JP2020064927A - Electromagnetic wave shield film, manufacturing method of the same, and printed wiring board with electromagnetic wave shield film - Google Patents

Electromagnetic wave shield film, manufacturing method of the same, and printed wiring board with electromagnetic wave shield film Download PDF

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Akitsugu Kanezashi
晃嗣 金指
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Abstract

To provide an electromagnetic wave shield film having excellent adhesion between an insulating resin layer and a metal thin film layer, a method of manufacturing the same, and a printed wiring board with the electromagnetic wave shield film.SOLUTION: An electromagnetic wave shield film 1 includes: an insulating resin layer 10; a porous black chrome plating layer 5; a metal thin film layer 22; and a conductive adhesive layer 24, stacked in this order. The insulating resin layer 10 is in contact with a surface of the black chrome plating layer 5.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、電磁波シールドフィルム及びその製造方法、並びに電磁波シールドフィルム付きプリント配線板に関する。   The present invention relates to an electromagnetic wave shield film, a method for manufacturing the same, and a printed wiring board with an electromagnetic wave shield film.

フレキシブルプリント配線板から発生する電磁波ノイズや外部からの電磁波ノイズを遮蔽するために、絶縁樹脂層と、金属薄膜層と、導電性接着剤層とが積層されてなる電磁波シールドフィルムを、絶縁フィルム(カバーレイフィルム)を介してフレキシブルプリント配線板の表面に設けることがある(例えば、特許文献1参照)。   In order to shield the electromagnetic noise generated from the flexible printed wiring board and the electromagnetic noise from the outside, an electromagnetic shielding film formed by laminating an insulating resin layer, a metal thin film layer, and a conductive adhesive layer is used as an insulating film ( It may be provided on the surface of the flexible printed wiring board via a cover lay film) (for example, refer to Patent Document 1).

電磁波シールドフィルムをプリント配線板の表面に設ける際には、絶縁フィルム付きプリント配線板と電磁波シールドフィルムとを、絶縁フィルムと導電性接着剤層とが接するように重ね、これらを熱プレスして圧着する。この際、電磁波シールドフィルムの導電性接着剤層が、絶縁フィルムに形成された貫通孔を通ってプリント配線板のプリント回路(グランド)に接触することによって、金属薄膜層とプリント配線板のプリント回路とが電気的に接続される。   When the electromagnetic wave shielding film is provided on the surface of the printed wiring board, the printed wiring board with an insulating film and the electromagnetic wave shielding film are stacked so that the insulating film and the conductive adhesive layer are in contact with each other, and these are heat pressed and pressure bonded. To do. At this time, the conductive adhesive layer of the electromagnetic wave shielding film comes into contact with the printed circuit (ground) of the printed wiring board through the through hole formed in the insulating film, so that the metal thin film layer and the printed circuit of the printed wiring board are contacted. And are electrically connected.

特開2017−220592号公報JP, 2017-220592, A

しかし、熱プレスによって電磁波シールドフィルムを絶縁フィルムの貫通孔に対して圧着する際や、電磁波シールドフィルムを取り扱っている際に、電磁波シールドフィルムの絶縁樹脂層と金属薄膜層とが剥離してしまうことがある。   However, the insulating resin layer and the metal thin film layer of the electromagnetic wave shielding film may peel off when the electromagnetic wave shielding film is pressure-bonded to the through hole of the insulating film by heat pressing or when the electromagnetic wave shielding film is handled. There is.

本発明は、絶縁樹脂層と金属薄膜層との接着性が優れた電磁波シールドフィルム及びその製造方法、並びに電磁波シールドフィルム付きプリント配線板を提供する。   The present invention provides an electromagnetic wave shield film having excellent adhesiveness between an insulating resin layer and a metal thin film layer, a method for producing the same, and a printed wiring board with an electromagnetic wave shield film.

本発明は、以下の態様を有する。
[1] 絶縁樹脂層と、多孔性の黒色クロムメッキ層と、金属薄膜層と、導電性接着剤層とがこの順で積層されており、前記絶縁樹脂層は前記黒色クロムメッキ層の表面に接している、電磁波シールドフィルム。
[2] 前記金属薄膜層が金属箔である、[1]に記載の電磁波シールドフィルム。
[3] 前記黒色クロムメッキ層の厚さが0.1μm以上1μm以下である、[1]又は[2]に記載の電磁波シールドフィルム。
[4] 前記黒色クロムメッキ層に、クロムの酸化物又は水酸化物が含まれる、[1]〜[3]の何れか一項に記載の電磁波シールドフィルム。
[5] [1]〜[4]の何れか一項に記載の電磁波シールドフィルムの製造方法であって、多孔性の黒色クロムメッキ層と、金属薄膜層とがこの順で積層された積層体を準備し、前記積層体の前記黒色クロムメッキ層の表面に絶縁樹脂を塗布することにより、前記絶縁樹脂層を形成する工程を含む、電磁波シールドフィルムの製造方法。
[6] 基板の少なくとも片面にプリント回路が設けられたプリント配線板と、前記プリント配線板の前記プリント回路が設けられた側の面に隣接する絶縁フィルムと、前記絶縁フィルムの前記プリント配線板とは反対側に設けられた[1]〜[4]の何れか一項に記載の電磁波シールドフィルムと、を有し、前記電磁波シールドフィルムの前記導電性接着剤層が前記絶縁フィルムに隣接している、電磁波シールドフィルム付きプリント配線板。
The present invention has the following aspects.
[1] An insulating resin layer, a porous black chrome plating layer, a metal thin film layer, and a conductive adhesive layer are laminated in this order, and the insulating resin layer is formed on the surface of the black chrome plating layer. The electromagnetic wave shield film that is in contact.
[2] The electromagnetic wave shielding film according to [1], wherein the metal thin film layer is a metal foil.
[3] The electromagnetic wave shielding film according to [1] or [2], wherein the black chrome plating layer has a thickness of 0.1 μm or more and 1 μm or less.
[4] The electromagnetic wave shield film according to any one of [1] to [3], wherein the black chrome plating layer contains an oxide or hydroxide of chromium.
[5] The electromagnetic wave shield film manufacturing method according to any one of [1] to [4], wherein the porous black chrome plating layer and the metal thin film layer are laminated in this order. And preparing an insulating resin layer by applying an insulating resin to the surface of the black chrome plated layer of the laminate.
[6] A printed wiring board having a printed circuit provided on at least one surface of a substrate, an insulating film adjacent to a surface of the printed wiring board on which the printed circuit is provided, and the printed wiring board having the insulating film. And the electromagnetic wave shielding film according to any one of [1] to [4] provided on the opposite side, wherein the conductive adhesive layer of the electromagnetic wave shielding film is adjacent to the insulating film. Printed wiring board with electromagnetic wave shielding film.

本発明の電磁波シールドフィルムにおける、絶縁樹脂層と金属薄膜層の間には多孔性の黒色クロムメッキ層が介在しているので、絶縁樹脂層と金属薄膜層との接着性が優れる。
本発明の電磁波シールドフィルムの製造方法によれば、上記の電磁波シールドフィルムを容易に製造できる。
In the electromagnetic wave shielding film of the present invention, since the porous black chrome plating layer is interposed between the insulating resin layer and the metal thin film layer, the adhesiveness between the insulating resin layer and the metal thin film layer is excellent.
According to the method for producing an electromagnetic wave shielding film of the present invention, the above electromagnetic wave shielding film can be easily produced.

本発明の電磁波シールドフィルムの一例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows an example of the electromagnetic wave shield film of this invention. 本発明の電磁波シールドフィルムの他の例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the other example of the electromagnetic wave shield film of this invention. 本発明の電磁波シールドフィルム付きプリント配線板の一例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows an example of the printed wiring board with an electromagnetic wave shield film of this invention. 本発明の電磁波シールドフィルム付きプリント配線板の他の例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the other example of the printed wiring board with an electromagnetic wave shield film of this invention. 電磁波シールドフィルム付きプリント配線板の製造工程の一例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows an example of the manufacturing process of the printed wiring board with an electromagnetic wave shield film.

以下の用語の定義は、本明細書及び特許請求の範囲にわたって適用される。
「等方導電性接着剤層」とは、厚さ方向及び面方向に導電性を有する導電性接着剤層を意味する。
「異方導電性接着剤層」とは、厚さ方向に導電性を有し、面方向に導電性を有しない導電性接着剤層を意味する。
「面方向に導電性を有しない導電性接着剤層」とは、表面抵抗が1×10Ω/□以上である導電性接着剤層を意味する。
粒子の平均粒子径は、粒子の顕微鏡像から30個の粒子を無作為に選び、それぞれの粒子について、最小径及び最大径を測定し、最小径と最大径との中央値を一粒子の粒子径とし、測定した30個の粒子の粒子径を算術平均して得た値である。導電性粒子の平均粒子径も同様である。
フィルム(キャリアフィルム、離型フィルム、絶縁フィルム等)、塗膜(導電性接着剤層等)、金属薄膜層、メッキ層等の厚さは、顕微鏡を用いて測定対象の断面を観察し、5箇所の厚さを測定し、平均した値である。厚さの測定箇所は、測定対象物の幅の全体を6等分する各点に対応する5箇所である。
貯蔵弾性率は、測定対象に与えた応力と検出した歪から算出され、温度又は時間の関数として出力する動的粘弾性測定装置を用いて、粘弾性特性の一つとして測定される。
表面抵抗は、三菱ケミカル社製の種々の抵抗率計のうち、10Ω/□未満の場合は商品名:ロレスタ(ロレスタGP、ASPプローブ)を用い、四端子法(JIS K 7194:1994およびJIS R 1637:1998に準拠する方法)で測定される表面抵抗率であり、10Ω/□以上の場合は商品名:ハイレスタ(ハイレスタUP、URSプローブ)を用い、二重リング法(JIS K 6911:2006に準拠する方法)で測定される表面抵抗率である。
図1〜図5における寸法比は、説明の便宜上、実際のものとは異なったものである。
The following definitions of terms apply throughout the specification and claims.
The “isotropic conductive adhesive layer” means a conductive adhesive layer having conductivity in the thickness direction and the plane direction.
The “anisotropic conductive adhesive layer” means a conductive adhesive layer that has conductivity in the thickness direction and does not have conductivity in the plane direction.
The “conductive adhesive layer having no conductivity in the plane direction” means a conductive adhesive layer having a surface resistance of 1 × 10 4 Ω / □ or more.
The average particle diameter of particles is 30 particles randomly selected from a microscopic image of particles, the minimum diameter and the maximum diameter of each particle are measured, and the median of the minimum diameter and the maximum diameter is the particle of one particle. The diameter is a value obtained by arithmetically averaging the measured particle diameters of 30 particles. The same applies to the average particle diameter of the conductive particles.
The thickness of the film (carrier film, release film, insulating film, etc.), coating film (conductive adhesive layer, etc.), metal thin film layer, plating layer, etc. can be determined by observing the cross section of the measurement object with a microscope. It is a value obtained by measuring and averaging the thickness of the place. The thickness measurement points are five points corresponding to points that divide the entire width of the measurement object into six equal parts.
The storage elastic modulus is calculated as one of the viscoelastic properties by using a dynamic viscoelasticity measuring device that is calculated from the stress applied to the measurement target and the detected strain and outputs as a function of temperature or time.
Among the various resistivity meters manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, when the surface resistance is less than 10 6 Ω / □, the product name: Loresta (Loresta GP, ASP probe) is used, and the four-terminal method (JIS K 7194: 1994 and Surface resistivity measured by JIS R 1637: 1998). When the surface resistivity is 10 6 Ω / □ or more, the product name: Hiresta (Hiresta UP, URS probe) is used and the double ring method (JIS K 6911: 2006).
The dimensional ratios in FIGS. 1 to 5 are different from actual ones for convenience of explanation.

