JP7424745B2 - Electromagnetic shielding film, printed wiring board with electromagnetic shielding film, and manufacturing method thereof - Google Patents

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Description

本発明は、電磁波シールドフィルム、電磁波シールドフィルム付きプリント配線板およびその製造方法に関する。 The present invention relates to an electromagnetic shielding film, a printed wiring board with an electromagnetic shielding film, and a method for manufacturing the same.

プリント配線板から発生する電磁波ノイズや外部からの電磁波ノイズを遮蔽するために、絶縁樹脂層と導電層とを有する電磁波シールドフィルムを、絶縁フィルム(カバーレイフィルム)を介してプリント配線板の表面に設けることがある(例えば、特許文献1参照)。導電層は、例えば、電磁波を遮蔽するための金属薄膜層と、金属薄膜層とプリント配線板のプリント回路とを電気的に接続するための異方導電性接着剤層とを有する。 In order to shield electromagnetic noise generated from printed wiring boards and electromagnetic noise from outside, an electromagnetic shielding film having an insulating resin layer and a conductive layer is applied to the surface of the printed wiring board via an insulating film (coverlay film). (For example, see Patent Document 1). The conductive layer includes, for example, a metal thin film layer for shielding electromagnetic waves and an anisotropic conductive adhesive layer for electrically connecting the metal thin film layer and the printed circuit of the printed wiring board.

電磁波シールドフィルムをプリント配線板の表面に設ける際には、絶縁フィルム付きプリント配線板と電磁波シールドフィルムとを、絶縁フィルムと異方導電性接着剤層とが接するように重ね、これらを熱プレスして圧着する。この際、電磁波シールドフィルムの異方導電性接着剤層が、絶縁フィルムに形成された貫通孔を通ってプリント配線板のプリント回路(グランド)に接触することによって、金属薄膜層とプリント配線板のプリント回路とが電気的に接続される。 When providing an electromagnetic shielding film on the surface of a printed wiring board, the printed wiring board with an insulating film and the electromagnetic shielding film are stacked so that the insulating film and the anisotropic conductive adhesive layer are in contact with each other, and then they are heat-pressed. Crimp. At this time, the anisotropically conductive adhesive layer of the electromagnetic shielding film comes into contact with the printed circuit (ground) of the printed wiring board through the through hole formed in the insulating film. The printed circuit is electrically connected.

特開2017-220592号公報JP 2017-220592 Publication

しかし、絶縁フィルムの貫通孔を通ってプリント配線板のプリント回路に電磁波シールドフィルムの異方導電性接着剤層を接着した場合、プリント回路と異方導電性接着剤層との接触が不十分となりやすい。プリント回路と異方導電性接着剤層との接触が不十分であると、プリント回路と金属薄膜層との間の接続抵抗が高くなり、電気的な接続を確実に行えないことがある。 However, when the anisotropically conductive adhesive layer of the electromagnetic shielding film is bonded to the printed circuit of the printed wiring board through the through-hole of the insulating film, the contact between the printed circuit and the anisotropically conductive adhesive layer is insufficient. Cheap. If the contact between the printed circuit and the anisotropic conductive adhesive layer is insufficient, the connection resistance between the printed circuit and the metal thin film layer increases, and electrical connection may not be established reliably.

プリント回路と金属薄膜層との間の電気的な接続を確実に行うためには、絶縁フィルム付きプリント配線板と電磁波シールドフィルムとを高圧で熱プレスして圧着する必要がある。しかし、高圧で熱プレスした場合、電磁波シールドフィルムやプリント配線板が破損しやすい。 In order to ensure electrical connection between the printed circuit and the metal thin film layer, it is necessary to hot press the printed wiring board with the insulating film and the electromagnetic shielding film at high pressure. However, when hot-pressed at high pressure, the electromagnetic shielding film and printed wiring board are likely to be damaged.

本発明は、絶縁フィルム付きプリント配線板と電磁波シールドフィルムとの圧着時の圧力が低くても、絶縁フィルムの貫通孔を通ってプリント配線板のプリント回路に電磁波シールドフィルムの異方導電性接着剤層を確実に接着できるとともに、プリント回路に電磁波シールドフィルムの金属薄膜層を確実に電気的に接続できる電磁波シールドフィルムを提供する。
本発明は、プリント配線板の表面に設けられた絶縁フィルムの貫通孔を通ってプリント配線板のプリント回路に電磁波シールドフィルムの異方導電性接着剤層が確実に接着されるとともに、プリント回路に電磁波シールドフィルムの金属薄膜層が確実に電気的に接続された電磁波シールドフィルム付きプリント配線板を提供する。
本発明は、絶縁フィルム付きプリント配線板と電磁波シールドフィルムとの圧着時の圧力が低くても、絶縁フィルムの貫通孔を通ってプリント配線板のプリント回路に電磁波シールドフィルムの異方導電性接着剤層が確実に接着されるとともに、プリント回路に電磁波シールドフィルムの金属薄膜層が確実に電気的に接続された電磁波シールドフィルム付きプリント配線板電磁波シールドフィルム付きプリント配線板を製造できる方法を提供する。
The present invention provides an anisotropically conductive adhesive of an electromagnetic shielding film that passes through a through hole in an insulating film and attaches to a printed circuit of a printed wiring board, even when the pressure is low during pressure bonding between a printed wiring board with an insulating film and an electromagnetic shielding film. To provide an electromagnetic shielding film that can reliably bond layers and reliably electrically connect a metal thin film layer of the electromagnetic shielding film to a printed circuit.
The present invention provides that an anisotropically conductive adhesive layer of an electromagnetic shielding film is reliably bonded to a printed circuit of a printed wiring board through a through hole of an insulating film provided on the surface of the printed wiring board, and that To provide a printed wiring board with an electromagnetic shielding film in which a metal thin film layer of the electromagnetic shielding film is reliably electrically connected.
The present invention provides an anisotropically conductive adhesive of an electromagnetic shielding film that passes through a through hole in an insulating film and attaches to a printed circuit of a printed wiring board, even when the pressure is low during pressure bonding between a printed wiring board with an insulating film and an electromagnetic shielding film. To provide a method for producing a printed wiring board with an electromagnetic shielding film, in which the layers are surely adhered and a metal thin film layer of the electromagnetic shielding film is surely electrically connected to the printed circuit.

本発明は、以下の態様を有する。
<1>絶縁樹脂層と、金属薄膜層と、接着剤および導電性粒子を含む異方導電性接着剤層とを順に有し、前記異方導電性接着剤層における前記接着剤の厚さAと前記導電性粒子の平均粒子径Bとが、1.1A≦B≦3.0Aの関係を満足し、前記接着剤の厚さAが、3μm以上である、電磁波シールドフィルム。
<2>前記導電性粒子の割合が、前記異方導電性接着剤層の100質量%のうち、5質量%以上50質量%以下である、前記<1>の電磁波シールドフィルム。
<3>基板の少なくとも片面にプリント回路が設けられたプリント配線板と、前記プリント配線板の前記プリント回路が設けられた側の面に隣接する絶縁フィルムと、前記異方導電性接着剤層が前記絶縁フィルムに隣接し、かつ前記異方導電性接着剤層が前記絶縁フィルムに形成された貫通孔を通って前記プリント回路に電気的に接続された前記<1>または<2>の電磁波シールドフィルムとを有する、電磁波シールドフィルム付きプリント配線板。
<4>基板の少なくとも片面にプリント回路が設けられたプリント配線板および前記プリント配線板の前記プリント回路が設けられた側の面に隣接する絶縁フィルムを有し、かつ前記絶縁フィルムに貫通孔が形成された絶縁フィルム付きプリント配線板と、前記<1>または<2>の電磁波シールドフィルムとを、前記絶縁フィルムと前記異方導電性接着剤層とが接するように重ねて圧着する、電磁波シールドフィルム付きプリント配線板の製造方法。
<5>前記絶縁フィルム付きプリント配線板と前記電磁波シールドフィルムとを3MPa以下の圧力で圧着する、前記<4>の電磁波シールドフィルム付きプリント配線板の製造方法。
The present invention has the following aspects.
<1> An insulating resin layer, a metal thin film layer, and an anisotropically conductive adhesive layer containing an adhesive and conductive particles are sequentially provided, and the thickness of the adhesive in the anisotropically conductive adhesive layer is A. and the average particle diameter B of the conductive particles satisfy the relationship of 1.1A≦B≦3.0A, and the thickness A of the adhesive is 3 μm or more.
<2> The electromagnetic shielding film according to <1>, wherein the proportion of the conductive particles is 5% by mass or more and 50% by mass or less out of 100% by mass of the anisotropically conductive adhesive layer.
<3> A printed wiring board having a printed circuit provided on at least one side of the substrate, an insulating film adjacent to the side of the printed wiring board on which the printed circuit is provided, and the anisotropic conductive adhesive layer. The electromagnetic shield according to <1> or <2>, which is adjacent to the insulating film and in which the anisotropically conductive adhesive layer is electrically connected to the printed circuit through a through hole formed in the insulating film. A printed wiring board with an electromagnetic shielding film.
<4> A printed wiring board with a printed circuit provided on at least one side of the board, and an insulating film adjacent to the side of the printed wiring board on which the printed circuit is provided, and a through hole in the insulating film. An electromagnetic wave shield in which the formed printed wiring board with an insulating film and the electromagnetic wave shielding film of <1> or <2> are stacked and crimped so that the insulating film and the anisotropically conductive adhesive layer are in contact with each other. A method for manufacturing a printed wiring board with a film.
<5> The method for manufacturing a printed wiring board with an electromagnetic shielding film according to <4>, wherein the printed wiring board with an insulating film and the electromagnetic shielding film are pressure-bonded at a pressure of 3 MPa or less.

本発明の電磁波シールドフィルムによれば、絶縁フィルム付きプリント配線板と電磁波シールドフィルムとの圧着時の圧力が低くても、絶縁フィルムの貫通孔を通ってプリント配線板のプリント回路に電磁波シールドフィルムの異方導電性接着剤層を確実に接着できるとともに、プリント回路に電磁波シールドフィルムの金属薄膜層を確実に電気的に接続できる。
本発明の電磁波シールドフィルム付きプリント配線板は、プリント配線板の表面に設けられた絶縁フィルムの貫通孔を通ってプリント配線板のプリント回路に電磁波シールドフィルムの異方導電性接着剤層が確実に接着されるとともに、プリント回路に電磁波シールドフィルムの金属薄膜層が確実に電気的に接続されたものである。
本発明の電磁波シールドフィルム付きプリント配線板によれば、絶縁フィルム付きプリント配線板と電磁波シールドフィルムとの圧着時の圧力が低くても、絶縁フィルムの貫通孔を通ってプリント配線板のプリント回路に電磁波シールドフィルムの異方導電性接着剤層が確実に接着されるとともに、プリント回路に電磁波シールドフィルムの金属薄膜層が確実に電気的に接続された電磁波シールドフィルム付きプリント配線板を製造できる。
According to the electromagnetic shielding film of the present invention, even if the pressure at the time of pressure bonding between the printed wiring board with the insulating film and the electromagnetic shielding film is low, the electromagnetic shielding film passes through the through hole of the insulating film and connects to the printed circuit of the printed wiring board. The anisotropic conductive adhesive layer can be reliably bonded, and the metal thin film layer of the electromagnetic shielding film can be reliably electrically connected to the printed circuit.
The printed wiring board with an electromagnetic shielding film of the present invention ensures that the anisotropically conductive adhesive layer of the electromagnetic shielding film passes through the through hole of the insulating film provided on the surface of the printed wiring board and onto the printed circuit of the printed wiring board. At the same time, the metal thin film layer of the electromagnetic shielding film is firmly electrically connected to the printed circuit.
According to the printed wiring board with an electromagnetic shielding film of the present invention, even when the pressure is low when the printed wiring board with an insulating film and the electromagnetic shielding film are crimped, the printed circuit of the printed wiring board passes through the through hole of the insulating film. It is possible to manufacture a printed wiring board with an electromagnetic shielding film in which the anisotropic conductive adhesive layer of the electromagnetic shielding film is reliably bonded and the metal thin film layer of the electromagnetic shielding film is reliably electrically connected to the printed circuit.

本発明の電磁波シールドフィルムの一例を示す断面図である。FIG. 1 is a cross-sectional view showing an example of an electromagnetic shielding film of the present invention. 本発明の電磁波シールドフィルム付きプリント配線板の一例を示す断面図である。FIG. 1 is a cross-sectional view showing an example of a printed wiring board with an electromagnetic shielding film of the present invention. 図2の電磁波シールドフィルム付きプリント配線板の製造工程を示す断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view showing a manufacturing process of the printed wiring board with an electromagnetic shielding film shown in FIG. 2. FIG.

