JP7022573B2 - Printed wiring board with electromagnetic wave shielding film and its manufacturing method - Google Patents

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Description

本発明は、電磁波シールドフィルム付きプリント配線板及びその製造方法に関する。 The present invention relates to a printed wiring board with an electromagnetic wave shielding film and a method for manufacturing the same.

プリント配線板から発生する電磁波ノイズや外部からの電磁波ノイズを遮蔽するために、絶縁樹脂層と、該絶縁樹脂層に隣接する導電層とからなる電磁波シールドフィルムを、絶縁フィルム(カバーレイフィルム)を介してプリント配線板の表面に設けることがある(例えば、特許文献1参照)。
電磁波シールドフィルムは、例えば、キャリアフィルムの片面に、熱硬化性樹脂と硬化剤と溶剤とを含む塗料を塗布し、乾燥させて絶縁樹脂層を形成し、絶縁樹脂層の表面に導電層を設けることによって製造される。導電層は、金属薄膜層及び導電性接着剤層から形成されることが多い。
In order to shield electromagnetic noise generated from a printed wiring board and electromagnetic noise from the outside, an insulating film (coverlay film) is used as an electromagnetic shielding film composed of an insulating resin layer and a conductive layer adjacent to the insulating resin layer. It may be provided on the surface of the printed wiring board via (see, for example, Patent Document 1).
In the electromagnetic wave shielding film, for example, a paint containing a thermosetting resin, a curing agent, and a solvent is applied to one side of a carrier film and dried to form an insulating resin layer, and a conductive layer is provided on the surface of the insulating resin layer. Manufactured by The conductive layer is often formed of a metal thin film layer and a conductive adhesive layer.

電磁波シールドフィルム付きプリント配線板においては、はんだリフローのために加熱された際に導電性接着剤層等でガスが発生し、そのガスの膨張によって導電性接着剤層と金属薄膜層とが剥離することがある。
前記剥離を防止する方法として、電磁波シールドフィルム付きプリント配線板を構成する金属薄膜層として透気性金属箔を使用することが開示されている(特許文献2)。
In a printed wiring board with an electromagnetic wave shielding film, gas is generated in the conductive adhesive layer or the like when heated for solder reflow, and the expansion of the gas causes the conductive adhesive layer and the metal thin film layer to peel off. Sometimes.
As a method for preventing the peeling, it is disclosed that an air-permeable metal foil is used as a metal thin film layer constituting a printed wiring board with an electromagnetic wave shielding film (Patent Document 2).

特開2016-86120号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2016-86120 特開2005-276873号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2005-276873

しかし、従来の電磁波シールドフィルム付きプリント配線板においては、金属薄膜層に対して導電性接着剤層の接着強度が十分ではないことがあり、剥離することがあった。また、絶縁樹脂層は接着性が強いものではないから、金属薄膜層に対する接着強度が不十分であり、剥離することがあった。
本発明は、金属薄膜層に対する絶縁樹脂層及び導電性接着剤層の剥離を防止できる電磁波シールドフィルム付きプリント配線板及びその製造方法を提供することを目的とする。
However, in the conventional printed wiring board with an electromagnetic wave shielding film, the adhesive strength of the conductive adhesive layer may not be sufficient with respect to the metal thin film layer, and it may be peeled off. Further, since the insulating resin layer does not have strong adhesiveness, the adhesive strength to the metal thin film layer is insufficient, and the insulating resin layer may be peeled off.
An object of the present invention is to provide a printed wiring board with an electromagnetic wave shielding film capable of preventing peeling of an insulating resin layer and a conductive adhesive layer from a metal thin film layer, and a method for manufacturing the same.

本発明は、以下の態様を包含する。
[1]基板の少なくとも片面にプリント回路が設けられたプリント配線板と、前記プリント配線板の前記プリント回路が設けられた側の面に隣接する絶縁フィルムと、前記絶縁フィルムの前記プリント配線板とは反対側に設けられた電磁波シールドフィルムと、を有し、
前記電磁波シールドフィルムは、絶縁樹脂層と、前記絶縁樹脂層に隣接する金属薄膜層と、前記金属薄膜層の前記絶縁樹脂層とは反対側の面に設けられた導電性接着剤層と、を有し、
前記金属薄膜層には、貫通孔が複数形成され、前記貫通孔の形成量が1000個/cm以上100000個/cm以下であり、
前記導電性接着剤層は、導電性粒子を含む、電磁波シールドフィルム付きプリント配線板。
[2]前記貫通孔を含む最小円の直径が0.1μm以上20μm以下である、[1]に記載の電磁波シールドフィルム付きプリント配線板。
[3]前記金属薄膜層の厚みが0.01μm以上3μm以下である、[1]又は[2]に記載の電磁波シールドフィルム付きプリント配線板。
[4]前記導電性粒子の平均粒子径が3μm以上20μm以下である、[1]~[3]のいずれか一に記載の電磁波シールドフィルム付きプリント配線板。
[5]前記導電性粒子が金属粒子である、[1]~[4]のいずれか一に記載の電磁波シールドフィルム付きプリント配線板。
The present invention includes the following aspects.
[1] A printed wiring board provided with a printed circuit on at least one side of a substrate, an insulating film adjacent to the side surface of the printed wiring board provided with the printed circuit, and the printed wiring board of the insulating film. Has an electromagnetic shielding film, which is provided on the opposite side,
The electromagnetic wave shielding film includes an insulating resin layer, a metal thin film layer adjacent to the insulating resin layer, and a conductive adhesive layer provided on a surface of the metal thin film layer opposite to the insulating resin layer. Have and
A plurality of through holes are formed in the metal thin film layer, and the amount of the through holes formed is 1000 pieces / cm 2 or more and 100,000 pieces / cm 2 or less.
The conductive adhesive layer is a printed wiring board with an electromagnetic wave shielding film containing conductive particles.
[2] The printed wiring board with an electromagnetic wave shielding film according to [1], wherein the diameter of the minimum circle including the through hole is 0.1 μm or more and 20 μm or less.
[3] The printed wiring board with an electromagnetic wave shielding film according to [1] or [2], wherein the thickness of the metal thin film layer is 0.01 μm or more and 3 μm or less.
[4] The printed wiring board with an electromagnetic wave shielding film according to any one of [1] to [3], wherein the average particle diameter of the conductive particles is 3 μm or more and 20 μm or less.
[5] The printed wiring board with an electromagnetic wave shielding film according to any one of [1] to [4], wherein the conductive particles are metal particles.

[6][1]~[5]のいずれか一に記載の電磁波シールドフィルム付きプリント配線板の製造方法であって、
電磁波シールドフィルム作製工程と圧着工程とを有し、
前記電磁波シールドフィルム作製工程では、絶縁樹脂層と、前記絶縁樹脂層に隣接する無孔の金属薄膜層と、前記金属薄膜層の前記絶縁樹脂層とは反対側の面に設けられた導電性接着剤層とを有する電磁波シールドフィルムを作製し、
前記圧着工程では、前記無孔の金属薄膜層を有する前記電磁波シールドフィルムと前記プリント配線板とを前記絶縁フィルムを挟んだ状態で圧着し、前記導電性接着剤層に含まれる導電性粒子を前記金属薄膜層に押し込んで前記金属薄膜層を穿孔し、前記貫通孔を形成する、電磁波シールドフィルム付きプリント配線板の製造方法。
[7]前記圧着工程では、圧着時の圧力を1MPa以上30MPa以下にする、[6]に記載の電磁波シールドフィルム付きプリント配線板の製造方法。
[6] The method for manufacturing a printed wiring board with an electromagnetic wave shielding film according to any one of [1] to [5].
It has an electromagnetic wave shielding film manufacturing process and a crimping process.
In the electromagnetic wave shielding film manufacturing step, the insulating resin layer, the non-perforated metal thin film layer adjacent to the insulating resin layer, and the conductive adhesive provided on the surface of the metal thin film layer on the side opposite to the insulating resin layer. An electromagnetic shielding film having an agent layer is prepared, and
In the crimping step, the electromagnetic wave shielding film having the non-perforated metal thin film layer and the printed wiring plate are crimped with the insulating film sandwiched between them, and the conductive particles contained in the conductive adhesive layer are pressed. A method for manufacturing a printed wiring board with an electromagnetic wave shielding film, which is pressed into a metal thin film layer to perforate the metal thin film layer to form the through hole.
[7] The method for manufacturing a printed wiring board with an electromagnetic wave shielding film according to [6], wherein in the crimping step, the pressure at the time of crimping is 1 MPa or more and 30 MPa or less.

本発明の電磁波シールドフィルム付きプリント配線板は、金属薄膜層に対する絶縁樹脂層及び導電性接着剤層の剥離を防止できる。
本発明の電磁波シールドフィルム付きプリント配線板の製造方法によれば、電磁波シールドフィルム付きプリント配線板を歩留り良く容易に製造できる。
The printed wiring board with an electromagnetic wave shielding film of the present invention can prevent the insulating resin layer and the conductive adhesive layer from peeling off from the metal thin film layer.
According to the method for manufacturing a printed wiring board with an electromagnetic wave shielding film of the present invention, a printed wiring board with an electromagnetic wave shielding film can be easily manufactured with good yield.

第一実施形態の電磁波シールドフィルム付きプリント配線板を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the printed wiring board with the electromagnetic wave shielding film of 1st Embodiment. 第二実施形態の電磁波シールドフィルム付きプリント配線板を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the printed wiring board with the electromagnetic wave shielding film of 2nd Embodiment. 図1の電磁波シールドフィルム付きプリント配線板を製造する際に使用する電磁波シールドフィルムを示す断面図である。It is sectional drawing which shows the electromagnetic wave shielding film used when manufacturing the printed wiring board with the electromagnetic wave shielding film of FIG. 図1の電磁波シールドフィルム付きプリント配線板の製造工程を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the manufacturing process of the printed wiring board with the electromagnetic wave shielding film of FIG.

以下の用語の定義は、本明細書及び特許請求の範囲にわたって適用される。
「等方導電性接着剤層」とは、厚さ方向及び面方向に導電性を有する導電性接着剤層を意味する。
「異方導電性接着剤層」とは、厚さ方向に導電性を有し、面方向に導電性を有しない導電性接着剤層を意味する。
「面方向に導電性を有しない導電性接着剤層」とは、表面抵抗が1×10Ω以上である導電性接着剤層を意味する。
粒子の平均粒子径は、粒子の顕微鏡像から30個の粒子を無作為に選び、それぞれの粒子について、最小径及び最大径を測定し、最小径と最大径との中央値を一粒子の粒子径とし、測定した30個の粒子の粒子径を算術平均して得た値である。導電性粒子の平均粒子径も同様である。
フィルム(離型フィルム、絶縁フィルム等)、塗膜(絶縁樹脂層、導電性接着剤層等)、金属薄膜層等の厚さは、顕微鏡を用いて測定対象の断面を観察し、5箇所の厚さを測定し、平均した値である。
貯蔵弾性率は、測定対象に与えた応力と検出した歪から算出され、温度又は時間の関数として出力する動的粘弾性測定装置を用いて、粘弾性特性の一つとして測定される。
導電性粒子の10%圧縮強度は、微小圧縮試験機を用いた測定結果から、下記式(α)によって求める。
C(x)=2.48P/πd (α)
ただし、C(x)は10%圧縮強度(MPa)であり、Pは粒子径の10%変位時の試験力(N)であり、dは粒子径(mm)である。
表面抵抗は、石英ガラス上に金を蒸着して形成した、2本の薄膜金属電極(長さ10mm、幅5mm、電極間距離10mm)を用い、この電極上に被測定物を置き、被測定物上から、被測定物の10mm×20mmの領域を0.049Nの荷重で押し付け、1mA以下の測定電流で測定される電極間の抵抗である。
図1~図4における寸法比は、説明の便宜上、実際のものとは異なったものである。
The definitions of the following terms apply throughout the specification and claims.
The "isotropic conductive adhesive layer" means a conductive adhesive layer having conductivity in the thickness direction and the surface direction.
The "anisotropic adhesive layer" means a conductive adhesive layer having conductivity in the thickness direction and not in the plane direction.
The “conductive adhesive layer having no conductivity in the plane direction” means a conductive adhesive layer having a surface resistance of 1 × 10 4 Ω or more.
For the average particle size of the particles, 30 particles are randomly selected from the microscopic image of the particles, the minimum and maximum diameters are measured for each particle, and the median value between the minimum and maximum diameters is the particle of one particle. It is a value obtained by arithmetically averaging the particle diameters of the 30 measured particles as the diameter. The same applies to the average particle size of the conductive particles.
The thickness of the film (separation film, insulating film, etc.), coating film (insulating resin layer, conductive adhesive layer, etc.), metal thin film layer, etc. can be determined by observing the cross section of the measurement target using a microscope at 5 locations. The thickness is measured and averaged.
The storage elastic modulus is calculated from the stress applied to the measurement target and the detected strain, and is measured as one of the viscoelastic properties by using a dynamic viscoelastic measuring device that outputs as a function of temperature or time.
The 10% compressive strength of the conductive particles is obtained by the following formula (α) from the measurement results using the micro-compression tester.
C (x) = 2.48P / πd 2 (α)
However, C (x) is the 10% compressive strength (MPa), P is the test force (N) when the particle size is displaced by 10%, and d is the particle size (mm).
For the surface resistance, two thin film metal electrodes (length 10 mm, width 5 mm, distance between electrodes 10 mm) formed by depositing gold on quartz glass are used, and an object to be measured is placed on the electrodes to be measured. It is the resistance between the electrodes measured from the object by pressing a region of 10 mm × 20 mm of the object to be measured with a load of 0.049 N and measuring a measurement current of 1 mA or less.
The dimensional ratios in FIGS. 1 to 4 are different from the actual ones for convenience of explanation.