<電磁波シールドフィルム>
本発明の第1の態様は、絶縁樹脂層と、多孔性の黒色クロムメッキ層と、金属薄膜層と、導電性接着剤層とがこの順で積層された電磁波シールドフィルムであり、前記絶縁樹脂層は前記黒色クロムメッキ層の表面に接している。
<Electromagnetic wave shielding film>
A first aspect of the present invention is an electromagnetic wave shield film in which an insulating resin layer, a porous black chrome plating layer, a metal thin film layer, and a conductive adhesive layer are laminated in this order. The layer is in contact with the surface of the black chrome plated layer.

図1は、本発明の電磁波シールドフィルムの一例を示す断面図である。
電磁波シールドフィルム1は、絶縁樹脂層10と、絶縁樹脂層10に隣接する多孔性の黒色クロムメッキ層5と、導電層20と、導電層20の絶縁樹脂層10とは反対側に隣接する離型フィルム40とを有する。
導電層20は、黒色クロムメッキ層5に隣接する金属薄膜層22と、離型フィルム40に隣接する異方導電性接着剤層24とを有する。
図示しないが、絶縁樹脂層10の導電層20とは反対側に隣接するキャリアフィルムを備えていてもよい。
FIG. 1 is a sectional view showing an example of the electromagnetic wave shielding film of the present invention.
The electromagnetic wave shield film 1 includes an insulating resin layer 10, a porous black chrome plating layer 5 adjacent to the insulating resin layer 10, a conductive layer 20, and a separating layer adjacent to the conductive layer 20 on the opposite side of the insulating resin layer 10. And a mold film 40.
The conductive layer 20 has a metal thin film layer 22 adjacent to the black chrome plated layer 5 and an anisotropic conductive adhesive layer 24 adjacent to the release film 40.
Although not shown, a carrier film may be provided adjacent to the side of the insulating resin layer 10 opposite to the conductive layer 20.

電磁波シールドフィルム1の厚さ(キャリアフィルムおよび離型フィルム40を除く)は、3μm以上50μm以下が好ましく、5μm以上30μm以下がより好ましい。
前記厚さが前記範囲の下限値以上であれば、キャリアフィルムや離型フィルム40を剥離する際に破断しにくい。
前記厚さが前記範囲の上限値以下であれば、電磁波シールドフィルム付きプリント配線板を薄くできる。
The thickness of the electromagnetic wave shielding film 1 (excluding the carrier film and the release film 40) is preferably 3 μm or more and 50 μm or less, and more preferably 5 μm or more and 30 μm or less.
When the thickness is at least the lower limit value of the above range, the carrier film or the release film 40 is less likely to break when peeled.
When the thickness is equal to or less than the upper limit value of the range, the printed wiring board with the electromagnetic wave shielding film can be thinned.

(絶縁樹脂層)
絶縁樹脂層10は、電磁波シールドフィルム1をフレキシブルプリント配線板の表面に設けられた絶縁フィルムの表面に貼着し、黒色クロムメッキ層5及び導電層20の保護層となる。
(Insulating resin layer)
The insulating resin layer 10 adheres the electromagnetic wave shielding film 1 to the surface of the insulating film provided on the surface of the flexible printed wiring board, and serves as a protective layer for the black chrome plating layer 5 and the conductive layer 20.

絶縁樹脂層10としては、熱硬化性樹脂と硬化剤とを含む塗料を塗布し、半硬化または硬化させて形成された塗膜;熱可塑性樹脂を含む塗料を塗布し、乾燥させて形成された塗膜;熱可塑性樹脂を含む組成物を溶融成形したフィルムからなる層等が挙げられる。はんだリフロー工程に供される際の耐熱性の点から、熱硬化性樹脂と硬化剤とを含む塗料を塗布し、半硬化または硬化させて形成された塗膜が好ましい。   The insulating resin layer 10 is formed by applying a coating material containing a thermosetting resin and a curing agent and semi-curing or curing the coating material; applying a coating material containing a thermoplastic resin and drying it. Coating film; a layer formed of a film obtained by melt-molding a composition containing a thermoplastic resin, and the like. From the viewpoint of heat resistance when subjected to the solder reflow step, a coating film formed by applying a coating material containing a thermosetting resin and a curing agent and semi-curing or curing it is preferable.

熱硬化性樹脂としては、アミド樹脂、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、アミノ樹脂、アルキッド樹脂、ウレタン樹脂、合成ゴム、紫外線硬化アクリレート樹脂等が挙げられる。熱硬化性樹脂としては、耐熱性に優れる点から、アミド樹脂、エポキシ樹脂が好ましい。
硬化剤としては、熱硬化性樹脂の種類に応じた公知の硬化剤が挙げられる。
熱可塑性樹脂としては、芳香族ポリエーテルケトン、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリアミド、ポリサルホン、ポリエーテルサルホン、ポリフェニレンサルホン、ポリフェニレンサルフィド、ポリフェニレンサルフィドサルホン、ポリフェニレンサルフィドケトン等が挙げられる。
Examples of the thermosetting resin include amide resin, epoxy resin, phenol resin, amino resin, alkyd resin, urethane resin, synthetic rubber, and ultraviolet curing acrylate resin. As the thermosetting resin, an amide resin and an epoxy resin are preferable from the viewpoint of excellent heat resistance.
Examples of the curing agent include known curing agents depending on the type of thermosetting resin.
Examples of the thermoplastic resin include aromatic polyether ketone, polyimide, polyamideimide, polyamide, polysulfone, polyether sulfone, polyphenylene sulfone, polyphenylene sulfide, polyphenylene sulfide sulfone, and polyphenylene sulfide ketone.

絶縁樹脂層10は、プリント配線板のプリント回路を隠蔽したり、電磁波シールドフィルム付きプリント配線板に意匠性を付与したりするために、着色剤(顔料、染料等)およびフィラーのいずれか一方または両方を含んでいてもよい。
着色剤およびフィラーのいずれか一方または両方としては、耐候性、耐熱性、隠蔽性の点から、顔料またはフィラーが好ましく、プリント回路の隠蔽性、意匠性の点から、黒色顔料、黒色顔料と他の顔料との組み合わせ、または黒色顔料とフィラーとの組み合わせがより好ましい。
絶縁樹脂層10は、難燃剤を含んでいてもよい。
絶縁樹脂層10は、本発明の効果を損なわない範囲において、必要に応じて他の成分を含んでいてもよい。
The insulating resin layer 10 hides the printed circuit of the printed wiring board or imparts design characteristics to the printed wiring board with the electromagnetic wave shielding film, so that either one of a coloring agent (pigment, dye, etc.) and a filler, or Both may be included.
As one or both of the colorant and the filler, from the viewpoint of weather resistance, heat resistance, and hiding properties, pigments or fillers are preferable, and from the viewpoint of hiding properties of printed circuits and design, black pigments, black pigments and others. It is more preferable to use a combination of the above pigment or a black pigment and a filler.
The insulating resin layer 10 may include a flame retardant.
The insulating resin layer 10 may include other components as needed, as long as the effects of the present invention are not impaired.

絶縁樹脂層10の表面抵抗は、電気的絶縁性の点から、1×10Ω/□以上が好ましい。絶縁樹脂層10の表面抵抗は、実用上の点から、1×1019Ω/□以下が好ましい。
絶縁樹脂層10の厚さは、0.1μm以上30μm以下が好ましく、0.5μm以上20μm以下がより好ましい。絶縁樹脂層10の厚さが前記範囲の下限値以上であれば、絶縁樹脂層10が保護層としての機能を十分に発揮できる。絶縁樹脂層10の厚さが前記範囲の上限値以下であれば、電磁波シールドフィルム1を薄くできる。
The surface resistance of the insulating resin layer 10 is preferably 1 × 10 6 Ω / □ or more from the viewpoint of electrical insulation. The surface resistance of the insulating resin layer 10 is preferably 1 × 10 19 Ω / □ or less from the practical point of view.
The thickness of the insulating resin layer 10 is preferably 0.1 μm or more and 30 μm or less, and more preferably 0.5 μm or more and 20 μm or less. When the thickness of the insulating resin layer 10 is equal to or more than the lower limit value of the above range, the insulating resin layer 10 can sufficiently exhibit the function as a protective layer. If the thickness of the insulating resin layer 10 is less than or equal to the upper limit value of the above range, the electromagnetic wave shielding film 1 can be thinned.

(黒色クロムメッキ層)
黒色クロムメッキ層5は、絶縁樹脂層10と接触する表面に黒色クロムメッキを含むメッキ層である。黒色クロムメッキ層5の表面は多孔性で複雑なスポンジ状の微細構造を有する。このため、隣接する絶縁樹脂層10と接着する表面積が広いので、絶縁樹脂層10との接着性が優れる。
(Black chrome plating layer)
The black chrome plating layer 5 is a plating layer including black chrome plating on the surface that contacts the insulating resin layer 10. The surface of the black chrome plating layer 5 is porous and has a complicated sponge-like fine structure. Therefore, since the surface area for adhering to the adjacent insulating resin layer 10 is large, the adhesiveness with the insulating resin layer 10 is excellent.

黒色クロムメッキの成分として、金属クロム、クロム酸化物、クロム水酸化物が挙げられる。これら3成分のうち、金属クロムと、クロム酸化物及びクロム水酸化物の少なくとも一方とが含まれると、多孔性で重厚な質感のメッキ層となるので好ましい。
多孔性の黒色クロムメッキ層は、公知のメッキ方法で形成される。具体的には例えば、低温黒色クロムメッキ、硬質黒色クロムメッキ、三価黒色クロムメッキ等が挙げられる。
Components of the black chrome plating include metal chromium, chromium oxide, and chromium hydroxide. Of these three components, it is preferable that metallic chromium and at least one of chromium oxide and chromium hydroxide are contained, because a plated layer having a porous and heavy texture is formed.
The porous black chrome plating layer is formed by a known plating method. Specific examples include low-temperature black chrome plating, hard black chrome plating, trivalent black chrome plating, and the like.

黒色クロムメッキ層5の厚さとしては、例えば0.01μm以上10μm以下が挙げられ、0.1μm以上5μm以下が好ましく、0.3μm以上1μm以下がより好ましい。
黒色クロムメッキ層5の厚さが上記範囲の下限値以上であると、多孔質の微細構造が充分に形成され、絶縁樹脂層10との接着性がより向上する。
黒色クロムメッキ層5の厚さが上記範囲の上限値以下であると、黒色クロムメッキ層5における多孔質の構造的な脆さが現れず、絶縁樹脂層10との接着性がより向上する。
The thickness of the black chrome plating layer 5 is, for example, 0.01 μm or more and 10 μm or less, preferably 0.1 μm or more and 5 μm or less, and more preferably 0.3 μm or more and 1 μm or less.
When the thickness of the black chrome plating layer 5 is at least the lower limit value of the above range, a porous fine structure is sufficiently formed, and the adhesiveness with the insulating resin layer 10 is further improved.
When the thickness of the black chrome plating layer 5 is less than or equal to the upper limit value of the above range, the structural fragility of the black chrome plating layer 5 does not appear, and the adhesiveness with the insulating resin layer 10 is further improved.

黒色クロムメッキ層5は、単層でもよく、2層以上であってもよい。
黒色クロムメッキ層5と金属薄膜層22との間に、別のメッキ層が介在してもよい。ただし、黒色クロムメッキ層5が、絶縁樹脂層10と接着する。
黒色クロムメッキ層5と金属薄膜層22との間に介在する別のメッキ層の例として、例えば、ニッケルメッキ層が挙げられる。金属薄膜層22の表面にニッケルメッキ層を有すると、黒色クロムメッキ層5と金属薄膜層22との接着性が優れるので好ましい。
The black chrome plating layer 5 may be a single layer or two or more layers.
Another plating layer may be interposed between the black chrome plating layer 5 and the metal thin film layer 22. However, the black chrome plating layer 5 adheres to the insulating resin layer 10.
An example of another plating layer interposed between the black chrome plating layer 5 and the metal thin film layer 22 is, for example, a nickel plating layer. It is preferable to have a nickel plating layer on the surface of the metal thin film layer 22 because the adhesion between the black chrome plating layer 5 and the metal thin film layer 22 is excellent.

