JP7428677B2 - 膜パターン形成方法及びインクジェット塗布装置 - Google Patents
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Description
10 ステージ
21 インクジェットヘッド部
31a ノズル
C 膜パターン
C1 第1の塗布膜
C2 第2の塗布膜
P 着弾位置
D 液滴
R 膜形成領域
W 基材
Claims (6)
- 基材上の膜形成領域にインクジェット法により液滴を吐出して膜パターンを形成する膜パターン形成方法であって、
膜形成領域に所定ピッチで液滴を着弾させて第1の塗布膜を形成する第1塗布膜形成工程と、
前記第1塗布膜形成工程における液滴の着弾位置間に液滴を着弾させて形成される中央着弾領域と、
前記第1の塗布膜の最端部着弾位置から少なくとも1ピッチを超える範囲に液滴を着弾させて形成される広域着弾領域と、
を有する第2の塗布膜を形成する第2塗布膜形成工程と、を有し、
前記第1塗布膜形成工程と、前記第2塗布膜形成工程をこの順に行うことにより前記第1の塗布膜と前記第2の塗布膜とが合体し1枚の塗布膜が形成されることを特徴とする膜パターン形成方法。 - 前記広域着弾領域の外側に、前記第1の塗布膜、及び、第2の塗布膜を形成するピッチよりも小さいピッチで形成される線状膜を形成する第3塗布膜形成工程を有していることを特徴とする請求項1に記載の膜パターン形成方法。
- 前記第2塗布膜形成工程と前記第3塗布膜形成工程とは、同時に行われることを特徴とする請求項2に記載の膜パターン形成方法。
- 前記中央着弾領域を形成する着弾位置は、前記第1塗布膜形成工程におけるX軸方向、及び、Y軸方向の着弾位置からそれぞれ半ピッチずらした位置に設定されていることを特徴とする請求項1~3のいずれか一項に記載の膜パターン形成方法。
- 基材を載置するステージと、
前記ステージに載置された基材に対し相対的に移動しつつ、基材上の膜形成領域に液滴を吐出して膜パターンを形成する液滴ユニットと、
前記ステージと前記液滴ユニットとを制御する制御装置と、
を有するインクジェット塗布装置であって、
前記制御装置は、膜形成領域に所定ピッチで液滴を着弾させて第1の塗布膜を形成する第1塗布膜形成モードと、
前記第1塗布膜形成工程における液滴の着弾位置間に液滴を着弾させて形成される中央着弾領域と、前記第1の塗布膜の最端部着弾位置から少なくとも1ピッチを超える範囲に液滴を着弾させて形成される広域着弾領域と、
を有する第2の塗布膜を形成する第2塗布膜形成モードと、
を備えており、前記第1塗布膜形成モードにより形成された第1の塗布膜と、前記第2塗布膜形成モードにより形成された第2の塗布膜とが合体し1枚の塗布膜が形成されることを特徴とするインクジェット塗布装置。 - 前記制御装置は、前記広域着弾領域の外側に、前記第1の塗布膜、及び、第2の塗布膜を形成するピッチよりも小さいピッチで形成される線状膜を形成する第3塗布膜形成モードを有していることを特徴とする請求項5に記載のインクジェット塗布装置。
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- 2021-03-19 JP JP2021045350A patent/JP7428677B2/ja active Active
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