以下の用語の定義は、本明細書および特許請求の範囲にわたって適用される。
「異方導電性接着剤層」とは、厚さ方向に導電性を有し、面方向に導電性を有しない導電性接着剤層を意味する。
「面方向に導電性を有しない導電性接着剤層」とは、表面抵抗が1×10Ω/□以上である導電性接着剤層を意味する。
導電性粒子の平均粒子径は、レーザー回折・散乱法によって求めた体積基準累積50%径(d50)である。
フィルム(キャリアフィルム、離型フィルム、絶縁フィルム等)、塗膜(絶縁樹脂層、異方導電性接着剤層における接着剤等)の厚さは、デジタル測長機(ミツトヨ社製、ライトマチックVL-50-B)を用いて無作為に選ばれた5箇所の厚さを測定し、平均した値である。
金属薄膜層の厚さは、渦電流式膜厚計を用いて無作為に選ばれた5箇所の厚さを測定し、平均した値である。
貯蔵弾性率は、測定対象に与えた応力と検出したひずみから算出され、温度または時間の関数として出力する動的粘弾性測定装置を用いて、粘弾性特性の一つとして測定される。
導電性粒子の10%圧縮強度は、微小圧縮試験機を用いた測定結果から、下記式(α)によって求める。
C(x)=2.48P/πd ・・・(α)
ただし、C(x)は10%圧縮強度(MPa)であり、Pは粒子径の10%変位時の試験力(N)であり、dは粒子径(mm)である。
表面抵抗は、三菱ケミカル社製の種々の抵抗率計のうち、10Ω/□未満の場合は商品名:ロレスタ(ロレスタGP、ASPプローブ)を用い、四端子法(JIS K 7194:1994およびJIS R 1637:1998に準拠する方法)で測定される表面抵抗率であり、10Ω/□以上の場合は商品名:ハイレスタ(ハイレスタUP、URSプローブ)を用い、二重リング法(JIS K 6911:2006に準拠する方法)で測定される表面抵抗率である。
図1~図3における寸法比は、説明の便宜上、実際のものとは異なったものである。
The following definitions of terms apply throughout the specification and claims.
"Anisotropically conductive adhesive layer" means a conductive adhesive layer that has conductivity in the thickness direction and does not have conductivity in the planar direction.
"A conductive adhesive layer having no conductivity in the surface direction" means a conductive adhesive layer having a surface resistance of 1×10 4 Ω/□ or more.
The average particle diameter of the conductive particles is a volume-based cumulative 50% diameter (d50) determined by a laser diffraction/scattering method.
The thickness of the film (carrier film, release film, insulating film, etc.) and coating film (insulating resin layer, adhesive in the anisotropic conductive adhesive layer, etc.) was measured using a digital length measuring machine (Lightmatic VL manufactured by Mitutoyo). -50-B) was used to measure the thickness at five randomly selected locations, and the average value was obtained.
The thickness of the metal thin film layer is the average value of the thicknesses measured at five randomly selected locations using an eddy current film thickness meter.
The storage modulus is calculated from the stress applied to the measurement object and the detected strain, and is measured as one of the viscoelastic properties using a dynamic viscoelasticity measurement device that outputs the output as a function of temperature or time.
The 10% compressive strength of the conductive particles is determined by the following formula (α) from the measurement results using a micro compression tester.
C(x)=2.48P/πd 2 ...(α)
However, C(x) is the 10% compressive strength (MPa), P is the test force (N) at the time of 10% displacement of the particle diameter, and d is the particle diameter (mm).
Surface resistance can be measured using the four - terminal method (JIS K 7194:1994 and If it is 10 6 Ω/□ or more, use the product name Hiresta (Hiresta UP, URS probe) and double ring method (JIS K 6911:2006).
The dimensional ratios in FIGS. 1 to 3 are different from the actual ones for convenience of explanation.

<電磁波シールドフィルム>
本発明の第1の態様は、絶縁樹脂層と、金属薄膜層と、接着剤および導電性粒子を含む異方導電性接着剤層とを順に有し、異方導電性接着剤層における接着剤の厚さAと導電性粒子の平均粒子径Bとが特定の関係を満足し、接着剤の厚さAが特定の範囲内にある電磁波シールドフィルムである。
<Electromagnetic shielding film>
A first aspect of the present invention has an insulating resin layer, a metal thin film layer, and an anisotropic conductive adhesive layer containing an adhesive and conductive particles in this order, and the adhesive in the anisotropic conductive adhesive layer This is an electromagnetic shielding film in which the thickness A of the adhesive and the average particle diameter B of the conductive particles satisfy a specific relationship, and the thickness A of the adhesive is within a specific range.

図1は、本態様の電磁波シールドフィルムの一例を示す断面図である。
電磁波シールドフィルム1は、絶縁樹脂層10と、絶縁樹脂層10に隣接する導電層20と、絶縁樹脂層10の導電層20とは反対側に隣接するキャリアフィルム30と、導電層20の絶縁樹脂層10とは反対側に隣接する離型フィルム40とを有する。
導電層20は、絶縁樹脂層10に隣接する金属薄膜層22と、離型フィルム40に隣接する異方導電性接着剤層24とを有する。
FIG. 1 is a sectional view showing an example of the electromagnetic shielding film of this embodiment.
The electromagnetic shielding film 1 includes an insulating resin layer 10 , a conductive layer 20 adjacent to the insulating resin layer 10 , a carrier film 30 adjacent to the insulating resin layer 10 on the side opposite to the conductive layer 20 , and an insulating resin of the conductive layer 20 . It has a release film 40 adjacent to the layer 10 on the opposite side.
The conductive layer 20 has a metal thin film layer 22 adjacent to the insulating resin layer 10 and an anisotropic conductive adhesive layer 24 adjacent to the release film 40.

電磁波シールドフィルム1の厚さ(キャリアフィルム30および離型フィルム40を除く)は、3μm以上50μm以下が好ましく、5μm以上30μm以下がより好ましい。キャリアフィルム30および離型フィルム40を含まない電磁波シールドフィルム1の厚さが前記範囲の下限値以上であれば、キャリアフィルム30を剥離する際に破断しにくい。キャリアフィルム30および離型フィルム40を含まない電磁波シールドフィルム1の厚さが前記範囲の上限値以下であれば、電磁波シールドフィルム付きプリント配線板を薄くできる。 The thickness of the electromagnetic shielding film 1 (excluding the carrier film 30 and release film 40) is preferably 3 μm or more and 50 μm or less, more preferably 5 μm or more and 30 μm or less. If the thickness of the electromagnetic shielding film 1 that does not include the carrier film 30 and the release film 40 is at least the lower limit of the above range, it will be difficult to break when the carrier film 30 is peeled off. If the thickness of the electromagnetic shielding film 1 that does not include the carrier film 30 and the release film 40 is less than or equal to the upper limit of the above range, the printed wiring board with the electromagnetic shielding film can be made thinner.

(絶縁樹脂層)
絶縁樹脂層10は、電磁波シールドフィルム1をフレキシブルプリント配線板の表面に設けられた絶縁フィルムの表面に貼着し、キャリアフィルム30を剥離した後には、導電層20の保護層となる。
(insulating resin layer)
The insulating resin layer 10 becomes a protective layer for the conductive layer 20 after the electromagnetic shielding film 1 is attached to the surface of the insulating film provided on the surface of the flexible printed wiring board and the carrier film 30 is peeled off.

絶縁樹脂層10としては、熱硬化性樹脂と硬化剤とを含む塗料を塗布し、半硬化または硬化させて形成された塗膜;熱可塑性樹脂を含む塗料を塗布し、乾燥させて形成された塗膜;熱可塑性樹脂を含む組成物を溶融成形したフィルムからなる層等が挙げられる。はんだリフロー工程に供される際の耐熱性の点から、熱硬化性樹脂と硬化剤とを含む塗料を塗布し、半硬化または硬化させて形成された塗膜が好ましい。 The insulating resin layer 10 is a coating film formed by applying a paint containing a thermosetting resin and a curing agent and semi-curing or curing; a coating film formed by applying a paint containing a thermoplastic resin and drying it. Coating film: A layer made of a film formed by melt-molding a composition containing a thermoplastic resin, etc. can be mentioned. From the viewpoint of heat resistance when subjected to a solder reflow process, a coating film formed by applying a coating containing a thermosetting resin and a curing agent and semi-curing or curing the coating is preferable.

熱硬化性樹脂としては、アミド樹脂、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、アミノ樹脂、アルキッド樹脂、ウレタン樹脂、合成ゴム、紫外線硬化アクリレート樹脂等が挙げられる。熱硬化性樹脂としては、耐熱性に優れる点から、アミド樹脂、エポキシ樹脂が好ましい。
硬化剤としては、熱硬化性樹脂の種類に応じた公知の硬化剤が挙げられる。
熱可塑性樹脂としては、芳香族ポリエーテルケトン、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリアミド、ポリサルホン、ポリエーテルサルホン、ポリフェニレンサルホン、ポリフェニレンサルフィド、ポリフェニレンサルフィドサルホン、ポリフェニレンサルフィドケトン等が挙げられる。
Examples of thermosetting resins include amide resins, epoxy resins, phenol resins, amino resins, alkyd resins, urethane resins, synthetic rubbers, and ultraviolet-curing acrylate resins. As the thermosetting resin, amide resins and epoxy resins are preferable because they have excellent heat resistance.
Examples of the curing agent include known curing agents depending on the type of thermosetting resin.
Examples of the thermoplastic resin include aromatic polyetherketone, polyimide, polyamideimide, polyamide, polysulfone, polyethersulfone, polyphenylene sulfone, polyphenylene sulfide, polyphenylene sulfide sulfone, and polyphenylene sulfide ketone.

絶縁樹脂層10は、プリント配線板のプリント回路を隠蔽したり、電磁波シールドフィルム付きプリント配線板に意匠性を付与したりするために、着色剤(顔料、染料等)およびフィラーのいずれか一方または両方を含んでいてもよい。
着色剤およびフィラーのいずれか一方または両方としては、耐候性、耐熱性、隠蔽性の点から、顔料またはフィラーが好ましく、プリント回路の隠蔽性、意匠性の点から、黒色顔料、黒色顔料と他の顔料との組み合わせ、または黒色顔料とフィラーとの組み合わせがより好ましい。
絶縁樹脂層10は、難燃剤を含んでいてもよい。
絶縁樹脂層10は、本発明の効果を損なわない範囲において、必要に応じて他の成分を含んでいてもよい。
The insulating resin layer 10 contains one or more of a colorant (pigment, dye, etc.) and a filler in order to hide the printed circuit of the printed wiring board and to add design to the printed wiring board with an electromagnetic shielding film. It may contain both.
As one or both of the colorant and filler, pigments or fillers are preferable from the viewpoint of weather resistance, heat resistance, and hiding properties, and from the viewpoint of hiding properties of printed circuits and design, black pigments, black pigments, and others are preferable. A combination with a pigment or a combination of a black pigment and a filler is more preferable.
The insulating resin layer 10 may contain a flame retardant.
The insulating resin layer 10 may contain other components as necessary within a range that does not impair the effects of the present invention.

絶縁樹脂層10の表面抵抗は、電気的絶縁性の点から、1×10Ω/□以上が好ましい。絶縁樹脂層10の表面抵抗は、実用上の点から、1×1019Ω/□以下が好ましい。
絶縁樹脂層10の厚さは、0.1μm以上30μm以下が好ましく、0.5μm以上20μm以下がより好ましい。絶縁樹脂層10の厚さが前記範囲の下限値以上であれば、絶縁樹脂層10が保護層としての機能を十分に発揮できる。絶縁樹脂層10の厚さが前記範囲の上限値以下であれば、電磁波シールドフィルム1を薄くできる。
The surface resistance of the insulating resin layer 10 is preferably 1×10 6 Ω/□ or more from the viewpoint of electrical insulation. From a practical point of view, the surface resistance of the insulating resin layer 10 is preferably 1×10 19 Ω/□ or less.
The thickness of the insulating resin layer 10 is preferably 0.1 μm or more and 30 μm or less, more preferably 0.5 μm or more and 20 μm or less. If the thickness of the insulating resin layer 10 is at least the lower limit of the above range, the insulating resin layer 10 can fully exhibit its function as a protective layer. If the thickness of the insulating resin layer 10 is less than or equal to the upper limit of the above range, the electromagnetic shielding film 1 can be made thinner.

(導電層)
導電層20は、絶縁樹脂層10に隣接する金属薄膜層22と、離型フィルム40に隣接する異方導電性接着剤層24とを有するため、電磁波遮蔽性が十分に高い。
(conductive layer)
Since the conductive layer 20 includes the metal thin film layer 22 adjacent to the insulating resin layer 10 and the anisotropically conductive adhesive layer 24 adjacent to the release film 40, the electromagnetic wave shielding property is sufficiently high.

金属薄膜層:
金属薄膜層22は、金属の薄膜からなる層である。金属薄膜層22は、面方向に広がるように形成されていることから、面方向に導電性を有し、電磁波シールド層等として機能する。
Metal thin film layer:
The metal thin film layer 22 is a layer made of a metal thin film. Since the metal thin film layer 22 is formed so as to spread in the plane direction, it has conductivity in the plane direction and functions as an electromagnetic shielding layer or the like.

金属薄膜層22としては、物理蒸着(真空蒸着、スパッタリング、イオンビーム蒸着、電子ビーム蒸着等)またはCVD(化学気相蒸着)によって形成された蒸着膜、めっきによって形成されためっき膜、金属箔等が挙げられる。面方向の導電性に優れる点では、金属薄膜層22は、蒸着膜、めっき膜が好ましい。金属薄膜層22を薄くでき、かつ厚さが薄くても面方向の導電性に優れ、ドライプロセスにて簡便に形成できる点では、金属薄膜層22は蒸着膜がより好ましく、物理蒸着による蒸着膜がさらに好ましい。 As the metal thin film layer 22, a vapor deposited film formed by physical vapor deposition (vacuum vapor deposition, sputtering, ion beam vapor deposition, electron beam vapor deposition, etc.) or CVD (chemical vapor deposition), a plated film formed by plating, metal foil, etc. can be mentioned. In terms of superior in-plane conductivity, the metal thin film layer 22 is preferably a vapor deposited film or a plated film. A vapor deposited film is more preferable for the metal thin film layer 22 in that the metal thin film layer 22 can be made thin, has excellent in-plane conductivity even if it is thin, and can be easily formed by a dry process, and a vapor deposited film by physical vapor deposition. is even more preferable.

金属薄膜層22を構成する金属としては、アルミニウム、銀、銅、金、導電性セラミックス等が挙げられ、電気伝導度の点からは、銀または銅が好ましい。
金属薄膜層22のなかでも、電磁波遮蔽性が高く、しかも金属薄膜を容易に形成しやすいことから、金属蒸着層が好ましく、銀蒸着層または銅蒸着層がより好ましい。
Examples of the metal constituting the metal thin film layer 22 include aluminum, silver, copper, gold, and conductive ceramics, with silver or copper being preferred from the viewpoint of electrical conductivity.
Among the metal thin film layers 22, a metal vapor deposition layer is preferable, and a silver vapor deposition layer or a copper vapor deposition layer is more preferable, since it has a high electromagnetic wave shielding property and can easily form a metal thin film.