(導電層)
導電層20は、黒色クロムメッキ層5に隣接する金属薄膜層22と、離型フィルム40に隣接する異方導電性接着剤層24とを有するため、電磁波遮蔽性が十分に高い。
(Conductive layer)
Since the conductive layer 20 has the metal thin film layer 22 adjacent to the black chrome plated layer 5 and the anisotropic conductive adhesive layer 24 adjacent to the release film 40, the electromagnetic wave shielding property is sufficiently high.

金属薄膜層:
金属薄膜層22は、金属の薄膜からなる層である。金属薄膜層22は、面方向に広がるように形成されていることから、面方向に導電性を有し、電磁波シールド層等として機能する。
Metal thin film layer:
The metal thin film layer 22 is a layer made of a metal thin film. Since the metal thin film layer 22 is formed so as to spread in the plane direction, it has conductivity in the plane direction and functions as an electromagnetic wave shield layer or the like.

金属薄膜層22としては、物理蒸着(真空蒸着、スパッタリング、イオンビーム蒸着、電子ビーム蒸着等)またはCVD(化学気相蒸着)によって形成された蒸着膜、金属箔等が挙げられる。
黒色クロムメッキ層5に対する接着性が高いことから、圧延加工により形成された金属箔が好ましい。金属箔は、エッチングによりその厚さが調整されていてもよい。
Examples of the metal thin film layer 22 include a vapor deposition film formed by physical vapor deposition (vacuum vapor deposition, sputtering, ion beam vapor deposition, electron beam vapor deposition, etc.) or CVD (chemical vapor deposition), a metal foil, and the like.
A metal foil formed by rolling is preferable because it has high adhesiveness to the black chrome plating layer 5. The thickness of the metal foil may be adjusted by etching.

金属薄膜層22を構成する金属としては、アルミニウム、銀、銅、金、導電性セラミックス等が挙げられ、電気伝導度の点からは、銀または銅が好ましく、黒色クロムメッキ層5に対する接着性が高いことからは、銅がより好ましい。   Examples of the metal forming the metal thin film layer 22 include aluminum, silver, copper, gold, conductive ceramics, and the like. From the viewpoint of electrical conductivity, silver or copper is preferable, and the adhesiveness to the black chrome plating layer 5 is high. Copper is more preferable because of its high price.

金属薄膜層22の表面抵抗は、0.001Ω/□以上1Ω/□以下が好ましく、0.001Ω/□以上0.5Ω/□以下がより好ましい。金属薄膜層22の表面抵抗が前記範囲の下限値以上であれば、金属薄膜層22を十分に薄くできる。金属薄膜層22の表面抵抗が前記範囲の上限値以下であれば、電磁波シールド層として十分に機能できる。   The surface resistance of the metal thin film layer 22 is preferably 0.001 Ω / □ or more and 1 Ω / □ or less, and more preferably 0.001 Ω / □ or more and 0.5 Ω / □ or less. If the surface resistance of the metal thin film layer 22 is at least the lower limit value of the above range, the metal thin film layer 22 can be made sufficiently thin. When the surface resistance of the metal thin film layer 22 is equal to or less than the upper limit value of the above range, it can sufficiently function as an electromagnetic wave shield layer.

金属薄膜層22の厚さは、0.01μm以上5μm以下が好ましく、0.05μm以上3μm以下がより好ましい。金属薄膜層22の厚さが0.01μm以上であれば、面方向の導電性がさらに良好になる。金属薄膜層22の厚さが0.05μm以上であれば、電磁波ノイズの遮蔽効果がさらに良好になる。金属薄膜層22の厚さが前記範囲の上限値以下であれば、電磁波シールドフィルム1を薄くできる。また、電磁波シールドフィルム1の生産性、可とう性がよくなる。   The thickness of the metal thin film layer 22 is preferably 0.01 μm or more and 5 μm or less, more preferably 0.05 μm or more and 3 μm or less. When the thickness of the metal thin film layer 22 is 0.01 μm or more, the conductivity in the plane direction is further improved. When the thickness of the metal thin film layer 22 is 0.05 μm or more, the effect of shielding electromagnetic wave noise is further improved. When the thickness of the metal thin film layer 22 is not more than the upper limit value of the above range, the electromagnetic wave shielding film 1 can be thinned. Further, the productivity and flexibility of the electromagnetic wave shielding film 1 are improved.

(黒色クロムメッキ層5の厚さ/金属薄膜層22の厚さ)で表される厚さの比は、0.01〜1が好ましく、0.02〜0.6がより好ましく、0.05〜0.3がさらに好ましい。上記の比が上記範囲であると、黒色クロムメッキ層5を介在して絶縁樹脂層10と金属薄膜層22との接着性が高まるとともに、電磁波シールド層としての機能も充分に得られる。   The thickness ratio represented by (thickness of black chrome plating layer 5 / thickness of metal thin film layer 22) is preferably 0.01 to 1, more preferably 0.02 to 0.6, and 0.05. ~ 0.3 is more preferable. When the above ratio is in the above range, the adhesiveness between the insulating resin layer 10 and the metal thin film layer 22 is enhanced with the black chrome plating layer 5 interposed, and the function as an electromagnetic wave shield layer is sufficiently obtained.

(導電性接着剤層)
導電層20を構成する導電性接着剤層は、少なくとも厚さ方向に導電性を有し、かつ接着性を有する。
導電性接着剤層としては、厚さ方向に導電性を有し、面方向には導電性を有さない異方導電性接着剤層24、または厚さ方向および面方向に導電性を有する等方導電性接着剤層26が挙げられる。異方導電性接着剤層24を含む電磁波シールドフィルム1を図1に示す。等方導電性接着剤層26を含む電磁波シールドフィルム1を図2に示す。
導電性接着剤層を薄くでき、導電性粒子の量が少なくなり、その結果、電磁波シールドフィルム1を薄くでき、電磁波シールドフィルム1の可とう性がよくなる点からは、異方導電性接着剤層24が好ましい。電磁波シールド層として十分に機能できる点からは、等方導電性接着剤層26が好ましい。
(Conductive adhesive layer)
The conductive adhesive layer that forms the conductive layer 20 has conductivity and adhesiveness at least in the thickness direction.
As the conductive adhesive layer, an anisotropic conductive adhesive layer 24 having conductivity in the thickness direction and having no conductivity in the plane direction, or having conductivity in the thickness direction and the plane direction, etc. The one-way conductive adhesive layer 26 is included. The electromagnetic wave shielding film 1 including the anisotropic conductive adhesive layer 24 is shown in FIG. The electromagnetic wave shielding film 1 including the isotropic conductive adhesive layer 26 is shown in FIG.
The conductive adhesive layer can be made thin, the amount of conductive particles can be reduced, and as a result, the electromagnetic wave shielding film 1 can be made thin, and the flexibility of the electromagnetic wave shielding film 1 can be improved. 24 is preferred. The isotropic conductive adhesive layer 26 is preferable because it can sufficiently function as an electromagnetic wave shield layer.

導電性接着剤層としては、硬化後に耐熱性を発揮できる点から、熱硬化性の導電性接着剤層が好ましい。熱硬化性の導電性接着剤層は、未硬化の状態であってもよく、Bステージ化された状態であってもよい。
熱硬化性の異方導電性接着剤層24は、例えば、熱硬化性接着剤24aと導電性粒子24bとを含む。
熱硬化性の等方導電性接着剤層26は、例えば、熱硬化性接着剤26aと導電性粒子26bとを含む。
As the conductive adhesive layer, a thermosetting conductive adhesive layer is preferable because it can exhibit heat resistance after curing. The thermosetting conductive adhesive layer may be in an uncured state or in a B-staged state.
The thermosetting anisotropic conductive adhesive layer 24 includes, for example, a thermosetting adhesive 24a and conductive particles 24b.
The thermosetting isotropic conductive adhesive layer 26 includes, for example, a thermosetting adhesive 26a and conductive particles 26b.

熱硬化性接着剤としては、接着性を有する熱硬化性樹脂と硬化剤とを含むものが挙げられる。
熱硬化性樹脂としては、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、アミノ樹脂、アルキッド樹脂、ウレタン樹脂、合成ゴム、紫外線硬化アクリレート樹脂等が挙げられる。熱硬化性樹脂としては、耐熱性に優れる点から、エポキシ樹脂が好ましい。
硬化剤としては、熱硬化性樹脂の種類に応じた公知の硬化剤が挙げられる。
Examples of the thermosetting adhesive include those containing a thermosetting resin having adhesiveness and a curing agent.
Examples of the thermosetting resin include epoxy resin, phenol resin, amino resin, alkyd resin, urethane resin, synthetic rubber, and ultraviolet curing acrylate resin. As the thermosetting resin, an epoxy resin is preferable because it has excellent heat resistance.
Examples of the curing agent include known curing agents depending on the type of thermosetting resin.

熱硬化性樹脂がエポキシ樹脂の場合、熱硬化性接着剤は、可とう性付与のためのゴム成分(カルボキシ変性ニトリルゴム、アクリルゴム等)、粘着付与剤等を含んでいてもよい。
熱硬化性接着剤は、必要に応じて難燃剤を含んでいてもよい。
熱硬化性接着剤は、導電性接着剤層の強度を高め、打ち抜き特性を向上させるために、セルロース樹脂、ミクロフィブリル(ガラス繊維等)を含んでいてもよい。
熱硬化性接着剤は、本発明の効果を損なわない範囲において、必要に応じて他の成分を含んでいてもよい。
When the thermosetting resin is an epoxy resin, the thermosetting adhesive may include a rubber component (carboxy-modified nitrile rubber, acrylic rubber, etc.) for imparting flexibility, a tackifier, and the like.
The thermosetting adhesive may contain a flame retardant, if necessary.
The thermosetting adhesive may contain a cellulose resin or microfibril (glass fiber or the like) in order to enhance the strength of the conductive adhesive layer and improve the punching property.
The thermosetting adhesive may contain other components, if necessary, within a range that does not impair the effects of the present invention.

導電性粒子としては、金属(銀、白金、金、銅、ニッケル、パラジウム、アルミニウム、ハンダ等)の粒子、黒鉛粉、焼成カーボン粒子、めっきされた焼成カーボン粒子等が挙げられる。導電性粒子としては、導電性接着剤層が適度の硬さを有するようになり、熱プレスの際の導電性接着剤層における圧力損失を低減できる点からは、金属粒子が好ましく、銅粒子がより好ましい。   Examples of the conductive particles include particles of metal (silver, platinum, gold, copper, nickel, palladium, aluminum, solder, etc.), graphite powder, fired carbon particles, plated fired carbon particles, and the like. As the conductive particles, the conductive adhesive layer comes to have an appropriate hardness, from the viewpoint that the pressure loss in the conductive adhesive layer at the time of hot pressing can be reduced, metal particles are preferable, and copper particles are More preferable.

異方導電性接着剤層24における導電性粒子24bの平均粒子径は、2μm以上26μm以下が好ましく、4μm以上16μm以下がより好ましい。導電性粒子24bの平均粒子径が前記範囲の下限値以上であれば、異方導電性接着剤層24の厚さを確保することができ、十分な接着強度を得ることができる。導電性粒子24bの平均粒子径が前記範囲の上限値以下であれば、異方導電性接着剤層24の流動性(絶縁フィルムの貫通孔の形状への追随性)を確保でき、絶縁フィルムの貫通孔内を導電性接着剤で十分に埋めることができる。   The average particle diameter of the conductive particles 24b in the anisotropic conductive adhesive layer 24 is preferably 2 μm or more and 26 μm or less, and more preferably 4 μm or more and 16 μm or less. When the average particle diameter of the conductive particles 24b is equal to or larger than the lower limit value of the above range, the thickness of the anisotropic conductive adhesive layer 24 can be secured and sufficient adhesive strength can be obtained. When the average particle diameter of the conductive particles 24b is equal to or less than the upper limit value of the above range, the fluidity of the anisotropic conductive adhesive layer 24 (following the shape of the through holes of the insulating film) can be secured, and The inside of the through hole can be sufficiently filled with a conductive adhesive.