《電磁波シールドフィルム付きプリント配線板》
本発明の電磁波シールドフィルム付きプリント配線板の一態様について説明する。
本態様の電磁波シールドフィルム付きプリント配線板は、基板の少なくとも片面にプリント回路が設けられたプリント配線板と、前記プリント配線板の前記プリント回路が設けられた側の表面に隣接する絶縁フィルムと、前記接着剤層が前記絶縁フィルムに隣接するように設けられた電磁波シールドフィルムと、を有する。
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An aspect of the printed wiring board with an electromagnetic wave shielding film of the present invention will be described.
The printed wiring board with an electromagnetic wave shielding film of this embodiment includes a printed wiring board provided with a printed circuit on at least one side of the substrate, and an insulating film adjacent to the surface of the printed wiring board on the side where the printed circuit is provided. The adhesive layer has an electromagnetic wave shielding film provided so as to be adjacent to the insulating film.

以下、本態様の電磁波シールドフィルム付きプリント配線板の実施形態について説明する。
図1及び図2に、実施形態の電磁波シールドフィルム付きプリント配線板を示す。図1は、第一実施形態の電磁波シールドフィルム付きプリント配線板1aを示す断面図であり、図2は、第二実施形態の電磁波シールドフィルム付きプリント配線板1bを示す断面図である。
第一実施形態及び第二実施形態の電磁波シールドフィルム付きプリント配線板1a,1bはいずれも、電磁波シールドフィルム2と、フレキシブルプリント配線板50と、絶縁フィルム60とを備える。フレキシブルプリント配線板50はプリント回路54を備える。絶縁フィルム60には貫通孔が形成されている。
Hereinafter, embodiments of the printed wiring board with the electromagnetic wave shielding film of this embodiment will be described.
1 and 2 show a printed wiring board with an electromagnetic wave shielding film according to an embodiment. FIG. 1 is a cross-sectional view showing a printed wiring board 1a with an electromagnetic wave shielding film of the first embodiment, and FIG. 2 is a cross-sectional view showing a printed wiring board 1b with an electromagnetic wave shielding film of the second embodiment.
Both the printed wiring boards 1a and 1b with the electromagnetic wave shielding film of the first embodiment and the second embodiment include the electromagnetic wave shielding film 2, the flexible printed wiring board 50, and the insulating film 60. The flexible printed wiring board 50 includes a printed circuit 54. Through holes are formed in the insulating film 60.

<電磁波シールドフィルム>
第一実施形態及び第二実施形態において使用される電磁波シールドフィルム2は、絶縁樹脂層10と、絶縁樹脂層10に隣接する導電層20とを有する。
第一実施形態の電磁波シールドフィルム2は、導電層20が、絶縁樹脂層10に隣接する金属薄膜層22と、絶縁フィルム60に隣接する異方導電性接着剤層24(導電性接着剤層24)とを有する。
第二実施形態の電磁波シールドフィルム2は、導電層20が、絶縁樹脂層10に隣接する金属薄膜層22と、絶縁フィルム60に隣接する等方導電性接着剤層26(導電性接着剤層26)とを有する。
<Electromagnetic wave shield film>
The electromagnetic wave shielding film 2 used in the first embodiment and the second embodiment has an insulating resin layer 10 and a conductive layer 20 adjacent to the insulating resin layer 10.
In the electromagnetic wave shielding film 2 of the first embodiment, the conductive layer 20 has a metal thin film layer 22 adjacent to the insulating resin layer 10 and an anisotropic conductive adhesive layer 24 (conductive adhesive layer 24) adjacent to the insulating film 60. ) And.
In the electromagnetic wave shielding film 2 of the second embodiment, the conductive layer 20 has a metal thin film layer 22 adjacent to the insulating resin layer 10 and an isotropic conductive adhesive layer 26 (conductive adhesive layer 26) adjacent to the insulating film 60. ) And.

(絶縁樹脂層)
絶縁樹脂層10は、導電層20の保護層としての役割を果たす。
絶縁樹脂層10としては、熱硬化性樹脂と硬化剤とを含む塗料を塗布し、半硬化または硬化させて形成された塗膜;熱可塑性樹脂を含む塗料を塗布して形成された塗膜;熱可塑性樹脂を含む組成物を溶融成形したフィルムからなる層等が挙げられる。ハンダ付け等の際の耐熱性の点から、熱硬化性樹脂と硬化剤とを含む塗料を塗布し、半硬化または硬化させて形成された塗膜が好ましい。
(Insulating resin layer)
The insulating resin layer 10 serves as a protective layer for the conductive layer 20.
The insulating resin layer 10 is a coating film formed by applying a coating material containing a thermosetting resin and a curing agent and semi-curing or curing; a coating film formed by applying a coating material containing a thermoplastic resin; Examples thereof include a layer made of a film obtained by melt-molding a composition containing a thermoplastic resin. From the viewpoint of heat resistance at the time of soldering or the like, a coating film formed by applying a paint containing a thermosetting resin and a curing agent and semi-curing or curing is preferable.

熱硬化性樹脂としては、アミド樹脂、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、アミノ樹脂、アルキッド樹脂、ウレタン樹脂、合成ゴム、紫外線硬化アクリレート樹脂等が挙げられる。熱硬化性樹脂は1種を単独で使用してもよいし、2種以上を併用してもよい。熱硬化性樹脂のなかでも、耐熱性に優れる点から、アミド樹脂、エポキシ樹脂が好ましい。
硬化剤としては、熱硬化性樹脂の種類に応じた公知の硬化剤が挙げられる。
Examples of the thermosetting resin include amide resin, epoxy resin, phenol resin, amino resin, alkyd resin, urethane resin, synthetic rubber, and ultraviolet curable acrylate resin. One type of thermosetting resin may be used alone, or two or more types may be used in combination. Among the thermosetting resins, amide resins and epoxy resins are preferable from the viewpoint of excellent heat resistance.
Examples of the curing agent include known curing agents depending on the type of thermosetting resin.

絶縁樹脂層10は、フレキシブルプリント配線板50のプリント回路54を隠蔽したり、電磁波シールドフィルム付きプリント配線板1a,1bに意匠性を付与したりするために、着色剤(顔料、染料等)およびフィラーのいずれか一方または両方を含んでいてもよい。
着色剤およびフィラーのいずれか一方または両方としては、耐候性、耐熱性、隠蔽性の点から、顔料またはフィラーが好ましく、プリント回路の隠蔽性、意匠性の点から、黒色顔料、または黒色顔料と他の顔料もしくはフィラーとの組み合わせがより好ましい。
The insulating resin layer 10 contains a colorant (pigment, dye, etc.) and a colorant (pigment, dye, etc.) in order to conceal the printed circuit 54 of the flexible printed wiring board 50 and to impart designability to the printed wiring boards 1a and 1b with the electromagnetic wave shielding film. It may contain either or both of the fillers.
As one or both of the colorant and the filler, a pigment or a filler is preferable from the viewpoint of weather resistance, heat resistance and concealing property, and a black pigment or a black pigment is used from the viewpoint of concealing property and designability of a printed circuit. Combinations with other pigments or fillers are more preferred.

絶縁樹脂層10は、難燃剤を含んでいてもよい。
絶縁樹脂層10は、本発明の効果を損なわない範囲において、必要に応じて他の成分を含んでいてもよい。
The insulating resin layer 10 may contain a flame retardant.
The insulating resin layer 10 may contain other components, if necessary, as long as the effects of the present invention are not impaired.

絶縁樹脂層10の180℃における貯蔵弾性率は、5×10Pa以上5×10Pa以下が好ましく、1×10Pa以上1×10Pa以下がより好ましい。絶縁樹脂層10の180℃における貯蔵弾性率が前記範囲の下限値以上であれば、絶縁樹脂層10が適度の硬さを有するようになり、熱プレスの際の絶縁樹脂層10における圧力損失を低減できる。その結果、導電性接着剤層24,26とフレキシブルプリント配線板50のプリント回路54とが十分に接着され、導電性接着剤層24,26が絶縁フィルム60の貫通孔を通ってフレキシブルプリント配線板50のプリント回路54により確実に電気的に接続される。絶縁樹脂層10の180℃における貯蔵弾性率が前記範囲の上限値以下であれば、電磁波シールドフィルム2の可とう性がよくなる。その結果、電磁波シールドフィルム2が絶縁フィルム60の貫通孔内に沈み込みやすくなり、導電性接着剤層が絶縁フィルム60の貫通孔を通ってフレキシブルプリント配線板50のプリント回路54により確実に電気的に接続される。 The storage elastic modulus of the insulating resin layer 10 at 180 ° C. is preferably 5 × 10 6 Pa or more and 5 × 10 9 Pa or less, and more preferably 1 × 10 7 Pa or more and 1 × 10 9 Pa or less. When the storage elastic modulus of the insulating resin layer 10 at 180 ° C. is equal to or higher than the lower limit of the above range, the insulating resin layer 10 has an appropriate hardness, and the pressure loss in the insulating resin layer 10 during hot pressing is increased. Can be reduced. As a result, the conductive adhesive layers 24 and 26 and the printed circuit 54 of the flexible printed wiring board 50 are sufficiently adhered, and the conductive adhesive layers 24 and 26 pass through the through holes of the insulating film 60 and the flexible printed wiring board. It is securely electrically connected by the printed circuit 54 of 50. When the storage elastic modulus of the insulating resin layer 10 at 180 ° C. is not more than the upper limit of the above range, the flexibility of the electromagnetic wave shielding film 2 is improved. As a result, the electromagnetic wave shielding film 2 tends to sink into the through hole of the insulating film 60, and the conductive adhesive layer passes through the through hole of the insulating film 60 and is reliably electrically operated by the printed circuit 54 of the flexible printed wiring board 50. Connected to.

絶縁樹脂層10の表面抵抗は、電気的絶縁性の点から、1×10Ω以上が好ましい。絶縁樹脂層10の表面抵抗は、実用上の点から、1×1019Ω以下が好ましい。
絶縁樹脂層10の厚さは、0.1μm以上30μm以下が好ましく、0.5μm以上20μm以下がより好ましい。絶縁樹脂層10の厚さが前記範囲の下限値以上であれば、絶縁樹脂層10が保護層としての機能を十分に発揮できる。絶縁樹脂層10の厚さが前記範囲の上限値以下であれば、電磁波シールドフィルム2を薄くできる。
The surface resistance of the insulating resin layer 10 is preferably 1 × 10 6 Ω or more from the viewpoint of electrical insulation. The surface resistance of the insulating resin layer 10 is preferably 1 × 10 19 Ω or less from the practical point of view.
The thickness of the insulating resin layer 10 is preferably 0.1 μm or more and 30 μm or less, and more preferably 0.5 μm or more and 20 μm or less. When the thickness of the insulating resin layer 10 is at least the lower limit of the above range, the insulating resin layer 10 can sufficiently exert the function as a protective layer. When the thickness of the insulating resin layer 10 is not more than the upper limit of the above range, the electromagnetic wave shielding film 2 can be thinned.

(導電層)
上述したように、第一実施形態における導電層20は、絶縁樹脂層10に隣接する金属薄膜層22と、絶縁フィルム60に隣接する異方導電性接着剤層24とを有する。
第二実施形態における導電層20は、絶縁樹脂層10に隣接する金属薄膜層22と、絶縁フィルム60に隣接する等方導電性接着剤層26とを有する。
(Conductive layer)
As described above, the conductive layer 20 in the first embodiment has a metal thin film layer 22 adjacent to the insulating resin layer 10 and an anisotropic conductive adhesive layer 24 adjacent to the insulating film 60.
The conductive layer 20 in the second embodiment has a metal thin film layer 22 adjacent to the insulating resin layer 10 and an isotropic conductive adhesive layer 26 adjacent to the insulating film 60.

[金属薄膜層]
本実施形態における金属薄膜層22は、貫通孔22hが複数形成された多孔の金属薄膜層である。金属薄膜層22は、面方向に広がるように形成されていることから、面方向に導電性を有し、電磁波シールド層等として機能する。
[Metallic thin film layer]
The metal thin film layer 22 in the present embodiment is a porous metal thin film layer in which a plurality of through holes 22h are formed. Since the metal thin film layer 22 is formed so as to spread in the surface direction, it has conductivity in the surface direction and functions as an electromagnetic wave shielding layer or the like.

金属薄膜層22を構成する金属としては、アルミニウム、銀、銅、金、導電性セラミックス等が挙げられ、電気伝導度の点からは、銀又は銅が好ましい。 Examples of the metal constituting the metal thin film layer 22 include aluminum, silver, copper, gold, conductive ceramics, and the like, and silver or copper is preferable from the viewpoint of electrical conductivity.