金属薄膜層22の表面抵抗は、0.001Ω/□以上1Ω/□以下が好ましく、0.001Ω/□以上0.5Ω/□以下がより好ましい。金属薄膜層22の表面抵抗が前記範囲の下限値以上であれば、金属薄膜層22を十分に薄くできる。金属薄膜層22の表面抵抗が前記範囲の上限値以下であれば、電磁波シールド層として十分に機能できる。 The surface resistance of the metal thin film layer 22 is preferably from 0.001 Ω/□ to 1 Ω/□, more preferably from 0.001 Ω/□ to 0.5 Ω/□. If the surface resistance of the metal thin film layer 22 is at least the lower limit of the above range, the metal thin film layer 22 can be made sufficiently thin. If the surface resistance of the metal thin film layer 22 is below the upper limit of the above range, it can fully function as an electromagnetic shielding layer.

金属薄膜層22の厚さは、0.01μm以上5μm以下が好ましく、0.05μm以上3μm以下がより好ましい。金属薄膜層22の厚さが0.01μm以上であれば、面方向の導電性がさらに良好になる。金属薄膜層22の厚さが0.05μm以上であれば、電磁波ノイズの遮蔽効果がさらに良好になる。金属薄膜層22の厚さが前記範囲の上限値以下であれば、電磁波シールドフィルム1を薄くできる。また、電磁波シールドフィルム1の生産性、可とう性がよくなる。 The thickness of the metal thin film layer 22 is preferably 0.01 μm or more and 5 μm or less, more preferably 0.05 μm or more and 3 μm or less. If the thickness of the metal thin film layer 22 is 0.01 μm or more, the conductivity in the plane direction will be even better. If the thickness of the metal thin film layer 22 is 0.05 μm or more, the electromagnetic noise shielding effect will be even better. If the thickness of the metal thin film layer 22 is less than or equal to the upper limit of the above range, the electromagnetic shielding film 1 can be made thinner. Moreover, the productivity and flexibility of the electromagnetic shielding film 1 are improved.

異方導電性接着剤層:
異方導電性接着剤層24は、厚さ方向に導電性を有し、面方向には導電性を有さず、かつ、接着性を有する。
異方導電性接着剤層24は、導電性接着剤層を容易に薄くでき、後述する導電性粒子の量を少なくでき、その結果、電磁波シールドフィルム1を薄くでき、電磁波シールドフィルム1の可とう性が高くなる利点を有する。
Anisotropic conductive adhesive layer:
The anisotropically conductive adhesive layer 24 has conductivity in the thickness direction, has no conductivity in the surface direction, and has adhesive properties.
The anisotropic conductive adhesive layer 24 allows the conductive adhesive layer to be easily made thinner and the amount of conductive particles (described later) to be reduced.As a result, the electromagnetic shielding film 1 can be made thinner and the electromagnetic shielding film 1 can be It has the advantage of high performance.

異方導電性接着剤層24としては、硬化後に耐熱性を発揮できる点から、熱硬化性の導電性接着剤層が好ましい。熱硬化性の異方導電性接着剤層24は、未硬化の状態であってもよく、Bステージ化された状態であってもよい。
熱硬化性の異方導電性接着剤層24は、例えば、熱硬化性接着剤24aと導電性粒子24bとを含む。熱硬化性の異方導電性接着剤層24は、必要に応じて難燃剤を含んでいてもよい。
As the anisotropic conductive adhesive layer 24, a thermosetting conductive adhesive layer is preferable since it can exhibit heat resistance after curing. The thermosetting anisotropic conductive adhesive layer 24 may be in an uncured state or may be in a B-staged state.
The thermosetting anisotropically conductive adhesive layer 24 includes, for example, a thermosetting adhesive 24a and conductive particles 24b. The thermosetting anisotropically conductive adhesive layer 24 may contain a flame retardant, if necessary.

熱硬化性接着剤24aとしては、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、アミノ樹脂、アルキッド樹脂、ウレタン樹脂、合成ゴム、紫外線硬化アクリレート樹脂等が挙げられる。耐熱性に優れる点から、エポキシ樹脂が好ましい。エポキシ樹脂は、可とう性付与のためのゴム成分(カルボキシ変性ニトリルゴム、アクリルゴム等)、粘着付与剤等を含んでいてもよい。
熱硬化性接着剤24aは、異方導電性接着剤層24の強度を高め、打ち抜き特性を向上させるために、セルロース樹脂、ミクロフィブリル(ガラス繊維等)を含んでいてもよい。熱硬化性接着剤24aは、本発明の効果を損なわない範囲において、必要に応じて他の成分(硬化剤等)を含んでいてもよい。
Examples of the thermosetting adhesive 24a include epoxy resin, phenol resin, amino resin, alkyd resin, urethane resin, synthetic rubber, and ultraviolet-curing acrylate resin. Epoxy resin is preferred because it has excellent heat resistance. The epoxy resin may contain a rubber component (carboxy-modified nitrile rubber, acrylic rubber, etc.) for imparting flexibility, a tackifier, and the like.
The thermosetting adhesive 24a may contain cellulose resin and microfibrils (glass fibers, etc.) in order to increase the strength of the anisotropically conductive adhesive layer 24 and improve punching characteristics. The thermosetting adhesive 24a may contain other components (curing agent, etc.) as necessary, within a range that does not impair the effects of the present invention.

導電性粒子24bとしては、金属(銀、白金、金、銅、ニッケル、パラジウム、アルミニウム、ハンダ等)の粒子、黒鉛粉、焼成カーボン粒子、めっきされた焼成カーボン粒子等が挙げられる。導電性粒子24bとしては、異方導電性接着剤層24がさらに適度の硬さを有するようになり、熱プレスの際の異方導電性接着剤層24における圧力損失をさらに低減できる点からは、金属粒子が好ましく、銅粒子がより好ましい。 Examples of the conductive particles 24b include metal particles (silver, platinum, gold, copper, nickel, palladium, aluminum, solder, etc.), graphite powder, fired carbon particles, plated fired carbon particles, and the like. As the conductive particles 24b, the anisotropically conductive adhesive layer 24 has a further appropriate hardness, and the pressure loss in the anisotropically conductive adhesive layer 24 during hot pressing can be further reduced. , metal particles are preferred, and copper particles are more preferred.

導電性粒子24bの10%圧縮強度は、30MPa以上200MPa以下が好ましく、50MPa以上150MPa以下がより好ましく、70MPa以上100MPa以下がさらに好ましい。導電性粒子24bの10%圧縮強度が前記範囲の下限値以上であれば、熱プレスの際に金属薄膜層22にかけられた圧力を大きく損失することなく、異方導電性接着剤層24が絶縁フィルムの貫通孔を通ってプリント配線板のプリント回路により確実に電気的に接続される。導電性粒子24bの10%圧縮強度が前記範囲の上限値以下であれば、金属薄膜層22との接触がよくなり、電気的接続が確実になる。 The 10% compressive strength of the conductive particles 24b is preferably 30 MPa or more and 200 MPa or less, more preferably 50 MPa or more and 150 MPa or less, and even more preferably 70 MPa or more and 100 MPa or less. If the 10% compressive strength of the conductive particles 24b is equal to or higher than the lower limit of the above range, the anisotropic conductive adhesive layer 24 can be insulated without significantly losing the pressure applied to the metal thin film layer 22 during hot pressing. Electrical connection is ensured by a printed circuit on a printed wiring board through the through hole in the film. If the 10% compressive strength of the conductive particles 24b is below the upper limit of the above range, the contact with the metal thin film layer 22 will be good and the electrical connection will be reliable.

異方導電性接着剤層24における熱硬化性接着剤24aの厚さAと導電性粒子24bの平均粒子径Bとは、1.1A≦B≦3.0Aの関係を満足する。
導電性粒子24bの平均粒子径Bが、熱硬化性接着剤24aの厚さAの1.1倍以上であれば、導電性粒子24bが金属薄膜層22に接触した状態で熱硬化性接着剤24aに埋没せずに異方導電性接着剤層24の表面に露出しやすい。そのため、絶縁フィルムの貫通孔を通ってプリント配線板のプリント回路に電磁波シールドフィルム1の異方導電性接着剤層24を接着した場合、導電性粒子24bが金属薄膜層22に接触した状態でプリント回路に接触しやすい。
導電性粒子24bの平均粒子径Bが、熱硬化性接着剤24aの厚さAの3.0倍以下であれば、絶縁フィルムの貫通孔を通ってプリント配線板のプリント回路に電磁波シールドフィルム1の異方導電性接着剤層24を接着した場合、熱硬化性接着剤24aがプリント回路に接触しやすい。
熱硬化性接着剤24aの厚さAと導電性粒子24bの平均粒子径Bとは、1.2A≦B≦2.5Aの関係を満足することが好ましい。
The thickness A of the thermosetting adhesive 24a in the anisotropic conductive adhesive layer 24 and the average particle diameter B of the conductive particles 24b satisfy the relationship of 1.1A≦B≦3.0A.
If the average particle diameter B of the conductive particles 24b is 1.1 times or more the thickness A of the thermosetting adhesive 24a, the thermosetting adhesive It is easy to be exposed on the surface of the anisotropically conductive adhesive layer 24 without being buried in the anisotropically conductive adhesive layer 24a. Therefore, when the anisotropic conductive adhesive layer 24 of the electromagnetic shielding film 1 is adhered to the printed circuit of the printed wiring board through the through-hole of the insulating film, the conductive particles 24b are printed in contact with the metal thin film layer 22. Easy to contact the circuit.
If the average particle diameter B of the conductive particles 24b is 3.0 times or less the thickness A of the thermosetting adhesive 24a, the electromagnetic shielding film 1 can pass through the through hole of the insulating film and connect to the printed circuit of the printed wiring board. When the anisotropically conductive adhesive layer 24 is bonded, the thermosetting adhesive 24a tends to come into contact with the printed circuit.
It is preferable that the thickness A of the thermosetting adhesive 24a and the average particle diameter B of the conductive particles 24b satisfy the relationship of 1.2A≦B≦2.5A.

熱硬化性接着剤24aの厚さAは、3μm以上であり、3μm以上25μm以下が好ましく、5μm以上15μm以下がより好ましい。熱硬化性接着剤24aの厚さAが前記範囲の下限値以上であれば、異方導電性接着剤層24の流動性(絶縁フィルムの貫通孔の形状への追随性)を確保でき、絶縁フィルムの貫通孔内を熱硬化性接着剤24aで十分に埋めることができる。そのため、絶縁フィルムの貫通孔を通ってプリント配線板のプリント回路に電磁波シールドフィルム1の異方導電性接着剤層24を接着した場合、熱硬化性接着剤24aがプリント回路に接触しやすい。熱硬化性接着剤24aの厚さAが前記範囲の上限値以下であれば、電磁波シールドフィルム1を薄くできる。また、電磁波シールドフィルム1の可とう性がよくなる。 The thickness A of the thermosetting adhesive 24a is 3 μm or more, preferably 3 μm or more and 25 μm or less, and more preferably 5 μm or more and 15 μm or less. If the thickness A of the thermosetting adhesive 24a is at least the lower limit of the above range, the fluidity of the anisotropically conductive adhesive layer 24 (followability to the shape of the through hole of the insulating film) can be ensured, and the insulation The inside of the through-hole of the film can be sufficiently filled with the thermosetting adhesive 24a. Therefore, when the anisotropic conductive adhesive layer 24 of the electromagnetic shielding film 1 is adhered to the printed circuit of the printed wiring board through the through hole of the insulating film, the thermosetting adhesive 24a easily comes into contact with the printed circuit. If the thickness A of the thermosetting adhesive 24a is below the upper limit of the above range, the electromagnetic shielding film 1 can be made thinner. Further, the flexibility of the electromagnetic shielding film 1 is improved.

以上のことから、熱硬化性接着剤24aの厚さAと導電性粒子24bの平均粒子径Bとが1.1A≦B≦3.0Aの関係を満足するとともに、熱硬化性接着剤24aの厚さAが3μm以上であれば、絶縁フィルム付きプリント配線板と電磁波シールドフィルム1との圧着時の圧力が低くても、絶縁フィルムの貫通孔を通ってプリント回路に異方導電性接着剤層24を確実に接着できるとともに、プリント回路に金属薄膜層22を確実に電気的に接続できる。 From the above, the thickness A of the thermosetting adhesive 24a and the average particle diameter B of the conductive particles 24b satisfy the relationship of 1.1A≦B≦3.0A, and the thickness of the thermosetting adhesive 24a If the thickness A is 3 μm or more, even if the pressure is low when the printed wiring board with insulating film and the electromagnetic shielding film 1 are bonded together, the anisotropic conductive adhesive layer will pass through the through hole of the insulating film and attach to the printed circuit. 24 can be reliably bonded, and the metal thin film layer 22 can be reliably electrically connected to the printed circuit.

異方導電性接着剤層24における導電性粒子24bの平均粒子径Bは、3.6μm以上62.5μm以下が好ましく、6μm以上37.5μm以下がより好ましい。導電性粒子24bの平均粒子径Bが前記範囲の下限値以上であれば、熱硬化性接着剤24aの厚さAを確保することができ、十分な接着強度を得ることができる。導電性粒子24bの平均粒子径が前記範囲の上限値以下であれば、異方導電性接着剤層24の流動性を確保でき、後述するように異方導電性接着剤層24を絶縁フィルムの貫通孔に押し込んだ際に絶縁フィルムの貫通孔内を導電性接着剤で十分に埋めることができる。 The average particle diameter B of the conductive particles 24b in the anisotropic conductive adhesive layer 24 is preferably 3.6 μm or more and 62.5 μm or less, more preferably 6 μm or more and 37.5 μm or less. If the average particle diameter B of the conductive particles 24b is equal to or larger than the lower limit of the above range, the thickness A of the thermosetting adhesive 24a can be ensured, and sufficient adhesive strength can be obtained. If the average particle diameter of the conductive particles 24b is below the upper limit of the above range, the fluidity of the anisotropically conductive adhesive layer 24 can be ensured, and as described later, the anisotropically conductive adhesive layer 24 can be bonded to an insulating film. When pushed into the through hole, the inside of the through hole of the insulating film can be sufficiently filled with the conductive adhesive.