等方導電性接着剤層26における導電性粒子26bの平均粒子径は、0.1μm以上10μm以下が好ましく、0.2μm以上1μm以下がより好ましい。導電性粒子26bの平均粒子径が前記範囲の下限値以上であれば、導電性粒子26bの接触点数が増えることになり、3次元方向の導通性を安定的に高めることができる。導電性粒子26bの平均粒子径が前記範囲の上限値以下であれば、等方導電性接着剤層26の流動性(絶縁フィルムの貫通孔の形状への追随性)を確保でき、絶縁フィルムの貫通孔内を導電性接着剤で十分に埋めることができる。   The average particle diameter of the conductive particles 26b in the isotropic conductive adhesive layer 26 is preferably 0.1 μm or more and 10 μm or less, and more preferably 0.2 μm or more and 1 μm or less. When the average particle diameter of the conductive particles 26b is equal to or more than the lower limit value of the above range, the number of contact points of the conductive particles 26b increases, and the conductivity in the three-dimensional direction can be stably increased. When the average particle diameter of the conductive particles 26b is equal to or less than the upper limit value of the above range, the fluidity of the isotropic conductive adhesive layer 26 (following the shape of the through hole of the insulating film) can be secured, and the insulating film The inside of the through hole can be sufficiently filled with a conductive adhesive.

異方導電性接着剤層24における導電性粒子24bの割合は、異方導電性接着剤層24の100体積%のうち、1体積%以上30体積%以下が好ましく、2体積%以上10体積%以下がより好ましい。導電性粒子24bの割合が前記範囲の下限値以上であれば、異方導電性接着剤層24の導電性が良好になる。導電性粒子24bの割合が前記範囲の上限値以下であれば、異方導電性接着剤層24の接着性、流動性(絶縁フィルムの貫通孔の形状への追随性)が良好になる。また、電磁波シールドフィルム1の可とう性がよくなる。   The proportion of the conductive particles 24b in the anisotropic conductive adhesive layer 24 is preferably 1% by volume or more and 30% by volume or less, preferably 2% by volume or more and 10% by volume, out of 100% by volume of the anisotropic conductive adhesive layer 24. The following is more preferable. When the ratio of the conductive particles 24b is at least the lower limit value of the above range, the conductivity of the anisotropic conductive adhesive layer 24 will be good. When the ratio of the conductive particles 24b is equal to or less than the upper limit value of the above range, the anisotropic conductive adhesive layer 24 has good adhesiveness and fluidity (following the shape of the through holes of the insulating film). Moreover, the flexibility of the electromagnetic wave shielding film 1 is improved.

等方導電性接着剤層26における導電性粒子26bの割合は、等方導電性接着剤層26の100体積%のうち、50体積%以上80体積%以下が好ましく、60体積%以上70体積%以下がより好ましい。導電性粒子26bの割合が前記範囲の下限値以上であれば、等方導電性接着剤層26の導電性が良好になる。導電性粒子26bの割合が前記範囲の上限値以下であれば、等方導電性接着剤層26の接着性、流動性(絶縁フィルムの貫通孔の形状への追随性)が良好になる。また、電磁波シールドフィルム1の可とう性がよくなる。   The proportion of the conductive particles 26b in the isotropic conductive adhesive layer 26 is preferably 50% by volume or more and 80% by volume or less, and 60% by volume or more and 70% by volume, of 100% by volume of the isotropic conductive adhesive layer 26. The following is more preferable. When the ratio of the conductive particles 26b is at least the lower limit value of the above range, the conductivity of the isotropic conductive adhesive layer 26 will be good. When the ratio of the conductive particles 26b is equal to or less than the upper limit value of the above range, the adhesiveness and fluidity of the isotropic conductive adhesive layer 26 (the conformability to the shape of the through hole of the insulating film) will be good. Moreover, the flexibility of the electromagnetic wave shielding film 1 is improved.

異方導電性接着剤層24の表面抵抗は、1×10Ω/□以上1×1016Ω/□以下が好ましく、1×10Ω/□以上1×1014Ω/□以下がより好ましい。異方導電性接着剤層24の表面抵抗が前記範囲の下限値以上であれば、導電性粒子24bの含有量が低く抑えられる。異方導電性接着剤層24の表面抵抗が前記範囲の上限値以下であれば、実用上、異方性に問題がない。 The surface resistance of the anisotropic conductive adhesive layer 24 is preferably 1 × 10 4 Ω / □ or more and 1 × 10 16 Ω / □ or less, and more preferably 1 × 10 6 Ω / □ or more and 1 × 10 14 Ω / □ or less. preferable. When the surface resistance of the anisotropic conductive adhesive layer 24 is at least the lower limit value of the above range, the content of the conductive particles 24b can be suppressed low. When the surface resistance of the anisotropic conductive adhesive layer 24 is not more than the upper limit value of the above range, there is no problem in anisotropy in practical use.

等方導電性接着剤層26の表面抵抗は、0.05Ω/□以上2.0Ω/□以下が好ましく、0.1Ω/□以上1.0Ω/□以下がより好ましい。等方導電性接着剤層26の表面抵抗が前記範囲の下限値以上であれば、導電性粒子26bの含有量が低く抑えられ、導電性接着剤の粘度が高くなりすぎず、塗布性がさらに良好となる。また、等方導電性接着剤層26の流動性(絶縁フィルムの貫通孔の形状への追随性)をさらに確保できる。等方導電性接着剤層26の表面抵抗が前記範囲の上限値以下であれば、等方導電性接着剤層26の全面が均一な導電性を有するものとなる。   The surface resistance of the isotropic conductive adhesive layer 26 is preferably 0.05 Ω / □ or more and 2.0 Ω / □ or less, and more preferably 0.1 Ω / □ or more and 1.0 Ω / □ or less. When the surface resistance of the isotropic conductive adhesive layer 26 is at least the lower limit value of the above range, the content of the conductive particles 26b is suppressed to be low, the viscosity of the conductive adhesive does not become too high, and the coating property is further improved. It will be good. Further, the fluidity of the isotropic conductive adhesive layer 26 (following the shape of the through hole of the insulating film) can be further secured. When the surface resistance of the isotropic conductive adhesive layer 26 is not more than the upper limit value of the above range, the entire surface of the isotropic conductive adhesive layer 26 has uniform conductivity.

異方導電性接着剤層24の厚さは、3μm以上25μm以下が好ましく、5μm以上15μm以下がより好ましい。異方導電性接着剤層24の厚さが前記範囲の下限値以上であれば、異方導電性接着剤層24の流動性(絶縁フィルムの貫通孔の形状への追随性)を確保でき、絶縁フィルムの貫通孔内を導電性接着剤で十分に埋めることができる。異方導電性接着剤層24の厚さが前記範囲の上限値以下であれば、電磁波シールドフィルム1を薄くできる。また、電磁波シールドフィルム1の可とう性がよくなる。   The thickness of the anisotropic conductive adhesive layer 24 is preferably 3 μm or more and 25 μm or less, and more preferably 5 μm or more and 15 μm or less. If the thickness of the anisotropic conductive adhesive layer 24 is not less than the lower limit value of the above range, the fluidity of the anisotropic conductive adhesive layer 24 (following the shape of the through hole of the insulating film) can be secured, The through holes of the insulating film can be sufficiently filled with the conductive adhesive. If the thickness of the anisotropic conductive adhesive layer 24 is not more than the upper limit value of the above range, the electromagnetic wave shielding film 1 can be thinned. Moreover, the flexibility of the electromagnetic wave shielding film 1 is improved.

等方導電性接着剤層26の厚さは、5μm以上20μm以下が好ましく、7μm以上17μm以下がより好ましい。等方導電性接着剤層26の厚さが前記範囲の下限値以上であれば、等方導電性接着剤層26の導電性が良好になり、電磁波シールド層として十分に機能できる。また、等方導電性接着剤層26の流動性(絶縁フィルムの貫通孔の形状への追随性)を確保でき、絶縁フィルムの貫通孔内を導電性接着剤で十分に埋めることができ、耐折性も確保でき繰り返し折り曲げても等方導電性接着剤層26が断裂することはない。
等方導電性接着剤層26の厚さが前記範囲の上限値以下であれば、電磁波シールドフィルム1を薄くできる。また、電磁波シールドフィルム1の可とう性がよくなる。
The thickness of the isotropic conductive adhesive layer 26 is preferably 5 μm or more and 20 μm or less, more preferably 7 μm or more and 17 μm or less. When the thickness of the isotropic conductive adhesive layer 26 is not less than the lower limit value of the above range, the conductivity of the isotropic conductive adhesive layer 26 becomes good, and the isotropic conductive adhesive layer 26 can sufficiently function as an electromagnetic wave shield layer. In addition, the fluidity of the isotropic conductive adhesive layer 26 (the conformability to the shape of the through hole of the insulating film) can be secured, and the through hole of the insulating film can be sufficiently filled with the conductive adhesive to improve the resistance. Foldability can be ensured and the isotropic conductive adhesive layer 26 will not be broken even if it is repeatedly bent.
If the thickness of the isotropic conductive adhesive layer 26 is not more than the upper limit value of the above range, the electromagnetic wave shielding film 1 can be thinned. Moreover, the flexibility of the electromagnetic wave shielding film 1 is improved.

(離型フィルム)
離型フィルム40は、導電性接着剤層を保護するものであり、電磁波シールドフィルム1のハンドリング性を良好にする。離型フィルム40は、電磁波シールドフィルム1をプリント配線板等に貼り付ける前に、導電性接着剤層から剥離される。
(Release film)
The release film 40 protects the conductive adhesive layer and improves the handleability of the electromagnetic wave shielding film 1. The release film 40 is peeled from the conductive adhesive layer before the electromagnetic wave shielding film 1 is attached to a printed wiring board or the like.

離型フィルム40は、例えば、離型フィルム本体42と、離型フィルム本体42の導電性接着剤層側の表面に設けられた離型剤層44とを有する。   The release film 40 has, for example, a release film body 42 and a release agent layer 44 provided on the surface of the release film body 42 on the side of the conductive adhesive layer.

離型フィルム本体42の樹脂材料としては、ポリエチレンテレフタレート(以下、「PET」ということもある。)、ポリエチレンナフタレート、ポリエチレンイソフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリオレフィン、ポリアセテート、ポリカーボネート、ポリフェニレンサルファイド、ポリアミド、エチレン−酢酸ビニル共重合体、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、合成ゴム、液晶ポリマー等が挙げられる。樹脂材料としては、電磁波シールドフィルム1を製造する際の耐熱性(寸法安定性)及び価格の点から、PETが好ましい。
離型フィルム本体42は、着色剤、フィラー等を含んでいてもよい。
離型フィルム本体42の厚さは、5μm以上500μm以下が好ましく、10μm以上150μm以下がより好ましく、25μm以上100μm以下がさらに好ましい。
Examples of the resin material of the release film main body 42 include polyethylene terephthalate (hereinafter sometimes referred to as “PET”), polyethylene naphthalate, polyethylene isophthalate, polybutylene terephthalate, polyolefin, polyacetate, polycarbonate, polyphenylene sulfide, polyamide, Examples thereof include ethylene-vinyl acetate copolymer, polyvinyl chloride, polyvinylidene chloride, synthetic rubber, and liquid crystal polymer. As the resin material, PET is preferable from the viewpoint of heat resistance (dimensional stability) when manufacturing the electromagnetic wave shielding film 1 and price.
The release film main body 42 may include a colorant, a filler, and the like.
The thickness of the release film main body 42 is preferably 5 μm or more and 500 μm or less, more preferably 10 μm or more and 150 μm or less, and further preferably 25 μm or more and 100 μm or less.