金属薄膜層22は、無孔金属薄膜層に貫通孔が形成された層である。
無孔金属薄膜層としては、物理蒸着(真空蒸着、スパッタリング、イオンビーム蒸着、電子ビーム蒸着等)又は化学蒸着によって形成された蒸着膜、めっきによって形成されためっき膜、金属箔等が挙げられる。面方向の導電性に優れる点では、無孔金属薄膜層は、蒸着膜、めっき膜が好ましい。金属薄膜層22を薄くでき、かつ厚さが薄くても面方向の導電性に優れ、ドライプロセスにて簡便に形成できる点では、無孔金属薄膜層は蒸着膜がより好ましく、物理蒸着による蒸着膜がさらに好ましく、銀蒸着層又は銅蒸着層が特に好ましい。
The metal thin film layer 22 is a layer in which through holes are formed in the non-porous metal thin film layer.
Examples of the non-porous metal thin film layer include a vapor deposition film formed by physical vapor deposition (vacuum vapor deposition, sputtering, ion beam vapor deposition, electron beam vapor deposition, etc.) or chemical vapor deposition, a plating film formed by plating, a metal foil, and the like. A vapor-deposited film or a plated film is preferable as the non-porous metal thin film layer in terms of excellent surface conductivity. The non-porous metal thin film layer is more preferably a thin-film deposition film in that the metal thin film layer 22 can be made thin, has excellent surface conductivity even if it is thin, and can be easily formed by a dry process. A film is more preferable, and a silver-film-deposited layer or a copper-deposited layer is particularly preferable.

金属薄膜層22に形成されている貫通孔22hの数は、1000個/cm以上100000個/cm以下であり、5000個/cm以上80000個/cm以下であることが好ましく、6000個/cm以上60000個/cm以下であることがより好ましい。貫通孔22hの数は、無作為に選択した面積1cmの複数の領域について、顕微鏡を用いて貫通孔22hの数を計測し、計測した領域の貫通孔22hの数を平均することにより求めることができる。
金属薄膜層22に形成されている貫通孔22hの数が前記範囲の下限値以上であることにより、絶縁樹脂層10と導電性接着剤層24,26とを十分な接着強度で接着できる。これにより、金属薄膜層22からの絶縁樹脂層及び導電性接着剤層の剥離を防止できる。金属薄膜層22に形成されている貫通孔22hの数が前記範囲の上限値以下であることにより、電磁波シールドフィルム2の電磁波シールド性を十分に高くできる。
金属薄膜層22の貫通孔22hの開口部の形状としては特に制限はなく、例えば、円形状、楕円形状、多角形状(例えば、三角形状、四角形状等)でもよいし、不定形状であってもよい。
金属薄膜層22の貫通孔22hを含む最小円の直径は、0.1μm以上20μm以下であることが好ましく、1μm以上15μm以下であることがより好ましく、5μm以上15μm以下であることがさらに好ましい。金属薄膜層22の貫通孔22hの直径が前記範囲の下限値以上であれば、絶縁樹脂層10と導電性接着剤層24,26との接着強度をより高くできる。金属薄膜層22の貫通孔22hの直径が前記範囲の上限値以下であれば、電磁波シールドフィルム2の電磁波シールド性を十分に確保できる。
平面視において、貫通孔22hは、後述する導電性接着剤層24,26に含まれる導電性粒子24b,26bと重なっている。
The number of through holes 22h formed in the metal thin film layer 22 is 1000 pieces / cm 2 or more and 100,000 pieces / cm 2 or less, preferably 5000 pieces / cm 2 or more and 80,000 pieces / cm 2 or less, preferably 6000. More preferably, the number of pieces / cm is 2 or more and 60,000 pieces / cm 2 or less. The number of through holes 22h is determined by measuring the number of through holes 22h using a microscope for a plurality of randomly selected areas having an area of 1 cm 2 and averaging the number of through holes 22h in the measured areas. Can be done.
When the number of through holes 22h formed in the metal thin film layer 22 is equal to or greater than the lower limit of the above range, the insulating resin layer 10 and the conductive adhesive layers 24 and 26 can be bonded with sufficient adhesive strength. This makes it possible to prevent the insulating resin layer and the conductive adhesive layer from peeling off from the metal thin film layer 22. When the number of through holes 22h formed in the metal thin film layer 22 is not more than the upper limit of the above range, the electromagnetic wave shielding property of the electromagnetic wave shielding film 2 can be sufficiently improved.
The shape of the opening of the through hole 22h of the metal thin film layer 22 is not particularly limited, and may be, for example, a circular shape, an elliptical shape, a polygonal shape (for example, a triangular shape, a quadrangular shape, etc.), or an indefinite shape. good.
The diameter of the minimum circle including the through hole 22h of the metal thin film layer 22 is preferably 0.1 μm or more and 20 μm or less, more preferably 1 μm or more and 15 μm or less, and further preferably 5 μm or more and 15 μm or less. When the diameter of the through hole 22h of the metal thin film layer 22 is at least the lower limit of the above range, the adhesive strength between the insulating resin layer 10 and the conductive adhesive layers 24 and 26 can be further increased. When the diameter of the through hole 22h of the metal thin film layer 22 is not more than the upper limit of the above range, the electromagnetic wave shielding property of the electromagnetic wave shielding film 2 can be sufficiently ensured.
In a plan view, the through hole 22h overlaps with the conductive particles 24b and 26b contained in the conductive adhesive layers 24 and 26 described later.

金属薄膜層22の厚さは、0.01μm以上3μm以下が好ましく、0.03μm以上1μm以下がより好ましく、0.05μm以上0.5μm以下がさらに好ましく、0.07μm以上0.4μm以下が特に好ましい。金属薄膜層22の厚さが0.01μm以上であれば、面方向の導電性がさらに良好になる。金属薄膜層22の厚さが0.05μm以上であれば、電磁波ノイズの遮蔽効果がさらに良好になる。金属薄膜層22の厚さが前記範囲の上限値以下であれば、電磁波シールドフィルム2を薄くでき、電磁波シールドフィルム2の生産性、可とう性がよくなる。 The thickness of the metal thin film layer 22 is preferably 0.01 μm or more and 3 μm or less, more preferably 0.03 μm or more and 1 μm or less, further preferably 0.05 μm or more and 0.5 μm or less, and particularly preferably 0.07 μm or more and 0.4 μm or less. preferable. When the thickness of the metal thin film layer 22 is 0.01 μm or more, the conductivity in the plane direction is further improved. When the thickness of the metal thin film layer 22 is 0.05 μm or more, the shielding effect of electromagnetic noise is further improved. When the thickness of the metal thin film layer 22 is not more than the upper limit of the above range, the electromagnetic wave shielding film 2 can be thinned, and the productivity and flexibility of the electromagnetic wave shielding film 2 are improved.

金属薄膜層22の表面抵抗は、0.001Ω以上1Ω以下が好ましく、0.001Ω以上0.5Ω以下がより好ましい。金属薄膜層22の表面抵抗が前記範囲の下限値以上であれば、金属薄膜層22を十分に薄くできる。金属薄膜層22の表面抵抗が前記範囲の上限値以下であれば、電磁波シールド層として十分に機能できる。 The surface resistance of the metal thin film layer 22 is preferably 0.001 Ω or more and 1 Ω or less, and more preferably 0.001 Ω or more and 0.5 Ω or less. When the surface resistance of the metal thin film layer 22 is at least the lower limit of the above range, the metal thin film layer 22 can be sufficiently thinned. If the surface resistance of the metal thin film layer 22 is not more than the upper limit of the above range, it can sufficiently function as an electromagnetic wave shielding layer.

[異方導電性接着剤層]
第一実施形態における異方導電性接着剤層24は、厚さ方向に導電性を有し、面方向には導電性を有さず、かつ、接着性を有する。
異方導電性接着剤層24は、導電性接着剤層を容易に薄くでき、後述する導電性粒子の量を少なくでき、その結果、電磁波シールドフィルム2を薄くでき、電磁波シールドフィルム2の可とう性が高くなる利点を有する。
[Anteroconductive adhesive layer]
The anisotropic conductive adhesive layer 24 in the first embodiment has conductivity in the thickness direction, does not have conductivity in the plane direction, and has adhesiveness.
The anisotropic conductive adhesive layer 24 can easily thin the conductive adhesive layer and reduce the amount of the conductive particles described later, and as a result, the electromagnetic wave shielding film 2 can be thinned, and the electromagnetic wave shielding film 2 can be used. It has the advantage of being highly sexual.

異方導電性接着剤層24としては、硬化後に耐熱性を発揮できる点から、熱硬化性の導電性接着剤層が好ましい。熱硬化性の異方導電性接着剤層24は、未硬化の状態であってもよく、Bステージ化された状態であってもよい。
熱硬化性の異方導電性接着剤層24は、例えば、熱硬化性接着剤24aと導電性粒子24bとを含む。熱硬化性の異方導電性接着剤層24は、必要に応じて難燃剤を含んでいてもよい。
As the anisotropic conductive adhesive layer 24, a thermosetting conductive adhesive layer is preferable because it can exhibit heat resistance after curing. The thermosetting anisotropic conductive adhesive layer 24 may be in an uncured state or may be in a B-staged state.
The thermosetting anisotropic conductive adhesive layer 24 contains, for example, a thermosetting adhesive 24a and conductive particles 24b. The thermosetting anisotropic conductive adhesive layer 24 may contain a flame retardant, if necessary.

熱硬化性接着剤24aとしては、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、アミノ樹脂、アルキッド樹脂、ウレタン樹脂、合成ゴム、紫外線硬化アクリレート樹脂等が挙げられる。耐熱性に優れる点から、エポキシ樹脂が好ましい。エポキシ樹脂は、可とう性付与のためのゴム成分(カルボキシ変性ニトリルゴム、アクリルゴム等)、粘着付与剤等を含んでいてもよい。
熱硬化性接着剤24aは、異方導電性接着剤層24の強度を高め、打ち抜き特性を向上させるために、セルロース樹脂、ミクロフィブリル(ガラス繊維等)を含んでいてもよい。前記熱硬化性接着剤は、本発明の効果を損なわない範囲において、必要に応じて他の成分を含んでいてもよい。
Examples of the thermosetting adhesive 24a include epoxy resin, phenol resin, amino resin, alkyd resin, urethane resin, synthetic rubber, ultraviolet curable acrylate resin and the like. Epoxy resin is preferable because it has excellent heat resistance. The epoxy resin may contain a rubber component (carboxy-modified nitrile rubber, acrylic rubber, etc.) for imparting flexibility, a tackifier, and the like.
The thermosetting adhesive 24a may contain a cellulose resin, microfibrils (glass fiber, etc.) in order to increase the strength of the anisotropic conductive adhesive layer 24 and improve the punching characteristics. The thermosetting adhesive may contain other components, if necessary, as long as the effects of the present invention are not impaired.

導電性粒子24bとしては、金属(銀、白金、金、銅、ニッケル、パラジウム、アルミニウム、ハンダ等)の粒子、黒鉛粉、焼成カーボン粒子、めっきされた焼成カーボン粒子等が挙げられる。導電性粒子24bとしては、異方導電性接着剤層24がさらに適度の硬さを有するようになり、後述する圧着工程の際にかけられた圧力の損失を抑制できる点からは、金属粒子が好ましく、銅粒子がより好ましい。 Examples of the conductive particles 24b include metal particles (silver, platinum, gold, copper, nickel, palladium, aluminum, solder, etc.), graphite powder, calcined carbon particles, plated calcined carbon particles, and the like. As the conductive particles 24b, metal particles are preferable because the anisotropic conductive adhesive layer 24 has a more appropriate hardness and can suppress the loss of pressure applied during the crimping step described later. , Copper particles are more preferred.

導電性粒子24bの10%圧縮強度は、30MPa以上200MPa以下が好ましく、50MPa以上150MPa以下がより好ましく、70MPa以上100MPa以下がさらに好ましい。導電性粒子の10%圧縮強度が前記範囲の下限値以上であれば、後述する圧着工程の際にかけられた圧力を損失せずに無孔金属薄膜層の穿孔に利用できる。また、導電性粒子の10%圧縮強度が前記範囲の下限値以上であれば、異方導電性接着剤層24が絶縁フィルム60の貫通孔内に十分に入り込んでフレキシブルプリント配線板50のプリント回路54により確実に電気的に接続される。導電性粒子24bの10%圧縮強度が前記範囲の上限値以下であれば、金属薄膜層22との接触がよくなり、電気的接続が確実になる。 The 10% compressive strength of the conductive particles 24b is preferably 30 MPa or more and 200 MPa or less, more preferably 50 MPa or more and 150 MPa or less, and further preferably 70 MPa or more and 100 MPa or less. When the 10% compressive strength of the conductive particles is equal to or higher than the lower limit of the above range, it can be used for drilling a non-porous metal thin film layer without losing the pressure applied during the crimping step described later. Further, when the 10% compressive strength of the conductive particles is equal to or higher than the lower limit of the above range, the anisotropic conductive adhesive layer 24 sufficiently penetrates into the through hole of the insulating film 60 to sufficiently penetrate the printed circuit of the flexible printed wiring board 50. The 54 ensures an electrical connection. When the 10% compressive strength of the conductive particles 24b is not more than the upper limit of the above range, the contact with the metal thin film layer 22 is improved and the electrical connection is ensured.