異方導電性接着剤層24における導電性粒子24bの割合は、異方導電性接着剤層24の100体積%のうち、5質量%以上50質量%以下が好ましい。導電性粒子24bの割合が前記範囲の下限値以上であれば、異方導電性接着剤層24の導電性が良好になり、プリント回路に金属薄膜層22をより確実に電気的に接続できる。導電性粒子24bの割合が前記範囲の上限値以下であれば、異方導電性接着剤層24の接着性、流動性(絶縁フィルムの貫通孔の形状への追随性)が良好になる。また、電磁波シールドフィルム1の可とう性がよくなる。 The proportion of the conductive particles 24b in the anisotropically conductive adhesive layer 24 is preferably 5% by mass or more and 50% by mass or less out of 100% by volume of the anisotropically conductive adhesive layer 24. If the proportion of the conductive particles 24b is at least the lower limit of the above range, the anisotropically conductive adhesive layer 24 will have good conductivity, and the metal thin film layer 22 can be electrically connected to the printed circuit more reliably. If the proportion of the conductive particles 24b is below the upper limit of the above range, the adhesiveness and fluidity (followability to the shape of the through hole of the insulating film) of the anisotropic conductive adhesive layer 24 will be good. Further, the flexibility of the electromagnetic shielding film 1 is improved.

異方導電性接着剤層24の180℃における貯蔵弾性率は、1×10Pa以上5×10Pa以下が好ましく、5×10Pa以上1×10Pa以下がより好ましい。異方導電性接着剤層24の180℃における貯蔵弾性率が前記範囲の下限値以上であれば、異方導電性接着剤層24がさらに適度な硬さを有するようになり、熱プレスの際の異方導電性接着剤層24における圧力損失を低減できる。その結果、異方導電性接着剤層24が絶縁フィルムの貫通孔を通ってプリント配線板のプリント回路により確実に接着されるとともに、プリント回路に金属薄膜層22がより確実に電気的に接続される。異方導電性接着剤層24の180℃における貯蔵弾性率が前記範囲の上限値以下であれば、電磁波シールドフィルム1の可とう性がよくなる。その結果、電磁波シールドフィルム1が絶縁フィルムの貫通孔内に沈み込みやすくなり、異方導電性接着剤層24が絶縁フィルムの貫通孔を通ってプリント配線板のプリント回路により確実に接着されるとともに、プリント回路に金属薄膜層22がより確実に電気的に接続される。 The storage modulus of the anisotropic conductive adhesive layer 24 at 180° C. is preferably 1×10 3 Pa or more and 5×10 7 Pa or less, more preferably 5×10 3 Pa or more and 1×10 7 Pa or less. If the storage elastic modulus of the anisotropically conductive adhesive layer 24 at 180° C. is equal to or higher than the lower limit of the above range, the anisotropically conductive adhesive layer 24 will have a more appropriate hardness, and will be difficult to heat during hot pressing. The pressure loss in the anisotropically conductive adhesive layer 24 can be reduced. As a result, the anisotropically conductive adhesive layer 24 is reliably bonded to the printed circuit of the printed wiring board through the through hole of the insulating film, and the metal thin film layer 22 is electrically connected to the printed circuit more reliably. Ru. If the storage elastic modulus at 180° C. of the anisotropically conductive adhesive layer 24 is below the upper limit of the above range, the flexibility of the electromagnetic shielding film 1 will be improved. As a result, the electromagnetic shielding film 1 easily sinks into the through-hole of the insulating film, and the anisotropically conductive adhesive layer 24 passes through the through-hole of the insulating film and is reliably bonded to the printed circuit of the printed wiring board. , the metal thin film layer 22 is electrically connected to the printed circuit more reliably.

異方導電性接着剤層24の表面抵抗は、1×10Ω/□以上1×1016Ω/□以下が好ましく、1×10Ω/□以上1×1014Ω/□以下がより好ましい。異方導電性接着剤層24の表面抵抗が前記範囲の下限値以上であれば、導電性粒子24bの含有量が低く抑えられる。異方導電性接着剤層24の表面抵抗が前記範囲の上限値以下であれば、実用上、異方性に問題がない。 The surface resistance of the anisotropic conductive adhesive layer 24 is preferably 1×10 4 Ω/□ or more and 1×10 16 Ω/□ or less, more preferably 1×10 6 Ω/□ or more and 1×10 14 Ω/□ or less. preferable. If the surface resistance of the anisotropically conductive adhesive layer 24 is at least the lower limit of the above range, the content of the conductive particles 24b can be kept low. As long as the surface resistance of the anisotropically conductive adhesive layer 24 is less than or equal to the upper limit of the above range, there is no practical problem with anisotropy.

(キャリアフィルム)
キャリアフィルム30は、絶縁樹脂層10および導電層20を補強および保護する支持体であり、電磁波シールドフィルム1のハンドリング性を良好にする。特に、絶縁樹脂層10として、薄いフィルム、具体的には厚さ3μm以上10μm以下のフィルムを用いた場合には、キャリアフィルム30を有することによって、絶縁樹脂層10の破断を防ぐことができる。
キャリアフィルム30は、電磁波シールドフィルム1をプリント配線板等に貼り付けた後には、絶縁樹脂層10から剥離される。
(carrier film)
The carrier film 30 is a support that reinforces and protects the insulating resin layer 10 and the conductive layer 20, and improves the handling properties of the electromagnetic shielding film 1. In particular, when a thin film, specifically a film with a thickness of 3 μm or more and 10 μm or less, is used as the insulating resin layer 10, the insulating resin layer 10 can be prevented from breaking by having the carrier film 30.
The carrier film 30 is peeled off from the insulating resin layer 10 after the electromagnetic shielding film 1 is attached to a printed wiring board or the like.

本実施形態において使用されるキャリアフィルム30は、キャリアフィルム本体32と、キャリアフィルム本体32の絶縁樹脂層10側の表面に設けられた離型剤層34とを有する。 The carrier film 30 used in this embodiment has a carrier film main body 32 and a mold release agent layer 34 provided on the surface of the carrier film main body 32 on the insulating resin layer 10 side.

キャリアフィルム本体32の樹脂材料としては、ポリエチレンテレフタレート(以下、「PET」ということもある。)、ポリエチレンナフタレート、ポリエチレンイソフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリオレフィン、ポリアセテート、ポリカーボネート、ポリフェニレンサルファイド、ポリアミド、エチレン-酢酸ビニル共重合体、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、合成ゴム、液晶ポリマー等が挙げられる。樹脂材料としては、電磁波シールドフィルム1を製造する際の耐熱性(寸法安定性)および価格の点から、PETが好ましい。 Examples of resin materials for the carrier film body 32 include polyethylene terephthalate (hereinafter also referred to as "PET"), polyethylene naphthalate, polyethylene isophthalate, polybutylene terephthalate, polyolefin, polyacetate, polycarbonate, polyphenylene sulfide, polyamide, and ethylene. - Vinyl acetate copolymer, polyvinyl chloride, polyvinylidene chloride, synthetic rubber, liquid crystal polymer, etc. As the resin material, PET is preferable from the viewpoint of heat resistance (dimensional stability) and cost when manufacturing the electromagnetic shielding film 1.

キャリアフィルム本体32は、着色剤(顔料、染料等)およびフィラーのいずれか一方または両方を含んでいてもよい。
着色剤およびフィラーのいずれか一方または両方としては、絶縁樹脂層10と明確に区別でき、熱プレスした後にキャリアフィルム30の剥がし残しに気が付きやすい点から、絶縁樹脂層10とは異なる色のものが好ましく、白色顔料、フィラー、白色顔料と他の顔料の組み合わせ、または白色顔料とフィラーとの組み合わせがより好ましい。
The carrier film main body 32 may contain one or both of a colorant (pigment, dye, etc.) and a filler.
As the coloring agent and/or filler, one of a color different from that of the insulating resin layer 10 is used because it can be clearly distinguished from the insulating resin layer 10 and it is easy to notice that the carrier film 30 remains unpeeled after hot pressing. Preferably, a white pigment, a filler, a combination of a white pigment and another pigment, or a combination of a white pigment and a filler is more preferable.

キャリアフィルム本体32の180℃における貯蔵弾性率は、8×10Pa以上5×10Paが好ましく、1×10Pa以上8×10Paがより好ましい。キャリアフィルム本体32の180℃における貯蔵弾性率が前記範囲の下限値以上であれば、キャリアフィルム30が適度の硬さを有するようになり、熱プレスの際のキャリアフィルム30における圧力損失を低減できる。キャリアフィルム本体32の180℃における貯蔵弾性率が前記範囲の上限値以下であれば、キャリアフィルム30の柔軟性が良好となる。 The storage elastic modulus of the carrier film main body 32 at 180° C. is preferably 8×10 7 Pa or more and 5×10 9 Pa, and more preferably 1×10 8 Pa or more and 8×10 8 Pa. If the storage elastic modulus of the carrier film body 32 at 180° C. is equal to or higher than the lower limit of the above range, the carrier film 30 will have appropriate hardness, and the pressure loss in the carrier film 30 during hot pressing can be reduced. . If the storage elastic modulus of the carrier film body 32 at 180° C. is less than or equal to the upper limit of the above range, the flexibility of the carrier film 30 will be good.

キャリアフィルム本体32の厚さは、3μm以上75μm以下が好ましく、12μm以上50μm以下がより好ましい。キャリアフィルム本体32の厚さが前記範囲の下限値以上であれば、電磁波シールドフィルム1のハンドリング性が良好となる。キャリアフィルム本体32の厚さが前記範囲の上限値以下であれば、絶縁フィルムの表面に電磁波シールドフィルム1の異方導電性接着剤層24を熱プレスする際に異方導電性接着剤層24に熱が伝わりやすい。 The thickness of the carrier film main body 32 is preferably 3 μm or more and 75 μm or less, more preferably 12 μm or more and 50 μm or less. If the thickness of the carrier film main body 32 is at least the lower limit of the above range, the handling properties of the electromagnetic shielding film 1 will be good. If the thickness of the carrier film main body 32 is below the upper limit of the above range, the anisotropically conductive adhesive layer 24 of the electromagnetic shielding film 1 is hot-pressed on the surface of the insulating film. Heat is easily transferred to.

離型剤層34は、キャリアフィルム本体32の表面を離型剤で処理して形成される。キャリアフィルム40が離型剤層34を有することによって、キャリアフィルム40を絶縁樹脂層10から剥離する際に、キャリアフィルム40を剥離しやすく、絶縁樹脂層10が破断しにくくなる。
離型剤としては、公知の離型剤を用いればよい。
The mold release agent layer 34 is formed by treating the surface of the carrier film body 32 with a mold release agent. By having the release agent layer 34 in the carrier film 40, when the carrier film 40 is peeled off from the insulating resin layer 10, the carrier film 40 can be easily peeled off, and the insulating resin layer 10 can be difficult to break.
As the mold release agent, any known mold release agent may be used.

離型剤層34の厚さは、0.05μm以上30μm以下が好ましく、0.1μm以上20μm以下がより好ましい。離型剤層34の厚さが前記範囲内であれば、キャリアフィルム30をさらに剥離しやすくなる。 The thickness of the release agent layer 34 is preferably 0.05 μm or more and 30 μm or less, more preferably 0.1 μm or more and 20 μm or less. If the thickness of the release agent layer 34 is within the above range, the carrier film 30 can be further easily peeled off.

キャリアフィルム30の厚さは、25μm以上125μm以下が好ましく、38μm以上100μm以下がより好ましい。キャリアフィルム30の厚さが前記範囲の下限値以上であれば、電磁波シールドフィルム1のハンドリング性が良好となる。キャリアフィルム30の厚さが前記範囲の上限値以下であれば、絶縁フィルムの表面に電磁波シールドフィルム1の異方導電性接着剤層24を熱プレスする際に異方導電性接着剤層24に熱が伝わりやすい。 The thickness of the carrier film 30 is preferably 25 μm or more and 125 μm or less, more preferably 38 μm or more and 100 μm or less. If the thickness of the carrier film 30 is at least the lower limit of the above range, the electromagnetic shielding film 1 will have good handling properties. If the thickness of the carrier film 30 is less than or equal to the upper limit of the above range, when the anisotropically conductive adhesive layer 24 of the electromagnetic shielding film 1 is hot-pressed on the surface of the insulating film, the anisotropically conductive adhesive layer 24 Heat is easily transmitted.

(離型フィルム)
離型フィルム40は、異方導電性接着剤層24を保護するものであり、電磁波シールドフィルム1のハンドリング性を良好にする。離型フィルム40は、電磁波シールドフィルム1をプリント配線板等に貼り付ける前に、異方導電性接着剤層24から剥離される。
(Release film)
The release film 40 protects the anisotropic conductive adhesive layer 24 and improves the handling properties of the electromagnetic shielding film 1. The release film 40 is peeled off from the anisotropically conductive adhesive layer 24 before the electromagnetic shielding film 1 is attached to a printed wiring board or the like.

離型フィルム40は、例えば、離型フィルム本体42と、離型フィルム本体42の異方導電性接着剤層24側の表面に設けられた離型剤層44とを有する。 The release film 40 includes, for example, a release film body 42 and a release agent layer 44 provided on the surface of the release film body 42 on the anisotropically conductive adhesive layer 24 side.