離型剤層44は、離型フィルム本体42の表面を離型剤で処理して形成される。離型フィルム40が離型剤層44を有することによって、離型フィルム40を導電性接着剤層から剥離する際に、離型フィルム40を剥離しやすく、導電性接着剤層が破断しにくくなる。
離型剤としては、公知の離型剤を用いればよい。
The release agent layer 44 is formed by treating the surface of the release film main body 42 with a release agent. When the release film 40 has the release agent layer 44, when the release film 40 is released from the conductive adhesive layer, the release film 40 is easily released and the conductive adhesive layer is less likely to be broken. .
As the release agent, a known release agent may be used.

離型剤層44の厚さは、0.05μm以上30μm以下が好ましく、0.1μm以上20μm以下がより好ましい。離型剤層44の厚さが前記範囲内であれば、離型フィルム40をさらに剥離しやすくなる。   The thickness of the release agent layer 44 is preferably 0.05 μm or more and 30 μm or less, and more preferably 0.1 μm or more and 20 μm or less. When the thickness of the release agent layer 44 is within the above range, the release film 40 can be more easily peeled off.

(電磁波シールドフィルムの製造方法)
本発明の電磁波シールドフィルムは、例えば、下記の工程(I)〜(IV)を順に行う方法(A)によって製造できる。以下、導電性接着剤層が異方導電性接着剤層である場合の図1に示す電磁波シールドフィルム1の製造方法について説明する。
工程(I):金属薄膜層22の一方の面に黒色クロムメッキ層5を形成する工程。
工程(II):黒色クロムメッキ層5の金属薄膜層22とは反対側の表面に、絶縁樹脂層10を形成する工程。
工程(III):金属薄膜層22の他方の面に異方導電性接着剤層24を形成する工程。
工程(IV):異方導電性接着剤層24の金属薄膜層22とは反対側の表面に、離型フィルム40を張り付ける工程。
(Method for manufacturing electromagnetic wave shielding film)
The electromagnetic wave shielding film of the present invention can be produced, for example, by a method (A) in which the following steps (I) to (IV) are sequentially performed. Hereinafter, a method for producing the electromagnetic wave shielding film 1 shown in FIG. 1 in the case where the conductive adhesive layer is an anisotropic conductive adhesive layer will be described.
Step (I): A step of forming the black chrome plating layer 5 on one surface of the metal thin film layer 22.
Step (II): A step of forming the insulating resin layer 10 on the surface of the black chrome plating layer 5 opposite to the metal thin film layer 22.
Step (III): A step of forming the anisotropic conductive adhesive layer 24 on the other surface of the metal thin film layer 22.
Step (IV): A step of attaching the release film 40 to the surface of the anisotropic conductive adhesive layer 24 opposite to the metal thin film layer 22.

工程(I):金属薄膜層22として金属箔を用意し、金属薄膜層22の一方の面に多孔性の黒色クロムメッキ層5を形成した積層体を得る。黒色クロムメッキ層5の形成方法としては、公知方法が適用され、例えば、電解メッキ法、無電解メッキ法等が挙げられる。メッキを行う際には、金属薄膜層22の他方の面がメッキされないように、フィルム等でマスキングしておく。   Step (I): A metal foil is prepared as the metal thin film layer 22, and a laminated body in which a porous black chrome plating layer 5 is formed on one surface of the metal thin film layer 22 is obtained. As a method for forming the black chrome plating layer 5, a known method is applied, and examples thereof include an electrolytic plating method and an electroless plating method. When plating is performed, masking is performed with a film or the like so that the other surface of the metal thin film layer 22 is not plated.

工程(II):多孔性の黒色クロムメッキ層5の表面に、絶縁樹脂層10の樹脂材料を塗布し、樹脂を硬化させることにより、絶縁樹脂層10を形成する。塗布方法は特に限定されず、種々のコーターを用いる塗布、スプレー塗布、浸漬塗布等が挙げられる。塗膜に含まれる樹脂を硬化する方法は、特に限定されず、例えば、熱可塑性樹脂である場合は塗膜の温度を下げて硬化することができ、熱硬化性樹脂である場合は硬化剤の種類に応じて加熱や光照射の処理により硬化することができる。   Step (II): The insulating resin layer 10 is formed by applying the resin material of the insulating resin layer 10 on the surface of the porous black chrome plating layer 5 and curing the resin. The coating method is not particularly limited, and examples include coating using various coaters, spray coating, dip coating, and the like. The method of curing the resin contained in the coating film is not particularly limited, and for example, in the case of a thermoplastic resin, the temperature of the coating film can be lowered to be cured, and in the case of a thermosetting resin, a curing agent of It can be cured by heating or light irradiation depending on the type.

工程(III):金属薄膜層22の他方の面に異方導電性接着剤層24を形成する。異方導電性接着剤層24の形成方法としては、金属薄膜層22の表面に熱硬化性導電性接着剤組成物を塗布する方法が挙げられる。
熱硬化性導電性接着剤組成物として、熱硬化性接着剤24aと導電性粒子24bとを含むものを用いることができる。
Step (III): An anisotropic conductive adhesive layer 24 is formed on the other surface of the metal thin film layer 22. Examples of the method of forming the anisotropic conductive adhesive layer 24 include a method of applying a thermosetting conductive adhesive composition to the surface of the metal thin film layer 22.
As the thermosetting conductive adhesive composition, a composition containing the thermosetting adhesive 24a and the conductive particles 24b can be used.

工程(IV):異方導電性接着剤層24の表面に離型フィルム40の粘着面を貼り付けて、電磁波シールドフィルム1を得る。   Step (IV): The adhesive surface of the release film 40 is attached to the surface of the anisotropic conductive adhesive layer 24 to obtain the electromagnetic wave shielding film 1.

(他の実施形態)
本発明の電磁波シールドフィルムは、図示例の実施形態に限定はされない。
例えば、離型フィルムは、導電性接着剤層の表面のタック性が少ない場合は、離型剤層の代わりに粘着剤層を有していてもよい。または、離型フィルムを省略しても構わない。
離型フィルムは、離型フィルム本体の離型性が高い場合は、離型剤層を有さず、離型フィルム本体のみからなるものであってもよい。
(Other embodiments)
The electromagnetic wave shielding film of the present invention is not limited to the illustrated embodiment.
For example, when the tackiness of the surface of the conductive adhesive layer is small, the release film may have an adhesive layer instead of the release agent layer. Alternatively, the release film may be omitted.
When the release film main body has a high releasability, the release film may be composed of only the release film main body without a release agent layer.

<電磁波シールドフィルム付きプリント配線板>
本発明の第2の態様は、基板の少なくとも片面にプリント回路が設けられたプリント配線板と、プリント配線板のプリント回路が設けられた側の表面に隣接する絶縁フィルムと、第1の態様の電磁波シールドフィルムとを備えた電磁波シールドフィルム付きプリント配線板である。
電磁波シールドフィルムが有する導電性接着剤層は絶縁フィルムに隣接し、かつ導電性接着剤層が絶縁フィルムに形成された貫通孔を通ってプリント回路に電気的に接続されていることが好ましい。
<Printed wiring board with electromagnetic wave shielding film>
A second aspect of the present invention is a printed wiring board having a printed circuit provided on at least one surface of a substrate, an insulating film adjacent to a surface of the printed wiring board on the side where the printed circuit is provided, and a second aspect of the first aspect. A printed wiring board with an electromagnetic wave shielding film, comprising an electromagnetic wave shielding film.
It is preferable that the conductive adhesive layer of the electromagnetic wave shielding film is adjacent to the insulating film and that the conductive adhesive layer is electrically connected to the printed circuit through the through hole formed in the insulating film.

図3に例示する電磁波シールドフィルム付きフレキシブルプリント配線板2は、フレキシブルプリント配線板50と、絶縁フィルム60と、電磁波シールドフィルム1とを備える。
フレキシブルプリント配線板50は、ベースフィルム52の少なくとも片面にプリント回路54が設けられたものである。
絶縁フィルム60は、フレキシブルプリント配線板50のプリント回路54が設けられた側の表面に設けられる。
電磁波シールドフィルム1の異方導電性接着剤層24は、絶縁フィルム60の表面に接着され、かつ硬化されている。また、異方導電性接着剤層24は、絶縁フィルム60に形成された貫通孔(図示略)を通ってプリント回路54に電気的に接続されている。
電磁波シールドフィルム付きフレキシブルプリント配線板2においては、離型フィルム40は、異方導電性接着剤層24から剥離されている。
The flexible printed wiring board 2 with an electromagnetic wave shielding film illustrated in FIG. 3 includes a flexible printed wiring board 50, an insulating film 60, and the electromagnetic wave shielding film 1.
The flexible printed wiring board 50 is one in which a printed circuit 54 is provided on at least one surface of a base film 52.
The insulating film 60 is provided on the surface of the flexible printed wiring board 50 on the side where the printed circuit 54 is provided.
The anisotropic conductive adhesive layer 24 of the electromagnetic wave shielding film 1 is adhered and cured on the surface of the insulating film 60. Further, the anisotropic conductive adhesive layer 24 is electrically connected to the printed circuit 54 through a through hole (not shown) formed in the insulating film 60.
In the flexible printed wiring board 2 with the electromagnetic wave shield film, the release film 40 is peeled off from the anisotropic conductive adhesive layer 24.

貫通孔のある部分を除くプリント回路54(信号回路、グランド回路、グランド層等)の近傍には、電磁波シールドフィルム1の金属薄膜層22が、絶縁フィルム60および異方導電性接着剤層24を介して離間して対向配置される。
貫通孔のある部分を除くプリント回路54と金属薄膜層22との離間距離は、絶縁フィルム60の厚さと異方導電性接着剤層24の厚さの総和とほぼ等しい。離間距離は、30μm以上200μm以下が好ましく、60μm以上200μm以下がより好ましい。離間距離が30μmより小さいと、信号回路のインピーダンスが低くなるため、100Ω等の特性インピーダンスを有するためには、信号回路の線幅を小さくしなければならず、線幅のバラツキが特性インピーダンスのバラツキとなって、インピーダンスのミスマッチによる反射共鳴ノイズが電気信号に乗りやすくなる。離間距離が200μmより大きいと、電磁波シールドフィルム付きフレキシブルプリント配線板2が厚くなり、可とう性が不足する。
In the vicinity of the printed circuit 54 (signal circuit, ground circuit, ground layer, etc.) except for the portion having the through holes, the metal thin film layer 22 of the electromagnetic wave shielding film 1 includes the insulating film 60 and the anisotropic conductive adhesive layer 24. They are spaced apart and are opposed to each other.
The distance between the printed circuit 54 and the metal thin film layer 22 excluding the portion having the through hole is substantially equal to the total thickness of the insulating film 60 and the anisotropic conductive adhesive layer 24. The separation distance is preferably 30 μm or more and 200 μm or less, and more preferably 60 μm or more and 200 μm or less. If the separation distance is smaller than 30 μm, the impedance of the signal circuit becomes low. Therefore, in order to have a characteristic impedance of 100Ω or the like, the line width of the signal circuit must be made small, and the variation in the line width causes the variation in the characteristic impedance. Then, the reflected resonance noise due to the impedance mismatch becomes easy to be carried on the electric signal. When the separation distance is larger than 200 μm, the flexible printed wiring board 2 with the electromagnetic wave shielding film becomes thick and the flexibility becomes insufficient.