異方導電性接着剤層24における導電性粒子24bの平均粒子径は、3μm以上20μm以下が好ましく、5μm以上10μm以下がより好ましい。導電性粒子24bの平均粒子径が前記範囲の下限値以上であれば、異方導電性接着剤層24の厚さを確保することができ、十分な接着強度を得ることができる。導電性粒子24bの平均粒子径が前記範囲の上限値以下であれば、異方導電性接着剤層24が絶縁フィルム60の貫通孔内に十分に入り込んでフレキシブルプリント配線板50のプリント回路54により確実に電気的に接続される。 The average particle diameter of the conductive particles 24b in the anisotropic conductive adhesive layer 24 is preferably 3 μm or more and 20 μm or less, and more preferably 5 μm or more and 10 μm or less. When the average particle diameter of the conductive particles 24b is at least the lower limit of the above range, the thickness of the anisotropic conductive adhesive layer 24 can be secured, and sufficient adhesive strength can be obtained. When the average particle diameter of the conductive particles 24b is equal to or less than the upper limit of the above range, the anisotropic conductive adhesive layer 24 sufficiently penetrates into the through hole of the insulating film 60 by the printed circuit 54 of the flexible printed wiring board 50. Securely electrically connected.

異方導電性接着剤層24における導電性粒子24bの割合は、異方導電性接着剤層24の100体積%のうち、1体積%以上50体積%以下が好ましく、10体積%以上30体積%以下がより好ましい。導電性粒子24bの割合が前記範囲の下限値以上であれば、異方導電性接着剤層24の導電性が良好になる。導電性粒子24bの割合が前記範囲の上限値以下であれば、異方導電性接着剤層24の接着性、流動性(絶縁フィルム60の貫通孔の形状への追随性)が良好になる。また、電磁波シールドフィルム2の可とう性がよくなる。 The proportion of the conductive particles 24b in the anisotropic conductive adhesive layer 24 is preferably 1% by volume or more and 50% by volume or less, preferably 10% by volume or more and 30% by volume, out of 100% by volume of the anisotropic conductive adhesive layer 24. The following is more preferable. When the ratio of the conductive particles 24b is equal to or higher than the lower limit of the above range, the conductivity of the anisotropic conductive adhesive layer 24 becomes good. When the ratio of the conductive particles 24b is not more than the upper limit of the above range, the adhesiveness and fluidity (following the shape of the through hole of the insulating film 60) of the anisotropic conductive adhesive layer 24 are good. In addition, the flexibility of the electromagnetic wave shielding film 2 is improved.

異方導電性接着剤層24の180℃における貯蔵弾性率は、1×10Pa以上5×10Pa以下が好ましく、5×10Pa以上1×10Pa以下がより好ましい。異方導電性接着剤層24の180℃における貯蔵弾性率が前記範囲の下限値以上であれば、異方導電性接着剤層24がさらに適度の硬さを有するようになり、後述する圧着工程の際にかけられた圧力の損失を抑制できる。その結果、導電性接着剤層とフレキシブルプリント配線板50のプリント回路54とが十分に接着され、異方導電性接着剤層24が絶縁フィルム60の貫通孔内に入り込んでフレキシブルプリント配線板50のプリント回路54により確実に電気的に接続される。導電性接着剤層の180℃における貯蔵弾性率が前記範囲の上限値以下であれば、電磁波シールドフィルム2の可とう性がよくなる。その結果、電磁波シールドフィルム2が絶縁フィルム60の貫通孔内に沈み込みやすくなり、異方導電性接着剤層24が絶縁フィルム60の貫通孔内に十分に入り込んでフレキシブルプリント配線板50のプリント回路54により確実に電気的に接続される。 The storage elastic modulus of the anisotropic conductive adhesive layer 24 at 180 ° C. is preferably 1 × 10 3 Pa or more and 5 × 10 7 Pa or less, and more preferably 5 × 10 3 Pa or more and 1 × 10 7 Pa or less. When the storage elastic modulus of the anisotropic conductive adhesive layer 24 at 180 ° C. is equal to or higher than the lower limit of the above range, the anisotropic conductive adhesive layer 24 has a more appropriate hardness, and the crimping step described later The loss of pressure applied at the time can be suppressed. As a result, the conductive adhesive layer and the printed circuit 54 of the flexible printed wiring board 50 are sufficiently adhered, and the anisotropic conductive adhesive layer 24 enters the through hole of the insulating film 60 to form the flexible printed wiring board 50. It is securely electrically connected by the printed circuit 54. When the storage elastic modulus of the conductive adhesive layer at 180 ° C. is not more than the upper limit of the above range, the flexibility of the electromagnetic wave shielding film 2 is improved. As a result, the electromagnetic wave shielding film 2 easily sinks into the through hole of the insulating film 60, and the anisotropic conductive adhesive layer 24 sufficiently penetrates into the through hole of the insulating film 60 to sufficiently penetrate the printed circuit of the flexible printed wiring board 50. The 54 ensures an electrical connection.

異方導電性接着剤層24の表面抵抗は、1×10Ω以上1×1016Ω以下が好ましく、1×10Ω以上1×1014Ω以下がより好ましい。異方導電性接着剤層24の表面抵抗が前記範囲の下限値以上であれば、導電性粒子24bの含有量が低く抑えられる。異方導電性接着剤層24の表面抵抗が前記範囲の上限値以下であれば、実用上、異方性に問題がない。 The surface resistance of the anisotropic conductive adhesive layer 24 is preferably 1 × 10 4 Ω or more and 1 × 10 16 Ω or less, and more preferably 1 × 10 6 Ω or more and 1 × 10 14 Ω or less. When the surface resistance of the anisotropic conductive adhesive layer 24 is at least the lower limit of the above range, the content of the conductive particles 24b can be suppressed to a low level. If the surface resistance of the anisotropic conductive adhesive layer 24 is not more than the upper limit of the above range, there is no problem in practically anisotropy.

異方導電性接着剤層24の厚さは、3μm以上25μm以下が好ましく、5μm以上15μm以下がより好ましい。異方導電性接着剤層24の厚さが前記範囲の下限値以上であれば、異方導電性接着剤層24の流動性が高くなり、異方導電性接着剤層24が絶縁フィルム60の貫通孔内に十分に入り込んでフレキシブルプリント配線板50のプリント回路54により確実に電気的に接続される。異方導電性接着剤層24の厚さが前記範囲の上限値以下であれば、電磁波シールドフィルム2を薄くできる。また、電磁波シールドフィルム2の可とう性がよくなる。 The thickness of the anisotropic conductive adhesive layer 24 is preferably 3 μm or more and 25 μm or less, and more preferably 5 μm or more and 15 μm or less. When the thickness of the anisotropic conductive adhesive layer 24 is at least the lower limit of the above range, the fluidity of the anisotropic conductive adhesive layer 24 becomes high, and the anisotropic conductive adhesive layer 24 is the insulating film 60. It penetrates sufficiently into the through hole and is securely electrically connected by the print circuit 54 of the flexible printed wiring board 50. When the thickness of the anisotropic conductive adhesive layer 24 is not more than the upper limit of the above range, the electromagnetic wave shielding film 2 can be thinned. In addition, the flexibility of the electromagnetic wave shielding film 2 is improved.

[等方導電性接着剤層]
第二実施形態における等方導電性接着剤層26は、厚さ方向及び面方向に導電性を有し、かつ、接着性を有する。
等方導電性接着剤層26は、電磁波シールドフィルム2の電磁波遮蔽性をより高くできる利点を有する。
[Isotropic conductive adhesive layer]
The isotropic conductive adhesive layer 26 in the second embodiment has conductivity in the thickness direction and the surface direction, and has adhesiveness.
The isotropic conductive adhesive layer 26 has an advantage that the electromagnetic wave shielding property of the electromagnetic wave shielding film 2 can be further enhanced.

等方導電性接着剤層26としては、硬化後に耐熱性を発揮できる点から、熱硬化性の導電性接着剤層が好ましい。熱硬化性の等方導電性接着剤層26は、未硬化の状態であってもよく、Bステージ化された状態であってもよい。
熱硬化性の等方導電性接着剤層26は、例えば、熱硬化性接着剤26aと導電性粒子26bとを含む。熱硬化性の等方導電性接着剤層26は、必要に応じて難燃剤を含んでいてもよい。
等方導電性接着剤層26に含まれる熱硬化性接着剤26aの成分及び導電性粒子26bの材質は、異方導電性接着剤層24に含まれる熱硬化性接着剤24aの成分及び導電性粒子24bの材質と同様である。
As the isotropic conductive adhesive layer 26, a thermosetting conductive adhesive layer is preferable because it can exhibit heat resistance after curing. The thermosetting isotropic conductive adhesive layer 26 may be in an uncured state or may be in a B-staged state.
The thermosetting isotropic conductive adhesive layer 26 contains, for example, a thermosetting adhesive 26a and conductive particles 26b. The thermosetting isotropic conductive adhesive layer 26 may contain a flame retardant, if necessary.
The components of the thermosetting adhesive 26a contained in the isotropic conductive adhesive layer 26 and the materials of the conductive particles 26b are the components of the thermosetting adhesive 24a contained in the anisotropic conductive adhesive layer 24 and the conductivity. It is the same as the material of the particle 24b.

等方導電性接着剤層26における導電性粒子26bの平均粒子径は、0.1μm以上10μm以下が好ましく、0.2μm以上1μm以下がより好ましい。導電性粒子26bの平均粒子径が前記範囲の下限値以上であれば、導電性粒子26bの接触点数が増えることになり、3次元方向の導通性を安定的に高めることができる。導電性粒子26bの平均粒子径が前記範囲の上限値以下であれば、等方導電性接着剤層26が絶縁フィルム60の貫通孔内に十分に入り込んでフレキシブルプリント配線板50のプリント回路54により確実に電気的に接続される。 The average particle diameter of the conductive particles 26b in the isotropic conductive adhesive layer 26 is preferably 0.1 μm or more and 10 μm or less, and more preferably 0.2 μm or more and 1 μm or less. When the average particle diameter of the conductive particles 26b is at least the lower limit of the above range, the number of contact points of the conductive particles 26b increases, and the conductivity in the three-dimensional direction can be stably increased. When the average particle diameter of the conductive particles 26b is equal to or less than the upper limit of the above range, the isotropic conductive adhesive layer 26 sufficiently penetrates into the through holes of the insulating film 60 and is formed by the printed circuit 54 of the flexible printed wiring board 50. Securely electrically connected.

等方導電性接着剤層26における導電性粒子26bの割合は、等方導電性接着剤層26の100体積%のうち、50体積%以上80体積%以下が好ましく、60体積%以上70体積%以下がより好ましい。導電性粒子26bの割合が前記範囲の下限値以上であれば、等方導電性接着剤層26の導電性が良好になる。導電性粒子26bの割合が前記範囲の上限値以下であれば、等方導電性接着剤層26が絶縁フィルム60の貫通孔内に十分に入り込んでフレキシブルプリント配線板50のプリント回路54により確実に電気的に接続される。 The proportion of the conductive particles 26b in the isotropic conductive adhesive layer 26 is preferably 50% by volume or more and 80% by volume or less, and 60% by volume or more and 70% by volume, out of 100% by volume of the isotropic conductive adhesive layer 26. The following is more preferable. When the ratio of the conductive particles 26b is equal to or higher than the lower limit of the above range, the conductivity of the isotropic conductive adhesive layer 26 becomes good. When the ratio of the conductive particles 26b is equal to or less than the upper limit of the above range, the isotropic conductive adhesive layer 26 sufficiently penetrates into the through hole of the insulating film 60 and is surely formed by the printed circuit 54 of the flexible printed wiring board 50. It is electrically connected.

等方導電性接着剤層26の180℃における貯蔵弾性率は、1×10Pa以上5×10Pa以下が好ましく、5×10Pa以上1×10Pa以下がより好ましい。前記範囲が好ましい理由は、異方導電性接着剤層24と同様である。 The storage elastic modulus of the isotropic conductive adhesive layer 26 at 180 ° C. is preferably 1 × 10 3 Pa or more and 5 × 10 7 Pa or less, and more preferably 5 × 10 3 Pa or more and 1 × 10 7 Pa or less. The reason why the above range is preferable is the same as that of the anisotropic conductive adhesive layer 24.

等方導電性接着剤層26の表面抵抗は、0.05Ω以上2.0Ω以下が好ましく、0.1Ω以上1.0Ω以下がより好ましい。等方導電性接着剤層26の表面抵抗が前記範囲の下限値以上であれば、導電性粒子26bの含有量が低く抑えられ、導電性接着剤の粘度が高くなりすぎず、塗布性がさらに良好となる。また、等方導電性接着剤層26の流動性(絶縁フィルムの貫通孔の形状への追随性)をさらに確保できる。等方導電性接着剤層26の表面抵抗が前記範囲の上限値以下であれば、等方導電性接着剤層26の全面が均一な導電性を有するものとなる。 The surface resistance of the isotropic conductive adhesive layer 26 is preferably 0.05 Ω or more and 2.0 Ω or less, and more preferably 0.1 Ω or more and 1.0 Ω or less. When the surface resistance of the isotropic conductive adhesive layer 26 is equal to or higher than the lower limit of the above range, the content of the conductive particles 26b is suppressed to a low level, the viscosity of the conductive adhesive does not become too high, and the coatability is further improved. It will be good. Further, the fluidity of the isotropic conductive adhesive layer 26 (following the shape of the through hole of the insulating film) can be further ensured. When the surface resistance of the isotropic conductive adhesive layer 26 is not more than the upper limit of the above range, the entire surface of the isotropic conductive adhesive layer 26 has uniform conductivity.

