃を最小限とすることがで
き、試料に損傷を与えることはない。
部内の試料を固定する固定部を緩衝材で構成し、試料取
付部をベアリングを介して検査治具固定側の軸に装着す
るようにしたので、試料取付部が可動式となり、検出波
形の減衰・収束までを明確に抽出・観測することができ
る。また、試料加振時の衝撃を最小限とすることがで
き、試料に損傷を与えることはない。
【００２６】また、請求項４の発明によれば、試料を試
料取付部の音収集器と固定部により弾性的に挟み込んで
固定するようにしたので、試料を試料取付部にセット
（取り付け）・リセット（取り外し）する作業の向上を
図ることができ、試料の取付作業を半自動化することが
できる。また、試料の固定力の一定化により検査の再現
性の向上が図れる。
料取付部の音収集器と固定部により弾性的に挟み込んで
固定するようにしたので、試料を試料取付部にセット
（取り付け）・リセット（取り外し）する作業の向上を
図ることができ、試料の取付作業を半自動化することが
できる。また、試料の固定力の一定化により検査の再現
性の向上が図れる。
【００２７】請求項６の発明によれば、第１回の試料の
欠陥判定の実施後、所定角度回転した試料を固定して再
度、振動子により試料を加振させて試料の欠陥を判定す
るようにしたので、試料の欠陥の検出漏れを排除するこ
とができる。
欠陥判定の実施後、所定角度回転した試料を固定して再
度、振動子により試料を加振させて試料の欠陥を判定す
るようにしたので、試料の欠陥の検出漏れを排除するこ
とができる。
【図１】 この発明の実施の形態１による試料の欠陥測
定装置を示す図である。
定装置を示す図である。
【図２】 実施の形態１による検査冶具の全体構成を示
す斜視図である。
す斜視図である。
【図３】 実施の形態１による検査冶具の試料取付部を
示す斜視図である。
示す斜視図である。
【図４】 実施の形態１による検査冶具の試料取付部を
示す断面図である。
示す断面図である。
【図５】 実施の形態１による検査冶具の振動子取付部
を示す側面図である。
を示す側面図である。
【図６】 実施の形態１による音検知機を示す回路ブロ
ック図である。
ック図である。
【図７】 実施の形態１によるオシロスコープに出力さ
れた波形から試料の欠陥を判別するための図である。
れた波形から試料の欠陥を判別するための図である。
【図８】 実施の形態１による試料の欠陥を判別するフ
ローチャートを示す図である。
ローチャートを示す図である。
【図９】 従来の試料の均質性測定装置を示すブロック
構成図である。
構成図である。
１ 試料、１０ 検査治具、１１ 試料取付部、１２
振動子取付部、１４ベアリング、１７ 固定部、２０
音収集器、２２ 振動子、２４ ハンドル、２５ ポー
ル、３０ 音検知機、５０ オシロスコープ。
振動子取付部、１４ベアリング、１７ 固定部、２０
音収集器、２２ 振動子、２４ ハンドル、２５ ポー
ル、３０ 音検知機、５０ オシロスコープ。
Claims (6)
- 【請求項１】 試料を取り付ける試料取付部、試料を加
振させる振動子、この振動子により試料を加振させた時
の振動音を収集する音収集器を備えた検査治具と、 音収集器により収集された振動音を周波数分析する音検
知機とを備えた試料の欠陥測定装置において、 振動子により試料を加振させた時の加振音を時系列的に
抽出して分析することにより、試料の欠陥を判定するこ
とを特徴とする試料の欠陥測定装置。 - 【請求項２】 上記音収集器により収集した振動音を、
音検知機のローパスフィルタとハイパスフィルタを通し
てそれぞれ増幅した後で差動演算を行うと共に、オシロ
スコープに合成波を出力させることを特徴とする請求項
１に記載の試料の欠陥測定装置。 - 【請求項３】 上記試料取付部の試料を固定する固定部
を緩衝材で構成し、試料取付部をベアリングを介して検
査治具固定側の軸に装着することを特徴とする請求項１
又は請求項２に記載の試料の欠陥測定装置。 - 【請求項４】 試料を、上記試料取付部の音収集器と固
定部により弾性的に挟み込んで固定することを特徴とす
る請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の試料の
欠陥測定装置。 - 【請求項５】 振動子により試料取付部に取り付けられ
た試料を加振させ、この振動子により試料を加振させた
時の振動音を音収集器により時系列的に収集し、音収集
器により収集された振動音を周波数分析することにより
試料の欠陥を判定することを特徴とする試料の欠陥測定
方法。 - 【請求項６】 第１回の試料の欠陥判定の実施後、所定
角度回転した試料を固定して再度、振動子により試料を
加振させて試料の欠陥を判定することを特徴とする請求
項５に記載の試料の欠陥測定方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000048664A JP2001235452A (ja) | 2000-02-25 | 2000-02-25 | 試料の欠陥測定装置及び方法 |
| US09/694,027 US6463805B1 (en) | 2000-02-25 | 2000-10-23 | Apparatus and method for measuring defect of sample |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000048664A JP2001235452A (ja) | 2000-02-25 | 2000-02-25 | 試料の欠陥測定装置及び方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001235452A true JP2001235452A (ja) | 2001-08-31 |
Family
ID=18570717
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000048664A Pending JP2001235452A (ja) | 2000-02-25 | 2000-02-25 | 試料の欠陥測定装置及び方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6463805B1 (ja) |
| JP (1) | JP2001235452A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102680573A (zh) * | 2012-05-07 | 2012-09-19 | 刘镇波 | 基于均匀力敲击方法的木材振动性能检测装置 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2020147928A1 (en) | 2019-01-15 | 2020-07-23 | Siemens Aktiengesellschaft | Mobile sound analysis based on deep learning |
| JP7429545B2 (ja) * | 2020-01-21 | 2024-02-08 | 三菱重工コンプレッサ株式会社 | プローブ装置 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4631963A (en) * | 1985-03-25 | 1986-12-30 | Mobil Oil Corporation | Method for measuring acoustic energy anisotropy through core samples |
| US5083463A (en) * | 1990-02-07 | 1992-01-28 | M/Rad Corporation | Rotatable vibration test apparatus |
| JPH07113791A (ja) | 1993-10-18 | 1995-05-02 | Daicel Chem Ind Ltd | 材料の均質性測定装置 |
-
2000
- 2000-02-25 JP JP2000048664A patent/JP2001235452A/ja active Pending
- 2000-10-23 US US09/694,027 patent/US6463805B1/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102680573A (zh) * | 2012-05-07 | 2012-09-19 | 刘镇波 | 基于均匀力敲击方法的木材振动性能检测装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US6463805B1 (en) | 2002-10-15 |
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|---|---|---|---|
| RD01 | Notification of change of attorney |
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