離型フィルム本体42の樹脂材料としては、キャリアフィルム本体32の樹脂材料と同様なものが挙げられる。
離型フィルム本体42は、着色剤、フィラー等を含んでいてもよい。
離型フィルム本体42の厚さは、5μm以上500μm以下が好ましく、10μm以上150μm以下がより好ましく、25μm以上100μm以下がさらに好ましい。
Examples of the resin material for the release film body 42 include those similar to the resin material for the carrier film body 32.
The release film body 42 may contain a colorant, a filler, and the like.
The thickness of the release film body 42 is preferably 5 μm or more and 500 μm or less, more preferably 10 μm or more and 150 μm or less, and even more preferably 25 μm or more and 100 μm or less.

離型剤層44は、離型フィルム本体42の表面を離型剤で処理して形成される。離型フィルム40が離型剤層44を有することによって、離型フィルム40を異方導電性接着剤層24から剥離する際に、離型フィルム40を剥離しやすく、異方導電性接着剤層24が破断しにくくなる。
離型剤としては、公知の離型剤を用いればよい。
The release agent layer 44 is formed by treating the surface of the release film body 42 with a release agent. Since the release film 40 has the release agent layer 44, when the release film 40 is peeled off from the anisotropic conductive adhesive layer 24, the release film 40 can be easily peeled off, and the anisotropic conductive adhesive layer 24 becomes difficult to break.
As the mold release agent, any known mold release agent may be used.

離型剤層44の厚さは、0.05μm以上30μm以下が好ましく、0.1μm以上20μm以下がより好ましい。離型剤層44の厚さが前記範囲内であれば、離型フィルム40をさらに剥離しやすくなる。 The thickness of the release agent layer 44 is preferably 0.05 μm or more and 30 μm or less, more preferably 0.1 μm or more and 20 μm or less. If the thickness of the release agent layer 44 is within the above range, the release film 40 will be easier to peel off.

(電磁波シールドフィルムの製造方法)
電磁波シールドフィルム1を製造する方法としては、下記の方法(A1)または方法(A2)が挙げられる。
(Method for manufacturing electromagnetic shielding film)
Examples of the method for manufacturing the electromagnetic shielding film 1 include the following method (A1) or method (A2).

方法(A1)は、下記の工程(A1-1)~(A1-4)を有する方法である。
工程(A1-1):キャリアフィルム30の片面に絶縁樹脂層10を形成する工程。
工程(A1-2):絶縁樹脂層10のキャリアフィルム30とは反対側の面に金属薄膜層22を形成する工程。
工程(A1-3):金属薄膜層22の絶縁樹脂層10とは反対側の面に異方導電性接着剤層24を形成する工程。
工程(A1-4):異方導電性接着剤層24の金属薄膜層22とは反対側の面に離型フィルム40を積層する工程。
以下、方法(A1)の各工程について詳細に説明する。
Method (A1) is a method having the following steps (A1-1) to (A1-4).
Step (A1-1): Step of forming the insulating resin layer 10 on one side of the carrier film 30.
Step (A1-2): A step of forming a metal thin film layer 22 on the surface of the insulating resin layer 10 opposite to the carrier film 30.
Step (A1-3): Step of forming an anisotropic conductive adhesive layer 24 on the surface of the metal thin film layer 22 opposite to the insulating resin layer 10.
Step (A1-4): A step of laminating a release film 40 on the surface of the anisotropically conductive adhesive layer 24 opposite to the metal thin film layer 22.
Each step of method (A1) will be described in detail below.

工程(A1-1)における絶縁樹脂層10の形成方法としては、例えば、下記の方法が挙げられる。
・キャリアフィルム30の離型剤層34側の面に、熱硬化性樹脂と硬化剤とを含む塗料を塗布し、半硬化または硬化させる方法。
・キャリアフィルム30の離型剤層34側の面に、熱可塑性樹脂を含む塗料を塗布し、乾燥させる方法。
・キャリアフィルム30の離型剤層34側の面に、熱可塑性樹脂を含む組成物を押出成形により成形したフィルムを直接積層する方法。
これらの方法のなかでも、はんだ付け等の際の耐熱性の点から、キャリアフィルム30の離型剤層34側の面に、熱硬化性樹脂と硬化剤とを含む塗料を塗布し、半硬化または硬化させる方法が好ましい。
塗料の塗布方法としては、例えば、ダイコーター、グラビアコーター、ロールコーター、カーテンフローコーター、スピンコーター、バーコーター、リバースコーター、キスコーター、ファウンテンコーター、ロッドコーター、エアドクターコーター、ナイフコーター、ブレードコーター、キャストコーター、スクリーンコーター等の各種コーターを用いた方法を適用することができる。
熱硬化性樹脂を半硬化または硬化させる際には、ヒータ、赤外線ランプ等の加熱器を用いて加熱すればよい。
Examples of the method for forming the insulating resin layer 10 in step (A1-1) include the following method.
- A method of applying a paint containing a thermosetting resin and a curing agent to the surface of the carrier film 30 on the mold release agent layer 34 side and semi-curing or curing it.
- A method of applying a paint containing a thermoplastic resin to the surface of the carrier film 30 on the side of the mold release agent layer 34 and drying it.
- A method in which a film formed by extrusion molding a composition containing a thermoplastic resin is directly laminated on the surface of the carrier film 30 on the mold release agent layer 34 side.
Among these methods, from the viewpoint of heat resistance during soldering etc., a paint containing a thermosetting resin and a curing agent is applied to the surface of the carrier film 30 on the side of the mold release agent layer 34, and semi-cured. Alternatively, a method of curing is preferred.
Examples of paint application methods include die coater, gravure coater, roll coater, curtain flow coater, spin coater, bar coater, reverse coater, kiss coater, fountain coater, rod coater, air doctor coater, knife coater, blade coater, and casting. Methods using various coaters such as coaters and screen coaters can be applied.
When semi-curing or curing the thermosetting resin, it may be heated using a heater such as a heater or an infrared lamp.

工程(A1-2)における金属薄膜層の形成方法としては、物理蒸着、CVD(化学気相蒸着)によって蒸着膜を形成する方法、めっきによってめっき膜を形成する方法、金属箔を貼り付ける方法等が挙げられる。面方向の導電性に優れる金属薄膜層を形成できる点から、物理蒸着、CVDによって蒸着膜を形成する方法、またはめっきによってめっき膜を形成する方法が好ましい。金属薄膜層の厚さを薄くでき、かつ厚さが薄くても面方向の導電性に優れる金属薄膜層を形成でき、ドライプロセスにて簡便に金属薄膜層を形成できる点から、物理蒸着、CVDによって蒸着膜を形成する方法がより好ましく、物理蒸着によって蒸着膜を形成する方法がさらに好ましい。 Methods for forming the metal thin film layer in step (A1-2) include physical vapor deposition, a method of forming a vapor deposited film by CVD (chemical vapor deposition), a method of forming a plated film by plating, a method of pasting metal foil, etc. can be mentioned. A method of forming a vapor deposited film by physical vapor deposition or CVD, or a method of forming a plated film by plating is preferred from the viewpoint of forming a metal thin film layer having excellent in-plane conductivity. Physical vapor deposition, CVD, etc. can be used because the thickness of the metal thin film layer can be reduced, the metal thin film layer can be formed with excellent in-plane conductivity even if the thickness is thin, and the metal thin film layer can be easily formed using a dry process. A method of forming a vapor deposited film by physical vapor deposition is more preferable, and a method of forming a vapor deposited film by physical vapor deposition is even more preferable.

工程(A1-3)では、金属薄膜層22の絶縁樹脂層10とは反対側の面に、導電性接着剤塗料を塗布する。
導電性接着剤塗料は、熱硬化性接着剤24aと導電性粒子24bと溶剤とを含む。
導電性接着剤塗料に含まれる溶剤としては、エステル(酢酸ブチル、酢酸エチル、酢酸メチル、酢酸イソプロピル、エチレングリコールモノアセテート等)、ケトン(メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、アセトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン等)、アルコール(メタノール、エタノール、イソプロパノール、ブタノール、プロピレングリールモノメチルエーテル、プロピレングルコール等)等が挙げられる。
導電性接着剤塗料の塗布方法としては、例えば、ダイコーター、グラビアコーター、ロールコーター、カーテンフローコーター、スピンコーター、バーコーター、リバースコーター、キスコーター、ファウンテンコーター、ロッドコーター、エアドクターコーター、ナイフコーター、ブレードコーター、キャストコーター、スクリーンコーター等の各種コーターを用いた方法を適用することができる。
塗布した導電性接着剤塗料より溶剤を揮発させることにより、異方導電性接着剤層24を形成する。
In step (A1-3), a conductive adhesive paint is applied to the surface of the metal thin film layer 22 opposite to the insulating resin layer 10.
The conductive adhesive paint includes a thermosetting adhesive 24a, conductive particles 24b, and a solvent.
Solvents contained in conductive adhesive paints include esters (butyl acetate, ethyl acetate, methyl acetate, isopropyl acetate, ethylene glycol monoacetate, etc.), ketones (methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, acetone, methyl isobutyl ketone, cyclohexanone, etc.) , alcohols (methanol, ethanol, isopropanol, butanol, propylene glycyl monomethyl ether, propylene glycol, etc.).
Examples of the method for applying the conductive adhesive paint include a die coater, gravure coater, roll coater, curtain flow coater, spin coater, bar coater, reverse coater, kiss coater, fountain coater, rod coater, air doctor coater, knife coater, Methods using various coaters such as a blade coater, cast coater, and screen coater can be applied.
The anisotropic conductive adhesive layer 24 is formed by volatilizing the solvent from the applied conductive adhesive paint.

工程(A1-4)では、離型フィルム40を、異方導電性接着剤層24の金属薄膜層22とは反対側の面に、離型剤層44が異方導電性接着剤層24に接するように積層する。
離型フィルム40を異方導電性接着剤層24に積層した後には、キャリアフィルム30、絶縁樹脂層10、金属薄膜層22、異方導電性接着剤層24および離型フィルム40からなる積層体に、各層同士の密着性を高めるための加圧処理を施してもよい。
加圧処理における圧力としては、0.1kPa以上100kPa以下が好ましく、0.1kPa以上20kPa以下がより好ましく、1kPa以上10kPa以下がさらに好ましい。
加圧処理と同時に加熱してもよい。その際の加熱温度としては50℃以上100℃以下が好ましい。
In step (A1-4), a release film 40 is placed on the surface of the anisotropic conductive adhesive layer 24 opposite to the metal thin film layer 22, and a release agent layer 44 is placed on the anisotropic conductive adhesive layer 24. Stack them so that they touch each other.
After laminating the release film 40 on the anisotropic conductive adhesive layer 24, a laminate consisting of the carrier film 30, the insulating resin layer 10, the metal thin film layer 22, the anisotropic conductive adhesive layer 24, and the release film 40 is formed. In addition, pressure treatment may be applied to increase the adhesion between each layer.
The pressure in the pressure treatment is preferably 0.1 kPa or more and 100 kPa or less, more preferably 0.1 kPa or more and 20 kPa or less, and even more preferably 1 kPa or more and 10 kPa or less.
Heating may be performed simultaneously with the pressure treatment. The heating temperature at that time is preferably 50°C or more and 100°C or less.

方法(A2)は、下記の工程(A2-1)~(A2-4)を有する方法である。
工程(A2-1):キャリアフィルム30の片面に絶縁樹脂層10を形成する工程。
工程(A2-2):絶縁樹脂層10のキャリアフィルム30とは反対側の面に金属薄膜層22を形成して積層体Iを得る工程。
工程(A2-3):離型フィルム40の片面に異方導電性接着剤層24を形成して積層体IIを得る工程。
工程(A2-4):積層体Iと積層体IIとを、積層体Iの金属薄膜層22と積層体IIの異方導電性接着剤層24とが接するように貼り合せる工程。
Method (A2) is a method having the following steps (A2-1) to (A2-4).
Step (A2-1): Step of forming the insulating resin layer 10 on one side of the carrier film 30.
Step (A2-2): Step of forming the metal thin film layer 22 on the surface of the insulating resin layer 10 opposite to the carrier film 30 to obtain the laminate I.
Step (A2-3): Step of forming an anisotropically conductive adhesive layer 24 on one side of the release film 40 to obtain a laminate II.
Step (A2-4): A step of bonding the laminate I and the laminate II so that the metal thin film layer 22 of the laminate I and the anisotropically conductive adhesive layer 24 of the laminate II are in contact with each other.

工程(A2-1)および工程(A2-2)は、前記方法(A1)における工程(A1-1)および工程(A1-2)と同様である。 Step (A2-1) and step (A2-2) are the same as step (A1-1) and step (A1-2) in the method (A1).

工程(A2-3)では、離型フィルム40の離型剤層44が設けられた面に導電性接着剤塗料を塗布する。塗布した導電性接着剤塗料より溶剤を揮発させることにより、異方導電性接着剤層24を形成する。導電性接着剤塗料および塗布方法は、前記方法(A1)における工程(A1-3)と同様である。 In step (A2-3), a conductive adhesive paint is applied to the surface of the release film 40 on which the release agent layer 44 is provided. The anisotropic conductive adhesive layer 24 is formed by volatilizing the solvent from the applied conductive adhesive paint. The conductive adhesive paint and the application method are the same as the step (A1-3) in the method (A1).

工程(A2-4)における積層体Iと積層体IIとの貼り合せでは、積層体Iと積層体IIとの密着性を高めるための加圧処理を施してもよい。加圧条件は、工程(A1-4)における加圧処理と同様である。また、工程(A2-4)においても、工程(A1-4)と同様に加熱してもよい。 In the bonding of the laminate I and the laminate II in step (A2-4), a pressure treatment may be applied to increase the adhesion between the laminate I and the laminate II. The pressurizing conditions are the same as the pressurizing treatment in step (A1-4). Also, in step (A2-4), heating may be performed in the same manner as in step (A1-4).