(フレキシブルプリント配線板)
フレキシブルプリント配線板50は、銅張積層板の銅箔を公知のエッチング法により所望のパターンに加工してプリント回路(電源回路、グランド回路、グランド層等)としたものである。
銅張積層板としては、ベースフィルム52の片面または両面に接着剤層(図示略)を介して銅箔を貼り付けたもの;銅箔の表面にベースフィルム52を形成する樹脂溶液等をキャストしたもの等が挙げられる。
接着剤層の材料としては、エポキシ樹脂、ポリエステル、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリアミド、フェノール樹脂、ウレタン樹脂、アクリル樹脂、メラミン樹脂等が挙げられる。
接着剤層の厚さは、0.5μm以上30μm以下が好ましい。
(Flexible printed wiring board)
The flexible printed wiring board 50 is a printed circuit (power circuit, ground circuit, ground layer, etc.) obtained by processing a copper foil of a copper clad laminate into a desired pattern by a known etching method.
As the copper-clad laminate, a copper foil is attached to one surface or both surfaces of the base film 52 via an adhesive layer (not shown); a resin solution for forming the base film 52 is cast on the surface of the copper foil. The thing etc. are mentioned.
Examples of the material of the adhesive layer include epoxy resin, polyester, polyimide, polyamideimide, polyamide, phenol resin, urethane resin, acrylic resin, and melamine resin.
The thickness of the adhesive layer is preferably 0.5 μm or more and 30 μm or less.

(ベースフィルム)
ベースフィルム52としては、耐熱性を有するフィルムが好ましく、ポリイミドフィルム、液晶ポリマーフィルムがより好ましく、ポリイミドフィルムがさらに好ましい。
ベースフィルム52の表面抵抗は、電気的絶縁性の点から、1×10Ω/□以上が好ましい。ベースフィルム52の表面抵抗は、実用上の点から、1×1019Ω/□以下が好ましい。
ベースフィルム52の厚さは、5μm以上200μm以下が好ましく、屈曲性の点から、6μm以上25μm以下がより好ましく、10μm以上25μm以下がより好ましい。
(Base film)
As the base film 52, a film having heat resistance is preferable, a polyimide film and a liquid crystal polymer film are more preferable, and a polyimide film is further preferable.
The surface resistance of the base film 52 is preferably 1 × 10 6 Ω / □ or more from the viewpoint of electrical insulation. The surface resistance of the base film 52 is preferably 1 × 10 19 Ω / □ or less from the practical point of view.
The thickness of the base film 52 is preferably 5 μm or more and 200 μm or less, more preferably 6 μm or more and 25 μm or less, and more preferably 10 μm or more and 25 μm or less from the viewpoint of flexibility.

(プリント回路)
プリント回路54(信号回路、グランド回路、グランド層等)を構成する銅箔としては、圧延銅箔、電解銅箔等が挙げられ、屈曲性の点から、圧延銅箔が好ましい。
銅箔の厚さは、1μm以上50μm以下が好ましく、18μm以上35μm以下がより好ましい。
プリント回路54の長さ方向の端部(端子)は、ハンダ接続、コネクター接続、部品搭載等のため、絶縁フィルム60や電磁波シールドフィルム1に覆われていない。
(Printed circuit)
Examples of the copper foil forming the printed circuit 54 (signal circuit, ground circuit, ground layer, etc.) include rolled copper foil, electrolytic copper foil and the like, and rolled copper foil is preferable from the viewpoint of flexibility.
The thickness of the copper foil is preferably 1 μm or more and 50 μm or less, more preferably 18 μm or more and 35 μm or less.
The lengthwise ends (terminals) of the printed circuit 54 are not covered with the insulating film 60 or the electromagnetic wave shielding film 1 because of solder connection, connector connection, component mounting, and the like.

(絶縁フィルム)
絶縁フィルム60(カバーレイフィルム)は、絶縁フィルム本体の片面に、接着剤の塗布、接着剤シートの貼り付け等によって接着剤層(図示略)を形成したものである。
絶縁フィルム本体の表面抵抗は、電気的絶縁性の点から、1×10Ω/□以上が好ましい。絶縁フィルム本体の表面抵抗は、実用上の点から、1×1019Ω/□以下が好ましい。
絶縁フィルム本体としては、耐熱性を有するフィルムが好ましく、ポリイミドフィルム、液晶ポリマーフィルムがより好ましく、ポリイミドフィルムがさらに好ましい。
絶縁フィルム本体の厚さは、1μm以上100μm以下が好ましく、可とう性の点から、3μm以上25μm以下がより好ましい。
接着剤層の材料としては、エポキシ樹脂、ポリエステル、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリアミド、フェノール樹脂、ウレタン樹脂、アクリル樹脂、メラミン樹脂、ポリスチレン、ポリオレフィン等が挙げられる。エポキシ樹脂は、可とう性付与のためのゴム成分(カルボキシ変性ニトリルゴム等)を含んでいてもよい。
接着剤層の厚さは、1μm以上100μm以下が好ましく、1.5μm以上60μm以下がより好ましい。
(Insulating film)
The insulating film 60 (coverlay film) is one in which an adhesive layer (not shown) is formed on one surface of the insulating film body by applying an adhesive, attaching an adhesive sheet, or the like.
The surface resistance of the insulating film body is preferably 1 × 10 6 Ω / □ or more from the viewpoint of electrical insulation. The surface resistance of the insulating film body is preferably 1 × 10 19 Ω / □ or less from the practical point of view.
As the insulating film body, a film having heat resistance is preferable, a polyimide film and a liquid crystal polymer film are more preferable, and a polyimide film is further preferable.
The thickness of the insulating film body is preferably 1 μm or more and 100 μm or less, and more preferably 3 μm or more and 25 μm or less from the viewpoint of flexibility.
Examples of the material of the adhesive layer include epoxy resin, polyester, polyimide, polyamideimide, polyamide, phenol resin, urethane resin, acrylic resin, melamine resin, polystyrene and polyolefin. The epoxy resin may include a rubber component (carboxy-modified nitrile rubber or the like) for imparting flexibility.
The thickness of the adhesive layer is preferably 1 μm or more and 100 μm or less, more preferably 1.5 μm or more and 60 μm or less.

貫通孔の開口部の形状は、特に限定されない。貫通孔の開口部の形状としては、例えば、円形、楕円形、四角形等が挙げられる。   The shape of the opening of the through hole is not particularly limited. Examples of the shape of the opening of the through hole include a circle, an ellipse, and a quadrangle.

図4に例示する電磁波シールドフィルム付きプリント配線板2は、等方導電性接着剤層26を備えている点以外は、図3の電磁波シールドフィルム付きプリント配線板2と同様である。   The printed wiring board 2 with an electromagnetic wave shielding film illustrated in FIG. 4 is the same as the printed wiring board 2 with an electromagnetic wave shielding film in FIG. 3 except that the printed wiring board 2 with an isotropic conductive adhesive layer 26 is provided.

(電磁波シールドフィルム付きプリント配線板の製造方法)
本発明の電磁波シールドフィルム付きプリント配線板は、例えば、下記の工程(a)〜(c)を順に行う方法によって製造できる。以下、電磁波シールドフィルムが異方導電性接着剤層を含む場合の製造方法について説明する。
工程(a):プリント配線板のプリント回路が設けられた側の表面に、プリント回路に対応する位置に貫通孔が形成された絶縁フィルムを設け、絶縁フィルム付きプリント配線板を得る工程。
工程(b):絶縁フィルム付きプリント配線板と、離型フィルムを剥離した本発明の電磁波シールドフィルムとを、絶縁フィルムの表面に導電性接着剤層が接触するように重ね、これらを熱プレスすることによって、絶縁フィルムの表面に導電性接着剤層を接着し、かつ導電性接着剤層を、貫通孔を通ってプリント回路に電気的に接続し、電磁波シールドフィルム付きプリント配線板を得る工程。
工程(c):必要に応じて、異方導電性接着剤層を本硬化させる工程。
(Method for manufacturing printed wiring board with electromagnetic wave shielding film)
The printed wiring board with an electromagnetic wave shielding film of the present invention can be manufactured by, for example, a method of sequentially performing the following steps (a) to (c). Hereinafter, a manufacturing method in the case where the electromagnetic wave shielding film includes the anisotropic conductive adhesive layer will be described.
Step (a): A step of providing a printed wiring board with an insulating film by providing an insulating film having through holes at positions corresponding to the printed circuit on the surface of the printed wiring board on which the printed circuit is provided.
Step (b): A printed wiring board with an insulating film and the electromagnetic wave shielding film of the present invention from which the release film has been peeled off are stacked so that the conductive adhesive layer contacts the surface of the insulating film, and these are hot pressed. Thus, a step of adhering a conductive adhesive layer to the surface of the insulating film, and electrically connecting the conductive adhesive layer to the printed circuit through the through hole to obtain a printed wiring board with an electromagnetic wave shielding film.
Step (c): A step of main curing the anisotropic conductive adhesive layer, if necessary.

以下、電磁波シールドフィルム付きフレキシブルプリント配線板を製造する方法について、図5を参照しながら説明する。   Hereinafter, a method for manufacturing a flexible printed wiring board with an electromagnetic wave shielding film will be described with reference to FIG.

(工程(a))
フレキシブルプリント配線板50に、プリント回路54に対応する位置に貫通孔62が形成された絶縁フィルム60を重ね、フレキシブルプリント配線板50の表面に絶縁フィルム60の接着剤層(図示略)を接着し、接着剤層を硬化させることによって、絶縁フィルム付きフレキシブルプリント配線板3を得る。フレキシブルプリント配線板50の表面に絶縁フィルム60の接着剤層を仮接着し、工程(c)にて接着剤層を本硬化させてもよい。接着剤層の接着および硬化は、例えば、プレス機(図示略)等による熱プレスによって行うことができる。
(Process (a))
An insulating film 60 having through holes 62 formed at positions corresponding to the printed circuit 54 is placed on the flexible printed wiring board 50, and an adhesive layer (not shown) of the insulating film 60 is adhered to the surface of the flexible printed wiring board 50. By curing the adhesive layer, the flexible printed wiring board 3 with an insulating film is obtained. The adhesive layer of the insulating film 60 may be temporarily adhered to the surface of the flexible printed wiring board 50, and the adhesive layer may be fully cured in the step (c). Adhesion and curing of the adhesive layer can be performed, for example, by hot pressing with a pressing machine (not shown) or the like.

(工程(b))
絶縁フィルム付きフレキシブルプリント配線板3に、離型フィルム40を剥離した電磁波シールドフィルム1を重ね、熱プレスすることによって、絶縁フィルム60の表面に異方導電性接着剤層24が接着され、かつ異方導電性接着剤層24が、貫通孔62を通ってプリント回路54に電気的に接続された電磁波シールドフィルム付きフレキシブルプリント配線板2を得る。
(Process (b))
The electromagnetic shielding film 1 from which the release film 40 has been peeled off is placed on the flexible printed wiring board 3 with an insulating film, and hot pressed to bond the anisotropic conductive adhesive layer 24 to the surface of the insulating film 60, and The flexible printed wiring board 2 with the electromagnetic wave shielding film in which the one-way conductive adhesive layer 24 is electrically connected to the printed circuit 54 through the through hole 62 is obtained.

異方導電性接着剤層24の接着および硬化は、例えば、プレス機(図示略)等による熱プレスによって行う。
熱プレスの時間は、20秒以上60分以下であり、30秒以上30分以下がさらに好ましい。熱プレスの時間が前記範囲の下限値以上であれば、絶縁フィルム60の表面に異方導電性接着剤層24が接着される。また、絶縁樹脂層10が充分に硬化し、絶縁樹脂層10とキャリアフィルム30との界面における剥離力が充分に低下する。熱プレスの時間が前記範囲の上限値以下であれば、電磁波シールドフィルム付きフレキシブルプリント配線板2の製造時間を短縮できる。
The anisotropic conductive adhesive layer 24 is adhered and cured by, for example, hot pressing using a pressing machine (not shown) or the like.
The time of hot pressing is 20 seconds or more and 60 minutes or less, and more preferably 30 seconds or more and 30 minutes or less. If the time of hot pressing is not less than the lower limit of the above range, the anisotropic conductive adhesive layer 24 is bonded to the surface of the insulating film 60. Further, the insulating resin layer 10 is sufficiently cured, and the peeling force at the interface between the insulating resin layer 10 and the carrier film 30 is sufficiently reduced. If the time of hot pressing is not more than the upper limit value of the above range, the manufacturing time of the flexible printed wiring board 2 with the electromagnetic wave shielding film can be shortened.