等方導電性接着剤層26の厚さは、5μm以上20μm以下が好ましく、7μm以上17μm以下がより好ましい。等方導電性接着剤層26の厚さが前記範囲の下限値以上であれば、等方導電性接着剤層26の導電性が良好になり、電磁波シールド層として十分に機能できる。また、等方導電性接着剤層26の流動性(絶縁フィルムの貫通孔の形状への追随性)を確保でき、絶縁フィルムの貫通孔内を導電性接着剤で十分に埋めることができ、耐折性も確保でき繰り返し折り曲げても等方導電性接着剤層26が断裂することはない。
等方導電性接着剤層26の厚さが前記範囲の上限値以下であれば、電磁波シールドフィルム2を薄くできる。また、電磁波シールドフィルム2の可とう性がよくなる。
The thickness of the isotropic conductive adhesive layer 26 is preferably 5 μm or more and 20 μm or less, and more preferably 7 μm or more and 17 μm or less. When the thickness of the isotropic conductive adhesive layer 26 is at least the lower limit of the above range, the conductivity of the isotropic conductive adhesive layer 26 becomes good, and the isotropic conductive adhesive layer 26 can sufficiently function as an electromagnetic wave shielding layer. In addition, the fluidity of the isotropic conductive adhesive layer 26 (following the shape of the through hole of the insulating film) can be ensured, and the inside of the through hole of the insulating film can be sufficiently filled with the conductive adhesive, and the resistance can be increased. Foldability can be ensured, and the isotropic conductive adhesive layer 26 does not tear even when repeatedly bent.
When the thickness of the isotropic conductive adhesive layer 26 is not more than the upper limit of the above range, the electromagnetic wave shielding film 2 can be thinned. In addition, the flexibility of the electromagnetic wave shielding film 2 is improved.

(電磁波シールドフィルムの厚さ)
電磁波シールドフィルム2の厚さは、3μm以上50μm以下が好ましく、5μm以上30μm以下がより好ましい。電磁波シールドフィルム2の厚さが前記範囲の下限値以上であれば、キャリアフィルム30を剥離する際に破断しにくい。電磁波シールドフィルム2の厚さが前記範囲の上限値以下であれば、電磁波シールドフィルム付きプリント配線板1a,1bを薄くできる。
(Thickness of electromagnetic wave shield film)
The thickness of the electromagnetic wave shielding film 2 is preferably 3 μm or more and 50 μm or less, and more preferably 5 μm or more and 30 μm or less. When the thickness of the electromagnetic wave shielding film 2 is at least the lower limit of the above range, it is difficult to break when the carrier film 30 is peeled off. When the thickness of the electromagnetic wave shielding film 2 is not more than the upper limit of the above range, the printed wiring boards 1a and 1b with the electromagnetic wave shielding film can be thinned.

<フレキシブルプリント配線板>
フレキシブルプリント配線板50は、ベースフィルム52の少なくとも片面にプリント回路54が設けられたものである。例えば、フレキシブルプリント配線板50としては、銅張積層板の銅箔を公知のエッチング法により所望のパターンに加工してプリント回路54としたものが挙げられる。
銅張積層板としては、ベースフィルム52の片面又は両面に接着剤層(図示略)を介して銅箔を貼り付けたもの;銅箔の表面にベースフィルム52を形成する樹脂溶液等をキャストしたもの等が挙げられる。
接着剤層の材料としては、エポキシ樹脂、ポリエステル、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリアミド、フェノール樹脂、ウレタン樹脂、アクリル樹脂、メラミン樹脂等が挙げられる。
接着剤層の厚さは、0.5μm以上30μm以下が好ましい。
<Flexible printed wiring board>
The flexible printed wiring board 50 is provided with a printed circuit 54 on at least one side of the base film 52. For example, examples of the flexible printed wiring board 50 include a printed circuit 54 obtained by processing a copper foil of a copper-clad laminate into a desired pattern by a known etching method.
As the copper-clad laminate, a copper foil is attached to one side or both sides of the base film 52 via an adhesive layer (not shown); a resin solution or the like forming the base film 52 is cast on the surface of the copper foil. Things etc. can be mentioned.
Examples of the material of the adhesive layer include epoxy resin, polyester, polyimide, polyamide-imide, polyamide, phenol resin, urethane resin, acrylic resin, melamine resin and the like.
The thickness of the adhesive layer is preferably 0.5 μm or more and 30 μm or less.

(ベースフィルム)
ベースフィルム52としては、耐熱性を有するフィルムが好ましく、ポリイミドフィルム、液晶ポリマーフィルムがより好ましく、ポリイミドフィルムがさらに好ましい。
ベースフィルム52の表面抵抗は、電気的絶縁性の点から、1×10Ω以上が好ましい。ベースフィルム52の表面抵抗は、実用上の点から、1×1019Ω以下が好ましい。
ベースフィルム52の厚さは、5μm以上200μm以下が好ましく、屈曲性の点から、6μm以上50μm以下がより好ましく、10μm以上25μm以下がより好ましい。
(Base film)
As the base film 52, a film having heat resistance is preferable, a polyimide film and a liquid crystal polymer film are more preferable, and a polyimide film is further preferable.
The surface resistance of the base film 52 is preferably 1 × 10 6 Ω or more from the viewpoint of electrical insulation. The surface resistance of the base film 52 is preferably 1 × 10 19 Ω or less from the practical point of view.
The thickness of the base film 52 is preferably 5 μm or more and 200 μm or less, more preferably 6 μm or more and 50 μm or less, and more preferably 10 μm or more and 25 μm or less from the viewpoint of flexibility.

(プリント回路)
プリント回路54を構成する銅箔としては、圧延銅箔、電解銅箔等が挙げられ、屈曲性の点から、圧延銅箔が好ましい。プリント回路54は、例えば、信号回路、グランド回路、グランド層等として使用される。
銅箔の厚さは、1μm以上50μm以下が好ましく、18μm以上35μm以下がより好ましい。
プリント回路54の長さ方向の端部(端子)は、ハンダ接続、コネクター接続、部品搭載等のため、絶縁フィルム60や電磁波シールドフィルム2に覆われず、露出している。
(Print circuit)
Examples of the copper foil constituting the printed circuit 54 include rolled copper foil, electrolytic copper foil, and the like, and rolled copper foil is preferable from the viewpoint of flexibility. The print circuit 54 is used, for example, as a signal circuit, a ground circuit, a ground layer, or the like.
The thickness of the copper foil is preferably 1 μm or more and 50 μm or less, and more preferably 18 μm or more and 35 μm or less.
The end portion (terminal) in the length direction of the print circuit 54 is not covered with the insulating film 60 or the electromagnetic wave shielding film 2 and is exposed because of solder connection, connector connection, component mounting, and the like.

<絶縁フィルム>
絶縁フィルム60は、フレキシブルプリント配線板50のプリント回路54が設けられた側の表面に設けられる。
絶縁フィルム60(カバーレイフィルム)は、絶縁フィルム本体(図示略)の片面に、接着剤の塗布、接着剤シートの貼り付け等によって接着剤層(図示略)を形成したものである。
絶縁フィルム本体の表面抵抗は、電気的絶縁性の点から、1×10Ω以上が好ましい。絶縁フィルム本体の表面抵抗は、実用上の点から、1×1019Ω以下が好ましい。
絶縁フィルム本体としては、耐熱性を有するフィルムが好ましく、ポリイミドフィルム、液晶ポリマーフィルムがより好ましく、ポリイミドフィルムがさらに好ましい。
絶縁フィルム本体の厚さは、1μm以上100μm以下が好ましく、可とう性の点から、3μm以上25μm以下がより好ましい。
接着剤層の材料としては、エポキシ樹脂、ポリエステル、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリアミド、フェノール樹脂、ウレタン樹脂、アクリル樹脂、メラミン樹脂、ポリスチレン、ポリオレフィン等が挙げられる。エポキシ樹脂は、可とう性付与のためのゴム成分(カルボキシ変性ニトリルゴム等)を含んでいてもよい。
接着剤層の厚さは、1μm以上100μm以下が好ましく、1.5μm以上60μm以下がより好ましい。
<Insulation film>
The insulating film 60 is provided on the surface of the flexible printed wiring board 50 on the side where the printed circuit 54 is provided.
The insulating film 60 (coverlay film) is formed by forming an adhesive layer (not shown) on one side of an insulating film main body (not shown) by applying an adhesive, attaching an adhesive sheet, or the like.
The surface resistance of the insulating film body is preferably 1 × 10 6 Ω or more from the viewpoint of electrical insulation. The surface resistance of the insulating film body is preferably 1 × 10 19 Ω or less from the practical point of view.
As the main body of the insulating film, a film having heat resistance is preferable, a polyimide film and a liquid crystal polymer film are more preferable, and a polyimide film is further preferable.
The thickness of the insulating film body is preferably 1 μm or more and 100 μm or less, and more preferably 3 μm or more and 25 μm or less from the viewpoint of flexibility.
Examples of the material of the adhesive layer include epoxy resin, polyester, polyimide, polyamide-imide, polyamide, phenol resin, urethane resin, acrylic resin, melamine resin, polystyrene, polyolefin and the like. The epoxy resin may contain a rubber component (carboxy-modified nitrile rubber, etc.) for imparting flexibility.
The thickness of the adhesive layer is preferably 1 μm or more and 100 μm or less, and more preferably 1.5 μm or more and 60 μm or less.

絶縁フィルム60に形成される貫通孔の開口部の形状は、特に限定されない。貫通孔の開口部の形状としては、例えば、円形、楕円形、四角形等が挙げられる。 The shape of the opening of the through hole formed in the insulating film 60 is not particularly limited. Examples of the shape of the opening of the through hole include a circle, an ellipse, and a quadrangle.

絶縁フィルム60の表面には、異方導電性接着剤層24又は等方導電性接着剤層26が接着され且つ硬化されている。また、異方導電性接着剤層24又は等方導電性接着剤層26は、絶縁フィルム60に形成された貫通孔(図示略)内に入り込んでプリント回路54に電気的に接続されている。
貫通孔のある部分を除くプリント回路54(信号回路、グランド回路、グランド層等)の近傍には、電磁波シールドフィルム2の金属薄膜層22が、絶縁フィルム60及び異方導電性接着剤層24又は等方導電性接着剤層26を介して離間して対向配置される。
貫通孔のある部分を除くプリント回路54と金属薄膜層22との離間距離は、絶縁フィルム60の厚さと異方導電性接着剤層24又は等方導電性接着剤層26の厚さの総和とほぼ等しい。離間距離は、30μm以上200μm以下が好ましく、60μm以上200μm以下がより好ましい。離間距離が30μmより小さいと、信号回路のインピーダンスが低くなるため、100Ω等の特性インピーダンスを有するためには、信号回路の線幅を小さくしなければならず、線幅のバラツキが特性インピーダンスのバラツキとなって、インピーダンスのミスマッチによる反射共鳴ノイズが電気信号に乗りやすくなる。離間距離が200μmより大きいと、電磁波シールドフィルム付きプリント配線板1a,1bが厚くなり、可とう性が不足する。
An anisotropic conductive adhesive layer 24 or an isotropic conductive adhesive layer 26 is adhered and cured on the surface of the insulating film 60. Further, the anisotropic conductive adhesive layer 24 or the isotropic conductive adhesive layer 26 enters into a through hole (not shown) formed in the insulating film 60 and is electrically connected to the printed circuit 54.
In the vicinity of the printed circuit 54 (signal circuit, ground circuit, ground layer, etc.) excluding the portion having a through hole, the metal thin film layer 22 of the electromagnetic wave shielding film 2 is formed on the insulating film 60 and the anisotropic conductive adhesive layer 24 or. They are spaced apart and opposed to each other via an isotropic conductive adhesive layer 26.
The separation distance between the printed circuit 54 and the metal thin film layer 22 excluding the portion having the through hole is the sum of the thickness of the insulating film 60 and the thickness of the anisotropic conductive adhesive layer 24 or the isotropic conductive adhesive layer 26. Almost equal. The separation distance is preferably 30 μm or more and 200 μm or less, and more preferably 60 μm or more and 200 μm or less. If the separation distance is smaller than 30 μm, the impedance of the signal circuit becomes low. Therefore, in order to have a characteristic impedance such as 100Ω, the line width of the signal circuit must be reduced, and the variation in the line width is the variation in the characteristic impedance. Therefore, the reflected resonance noise due to the impedance mismatch can easily get on the electric signal. If the separation distance is larger than 200 μm, the printed wiring boards 1a and 1b with the electromagnetic wave shielding film become thick, and the flexibility becomes insufficient.