(他の実施形態)
本態様の電磁波シールドフィルムは、絶縁樹脂層と、金属薄膜層と、接着剤および導電性粒子を含む異方導電性接着剤層とを順に有し、異方導電性接着剤層における接着剤の厚さAと導電性粒子の平均粒子径Bとが1.1A≦B≦3.0Aの関係を満足し、接着剤の厚さAが3μm以上であるものであればよく、図示例の実施形態に限定されない。
例えば、絶縁樹脂層10が十分な柔軟性や強度を有する場合は、キャリアフィルム30を省略しても構わない。
異方導電性接着剤層24の表面の粘着力が小さい場合には、離型フィルム40を省略しても構わない。
キャリアフィルム30は、キャリアフィルム本体32のみで十分な離型性を有する場合には、離型剤層34を有しなくてもよい。
離型フィルム40は、離型フィルム本体42のみで十分な離型性を有する場合は、離型剤層44を有しなくてもよい。
(Other embodiments)
The electromagnetic wave shielding film of this embodiment has an insulating resin layer, a metal thin film layer, and an anisotropically conductive adhesive layer containing an adhesive and conductive particles in this order. It is sufficient that the thickness A and the average particle diameter B of the conductive particles satisfy the relationship of 1.1A≦B≦3.0A, and the thickness A of the adhesive is 3 μm or more. Not limited to form.
For example, if the insulating resin layer 10 has sufficient flexibility and strength, the carrier film 30 may be omitted.
If the adhesive force of the surface of the anisotropically conductive adhesive layer 24 is low, the release film 40 may be omitted.
The carrier film 30 does not need to have the release agent layer 34 when the carrier film main body 32 alone has sufficient mold release properties.
The release film 40 does not need to have the release agent layer 44 if the release film body 42 alone has sufficient release properties.

<電磁波シールドフィルム付きプリント配線板>
本発明の第2の態様は、基板の少なくとも片面にプリント回路が設けられたプリント配線板と、プリント配線板のプリント回路が設けられた側の表面に隣接する絶縁フィルムと、異方導電性接着剤層が絶縁フィルムに隣接し、かつ異方導電性接着剤層が絶縁フィルムに形成された貫通孔を通ってプリント回路に電気的に接続された前記態様の電磁波シールドフィルムとを有する電磁波シールドフィルム付きプリント配線板である。
<Printed wiring board with electromagnetic shielding film>
A second aspect of the present invention provides a printed wiring board in which a printed circuit is provided on at least one side of the substrate, an insulating film adjacent to the surface of the printed wiring board on which the printed circuit is provided, and an anisotropic conductive adhesive. an electromagnetic shielding film according to the above embodiment, wherein the adhesive layer is adjacent to the insulating film, and the anisotropically conductive adhesive layer is electrically connected to the printed circuit through a through hole formed in the insulating film. It is a printed wiring board.

図2は、本態様の電磁波シールドフィルム付きプリント配線板の一例を示す断面図である。
電磁波シールドフィルム付きプリント配線板2は、フレキシブルプリント配線板50と、絶縁フィルム60と、電磁波シールドフィルム1とを備える。
フレキシブルプリント配線板50は、ベースフィルム52の少なくとも片面にプリント回路54が設けられたものである。
絶縁フィルム60は、フレキシブルプリント配線板50のプリント回路54が設けられた側の表面に設けられる。
電磁波シールドフィルム1の異方導電性接着剤層24は、絶縁フィルム60の表面に接着され、かつ硬化されている。また、異方導電性接着剤層24は、絶縁フィルム60に形成された貫通孔(図示略)を通ってプリント回路54に確実に接着されるとともに、プリント回路54と金属薄膜層22とを確実に電気的に接続している。
電磁波シールドフィルム付きプリント配線板2においては、離型フィルムは、異方導電性接着剤層24から剥離されている。
FIG. 2 is a sectional view showing an example of a printed wiring board with an electromagnetic shielding film of this embodiment.
The printed wiring board 2 with an electromagnetic shielding film includes a flexible printed wiring board 50, an insulating film 60, and an electromagnetic shielding film 1.
The flexible printed wiring board 50 includes a base film 52 and a printed circuit 54 provided on at least one side thereof.
Insulating film 60 is provided on the surface of flexible printed wiring board 50 on the side where printed circuit 54 is provided.
The anisotropically conductive adhesive layer 24 of the electromagnetic shielding film 1 is adhered to the surface of the insulating film 60 and cured. Further, the anisotropic conductive adhesive layer 24 is reliably bonded to the printed circuit 54 through a through hole (not shown) formed in the insulating film 60, and also securely connects the printed circuit 54 and the metal thin film layer 22. electrically connected to.
In the printed wiring board 2 with an electromagnetic shielding film, the release film is peeled off from the anisotropically conductive adhesive layer 24.

電磁波シールドフィルム付きプリント配線板2においてキャリアフィルム30が不要になった際には、キャリアフィルム30は絶縁樹脂層10から剥離される。 When the carrier film 30 is no longer needed in the printed wiring board 2 with electromagnetic shielding film, the carrier film 30 is peeled off from the insulating resin layer 10.

貫通孔のある部分を除くプリント回路54(信号回路、グランド回路、グランド層等)の近傍には、電磁波シールドフィルム1の金属薄膜層22が、絶縁フィルム60および異方導電性接着剤層24を介して離間して対向配置される。
貫通孔のある部分を除くプリント回路54と金属薄膜層22との離間距離は、絶縁フィルム60の厚さと異方導電性接着剤層24の厚さの総和とほぼ等しい。離間距離は、30μm以上200μm以下が好ましく、60μm以上200μm以下がより好ましい。離間距離が30μmより小さいと、信号回路のインピーダンスが低くなるため、100Ω等の特性インピーダンスを有するためには、信号回路の線幅を小さくしなければならず、線幅のバラツキが特性インピーダンスのバラツキとなって、インピーダンスのミスマッチによる反射共鳴ノイズが電気信号に乗りやすくなる。離間距離が200μmより大きいと、電磁波シールドフィルム付きプリント配線板2が厚くなり、可とう性が不足する。
The metal thin film layer 22 of the electromagnetic shielding film 1 has an insulating film 60 and an anisotropically conductive adhesive layer 24 in the vicinity of the printed circuit 54 (signal circuit, ground circuit, ground layer, etc.) except for the part with the through hole. They are arranged opposite to each other and spaced apart from each other.
The distance between the printed circuit 54 and the metal thin film layer 22 excluding the portion with the through hole is approximately equal to the sum of the thickness of the insulating film 60 and the thickness of the anisotropically conductive adhesive layer 24. The separation distance is preferably 30 μm or more and 200 μm or less, more preferably 60 μm or more and 200 μm or less. If the separation distance is less than 30 μm, the impedance of the signal circuit will be low. Therefore, in order to have a characteristic impedance of 100Ω, the line width of the signal circuit must be made small, and variations in line width will cause variations in characteristic impedance. As a result, reflected resonance noise due to impedance mismatch tends to be absorbed into the electrical signal. When the separation distance is greater than 200 μm, the printed wiring board 2 with electromagnetic shielding film becomes thick and lacks flexibility.

(フレキシブルプリント配線板)
フレキシブルプリント配線板50は、銅張積層板の銅箔を公知のエッチング法により所望のパターンに加工してプリント回路54としたものである。
銅張積層板としては、ベースフィルム52の片面または両面に接着剤層(図示略)を介して銅箔を貼り付けたもの;銅箔の表面にベースフィルム52を形成する樹脂溶液等をキャストしたもの等が挙げられる。
接着剤層の材料としては、エポキシ樹脂、ポリエステル、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリアミド、フェノール樹脂、ウレタン樹脂、アクリル樹脂、メラミン樹脂等が挙げられる。
接着剤層の厚さは、0.5μm以上30μm以下が好ましい。
(Flexible printed wiring board)
The flexible printed wiring board 50 is a printed circuit 54 formed by processing the copper foil of a copper-clad laminate into a desired pattern using a known etching method.
The copper-clad laminate is one in which copper foil is attached to one or both sides of the base film 52 via an adhesive layer (not shown); a resin solution or the like that forms the base film 52 is cast on the surface of the copper foil. Examples include things.
Examples of the material for the adhesive layer include epoxy resin, polyester, polyimide, polyamideimide, polyamide, phenol resin, urethane resin, acrylic resin, and melamine resin.
The thickness of the adhesive layer is preferably 0.5 μm or more and 30 μm or less.

ベースフィルム52としては、耐熱性を有するフィルムが好ましく、ポリイミドフィルム、ポリエーテルイミドフィルム、ポリフェニレンサルファイドフィルム、液晶ポリマーフィルムがより好ましく、ポリイミドフィルムがさらに好ましい。
ベースフィルム52の表面抵抗は、電気的絶縁性の点から、1×10Ω/□以上が好ましい。ベースフィルム52の表面抵抗は、実用上の点から、1×1019Ω/□以下が好ましい。
ベースフィルム52の厚さは、5μm以上200μm以下が好ましく、屈曲性の点から、6μm以上50μm以下がより好ましく、10μm以上25μm以下がより好ましい。
The base film 52 is preferably a heat-resistant film, more preferably a polyimide film, a polyetherimide film, a polyphenylene sulfide film, or a liquid crystal polymer film, and even more preferably a polyimide film.
The surface resistance of the base film 52 is preferably 1×10 6 Ω/□ or more from the viewpoint of electrical insulation. From a practical point of view, the surface resistance of the base film 52 is preferably 1×10 19 Ω/□ or less.
The thickness of the base film 52 is preferably 5 μm or more and 200 μm or less, more preferably 6 μm or more and 50 μm or less, and more preferably 10 μm or more and 25 μm or less, from the viewpoint of flexibility.

プリント回路54を構成する銅箔としては、圧延銅箔、電解銅箔等が挙げられ、屈曲性の点から、圧延銅箔が好ましい。プリント回路54は、信号回路、グランド回路、グランド層等として使用される。
銅箔の厚さは、1μm以上50μm以下が好ましく、18μm以上35μm以下がより好ましい。
プリント回路54の長さ方向の端部(端子)は、ハンダ接続、コネクター接続、部品搭載等のため、絶縁フィルム60や電磁波シールドフィルム1に覆われず、露出している。
Examples of the copper foil constituting the printed circuit 54 include rolled copper foil, electrolytic copper foil, etc., and rolled copper foil is preferred from the viewpoint of flexibility. The printed circuit 54 is used as a signal circuit, a ground circuit, a ground layer, etc.
The thickness of the copper foil is preferably 1 μm or more and 50 μm or less, more preferably 18 μm or more and 35 μm or less.
The lengthwise ends (terminals) of the printed circuit 54 are not covered with the insulating film 60 or the electromagnetic shielding film 1 and are exposed for soldering, connector connection, component mounting, etc.

(絶縁フィルム)
絶縁フィルム60(カバーレイフィルム)は、絶縁フィルム本体(図示略)の片面に、接着剤の塗布、接着剤シートの貼り付け等によって接着剤層(図示略)を形成したものである。
絶縁フィルム本体の表面抵抗は、電気的絶縁性の点から、1×10Ω/□以上が好ましい。絶縁フィルム本体の表面抵抗は、実用上の点から、1×1019Ω/□以下が好ましい。
絶縁フィルム本体としては、耐熱性を有するフィルムが好ましく、ポリイミドフィルム、ポリエーテルイミドフィルム、ポリフェニレンサルファイドフィルム、液晶ポリマーフィルムがより好ましく、ポリイミドフィルムがさらに好ましい。
絶縁フィルム本体の厚さは、1μm以上100μm以下が好ましく、可とう性の点から、3μm以上25μm以下がより好ましい。
接着剤層の材料としては、エポキシ樹脂、ポリエステル、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリアミド、フェノール樹脂、ウレタン樹脂、アクリル樹脂、メラミン樹脂、ポリスチレン、ポリオレフィン等が挙げられる。エポキシ樹脂は、可とう性付与のためのゴム成分(カルボキシ変性ニトリルゴム等)を含んでいてもよい。
接着剤層の厚さは、1μm以上100μm以下が好ましく、1.5μm以上60μm以下がより好ましい。
(insulating film)
The insulating film 60 (coverlay film) has an adhesive layer (not shown) formed on one side of an insulating film body (not shown) by applying an adhesive, pasting an adhesive sheet, or the like.
The surface resistance of the insulating film body is preferably 1×10 6 Ω/□ or more from the viewpoint of electrical insulation. From a practical point of view, the surface resistance of the insulating film body is preferably 1×10 19 Ω/□ or less.
As the insulating film body, a film having heat resistance is preferable, a polyimide film, a polyetherimide film, a polyphenylene sulfide film, a liquid crystal polymer film is more preferable, and a polyimide film is even more preferable.
The thickness of the insulating film body is preferably 1 μm or more and 100 μm or less, and more preferably 3 μm or more and 25 μm or less from the viewpoint of flexibility.
Examples of the material for the adhesive layer include epoxy resin, polyester, polyimide, polyamideimide, polyamide, phenol resin, urethane resin, acrylic resin, melamine resin, polystyrene, and polyolefin. The epoxy resin may contain a rubber component (such as carboxy-modified nitrile rubber) for imparting flexibility.
The thickness of the adhesive layer is preferably 1 μm or more and 100 μm or less, more preferably 1.5 μm or more and 60 μm or less.

絶縁フィルム60に形成される貫通孔の開口部の形状は、特に限定されない。貫通孔の開口部の形状としては、円形、楕円形、四角形等が挙げられる。 The shape of the opening of the through hole formed in the insulating film 60 is not particularly limited. Examples of the shape of the opening of the through hole include a circle, an ellipse, and a square.