熱プレスの温度(プレス機の熱盤の温度)は、140℃以上190℃以下が好ましく、150℃以上175℃以下がより好ましい。熱プレスの温度が前記範囲の下限値以上であれば、絶縁フィルム60の表面に異方導電性接着剤層24が充分に接着される。また、熱プレスの時間を短縮できる。また、絶縁樹脂層10が充分に硬化する。熱プレスの温度が前記範囲の上限値以下であれば、電磁波シールドフィルム1、フレキシブルプリント配線板50等の劣化等を抑えることができる。   The temperature of hot pressing (temperature of hot plate of press) is preferably 140 ° C. or higher and 190 ° C. or lower, and more preferably 150 ° C. or higher and 175 ° C. or lower. When the temperature of hot pressing is not less than the lower limit of the above range, the anisotropic conductive adhesive layer 24 is sufficiently adhered to the surface of the insulating film 60. Also, the time of heat pressing can be shortened. Moreover, the insulating resin layer 10 is sufficiently cured. When the temperature of the hot press is equal to or lower than the upper limit value of the above range, deterioration of the electromagnetic wave shielding film 1, the flexible printed wiring board 50 and the like can be suppressed.

熱プレスの圧力は、0.5MPa以上20MPa以下が好ましく、1MPa以上16MPa以下がより好ましい。熱プレスの圧力が前記範囲の下限値以上であれば、絶縁フィルム60の表面に異方導電性接着剤層24が充分に接着される。また、熱プレスの時間を短縮できる。熱プレスの圧力が前記範囲の上限値以下であれば、電磁波シールドフィルム1、フレキシブルプリント配線板50等の破損等を抑えることができる。   The pressure of the hot press is preferably 0.5 MPa or more and 20 MPa or less, more preferably 1 MPa or more and 16 MPa or less. When the pressure of the hot press is not less than the lower limit value of the above range, the anisotropic conductive adhesive layer 24 is sufficiently adhered to the surface of the insulating film 60. Also, the time of heat pressing can be shortened. When the pressure of the hot press is equal to or lower than the upper limit value of the above range, it is possible to suppress damage to the electromagnetic wave shielding film 1, the flexible printed wiring board 50 and the like.

(工程(c))
工程(b)における熱プレスの時間が20秒以上10分以下の短時間である場合、工程(b)の後に異方導電性接着剤層24の本硬化を行うことが好ましい。
異方導電性接着剤層24の本硬化は、例えば、オーブン等の加熱装置を用いて行う。
加熱時間は、15分以上120分以下であり、30分以上60分以下が好ましい。加熱時間が前記範囲の下限値以上であれば、異方導電性接着剤層24を充分に硬化できる。加熱時間が前記範囲の上限値以下であれば、電磁波シールドフィルム付きフレキシブルプリント配線板2の製造時間を短縮できる。
加熱温度(オーブン中の雰囲気温度)は、120℃以上180℃以下が好ましく、120℃以上150℃以下が好ましい。加熱温度が前記範囲の下限値以上であれば、加熱時間を短縮できる。加熱温度が前記範囲の上限値以下であれば、電磁波シールドフィルム1、フレキシブルプリント配線板50等の劣化等を抑えることができる。
加熱は、特殊な装置を使用しなくてもよい点から、無加圧で行うことが好ましい。
(Process (c))
When the time of hot pressing in the step (b) is a short time of 20 seconds or more and 10 minutes or less, it is preferable to perform the main curing of the anisotropic conductive adhesive layer 24 after the step (b).
The main curing of the anisotropic conductive adhesive layer 24 is performed using a heating device such as an oven.
The heating time is 15 minutes or more and 120 minutes or less, and preferably 30 minutes or more and 60 minutes or less. When the heating time is at least the lower limit value of the above range, the anisotropic conductive adhesive layer 24 can be sufficiently cured. If the heating time is not more than the upper limit value of the above range, the manufacturing time of the flexible printed wiring board 2 with the electromagnetic wave shielding film can be shortened.
The heating temperature (ambient temperature in the oven) is preferably 120 ° C or higher and 180 ° C or lower, and more preferably 120 ° C or higher and 150 ° C or lower. When the heating temperature is at least the lower limit value of the above range, the heating time can be shortened. When the heating temperature is equal to or lower than the upper limit value of the above range, deterioration of the electromagnetic wave shielding film 1, the flexible printed wiring board 50 and the like can be suppressed.
It is preferable to perform heating without pressurization, because a special device does not have to be used.

(他の実施形態)
なお、本発明の電磁波シールドフィルム付きプリント配線板は、プリント配線板と、プリント配線板のプリント回路が設けられた側の表面に隣接する絶縁フィルムと、導電層が絶縁フィルムに隣接し、かつ導電層が絶縁フィルムに形成された貫通孔を通ってプリント回路に電気的に接続された本発明の電磁波シールドフィルムを有するものであればよく、図示例の実施形態に限定はされない。
例えば、フレキシブルプリント配線板は、裏面側にグランド層を有するものであってもよい。また、フレキシブルプリント配線板は、両面にプリント回路を有し、両面に絶縁フィルムおよび電磁波シールドフィルムが貼り付けられたものであってもよい。
フレキシブルプリント配線板の代わりに、柔軟性のないリジッドプリント基板を用いてもよい。
異方導電性接着剤層24は、等方導電性接着剤層26であってもよい。
(Other embodiments)
The printed wiring board with an electromagnetic wave shielding film of the present invention includes a printed wiring board, an insulating film adjacent to the surface of the printed wiring board on which the printed circuit is provided, a conductive layer adjacent to the insulating film, and a conductive layer. The layer is not limited to the illustrated embodiment, as long as the layer has the electromagnetic wave shielding film of the present invention electrically connected to the printed circuit through the through hole formed in the insulating film.
For example, the flexible printed wiring board may have a ground layer on the back surface side. Further, the flexible printed wiring board may have a printed circuit on both sides and have an insulating film and an electromagnetic wave shielding film attached to both sides.
Instead of the flexible printed wiring board, an inflexible rigid printed board may be used.
The anisotropic conductive adhesive layer 24 may be an isotropic conductive adhesive layer 26.

以下、実施例および比較例を示して本発明をより詳細に説明するが、本発明は下記実施例に限定されない。   Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to Examples and Comparative Examples, but the present invention is not limited to the following Examples.

<絶縁樹脂層形成用塗料>
ビスフェノールA型エポキシ樹脂(三菱ケミカル社製、jER(登録商標)828)の100質量部、硬化剤(昭和電工社製、ショウアミンX(登録商標))の20質量部、2−エチル−4−メチルイミダゾールの2質量部、カーボンブラックの2質量部を溶剤(メチルエチルケトン)の200質量部に溶解して、絶縁樹脂層形成用塗料を用意した。
<Coating for forming insulating resin layer>
100 parts by mass of bisphenol A type epoxy resin (Mitsubishi Chemical Co., jER (registered trademark) 828), 20 parts by mass of a curing agent (Showa Denko KK, Shoamine X (registered trademark)), 2-ethyl-4- 2 parts by mass of methylimidazole and 2 parts by mass of carbon black were dissolved in 200 parts by mass of a solvent (methyl ethyl ketone) to prepare a coating material for forming an insulating resin layer.

<導電性接着剤層形成用塗料>
エポキシ樹脂からなる熱硬化性接着剤(DIC社製、EXA−4816)の100質量部と、硬化剤(味の素ファインテクノ社製、PN−23)の20質量部とを混合して、潜在硬化性エポキシ樹脂組成物を得た。
前記潜在硬化性エポキシ樹脂組成物と、銅粒子(平均粒子径:7.5μm)40質量部と、を溶剤(メチルエチルケトン)の200質量部に分散させて、導電性接着剤層形成用塗料を用意した。
<Coating for forming conductive adhesive layer>
100 parts by mass of a thermosetting adhesive (EXA-4816, manufactured by DIC Co., Ltd.) made of an epoxy resin and 20 parts by mass of a curing agent (PN-23, manufactured by Ajinomoto Fine-Techno Co., Ltd.) are mixed to obtain latent curability. An epoxy resin composition was obtained.
The latent curable epoxy resin composition and 40 parts by mass of copper particles (average particle diameter: 7.5 μm) are dispersed in 200 parts by mass of a solvent (methyl ethyl ketone) to prepare a conductive adhesive layer forming coating material. did.

<離型フィルム>
離型フィルムとして、非シリコーン系離型剤にて片面が離型処理されたPETフィルム(リンテック社製、T157)を用意した。
<Release film>
As a release film, a PET film (T157 manufactured by Lintec Co., Ltd.) having one surface subjected to a release treatment with a non-silicone release agent was prepared.

[実施例1]
<電磁波シールドフィルムの製造>
まず、圧延銅箔(厚さ:5μm)の一方の面に、ニッケルメッキ層(厚さ:0.1μm)を形成した後、さらに黒色クロムメッキ層(厚さ:0.3μm)を常法により形成した積層体を得た。このメッキの際、圧延銅箔の他方の面にはマスキングフィルムを貼付してメッキ層の形成を防いだ。形成した黒色クロムメッキ層の表面を拡大鏡で観察したところ、複雑なスポンジ状に見える多孔性であった。
上記で得た圧延銅箔の黒色クロムメッキ層の表面に、上記の絶縁樹脂層形成用塗料を塗布し、60℃で2分間加熱し、塗料を乾燥、半硬化させて、絶縁樹脂層(厚さ:10μm)を形成した。
次に、絶縁樹脂層を形成した上記の圧延銅箔の他方の面からマスキングフィルムを剥離して、圧延銅箔の銅が露出した表面に、上記の導電性接着剤層形成用塗料を、ダイコーターを用いて塗布し、溶剤を揮発させてBステージ化することによって、異方導電性接着剤層(厚さ:7μm、銅粒子:4.5体積%)を形成した。
上記で形成した異方導電性接着剤層の金属薄膜層とは反対側の面に、上記の離型フィルムを貼り付けて、実施例1の電磁波シールドフィルムを得た。
[Example 1]
<Production of electromagnetic wave shielding film>
First, after forming a nickel plating layer (thickness: 0.1 μm) on one surface of a rolled copper foil (thickness: 5 μm), a black chrome plating layer (thickness: 0.3 μm) is further formed by a conventional method. The formed laminated body was obtained. During this plating, a masking film was attached to the other surface of the rolled copper foil to prevent the formation of a plated layer. When the surface of the formed black chrome plating layer was observed with a magnifying glass, it was found to be a complex sponge-like porosity.
On the surface of the black chrome plated layer of the rolled copper foil obtained above, the above-mentioned coating material for forming an insulating resin layer is applied, heated at 60 ° C. for 2 minutes, and the coating material is dried and semi-cured to form an insulating resin layer S: 10 μm) was formed.
Next, the masking film was peeled off from the other surface of the rolled copper foil having the insulating resin layer formed thereon, and the surface of the rolled copper foil where the copper was exposed was coated with the above-mentioned conductive adhesive layer-forming coating by Daiko. Then, the solvent was volatilized to form a B-stage to form an anisotropic conductive adhesive layer (thickness: 7 μm, copper particles: 4.5% by volume).
The release film was attached to the surface of the anisotropic conductive adhesive layer formed above opposite to the metal thin film layer to obtain an electromagnetic wave shielding film of Example 1.

[実施例2]
圧延銅箔の一方の面に形成した、黒色クロムメッキ層の厚さを3.0μmに変更したこと以外は、実施例1と同様にして電磁波シールドフィルムを作成した。
[Example 2]
An electromagnetic wave shield film was prepared in the same manner as in Example 1 except that the thickness of the black chrome plating layer formed on one surface of the rolled copper foil was changed to 3.0 μm.