<作用効果>
前記実施形態の電磁波シールドフィルム付きプリント配線板1a,1bでは、絶縁樹脂層10と導電性接着剤層24,26との間に配置された金属薄膜層22に貫通孔22hが形成されている。金属薄膜層22の貫通孔22hの内部では、絶縁樹脂層10及び導電性接着剤層24,26、特に熱硬化性接着剤24a,26aが入り込んで互いに接する。貫通孔22hの内部で絶縁樹脂層10と導電性接着剤層24,26とが接することにより、絶縁樹脂層10と導電性接着剤層24,26とを接着することができる。特に、金属薄膜層22の孔の数が前記範囲の下限値以上であることにより、絶縁樹脂層10と導電性接着剤層24,26との接着面積が十分に大きくなるから、絶縁樹脂層10と導電性接着剤層24,26の接着強度を十分に高めることができる。
絶縁樹脂層10と導電性接着剤層24,26とが十分な接着強度で接着した結果、金属薄膜層22に対して絶縁樹脂層10及び導電性接着剤層24,26が剥離することを防止できる。
また、金属薄膜層22に貫通孔22hが形成されていることにより、電磁波シールドフィルム付きプリント配線板1a,1bが、はんだフロート処理等によって加熱された際に導電性接着剤層24,26から発生したガスを、貫通孔22hを通して抜くことができる。貫通孔22hを通過したガスは絶縁樹脂層10内に入る。絶縁樹脂層10は金属薄膜層22よりもガスを透過しやすいため、絶縁樹脂層10の外側に放出しやすい。そのため、例えば、加熱された際に電磁波シールドフィルム2の内部で揮発分がガス化しても、気泡の発生を防止できる。電磁波シールドフィルム2と絶縁フィルム60との間に気泡が生じると、電磁波シールドフィルム2と絶縁フィルム60とが剥離することがある。しかし、本実施形態では、金属薄膜層22に貫通孔22hが形成されて気泡の発生が防止されているため、絶縁フィルム60に対する電磁波シールドフィルム2の剥離を防止できる。
<Action effect>
In the printed wiring boards 1a and 1b with the electromagnetic wave shielding film of the above embodiment, the through holes 22h are formed in the metal thin film layer 22 arranged between the insulating resin layer 10 and the conductive adhesive layers 24 and 26. Inside the through hole 22h of the metal thin film layer 22, the insulating resin layer 10 and the conductive adhesive layers 24 and 26, particularly the thermosetting adhesives 24a and 26a, enter and come into contact with each other. By contacting the insulating resin layer 10 and the conductive adhesive layers 24 and 26 inside the through hole 22h, the insulating resin layer 10 and the conductive adhesive layers 24 and 26 can be adhered to each other. In particular, when the number of holes in the metal thin film layer 22 is equal to or greater than the lower limit of the above range, the adhesive area between the insulating resin layer 10 and the conductive adhesive layers 24 and 26 becomes sufficiently large, so that the insulating resin layer 10 And the adhesive strength of the conductive adhesive layers 24 and 26 can be sufficiently increased.
As a result of the insulating resin layer 10 and the conductive adhesive layers 24 and 26 being bonded with sufficient adhesive strength, the insulating resin layer 10 and the conductive adhesive layers 24 and 26 are prevented from peeling off from the metal thin film layer 22. can.
Further, since the through holes 22h are formed in the metal thin film layer 22, the printed wiring boards 1a and 1b with the electromagnetic wave shielding film are generated from the conductive adhesive layers 24 and 26 when heated by the solder float treatment or the like. The gas can be removed through the through hole 22h. The gas that has passed through the through hole 22h enters the insulating resin layer 10. Since the insulating resin layer 10 is more permeable to gas than the metal thin film layer 22, it is easily discharged to the outside of the insulating resin layer 10. Therefore, for example, even if the volatile matter is vaporized inside the electromagnetic wave shielding film 2 when heated, the generation of bubbles can be prevented. If air bubbles are generated between the electromagnetic wave shielding film 2 and the insulating film 60, the electromagnetic wave shielding film 2 and the insulating film 60 may be peeled off. However, in the present embodiment, since the through hole 22h is formed in the metal thin film layer 22 to prevent the generation of bubbles, it is possible to prevent the electromagnetic wave shielding film 2 from peeling off from the insulating film 60.

《電磁波シールドフィルム付きプリント配線板の製造方法》
本態様の電磁波シールドフィルム付きプリント配線板の製造方法は、電磁波シールドフィルムを作製する電磁波シールドフィルム作製工程、及び、前記電磁波シールドフィルムとプリント配線板とを、絶縁フィルムを挟んで圧着する圧着工程を有する。
以下、本態様の電磁波シールドフィルム付きプリント配線板の製造方法の一例として、導電性接着剤層が異方導電性接着剤層である前記第一実施形態の電磁波シールドフィルム付きプリント配線板1aを製造する製造例について説明する。
<< Manufacturing method of printed wiring board with electromagnetic wave shielding film >>
The method for manufacturing a printed wiring board with an electromagnetic wave shielding film according to this embodiment includes a step of manufacturing an electromagnetic wave shielding film for manufacturing an electromagnetic wave shielding film and a crimping step of crimping the electromagnetic wave shielding film and the printed wiring board with an insulating film sandwiched between them. Have.
Hereinafter, as an example of the method for manufacturing a printed wiring board with an electromagnetic wave shielding film according to this embodiment, the printed wiring board 1a with an electromagnetic wave shielding film according to the first embodiment is manufactured in which the conductive adhesive layer is an anisotropic conductive adhesive layer. An example of manufacturing to be performed will be described.

下記製造例においては工程用フィルムとしてキャリアフィルム及び離型フィルムが使用される。そのため、本製造例では、図3に示すように、キャリアフィルム30及び離型フィルム40が積層された状態で電磁波シールドフィルム2が得られる。
キャリアフィルム30及び離型フィルム40は、具体的には下記のフィルムである。
In the following production examples, a carrier film and a release film are used as process films. Therefore, in this production example, as shown in FIG. 3, the electromagnetic wave shielding film 2 is obtained in a state where the carrier film 30 and the release film 40 are laminated.
Specifically, the carrier film 30 and the release film 40 are the following films.

[キャリアフィルム]
キャリアフィルム30は、絶縁樹脂層10及び導電層20を補強及び保護する支持体であり、電磁波シールドフィルム作製用積層体2aのハンドリング性を良好にする。
キャリアフィルム30は、電磁波シールドフィルム付きプリント配線板1aとしては不要なものであるため、圧着工程後には絶縁樹脂層10から剥離される。
[Carrier film]
The carrier film 30 is a support that reinforces and protects the insulating resin layer 10 and the conductive layer 20, and improves the handleability of the laminated body 2a for producing an electromagnetic wave shielding film.
Since the carrier film 30 is unnecessary for the printed wiring board 1a with the electromagnetic wave shielding film, it is peeled off from the insulating resin layer 10 after the crimping step.

本製造例において使用されるキャリアフィルム30は、キャリアフィルム本体32と、キャリアフィルム本体32の絶縁樹脂層10側の表面に設けられた粘着剤層34とを有する。 The carrier film 30 used in this production example has a carrier film main body 32 and an adhesive layer 34 provided on the surface of the carrier film main body 32 on the insulating resin layer 10 side.

キャリアフィルム本体32の樹脂材料としては、ポリエチレンテレフタレート(以下、「PET」ということもある。)、ポリエチレンナフタレート、ポリエチレンイソフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリオレフィン、ポリアセテート、ポリカーボネート、ポリフェニレンサルファイド、ポリアミド、エチレン-酢酸ビニル共重合体、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、合成ゴム、液晶ポリマー等が挙げられる。樹脂材料としては、電磁波シールドフィルム2を製造する際の耐熱性(寸法安定性)及び価格の点から、PETが好ましい。 The resin material of the carrier film body 32 includes polyethylene terephthalate (hereinafter, also referred to as “PET”), polyethylene naphthalate, polyethylene isophthalate, polyvinylidene terephthalate, polyolefin, polyacetate, polycarbonate, polyphenylene sulfide, polyamide, and ethylene. -Vinyl acetate copolymer, polyvinyl chloride, polyvinylidene chloride, synthetic rubber, liquid crystal polymer and the like can be mentioned. As the resin material, PET is preferable from the viewpoint of heat resistance (dimensional stability) and price when manufacturing the electromagnetic wave shielding film 2.

キャリアフィルム本体32は、着色剤(顔料、染料等)及びフィラーのいずれか一方又は両方を含んでいてもよい。
着色剤及びフィラーのいずれか一方又は両方としては、絶縁樹脂層10と明確に区別でき、熱プレスした後にキャリアフィルム30の剥がし残しに気が付きやすい点から、絶縁樹脂層10とは異なる色のものが好ましく、白色顔料、フィラー、又は白色顔料と他の顔料もしくはフィラーとの組み合わせがより好ましい。
The carrier film body 32 may contain one or both of a colorant (pigment, dye, etc.) and a filler.
One or both of the colorant and the filler can be clearly distinguished from the insulating resin layer 10, and the carrier film 30 has a different color from the insulating resin layer 10 in that it is easy to notice the unpeeled residue after hot pressing. Preferred are white pigments, fillers, or combinations of white pigments with other pigments or fillers.

キャリアフィルム本体32の180℃における貯蔵弾性率は、8×10Pa以上5×10Paが好ましく、1×10Pa以上8×10Paがより好ましい。キャリアフィルム本体32の180℃における貯蔵弾性率が前記範囲の下限値以上であれば、キャリアフィルム30が適度の硬さを有するようになり、熱プレスの際のキャリアフィルム30における圧力損失を低減できる。キャリアフィルム本体32の180℃における貯蔵弾性率が前記範囲の上限値以下であれば、キャリアフィルム30の柔軟性が良好となる。 The storage elastic modulus of the carrier film main body 32 at 180 ° C. is preferably 8 × 10 7 Pa or more and 5 × 10 9 Pa, and more preferably 1 × 10 8 Pa or more and 8 × 10 8 Pa. When the storage elastic modulus of the carrier film main body 32 at 180 ° C. is equal to or higher than the lower limit of the above range, the carrier film 30 has an appropriate hardness, and the pressure loss in the carrier film 30 during hot pressing can be reduced. .. When the storage elastic modulus of the carrier film main body 32 at 180 ° C. is not more than the upper limit of the above range, the flexibility of the carrier film 30 is good.

キャリアフィルム本体32の厚さは、3μm以上75μm以下が好ましく、12μm以上50μm以下がより好ましい。キャリアフィルム本体32の厚さが前記範囲の下限値以上であれば、電磁波シールドフィルム2のハンドリング性が良好となる。キャリアフィルム本体32の厚さが前記範囲の上限値以下であれば、絶縁フィルム60の表面に電磁波シールドフィルムの異方導電性接着剤層24を熱プレスする際に異方導電性接着剤層24に熱が伝わりやすい。 The thickness of the carrier film main body 32 is preferably 3 μm or more and 75 μm or less, and more preferably 12 μm or more and 50 μm or less. When the thickness of the carrier film main body 32 is at least the lower limit of the above range, the handling property of the electromagnetic wave shielding film 2 is good. When the thickness of the carrier film main body 32 is not more than the upper limit of the above range, the anisotropic conductive adhesive layer 24 is hot-pressed on the surface of the insulating film 60 when the anisotropic conductive adhesive layer 24 of the electromagnetic wave shielding film is hot-pressed. Heat is easily transferred to the film.

粘着剤層34は、例えば、キャリアフィルム本体32の表面に粘着剤を含む粘着剤組成物を塗布して形成される。キャリアフィルム30が粘着剤層34を有することによって、離型フィルム40を異方導電性接着剤層24から剥離する際や電磁波シールドフィルム2をプリント配線板等に熱プレスによって貼り付ける際に、キャリアフィルム30が絶縁樹脂層10から剥離することが抑えられる。そのため、キャリアフィルム30が保護フィルムとしての役割を十分に果たすことができる。 The pressure-sensitive adhesive layer 34 is formed, for example, by applying a pressure-sensitive adhesive composition containing a pressure-sensitive adhesive to the surface of the carrier film body 32. Since the carrier film 30 has the adhesive layer 34, the carrier is used when the release film 40 is peeled from the anisotropic conductive adhesive layer 24 or when the electromagnetic wave shielding film 2 is attached to a printed wiring board or the like by a hot press. The film 30 is prevented from peeling from the insulating resin layer 10. Therefore, the carrier film 30 can sufficiently serve as a protective film.

粘着剤は、熱プレス前にはキャリアフィルム30が絶縁樹脂層10から容易に剥離することなく、熱プレス後にはキャリアフィルム30を絶縁樹脂層10から剥離できる程度の適度な粘着性を粘着剤層34に付与するものであることが好ましい。
粘着剤としては、アクリル系粘着剤、ウレタン系粘着剤、ゴム系粘着剤等が挙げられる。
粘着剤のガラス転移温度は、-100℃以上60℃以下が好ましく、-60℃以上40℃以下がより好ましい。
The pressure-sensitive adhesive layer has an appropriate adhesiveness to the extent that the carrier film 30 does not easily peel off from the insulating resin layer 10 before hot pressing and the carrier film 30 can be peeled off from the insulating resin layer 10 after hot pressing. It is preferable that it is given to 34.
Examples of the pressure-sensitive adhesive include an acrylic pressure-sensitive adhesive, a urethane-based pressure-sensitive adhesive, and a rubber-based pressure-sensitive adhesive.
The glass transition temperature of the pressure-sensitive adhesive is preferably −100 ° C. or higher and 60 ° C. or lower, and more preferably −60 ° C. or higher and 40 ° C. or lower.

キャリアフィルム30の厚さは、25μm以上125μm以下が好ましく、38μm以上100μm以下がより好ましい。キャリアフィルム30の厚さが前記範囲の下限値以上であれば、電磁波シールドフィルム2のハンドリング性が良好となる。キャリアフィルム30の厚さが前記範囲の上限値以下であれば、絶縁フィルム60の表面に電磁波シールドフィルム2の異方導電性接着剤層24を熱プレスする際に異方導電性接着剤層24に熱が伝わりやすい。 The thickness of the carrier film 30 is preferably 25 μm or more and 125 μm or less, and more preferably 38 μm or more and 100 μm or less. When the thickness of the carrier film 30 is at least the lower limit of the above range, the handling property of the electromagnetic wave shielding film 2 is good. When the thickness of the carrier film 30 is not more than the upper limit of the above range, the anisotropic conductive adhesive layer 24 is hot-pressed on the surface of the insulating film 60 when the anisotropic conductive adhesive layer 24 of the electromagnetic wave shielding film 2 is hot-pressed. Heat is easily transferred to the film.