(他の実施形態)
本態様の電磁波シールドフィルム付きプリント配線板は、図示例の実施形態に限定されない。
例えば、フレキシブルプリント配線板50は、裏面側にグランド層を有するものであってもよい。また、フレキシブルプリント配線板50は、両面にプリント回路54を有し、両面に絶縁フィルム60および電磁波シールドフィルム1が貼り付けられたものであってもよい。
フレキシブルプリント配線板50の代わりに、柔軟性のないリジッドプリント基板を用いてもよい。
(Other embodiments)
The printed wiring board with an electromagnetic shielding film of this aspect is not limited to the illustrated embodiment.
For example, the flexible printed wiring board 50 may have a ground layer on the back side. Further, the flexible printed wiring board 50 may have the printed circuit 54 on both sides, and the insulating film 60 and the electromagnetic shielding film 1 may be attached to both sides.
Instead of the flexible printed wiring board 50, an inflexible rigid printed circuit board may be used.

<電磁波シールドフィルム付きプリント配線板の製造方法>
本発明の第3の態様は、基板の少なくとも片面にプリント回路が設けられたプリント配線板およびプリント配線板のプリント回路が設けられた側の面に隣接する絶縁フィルムを有し、かつ絶縁フィルムに貫通孔が形成された絶縁フィルム付きプリント配線板と、前記態様の電磁波シールドフィルムとを、絶縁フィルムと異方導電性接着剤層とが接するように重ねて圧着する、電磁波シールドフィルム付きプリント配線板の製造方法である。
<Method for manufacturing printed wiring board with electromagnetic shielding film>
A third aspect of the present invention has a printed wiring board in which a printed circuit is provided on at least one side of the substrate, and an insulating film adjacent to the surface of the printed wiring board on which the printed circuit is provided, and A printed wiring board with an electromagnetic wave shielding film, in which a printed wiring board with an insulating film in which a through hole is formed and the electromagnetic wave shielding film of the above embodiment are stacked and pressure-bonded so that the insulating film and an anisotropic conductive adhesive layer are in contact with each other. This is a manufacturing method.

電磁波シールドフィルム付きプリント配線板2は、例えば、下記の工程(a)~(d)を有する方法によって製造できる(図3参照)。
工程(a):フレキシブルプリント配線板50のプリント回路54が設けられた側の表面に、プリント回路54に対応する位置に貫通孔62が形成された絶縁フィルム60を設け、絶縁フィルム付きプリント配線板3を得る工程。
工程(b):工程(a)の後、絶縁フィルム付きプリント配線板3と、離型フィルム40を剥離した電磁波シールドフィルム1とを、絶縁フィルム60の表面に異方導電性接着剤層24が接触するように重ね、これらを圧着する工程。
工程(c):工程(b)の後、キャリアフィルム30が不要になった際にキャリアフィルム30を剥離する工程。
工程(d):必要に応じて、工程(a)と工程(b)との間、または工程(c)の後に異方導電性接着剤層24を本硬化させる工程。
以下、各工程について、図5を参照しながら詳細に説明する。
The printed wiring board 2 with an electromagnetic shielding film can be manufactured, for example, by a method including the following steps (a) to (d) (see FIG. 3).
Step (a): An insulating film 60 in which a through hole 62 is formed at a position corresponding to the printed circuit 54 is provided on the surface of the flexible printed wiring board 50 on the side where the printed circuit 54 is provided, thereby producing a printed wiring board with an insulating film. The process of obtaining 3.
Step (b): After step (a), the printed wiring board 3 with an insulating film and the electromagnetic shielding film 1 from which the release film 40 has been removed are bonded together so that an anisotropically conductive adhesive layer 24 is formed on the surface of the insulating film 60. The process of stacking them so that they are in contact and crimping them together.
Step (c): After step (b), a step of peeling off the carrier film 30 when the carrier film 30 is no longer needed.
Step (d): A step of main curing the anisotropically conductive adhesive layer 24 between steps (a) and (b) or after step (c), if necessary.
Each step will be described in detail below with reference to FIG.

工程(a):
工程(a)は、フレキシブルプリント配線板50に絶縁フィルム60を積層して、絶縁フィルム付きプリント配線板3を得る工程である。
具体的には、まず、フレキシブルプリント配線板50に、プリント回路54に対応する位置に貫通孔62が形成された絶縁フィルム60を重ねる。次いで、フレキシブルプリント配線板50の表面に絶縁フィルム60の接着剤層(図示略)を接着し、接着剤層を硬化させることによって、絶縁フィルム付きプリント配線板3を得る。フレキシブルプリント配線板50の表面に絶縁フィルム60の接着剤層を仮接着し、工程(d)にて接着剤層を本硬化させてもよい。
接着剤層の接着および硬化は、例えば、プレス機(図示略)等による熱プレスによって行う。
Step (a):
Step (a) is a step of laminating an insulating film 60 on a flexible printed wiring board 50 to obtain a printed wiring board 3 with an insulating film.
Specifically, first, an insulating film 60 having through holes 62 formed in positions corresponding to the printed circuits 54 is placed on the flexible printed wiring board 50 . Next, an adhesive layer (not shown) of the insulating film 60 is adhered to the surface of the flexible printed wiring board 50, and the adhesive layer is cured to obtain the printed wiring board 3 with the insulating film. The adhesive layer of the insulating film 60 may be temporarily bonded to the surface of the flexible printed wiring board 50, and the adhesive layer may be permanently cured in step (d).
Adhesion and curing of the adhesive layer is performed, for example, by hot pressing using a press machine (not shown) or the like.

工程(b):
工程(b)は、絶縁フィルム付きプリント配線板3に電磁波シールドフィルム1を圧着する工程である。
具体的には、絶縁フィルム付きプリント配線板3に、離型フィルム40を剥離した電磁波シールドフィルム1を重ね、熱プレス等により圧着する。これにより、絶縁フィルム60の表面に異方導電性接着剤層24を接着するとともに、異方導電性接着剤層24を貫通孔62内に押し込み、貫通孔62内を埋めてプリント回路54に接着する。これにより、絶縁フィルム60の貫通孔62を通ってプリント回路54に異方導電性接着剤層24が確実に接着されるとともに、プリント回路54に金属薄膜層22が確実に電気的に接続された電磁波シールドフィルム付きプリント配線板2を得る。
Step (b):
Step (b) is a step of press-bonding the electromagnetic shielding film 1 to the printed wiring board 3 with an insulating film.
Specifically, the electromagnetic shielding film 1 from which the release film 40 has been peeled is placed on the insulating film-attached printed wiring board 3, and the electromagnetic shielding film 1 is bonded by heat pressing or the like. As a result, the anisotropically conductive adhesive layer 24 is bonded to the surface of the insulating film 60, and the anisotropically conductive adhesive layer 24 is pushed into the through hole 62, filling the inside of the through hole 62 and bonding to the printed circuit 54. do. As a result, the anisotropically conductive adhesive layer 24 was reliably adhered to the printed circuit 54 through the through hole 62 of the insulating film 60, and the metal thin film layer 22 was reliably electrically connected to the printed circuit 54. A printed wiring board 2 with an electromagnetic shielding film is obtained.

異方導電性接着剤層24の接着および硬化は、例えば、プレス機(図示略)等による熱プレスによって行う。
熱プレスの時間は、20秒以上60分以下が好ましく、30秒以上30分以下がより好ましい。熱プレスの時間が前記範囲の下限値以上であれば、絶縁フィルム60の表面に異方導電性接着剤層24を容易に接着できる。熱プレスの時間が前記範囲の上限値以下であれば、電磁波シールドフィルム付きプリント配線板2の製造時間を短縮できる。
Adhesion and curing of the anisotropically conductive adhesive layer 24 is performed, for example, by hot pressing using a press (not shown) or the like.
The heat pressing time is preferably 20 seconds or more and 60 minutes or less, more preferably 30 seconds or more and 30 minutes or less. If the hot pressing time is at least the lower limit of the above range, the anisotropically conductive adhesive layer 24 can be easily adhered to the surface of the insulating film 60. If the heat pressing time is less than or equal to the upper limit of the above range, the manufacturing time of the electromagnetic shielding film-equipped printed wiring board 2 can be shortened.

熱プレスの温度(プレス機の熱盤の温度)は、140℃以上190℃以下が好ましく、150℃以上175℃以下がより好ましい。熱プレスの温度が前記範囲の下限値以上であれば、絶縁フィルム60やプリント回路54の表面に異方導電性接着剤層24を容易に接着できる。また、熱プレスの時間を短縮できる。熱プレスの温度が前記範囲の上限値以下であれば、電磁波シールドフィルム1、フレキシブルプリント配線板50等の劣化等を容易に抑えることができる。 The temperature of the hot press (the temperature of the hot platen of the press machine) is preferably 140°C or more and 190°C or less, more preferably 150°C or more and 175°C or less. If the temperature of the hot press is equal to or higher than the lower limit of the above range, the anisotropically conductive adhesive layer 24 can be easily adhered to the surface of the insulating film 60 and the printed circuit 54. Moreover, the time for heat pressing can be shortened. If the temperature of the hot press is below the upper limit of the above range, deterioration of the electromagnetic shielding film 1, the flexible printed wiring board 50, etc. can be easily suppressed.

熱プレスの圧力は、3MPa以下が好ましく、0.5MPa以上2.5MPa以下がより好ましく、0.1MPa以上2MPa以下がさらに好ましい。熱プレスの圧力が前記範囲の下限値以上であれば、絶縁フィルム60やプリント回路54の表面に異方導電性接着剤層24がより確実に接着される。また、熱プレスの時間を短縮できる。熱プレスの圧力が前記範囲の上限値以下であれば、電磁波シールドフィルム1、フレキシブルプリント配線板50等の破損等を抑えることができる。 The pressure of the hot press is preferably 3 MPa or less, more preferably 0.5 MPa or more and 2.5 MPa or less, and even more preferably 0.1 MPa or more and 2 MPa or less. If the pressure of the hot press is equal to or higher than the lower limit of the above range, the anisotropically conductive adhesive layer 24 will be more reliably bonded to the surface of the insulating film 60 and the printed circuit 54. Moreover, the time for heat pressing can be shortened. If the pressure of the hot press is below the upper limit of the above range, damage to the electromagnetic shielding film 1, the flexible printed wiring board 50, etc. can be suppressed.

工程(c):
工程(c)は、キャリアフィルム30を剥離する工程である。
具体的には、キャリアフィルムが不要になった際に、絶縁樹脂層10からキャリアフィルム30を剥離する。
Step (c):
Step (c) is a step of peeling off the carrier film 30.
Specifically, when the carrier film is no longer needed, the carrier film 30 is peeled off from the insulating resin layer 10.

工程(d):
工程(d)は、異方導電性接着剤層24を本硬化させる工程である。
工程(b)における熱プレスの時間が20秒以上10分以下の短時間である場合、工程(b)と工程(c)との間、または工程(c)の後に異方導電性接着剤層24の本硬化を行うことが好ましい。
異方導電性接着剤層24の本硬化は、例えば、オーブン等の加熱装置を用いて行う。
加熱時間は、15分以上120分以下であり、30分以上60分以下がより好ましい。
加熱時間が前記範囲の下限値以上であれば、異方導電性接着剤層24を十分に硬化できる。加熱時間が前記範囲の上限値以下であれば、電磁波シールドフィルム付きプリント配線板2の製造時間を短縮できる。
加熱温度(オーブン中の雰囲気温度)は、120℃以上180℃以下が好ましく、120℃以上150℃以下がより好ましい。加熱温度が前記範囲の下限値以上であれば、加熱時間を短縮できる。加熱温度が前記範囲の上限値以下であれば、電磁波シールドフィルム1、フレキシブルプリント配線板50等の劣化等を抑えることができる。
Step (d):
Step (d) is a step of main curing the anisotropically conductive adhesive layer 24.
If the heat pressing time in step (b) is a short time of 20 seconds or more and 10 minutes or less, an anisotropic conductive adhesive layer is formed between step (b) and step (c) or after step (c). It is preferable to perform the main curing of 24 times.
The main curing of the anisotropic conductive adhesive layer 24 is performed using a heating device such as an oven, for example.
The heating time is 15 minutes or more and 120 minutes or less, and more preferably 30 minutes or more and 60 minutes or less.
If the heating time is at least the lower limit of the above range, the anisotropically conductive adhesive layer 24 can be sufficiently cured. If the heating time is equal to or less than the upper limit of the above range, the manufacturing time of the electromagnetic shielding film-equipped printed wiring board 2 can be shortened.
The heating temperature (ambient temperature in the oven) is preferably 120°C or more and 180°C or less, more preferably 120°C or more and 150°C or less. If the heating temperature is at least the lower limit of the range, the heating time can be shortened. If the heating temperature is below the upper limit of the above range, deterioration of the electromagnetic shielding film 1, the flexible printed wiring board 50, etc. can be suppressed.

以下、実施例および比較例を示して本発明をより詳細に説明するが、本発明は下記実施例に限定されない。 EXAMPLES Hereinafter, the present invention will be explained in more detail by showing examples and comparative examples, but the present invention is not limited to the following examples.

(貯蔵弾性率)
貯蔵弾性率は、動的粘弾性測定装置(米国レオメトリック・サイエンティフィック社製、RSAII)を用い、温度:180℃、周波数:1Hz、昇温速度:10℃/分の条件で測定した。
(storage modulus)
The storage modulus was measured using a dynamic viscoelasticity measurement device (RSA II, manufactured by Rheometric Scientific, USA) under the conditions of temperature: 180°C, frequency: 1Hz, and heating rate: 10°C/min.

(接続抵抗)
電磁波シールドフィルム付きフレキシブルプリント配線板について、絶縁フィルムの貫通孔の部分で異方導電性接着剤層を介して金属薄膜層と接続するプリント回路のグランドと、金属薄膜層との間の接続抵抗を、デジタルマルチメータを用いて測定した。
(Connection resistance)
Regarding a flexible printed wiring board with an electromagnetic shielding film, the connection resistance between the ground of the printed circuit, which is connected to the metal thin film layer through the anisotropic conductive adhesive layer at the through-hole part of the insulating film, and the metal thin film layer. , measured using a digital multimeter.