[比較例1]
圧延銅箔の一方の面に、ニッケルメッキ層(厚さ:0.3μm)のみを形成し、黒色クロムメッキ層を形成しなかったこと以外は、実施例1と同様にして電磁波シールドフィルムを作成した。
[Comparative Example 1]
An electromagnetic wave shielding film was prepared in the same manner as in Example 1 except that only the nickel plating layer (thickness: 0.3 μm) was formed on one surface of the rolled copper foil, and the black chrome plating layer was not formed. did.

[比較例2]
圧延銅箔の一方の面に形成した、ニッケルメッキ層の厚さを3.0μmに変更したこと以外は、比較例1と同様にして電磁波シールドフィルムを作成した。
[Comparative Example 2]
An electromagnetic wave shield film was prepared in the same manner as in Comparative Example 1 except that the thickness of the nickel plating layer formed on one surface of the rolled copper foil was changed to 3.0 μm.

[比較例3]
圧延銅箔の一方の面に、メッキ層を形成せず、露出した銅の表面に絶縁樹脂層形成用塗料を塗布したこと以外は、実施例1と同様にして電磁波シールドフィルムを作成した。
[Comparative Example 3]
An electromagnetic wave shielding film was prepared in the same manner as in Example 1 except that the plated layer was not formed on one surface of the rolled copper foil and the coating material for forming the insulating resin layer was applied to the exposed copper surface.

[比較例4]
圧延銅箔の一方の面を、予めサンドペーパーを用いて粗面化し、この粗面化した銅表面に絶縁樹脂層形成用塗料を塗布したこと以外は、比較例3と同様にして電磁波シールドフィルムを作成した。
[Comparative Example 4]
An electromagnetic wave shield film was prepared in the same manner as Comparative Example 3 except that one surface of the rolled copper foil was roughened in advance using sandpaper, and the roughened copper surface was coated with the insulating resin layer-forming coating material. It was created.

[剥離強度の測定方法]
各例の電磁波シールドフィルムについて、下記の方法により、絶縁樹脂層と金属薄膜層との接着性を評価した。
厚さ25μmのポリイミドフィルムに、離型フィルムを剥離した電磁波シールドフィルムを重ね、ホットプレス装置(折原製作所社製、G−12)を用い、熱盤温度:180℃、荷重:2MPaで120秒間熱プレスした。これにより、絶縁フィルムの表面に異方導電性接着剤層を仮接着して、電磁波シールドフィルム付きポリイミドを得た。
前記電磁波シールドフィルム付きポリイミドフィルムを、高温槽(楠本化成社製、HT210)を用い、温度160℃、1時間加熱することにより、異方導電性接着剤層を本硬化させた。
次いで、電磁波シールドフィルムの絶縁樹脂層の表面に、ボンディングシート(デクセリアルズ社製、D3410)を介して、厚さ25μmのポリイミド補強板を熱圧着して、引張試験用試験片を作製した。
前記試験片のポリイミドフィルムとポリイミド補強板とに引張試験機のチャックを取り付け、JIS Z0237に従い、180°剥離方向、引張速度50mm/分の条件で剥離試験をおこなった。
[Peeling strength measurement method]
With respect to the electromagnetic wave shielding film of each example, the adhesiveness between the insulating resin layer and the metal thin film layer was evaluated by the following method.
A 25 μm-thick polyimide film was laminated with an electromagnetic wave shielding film from which the release film had been peeled off, and a hot press machine (G-12 manufactured by Orihara Manufacturing Co., Ltd.) was used to heat the platen temperature: 180 ° C., load: 2 MPa for 120 seconds. Pressed. In this way, the anisotropic conductive adhesive layer was temporarily adhered to the surface of the insulating film to obtain a polyimide with an electromagnetic wave shielding film.
The anisotropic conductive adhesive layer was fully cured by heating the polyimide film with an electromagnetic wave shielding film in a high temperature tank (HT210 manufactured by Kusumoto Kasei Co., Ltd.) at a temperature of 160 ° C. for 1 hour.
Next, a polyimide reinforcing plate having a thickness of 25 μm was thermocompression bonded to the surface of the insulating resin layer of the electromagnetic wave shielding film via a bonding sheet (D3410 manufactured by Dexerials Co., Ltd.) to prepare a test piece for tensile test.
A chuck of a tensile tester was attached to the polyimide film and the polyimide reinforcing plate of the test piece, and a peeling test was performed according to JIS Z0237 under the conditions of a 180 ° peeling direction and a pulling speed of 50 mm / min.

[剥離強度の測定結果]
実施例1の電磁波シールドフィルムを用いた試験片では、剥離強度は4.8N/cmであり、絶縁樹脂層と黒色クロムメッキ層との界面で剥離が生じた。
実施例2の電磁波シールドフィルムを用いた試験片では、剥離強度は4.4N/cmであり、絶縁樹脂層と金属薄膜層との間で剥離が生じ、黒色クロムメッキ層の層構造の一部が破壊されていた。
比較例1の電磁波シールドフィルムを用いた試験片では、剥離強度は3.2N/cmであり、絶縁樹脂層とニッケルメッキ層の界面で剥離が生じた。
比較例2の電磁波シールドフィルムを用いた試験片では、剥離強度は3.2N/cmであり、絶縁樹脂層とニッケルメッキ層の界面で剥離が生じた。
比較例3の電磁波シールドフィルムを用いた試験片では、剥離強度は3.1N/cmであり、絶縁樹脂層と金属薄膜層との界面で剥離が生じた。
比較例4の電磁波シールドフィルムを用いた試験片では、剥離強度は3.2N/cmであり、絶縁樹脂層と金属薄膜層との界面で剥離が生じた。
[Peel strength measurement results]
The test piece using the electromagnetic wave shielding film of Example 1 had a peel strength of 4.8 N / cm, and peeling occurred at the interface between the insulating resin layer and the black chrome plating layer.
In the test piece using the electromagnetic wave shielding film of Example 2, the peel strength was 4.4 N / cm, peeling occurred between the insulating resin layer and the metal thin film layer, and part of the layer structure of the black chrome plating layer. Was destroyed.
The test piece using the electromagnetic wave shielding film of Comparative Example 1 had a peel strength of 3.2 N / cm, and peeling occurred at the interface between the insulating resin layer and the nickel plating layer.
The test piece using the electromagnetic wave shielding film of Comparative Example 2 had a peel strength of 3.2 N / cm, and peeling occurred at the interface between the insulating resin layer and the nickel plating layer.
The test piece using the electromagnetic wave shielding film of Comparative Example 3 had a peel strength of 3.1 N / cm, and peeling occurred at the interface between the insulating resin layer and the metal thin film layer.
The test piece using the electromagnetic wave shielding film of Comparative Example 4 had a peel strength of 3.2 N / cm, and peeling occurred at the interface between the insulating resin layer and the metal thin film layer.

Figure 2020064927
Figure 2020064927

以上の結果から、絶縁樹脂層と金属薄膜層との間に多孔性の黒色クロムメッキ層が介在する実施例1〜2では、絶縁樹脂層の剥離強度が高く、絶縁樹脂層と金属薄膜層との接着力が優れることがわかった。   From the above results, in Examples 1 and 2 in which the porous black chrome plating layer is interposed between the insulating resin layer and the metal thin film layer, the peel strength of the insulating resin layer is high and the insulating resin layer and the metal thin film layer are It was found that the adhesive strength of was excellent.

本発明の電磁波シールドフィルムは、スマートフォン、携帯電話、光モジュール、デジタルカメラ、ゲーム機、ノートパソコン、医療器具等の電子機器用のフレキシブルプリント配線板における、電磁波シールド用部材として有用である。   The electromagnetic wave shielding film of the present invention is useful as an electromagnetic wave shielding member in a flexible printed wiring board for electronic devices such as smartphones, mobile phones, optical modules, digital cameras, game machines, notebook computers, and medical equipment.

1 電磁波シールドフィルム
2 電磁波シールドフィルム付きフレキシブルプリント配線板
3 絶縁フィルム付きフレキシブルプリント配線板
5 黒色クロムメッキ層
10 絶縁樹脂層
22 金属薄膜層
24 異方導電性接着剤層
24a 熱硬化性接着剤
24b 導電性粒子
26 等方導電性接着剤層
26a 熱硬化性接着剤
26b 導電性粒子
40 離型フィルム
42 離型フィルム本体
44 離型剤層
50 フレキシブルプリント配線板
52 ベースフィルム
54 プリント回路
60 絶縁フィルム
62 貫通孔
1 Electromagnetic Wave Shield Film 2 Flexible Printed Wiring Board with Electromagnetic Wave Shielding Film 3 Flexible Printed Wiring Board with Insulating Film 5 Black Chrome Plating Layer 10 Insulating Resin Layer 22 Metal Thin Film Layer 24 Anisotropic Conductive Adhesive Layer 24a Thermosetting Adhesive 24b Conductive Particles 26 isotropic conductive adhesive layer 26a thermosetting adhesive 26b conductive particles 40 release film 42 release film body 44 release agent layer 50 flexible printed wiring board 52 base film 54 printed circuit 60 insulating film 62 through Hole

Claims (6)

絶縁樹脂層と、多孔性の黒色クロムメッキ層と、金属薄膜層と、導電性接着剤層とがこの順で積層されており、前記絶縁樹脂層は前記黒色クロムメッキ層の表面に接している、電磁波シールドフィルム。   An insulating resin layer, a porous black chrome plating layer, a metal thin film layer, and a conductive adhesive layer are laminated in this order, and the insulating resin layer is in contact with the surface of the black chrome plating layer. , Electromagnetic wave shielding film. 前記金属薄膜層が金属箔である、請求項1に記載の電磁波シールドフィルム。   The electromagnetic wave shielding film according to claim 1, wherein the metal thin film layer is a metal foil. 前記黒色クロムメッキ層の厚さが0.1μm以上1μm以下である、請求項1又は2に記載の電磁波シールドフィルム。   The electromagnetic wave shielding film according to claim 1, wherein the black chrome plating layer has a thickness of 0.1 μm or more and 1 μm or less. 前記黒色クロムメッキ層に、クロムの酸化物又は水酸化物が含まれる、請求項1〜3の何れか一項に記載の電磁波シールドフィルム。   The electromagnetic wave shield film according to any one of claims 1 to 3, wherein the black chromium plating layer contains chromium oxide or hydroxide. 請求項1〜4の何れか一項に記載の電磁波シールドフィルムの製造方法であって、
多孔性の黒色クロムメッキ層と、金属薄膜層とがこの順で積層された積層体を準備し、前記積層体の前記黒色クロムメッキ層の表面に絶縁樹脂を塗布することにより、前記絶縁樹脂層を形成する工程を含む、電磁波シールドフィルムの製造方法。
It is a manufacturing method of the electromagnetic wave shield film according to any one of claims 1 to 4,
The insulating resin layer is prepared by preparing a laminate in which a porous black chrome plating layer and a metal thin film layer are laminated in this order, and applying an insulating resin to the surface of the black chrome plating layer of the laminate. A method for producing an electromagnetic wave shielding film, the method including the step of forming.
基板の少なくとも片面にプリント回路が設けられたプリント配線板と、前記プリント配線板の前記プリント回路が設けられた側の面に隣接する絶縁フィルムと、前記絶縁フィルムの前記プリント配線板とは反対側に設けられた請求項1〜4の何れか一項に記載の電磁波シールドフィルムと、を有し、
前記電磁波シールドフィルムの前記導電性接着剤層が前記絶縁フィルムに隣接している、電磁波シールドフィルム付きプリント配線板。
A printed wiring board provided with a printed circuit on at least one surface of a substrate, an insulating film adjacent to the surface of the printed wiring board on which the printed circuit is provided, and the opposite side of the insulating film from the printed wiring board. The electromagnetic wave shielding film according to any one of claims 1 to 4 provided in,
A printed wiring board with an electromagnetic wave shielding film, wherein the conductive adhesive layer of the electromagnetic wave shielding film is adjacent to the insulating film.
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