[離型フィルム]
離型フィルム40は、異方導電性接着剤層24を保護するものであり、電磁波シールドフィルム2のハンドリング性を良好にする。離型フィルム40は、電磁波シールドフィルム2をプリント配線板に貼り付ける前に、異方導電性接着剤層24から剥離される。
[Release film]
The release film 40 protects the anisotropic conductive adhesive layer 24 and improves the handleability of the electromagnetic wave shielding film 2. The release film 40 is peeled off from the anisotropic conductive adhesive layer 24 before the electromagnetic wave shielding film 2 is attached to the printed wiring board.

離型フィルム40は、例えば、離型フィルム本体42と、離型フィルム本体42の導電性接着剤層側の表面に設けられた離型剤層44とを有する。 The release film 40 has, for example, a release film main body 42 and a release agent layer 44 provided on the surface of the release film main body 42 on the conductive adhesive layer side.

離型フィルム本体42の樹脂材料としては、キャリアフィルム本体32の樹脂材料と同様なものが挙げられる。
離型フィルム本体42は、着色剤、フィラー等を含んでいてもよい。
離型フィルム本体42の厚さは、5μm以上500μm以下が好ましく、10μm以上150μm以下がより好ましく、25μm以上100μm以下がさらに好ましい。
Examples of the resin material of the release film main body 42 include the same resin materials as those of the carrier film main body 32.
The release film main body 42 may contain a colorant, a filler and the like.
The thickness of the release film body 42 is preferably 5 μm or more and 500 μm or less, more preferably 10 μm or more and 150 μm or less, and further preferably 25 μm or more and 100 μm or less.

離型剤層44は、離型フィルム本体42の表面を離型剤で処理して形成される。離型フィルム40が離型剤層44を有することによって、離型フィルム40を導電性接着剤層から剥離する際に、離型フィルム40を剥離しやすく、導電性接着剤層が破断しにくくなる。
離型剤としては、公知の離型剤を用いればよい。
The release agent layer 44 is formed by treating the surface of the release film main body 42 with a release agent. Since the release film 40 has the release agent layer 44, when the release film 40 is peeled from the conductive adhesive layer, the release film 40 is easily peeled off and the conductive adhesive layer is less likely to break. ..
As the release agent, a known release agent may be used.

離型剤層44の厚さは、0.05μm以上30μm以下が好ましく、0.1μm以上20μm以下がより好ましい。離型剤層44の厚さが前記範囲内であれば、離型フィルム40をさらに剥離しやすくなる。 The thickness of the release agent layer 44 is preferably 0.05 μm or more and 30 μm or less, and more preferably 0.1 μm or more and 20 μm or less. When the thickness of the release agent layer 44 is within the above range, the release film 40 can be more easily peeled off.

電磁波シールドフィルム付きプリント配線板1aの製造例は、下記の工程(a)~(e)を有する方法である(図3,4参照)。
工程(a):図3に示す電磁波シールドフィルム2を作製する工程(電磁波シールドフィルム作製工程)。
工程(b):フレキシブルプリント配線板50のプリント回路54が設けられた側の表面に、プリント回路54に対応する位置に貫通孔62が形成された絶縁フィルム60を設け、絶縁フィルム付きフレキシブルプリント配線板3を得る工程。
工程(c):工程(b)の後、絶縁フィルム付きフレキシブルプリント配線板3と、離型フィルム40を剥離した電磁波シールドフィルム2とを、絶縁フィルム60の表面に異方導電性接着剤層24が接触するように重ね、これらを圧着する工程(圧着工程)。この工程では、異方導電性接着剤層24に含まれる導電性粒子24bによって金属薄膜層22を穿孔し、絶縁樹脂層10と異方導電性接着剤層24とを接着する。
工程(d):工程(c)の後、キャリアフィルム30が不要になった際にキャリアフィルム30を剥離する工程。
工程(e):必要に応じて、工程(b)と工程(c)との間、又は工程(d)の後に異方導電性接着剤層24を本硬化させる工程。
以下、各工程について、図3及び図4を参照しながら詳細に説明する。
An example of manufacturing the printed wiring board 1a with an electromagnetic wave shielding film is a method having the following steps (a) to (e) (see FIGS. 3 and 4).
Step (a): A step of manufacturing the electromagnetic wave shielding film 2 shown in FIG. 3 (electromagnetic wave shielding film manufacturing step).
Step (b): An insulating film 60 having a through hole 62 formed at a position corresponding to the printed circuit 54 is provided on the surface of the flexible printed wiring board 50 on the side where the printed circuit 54 is provided, and the flexible printed wiring with an insulating film is provided. The process of obtaining the plate 3.
Step (c): After the step (b), the flexible printed wiring board 3 with an insulating film and the electromagnetic wave shielding film 2 from which the release film 40 is peeled off are placed on the surface of the insulating film 60 with an anisotropic conductive adhesive layer 24. The process of stacking the films so that they come into contact with each other and crimping them (crimping process). In this step, the metal thin film layer 22 is perforated by the conductive particles 24b contained in the anisotropic conductive adhesive layer 24, and the insulating resin layer 10 and the anisotropic conductive adhesive layer 24 are adhered to each other.
Step (d): A step of peeling off the carrier film 30 when the carrier film 30 is no longer needed after the step (c).
Step (e): A step of main curing the anisotropic conductive adhesive layer 24 between the steps (b) and the step (c), or after the step (d), if necessary.
Hereinafter, each step will be described in detail with reference to FIGS. 3 and 4.

(工程(a))
工程(a)によって形成する電磁波シールドフィルム2は、絶縁樹脂層10と、絶縁樹脂層10に隣接する金属薄膜層22と、金属薄膜層22の絶縁樹脂層10とは反対側の面に設けられた異方導電性接着剤層24とを有する。但し、工程(a)によって得られる金属薄膜層22は、貫通孔が形成されていない無孔金属薄膜層である。
(Step (a))
The electromagnetic wave shielding film 2 formed in the step (a) is provided on the surface of the insulating resin layer 10, the metal thin film layer 22 adjacent to the insulating resin layer 10, and the surface of the metal thin film layer 22 opposite to the insulating resin layer 10. It also has an anisotropic conductive adhesive layer 24. However, the metal thin film layer 22 obtained in the step (a) is a non-perforated metal thin film layer in which through holes are not formed.

図3に示す電磁波シールドフィルム2を形成する方法としては、絶縁樹脂層10を形成する工程と、無孔の金属薄膜層22を形成する工程と、異方導電性接着剤層24を形成する工程とを有する方法が挙げられる。
具体的に、図3に示す電磁波シールドフィルム2を製造する方法として、後述する方法(a1)、方法(a2)が挙げられる。
The method for forming the electromagnetic wave shielding film 2 shown in FIG. 3 includes a step of forming the insulating resin layer 10, a step of forming the non-porous metal thin film layer 22, and a step of forming the anisotropic conductive adhesive layer 24. A method having and is mentioned.
Specifically, as a method for manufacturing the electromagnetic wave shielding film 2 shown in FIG. 3, a method (a1) and a method (a2) described later can be mentioned.

[方法(a1)]
方法(a1)は、下記の工程(a1-1)~(a1-4)を有する方法である。
工程(a1-1):絶縁樹脂層10をキャリアフィルム30に積層する工程。
工程(a1-2):絶縁樹脂層10のキャリアフィルム30とは反対側の面に金属薄膜層22を形成する工程。
工程(a1-3):金属薄膜層22の絶縁樹脂層10とは反対側の面に異方導電性接着剤層24を形成する工程。
工程(a1-4):異方導電性接着剤層24の金属薄膜層22とは反対側の面に離型フィルム40を積層する工程。
以下、方法(a1)の各工程について詳細に説明する。
[Method (a1)]
The method (a1) is a method having the following steps (a1-1) to (a1-4).
Step (a1-1): A step of laminating the insulating resin layer 10 on the carrier film 30.
Step (a1-2): A step of forming the metal thin film layer 22 on the surface of the insulating resin layer 10 opposite to the carrier film 30.
Step (a1-3): A step of forming the anisotropic conductive adhesive layer 24 on the surface of the metal thin film layer 22 opposite to the insulating resin layer 10.
Step (a1-4): A step of laminating the release film 40 on the surface of the anisotropic conductive adhesive layer 24 opposite to the metal thin film layer 22.
Hereinafter, each step of the method (a1) will be described in detail.

工程(a1-1)における絶縁樹脂層10の形成方法としては、例えば、下記の方法が挙げられる。
・キャリアフィルム30の粘着剤層34側の面に、熱硬化性樹脂と硬化剤とを含む塗料を塗布し、半硬化又は硬化させる方法。
・キャリアフィルム30の粘着剤層34側の面に、熱可塑性樹脂を含む塗料を塗布し、乾燥させる方法。
・キャリアフィルム30の粘着剤層34側の面に、熱可塑性樹脂を含む組成物を押出成形により成形したフィルムを直接積層する方法。
上記方法のなかでも、ハンダ付け等の際の耐熱性の点から、キャリアフィルム30の粘着剤層34側の面に、熱硬化性樹脂と硬化剤とを含む塗料を塗布し、半硬化又は硬化させる方法が好ましい。
前記塗料の塗布方法としては、例えば、ダイコーター、グラビアコーター、ロールコーター、カーテンフローコーター、スピンコーター、バーコーター、リバースコーター、キスコーター、ファウンテンコーター、ロッドコーター、エアドクターコーター、ナイフコーター、ブレードコーター、キャストコーター、スクリーンコーター等の各種コーターを用いた方法を適用することができる。
熱硬化性樹脂を半硬化又は硬化させる際には、ヒータ、赤外線ランプ等の加熱器を用いて加熱すればよい。
Examples of the method for forming the insulating resin layer 10 in the step (a1-1) include the following methods.
A method of applying a paint containing a thermosetting resin and a curing agent to the surface of the carrier film 30 on the side of the pressure-sensitive adhesive layer 34, and semi-curing or curing the paint.
A method of applying a paint containing a thermoplastic resin to the surface of the carrier film 30 on the side of the pressure-sensitive adhesive layer 34 and drying it.
A method of directly laminating a film formed by extrusion molding a composition containing a thermoplastic resin on the surface of the carrier film 30 on the side of the pressure-sensitive adhesive layer 34.
Among the above methods, from the viewpoint of heat resistance during soldering or the like, a paint containing a thermosetting resin and a curing agent is applied to the surface of the carrier film 30 on the pressure-sensitive adhesive layer 34 side, and semi-cured or cured. The method of causing is preferable.
Examples of the method for applying the paint include a die coater, a gravure coater, a roll coater, a curtain flow coater, a spin coater, a bar coater, a reverse coater, a kiss coater, a fountain coater, a rod coater, an air doctor coater, a knife coater, and a blade coater. A method using various coaters such as a cast coater and a screen coater can be applied.
When the thermosetting resin is semi-cured or cured, it may be heated using a heater such as a heater or an infrared lamp.

工程(a1-2)における金属薄膜層の形成方法としては、物理蒸着、CVD(化学気相蒸着)によって蒸着膜を形成する方法、めっきによってめっき膜を形成する方法、金属箔を貼り付ける方法等が挙げられる。面方向の導電性に優れる金属薄膜層を形成できる点から、物理蒸着、CVDによって蒸着膜を形成する方法、又はめっきによってめっき膜を形成する方法が好ましい。金属薄膜層の厚さを薄くでき、かつ厚さが薄くても面方向の導電性に優れる金属薄膜層を形成でき、ドライプロセスにて簡便に金属薄膜層を形成できる点から、物理蒸着、CVDによって蒸着膜を形成する方法がより好ましく、物理蒸着によって蒸着膜を形成する方法がさらに好ましい。
工程(a1-2)によって無孔の金属薄膜層を形成できる。
Examples of the method for forming the metal thin film layer in the step (a1-2) include a method of forming a vapor-deposited film by physical vapor deposition and CVD (chemical vapor deposition), a method of forming a plating film by plating, a method of pasting a metal foil, and the like. Can be mentioned. From the viewpoint that a metal thin film layer having excellent surface conductivity can be formed, a method of forming a vapor-filmed film by physical vapor deposition or CVD, or a method of forming a plated film by plating is preferable. Physical vapor deposition and CVD are possible because the thickness of the metal thin film layer can be reduced, and even if the thickness is thin, a metal thin film layer having excellent surface conductivity can be formed, and the metal thin film layer can be easily formed by a dry process. A method of forming a thin-film deposition film by physical vapor deposition is more preferable, and a method of forming a thin-film deposition film by physical vapor deposition is further preferable.
A non-porous metal thin film layer can be formed by the step (a1-2).