(剥離強度)
電磁波シールドフィルム付きフレキシブルプリント配線板の絶縁樹脂層の表面に、ボンディングシート(デクセリアルズ社製、D3410)を介して、厚さ25μmの補強用ポリイミドフィルムを熱圧着して試験片を作製した。補強用ポリイミドフィルムおよびフレキシブルプリント配線板のベースフィルムに試験機(島津製作所社製、オートグラフAGS-20NX)のチャックを取り付け、JIS Z 0237:2009にしたがい、180°剥離方向、引張速度50mm/分の条件で剥離試験を行い、剥離強度を求めた。
(Peel strength)
A reinforcing polyimide film having a thickness of 25 μm was thermocompression bonded to the surface of the insulating resin layer of a flexible printed wiring board with an electromagnetic shielding film via a bonding sheet (manufactured by Dexerials, D3410) to prepare a test piece. A chuck of a testing machine (manufactured by Shimadzu Corporation, Autograph AGS-20NX) was attached to the reinforcing polyimide film and the base film of the flexible printed wiring board, and the peeling direction was 180° and the tensile speed was 50 mm/min in accordance with JIS Z 0237:2009. A peel test was conducted under the following conditions to determine the peel strength.

(原材料)
絶縁樹脂層形成用塗料として、ビスフェノールA型エポキシ樹脂(三菱ケミカル社製、jER(登録商標)828)の100質量部、硬化剤(昭和電工社製、ショウアミンX(登録商標))の20質量部、2-エチル-4-メチルイミダゾールの2質量部、カーボンブラックの2質量部を溶剤(メチルエチルケトン)の200質量部に溶解した塗料を用意した。
キャリアフィルムおよび離型フィルムとして、非シリコーン系離型剤にて片面が離型処理されたPETフィルム(リンテック社製、T157、離型フィルム本体の厚さ:50μm、離型剤層の厚さ:0.1μm)を用意した。
(raw materials)
As a coating material for forming an insulating resin layer, 100 parts by mass of bisphenol A epoxy resin (manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, jER (registered trademark) 828), 20 parts by mass of a curing agent (manufactured by Showa Denko Co., Ltd., Shoamine X (registered trademark)) A coating material was prepared by dissolving 2 parts by mass of 1 part, 2 parts by mass of 2-ethyl-4-methylimidazole, and 2 parts by mass of carbon black in 200 parts by mass of a solvent (methyl ethyl ketone).
As a carrier film and a release film, a PET film (manufactured by Lintec Corporation, T157, thickness of the release film body: 50 μm, thickness of the release agent layer: 0.1 μm) was prepared.

絶縁フィルム付きフレキシブルプリント配線板は、下記のようにして作製した。
厚さ25μmのポリイミドフィルム(ベースフィルム)の表面に厚さ12.5μmの銅箔を有する銅張積層板を用意した。
厚さ12.5μmのポリイミドフィルム(絶縁フィルム本体)の表面に接着剤層が形成され、かつフレキシブルプリント配線板のプリント回路(グランド)に対応する位置に貫通孔が形成された絶縁フィルムを用意した。
銅張積層板の銅箔をエッチングしてプリント回路を形成し、フレキシブルプリント配線板を得た。フレキシブルプリント配線板と絶縁フィルムとを熱プレスによって圧着して絶縁フィルム付きフレキシブルプリント配線板を得た。
A flexible printed wiring board with an insulating film was produced as follows.
A copper-clad laminate having a 12.5 μm thick copper foil on the surface of a 25 μm thick polyimide film (base film) was prepared.
An insulating film was prepared in which an adhesive layer was formed on the surface of a 12.5 μm thick polyimide film (insulating film body), and a through hole was formed at a position corresponding to the printed circuit (ground) of a flexible printed wiring board. .
A printed circuit was formed by etching the copper foil of the copper-clad laminate to obtain a flexible printed wiring board. A flexible printed wiring board with an insulating film was obtained by pressure-bonding the flexible printed wiring board and the insulating film using a heat press.

(実施例1)
熱硬化性導電性接着剤組成物として、熱硬化性接着剤(エポキシ樹脂(DIC社製、EXA-4816)の100質量部と硬化剤(味の素ファインテクノ社製、PN-23)の20質量部とを混合してなる潜在硬化性エポキシ樹脂)、および導電性粒子(平均粒子径B:5.02μmの銅粒子)の6質量部を、溶剤(メチルエチルケトン)の200質量部に溶解または分散させたものを用意した。
(Example 1)
As a thermosetting conductive adhesive composition, 100 parts by mass of a thermosetting adhesive (epoxy resin (manufactured by DIC, EXA-4816) and 20 parts by mass of a curing agent (manufactured by Ajinomoto Fine-Techno, Inc., PN-23) were used. 6 parts by mass of conductive particles (copper particles with average particle diameter B: 5.02 μm) were dissolved or dispersed in 200 parts by mass of a solvent (methyl ethyl ketone). I prepared something.

キャリアフィルムの離型剤層の表面に絶縁樹脂層形成用塗料を塗布し、60℃で2分間加熱し、塗料を乾燥、半硬化させて、絶縁樹脂層(厚さ:10μm)を形成した。
絶縁樹脂層の表面に、電子ビーム蒸着法にて銅を物理的に蒸着させ、金属薄膜層(蒸着膜、厚さ:70nm)を形成した。
金属薄膜層の表面に熱硬化性導電性接着剤組成物を、ダイコーターを用いて塗布し、溶剤を揮発させてBステージ化することによって、異方導電性接着剤層(接着剤の厚さA:3μm、銅粒子:5質量%)を形成した。
異方導電性接着剤層の表面に離型フィルムを貼り付けて、図1に示すような電磁波シールドフィルムを得た。
A paint for forming an insulating resin layer was applied to the surface of the release agent layer of the carrier film, and heated at 60° C. for 2 minutes to dry and semi-cure the paint to form an insulating resin layer (thickness: 10 μm).
Copper was physically deposited on the surface of the insulating resin layer by electron beam evaporation to form a metal thin film layer (deposited film, thickness: 70 nm).
A thermosetting conductive adhesive composition is applied to the surface of the metal thin film layer using a die coater, and the solvent is evaporated to form a B stage. A: 3 μm, copper particles: 5% by mass) were formed.
A release film was attached to the surface of the anisotropically conductive adhesive layer to obtain an electromagnetic shielding film as shown in FIG. 1.

絶縁フィルム付きフレキシブルプリント配線板に、離型フィルムを剥離した電磁波シールドフィルムを重ね、ホットプレス装置(折原製作所社製、G-12)を用い、熱盤温度:170℃、圧力:2MPaで120秒間熱プレスし、絶縁フィルムの表面に異方導電性接着剤層を仮接着した。電磁波シールドフィルムが仮接着されたフレキシブルプリント配線板を、高温恒温器(楠本化成社製、HT210)を用い、温度:160℃で1時間加熱することによって、異方導電性接着剤層を本硬化させ、電磁波シールドフィルム付きフレキシブルプリント配線板を得た。結果を表1に示す。 Layer the electromagnetic shielding film with the release film peeled off on the flexible printed wiring board with the insulating film, and use a hot press machine (manufactured by Orihara Seisakusho Co., Ltd., G-12) to heat the platen temperature: 170°C and pressure: 2MPa for 120 seconds. An anisotropically conductive adhesive layer was temporarily attached to the surface of the insulating film by hot pressing. The flexible printed wiring board to which the electromagnetic shielding film has been temporarily bonded is heated at 160°C for 1 hour using a high-temperature incubator (HT210, manufactured by Kusumoto Kasei Co., Ltd.) to fully cure the anisotropically conductive adhesive layer. A flexible printed wiring board with an electromagnetic shielding film was obtained. The results are shown in Table 1.

(実施例2~18、比較例1~4)
表1に示すように、接着剤の厚さA、銅粒子の平均粒子径Bおよび異方導電性接着剤層中の銅粒子の割合のうちの1つ以上を変更した以外は、実施例1と同様にして電磁波シールドフィルムおよび電磁波シールドフィルム付きフレキシブルプリント配線板を得た。結果を表1に示す。
(Examples 2 to 18, Comparative Examples 1 to 4)
As shown in Table 1, Example 1 except that one or more of the adhesive thickness A, the average particle diameter B of the copper particles, and the proportion of copper particles in the anisotropically conductive adhesive layer was changed. In the same manner as above, an electromagnetic shielding film and a flexible printed wiring board with an electromagnetic shielding film were obtained. The results are shown in Table 1.

Figure 0007424745000001
Figure 0007424745000001

本発明の電磁波シールドフィルムは、スマートフォン、携帯電話、光モジュール、デジタルカメラ、ゲーム機、ノートパソコン、医療器具等の電子機器用のフレキシブルプリント配線板における、電磁波シールド用部材として有用である。 The electromagnetic shielding film of the present invention is useful as an electromagnetic shielding member in flexible printed wiring boards for electronic devices such as smartphones, mobile phones, optical modules, digital cameras, game consoles, notebook computers, and medical instruments.

1 電磁波シールドフィルム、
2 電磁波シールドフィルム付きプリント配線板、
3 絶縁フィルム付きプリント配線板、
10 絶縁樹脂層、
20 導電層、
22 金属薄膜層、
24 異方導電性接着剤層、
24a 熱硬化性接着剤、
24b 導電性粒子、
30 キャリアフィルム、
32 キャリアフィルム本体、
34 離型剤層、
40 離型フィルム、
42 離型フィルム本体、
44 離型剤層、
50 フレキシブルプリント配線板、
52 ベースフィルム、
54 プリント回路、
60 絶縁フィルム、
62 貫通孔。
1 Electromagnetic shielding film,
2 Printed wiring board with electromagnetic shielding film,
3 Printed wiring board with insulation film,
10 insulating resin layer,
20 conductive layer,
22 metal thin film layer,
24 Anisotropic conductive adhesive layer,
24a thermosetting adhesive,
24b conductive particles,
30 carrier film,
32 carrier film body,
34 mold release agent layer,
40 release film,
42 Release film body,
44 mold release agent layer,
50 Flexible printed wiring board,
52 base film,
54 printed circuit,
60 Insulating film,
62 Through hole.

Claims (5)

絶縁樹脂層と、
金属薄膜層と、
接着剤および導電性粒子を含む異方導電性接着剤層とを順に有し、
前記異方導電性接着剤層における前記接着剤の厚さAと前記導電性粒子の平均粒子径Bとが、1.62A≦B≦1.93Aの関係を満足し、
前記接着剤の厚さAが、5.2μm以上6.2μm以下である、電磁波シールドフィルム。
an insulating resin layer;
a metal thin film layer;
an anisotropic conductive adhesive layer containing an adhesive and conductive particles,
The thickness A of the adhesive in the anisotropic conductive adhesive layer and the average particle diameter B of the conductive particles satisfy the relationship of 1.62A ≦B≦ 1.93A ,
An electromagnetic shielding film, wherein the thickness A of the adhesive is 5.2 μm or more and 6.2 μm or less .
前記導電性粒子の割合が、前記異方導電性接着剤層の100質量%のうち、5質量%以上50質量%以下である、請求項1に記載の電磁波シールドフィルム。 The electromagnetic shielding film according to claim 1, wherein the proportion of the conductive particles is 5% by mass or more and 50% by mass or less of 100% by mass of the anisotropically conductive adhesive layer. 基板の少なくとも片面にプリント回路が設けられたプリント配線板と、
前記プリント配線板の前記プリント回路が設けられた側の面に隣接する絶縁フィルムと、
前記異方導電性接着剤層が前記絶縁フィルムに隣接し、かつ前記異方導電性接着剤層が前記絶縁フィルムに形成された貫通孔を通って前記プリント回路に電気的に接続された請求項1または2に記載の電磁波シールドフィルムと
を有する、電磁波シールドフィルム付きプリント配線板。
a printed wiring board having a printed circuit on at least one side of the board;
an insulating film adjacent to the surface of the printed wiring board on which the printed circuit is provided;
The anisotropically conductive adhesive layer is adjacent to the insulating film, and the anisotropically conductive adhesive layer is electrically connected to the printed circuit through a through hole formed in the insulating film. A printed wiring board with an electromagnetic shielding film, comprising the electromagnetic shielding film according to 1 or 2.
基板の少なくとも片面にプリント回路が設けられたプリント配線板および前記プリント配線板の前記プリント回路が設けられた側の面に隣接する絶縁フィルムを有し、かつ前記絶縁フィルムに貫通孔が形成された絶縁フィルム付きプリント配線板と、請求項1または2に記載の電磁波シールドフィルムとを、前記絶縁フィルムと前記異方導電性接着剤層とが接するように重ねて圧着する、電磁波シールドフィルム付きプリント配線板の製造方法。 A printed wiring board having a printed circuit provided on at least one side of the substrate, and an insulating film adjacent to the side of the printed wiring board on which the printed circuit is provided, and a through hole is formed in the insulating film. A printed wiring with an electromagnetic shielding film, which comprises stacking and pressing a printed wiring board with an insulating film and the electromagnetic shielding film according to claim 1 or 2 so that the insulating film and the anisotropically conductive adhesive layer are in contact with each other. Method of manufacturing the board. 前記絶縁フィルム付きプリント配線板と前記電磁波シールドフィルムとを3MPa以下の圧力で圧着する、請求項4に記載の電磁波シールドフィルム付きプリント配線板の製造方法。 The method for manufacturing a printed wiring board with an electromagnetic shielding film according to claim 4, wherein the printed wiring board with an electromagnetic shielding film is pressure-bonded to the printed wiring board with an electromagnetic shielding film at a pressure of 3 MPa or less.
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