工程(a1-2)によって形成する金属薄膜層22の厚さは、0.01μm以上3μm以下にすることが好ましく、0.03μm以上1μm以下にすることがより好ましく、0.05μm以上0.5μm以下にすることがさらに好ましく、0.07μm以上0.4μm以下にすることが特に好ましい。金属薄膜層22の厚さを前記範囲の下限値以上にすれば、十分な電磁波シールド性が得られる。金属薄膜層22の厚さを前記範囲の上限値以下にすれば、圧着工程の際に、金属薄膜層22に導電性粒子24bを押し込むことによって金属薄膜層22を容易に穿孔できる。すなわち、金属薄膜層22の厚さを前記範囲の上限値以下すれば、多孔の金属薄膜層22を容易に形成できる。 The thickness of the metal thin film layer 22 formed by the step (a1-2) is preferably 0.01 μm or more and 3 μm or less, more preferably 0.03 μm or more and 1 μm or less, and 0.05 μm or more and 0.5 μm or more. It is more preferably 0.07 μm or more, and particularly preferably 0.4 μm or less. When the thickness of the metal thin film layer 22 is set to be equal to or greater than the lower limit of the above range, sufficient electromagnetic wave shielding properties can be obtained. When the thickness of the metal thin film layer 22 is set to be equal to or less than the upper limit of the above range, the metal thin film layer 22 can be easily perforated by pushing the conductive particles 24b into the metal thin film layer 22 during the crimping step. That is, if the thickness of the metal thin film layer 22 is not more than the upper limit of the above range, the porous metal thin film layer 22 can be easily formed.

工程(a1-3)では、金属薄膜層22の絶縁樹脂層10とは反対側の面に、導電性接着剤塗料を塗布する。導電性接着剤塗料は、熱硬化性接着剤24aと導電性粒子24bと溶剤とを含有する。塗布した導電性接着剤塗料より溶剤を揮発させることにより、異方導電性接着剤層24を形成する。
導電性接着剤塗料に含有させる導電性粒子は、金属薄膜層22をより穿孔しやすい点からは、金属粒子が好ましく、銅粒子がより好ましい。
導電性粒子の平均粒子径は、3μm以上20μm以下が好ましく、5μm以上10μm以下がより好ましい。導電性粒子の平均粒子径が前記範囲の下限値以上であれば、金属薄膜層22を容易に穿孔できる。導電性粒子の平均粒子径が前記範囲の上限値以下であれば、異方導電性接着剤層24の流動性を確保できる。
前記導電性接着剤塗料における導電性粒子の含有割合は、導電性接着剤塗料から形成される異方導電性接着剤層24において、導電性粒子の含有量は1体積%以上50体積%以下が好ましく、10体積%以上30体積%以下がより好ましい。導電性接着剤塗料における導電性粒子の含有割合が前記範囲であれば、金属薄膜層22における貫通孔22hの形成量を容易に1000個/cm以上100000個/cm以下にできる。
In the step (a1-3), the conductive adhesive paint is applied to the surface of the metal thin film layer 22 opposite to the insulating resin layer 10. The conductive adhesive coating material contains a thermosetting adhesive 24a, conductive particles 24b, and a solvent. The anisotropic conductive adhesive layer 24 is formed by volatilizing the solvent from the applied conductive adhesive paint.
The conductive particles contained in the conductive adhesive coating material are preferably metal particles and more preferably copper particles from the viewpoint that the metal thin film layer 22 is more easily perforated.
The average particle size of the conductive particles is preferably 3 μm or more and 20 μm or less, and more preferably 5 μm or more and 10 μm or less. When the average particle diameter of the conductive particles is at least the lower limit of the above range, the metal thin film layer 22 can be easily perforated. When the average particle diameter of the conductive particles is not more than the upper limit of the above range, the fluidity of the anisotropic conductive adhesive layer 24 can be ensured.
The content ratio of the conductive particles in the conductive adhesive paint is such that the content of the conductive particles in the anisotropic conductive adhesive layer 24 formed from the conductive adhesive paint is 1% by volume or more and 50% by volume or less. It is preferable, 10% by volume or more and 30% by volume or less is more preferable. When the content ratio of the conductive particles in the conductive adhesive paint is within the above range, the amount of through holes 22h formed in the metal thin film layer 22 can be easily reduced to 1000 / cm 2 or more and 100,000 / cm 2 or less.

導電性接着剤塗料に含まれる溶剤としては、例えば、エステル(酢酸ブチル、酢酸エチル、酢酸メチル、酢酸イソプロピル、エチレングリコールモノアセテート等)、ケトン(メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、アセトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン等)、アルコール(メタノール、エタノール、イソプロパノール、ブタノール、プロピレングリールモノメチルエーテル、プロピレングリコール等)等が挙げられる。
導電性接着剤の塗布方法としては、例えば、ダイコーター、グラビアコーター、ロールコーター、カーテンフローコーター、スピンコーター、バーコーター、リバースコーター、キスコーター、ファウンテンコーター、ロッドコーター、エアドクターコーター、ナイフコーター、ブレードコーター、キャストコーター、スクリーンコーター等の各種コーターを用いた方法を適用することができる。
Examples of the solvent contained in the conductive adhesive coating material include esters (butyl acetate, ethyl acetate, methyl acetate, isopropyl acetate, ethylene glycol monoacetate, etc.) and ketones (methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, acetone, methyl isobutyl ketone, cyclohexanone). Etc.), alcohols (methanol, ethanol, isopropanol, butanol, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol, etc.) and the like.
Examples of the method of applying the conductive adhesive include a die coater, a gravure coater, a roll coater, a curtain flow coater, a spin coater, a bar coater, a reverse coater, a kiss coater, a fountain coater, a rod coater, an air doctor coater, a knife coater, and a blade. A method using various coaters such as a coater, a cast coater, and a screen coater can be applied.

工程(a1-4)では、離型フィルム40を、異方導電性接着剤層24の金属薄膜層22とは反対側の面に、離型剤層44が異方導電性接着剤層24に接するように積層する。
離型フィルム40を異方導電性接着剤層24に積層した後には、キャリアフィルム30、絶縁樹脂層10、金属薄膜層22、異方導電性接着剤層24及び離型フィルム40からなる積層体に、各層同士の密着性を高めるための加圧処理を施してもよい。
加圧処理における圧力としては、0.1kPa以上100kPa以下が好ましく、0.1kPa以上20kPa以下がより好ましく、1kPa以上10kPa以下がさらに好ましい。
加圧処理と同時に加熱してもよい。その際の加熱温度としては50℃以上100℃以下が好ましい。
In the step (a1-4), the release film 40 is placed on the surface of the anisotropic conductive adhesive layer 24 opposite to the metal thin film layer 22, and the release agent layer 44 is placed on the anisotropic conductive adhesive layer 24. Laminate so that they are in contact with each other.
After the release film 40 is laminated on the anisotropic conductive adhesive layer 24, the laminate is composed of the carrier film 30, the insulating resin layer 10, the metal thin film layer 22, the anisotropic conductive adhesive layer 24, and the release film 40. In addition, a pressure treatment may be applied to enhance the adhesion between the layers.
The pressure in the pressurizing treatment is preferably 0.1 kPa or more and 100 kPa or less, more preferably 0.1 kPa or more and 20 kPa or less, and further preferably 1 kPa or more and 10 kPa or less.
It may be heated at the same time as the pressure treatment. The heating temperature at that time is preferably 50 ° C. or higher and 100 ° C. or lower.

[方法(a2)]
方法(a2)は、下記の工程(a2-1)~(a2-4)を有する方法である。
工程(a2-1):絶縁樹脂層10をキャリアフィルム30に積層する工程。
工程(a2-2):絶縁樹脂層10のキャリアフィルム30とは反対側の面に金属薄膜層22を形成して積層体(I)を形成する工程。
工程(a2-3):離型フィルム40に異方導電性接着剤層24を形成して積層体(II)を形成する工程。
工程(a2-4):積層体(I)と積層体(II)とを、積層体(I)の金属薄膜層22と積層体(II)の異方導電性接着剤層24とが接するように貼り合せる工程。
[Method (a2)]
The method (a2) is a method having the following steps (a2-1) to (a2-4).
Step (a2-1): A step of laminating the insulating resin layer 10 on the carrier film 30.
Step (a2-2): A step of forming the metal thin film layer 22 on the surface of the insulating resin layer 10 opposite to the carrier film 30 to form the laminated body (I).
Step (a2-3): A step of forming the anisotropic conductive adhesive layer 24 on the release film 40 to form the laminate (II).
Step (a2-4): The laminated body (I) and the laminated body (II) are brought into contact with the metal thin film layer 22 of the laminated body (I) and the anisotropic conductive adhesive layer 24 of the laminated body (II). The process of bonding to.

工程(a2-1)及び工程(a2-2)は、前記方法(a1)における工程(a1-1)及び工程(a1-2)と同様である。 The step (a2-1) and the step (a2-2) are the same as the step (a1-1) and the step (a1-2) in the method (a1).

工程(a2-3)では、離型フィルム40の離型剤層44が設けられた面に導電性接着剤塗料を塗布する。塗布した導電性接着剤塗料より溶剤を揮発させることにより、異方導電性接着剤層24を形成する。導電性接着剤塗料及び塗布方法は、前記方法(a)における工程(a1-3)と同様である。 In the step (a2-3), the conductive adhesive paint is applied to the surface of the release film 40 provided with the release agent layer 44. The anisotropic conductive adhesive layer 24 is formed by volatilizing the solvent from the applied conductive adhesive paint. The conductive adhesive coating material and the coating method are the same as those in the step (a1-3) in the method (a).

工程(a2-4)では、積層体(I)と積層体(II)との貼り合せでは、積層体(I)と積層体(II)との密着性を高めるための加圧処理を施してもよい。加圧条件は、工程(a1-4)における加圧処理と同様である。また、工程(a2-4)においても、工程(a1-4)と同様に加熱してもよい。 In the step (a2-4), in the bonding of the laminated body (I) and the laminated body (II), a pressure treatment is applied to enhance the adhesion between the laminated body (I) and the laminated body (II). May be good. The pressurizing conditions are the same as the pressurizing treatment in the step (a1-4). Further, in the step (a2-4), heating may be performed in the same manner as in the step (a1-4).

(工程(b))
工程(b)は、フレキシブルプリント配線板50に絶縁フィルム60を積層して、絶縁フィルム付きフレキシブルプリント配線板3を得る工程である。
具体的には、まず、フレキシブルプリント配線板50に、プリント回路54に対応する位置に貫通孔62が形成された絶縁フィルム60を重ねる。次いで、フレキシブルプリント配線板50の表面に絶縁フィルム60の接着剤層(図示略)を接着し、接着剤層を硬化させることによって、絶縁フィルム付きフレキシブルプリント配線板3を得る。フレキシブルプリント配線板50の表面に絶縁フィルム60の接着剤層を仮接着し、工程(e)にて接着剤層を本硬化させてもよい。
接着剤層の接着及び硬化は、例えば、プレス機(図示略)等による熱プレスによって行う。
(Step (b))
The step (b) is a step of laminating the insulating film 60 on the flexible printed wiring board 50 to obtain the flexible printed wiring board 3 with the insulating film.
Specifically, first, an insulating film 60 having a through hole 62 formed at a position corresponding to the printed circuit 54 is superposed on the flexible printed wiring board 50. Next, the adhesive layer (not shown) of the insulating film 60 is adhered to the surface of the flexible printed wiring board 50, and the adhesive layer is cured to obtain the flexible printed wiring board 3 with the insulating film. The adhesive layer of the insulating film 60 may be temporarily adhered to the surface of the flexible printed wiring board 50, and the adhesive layer may be mainly cured in the step (e).
Adhesion and curing of the adhesive layer are performed, for example, by hot pressing with a press machine (not shown) or the like.

(工程(c))
工程(c)は、絶縁フィルム付きフレキシブルプリント配線板3に電磁波シールドフィルム2を圧着する工程である。
具体的には、絶縁フィルム付きフレキシブルプリント配線板3に、離型フィルム40を剥離した電磁波シールドフィルム2を重ね、熱プレスにより圧着する。これにより、絶縁フィルム60の表面に異方導電性接着剤層24を接着すると共に、異方導電性接着剤層24を貫通孔62内に押し込み、貫通孔62内を埋めてプリント回路54に電気的に接続する。また、熱プレスにより異方導電性接着剤層24を硬化させる。これにより、電磁波シールドフィルム付きプリント配線板1aを得る。
工程(c)における圧着の際には、各層が圧縮されて、電磁波シールドフィルム2の隣接する層同士がより密接する。このとき、異方導電性接着剤層24に含まれる導電性粒子24bは硬く、圧縮変形しにくいため、金属薄膜層22に押し込まれる。金属薄膜層22は薄いため、金属薄膜層22に導電性粒子24bが押し込まれると、金属薄膜層22が開裂する。これにより、金属薄膜層22を穿孔して、金属薄膜層22に貫通孔22hを形成する。また、形成された貫通孔22hの内部にて絶縁樹脂層10と異方導電性接着剤層24とが接着する。
熱プレスが終了して加圧状態から開放された後には、金属薄膜層22に貫通孔22hが形成された点、絶縁樹脂層10と異方導電性接着剤層24とが接着した点以外は、各層は元の形状に復元する。
(Step (c))
The step (c) is a step of crimping the electromagnetic wave shielding film 2 to the flexible printed wiring board 3 with an insulating film.
Specifically, the electromagnetic wave shielding film 2 from which the release film 40 has been peeled off is superposed on the flexible printed wiring board 3 with an insulating film, and is pressure-bonded by a hot press. As a result, the anisotropic conductive adhesive layer 24 is adhered to the surface of the insulating film 60, the anisotropic conductive adhesive layer 24 is pushed into the through hole 62, the inside of the through hole 62 is filled, and electricity is supplied to the printed circuit 54. Connect. Further, the anisotropic conductive adhesive layer 24 is cured by a hot press. As a result, a printed wiring board 1a with an electromagnetic wave shielding film is obtained.
During the crimping in the step (c), each layer is compressed so that the adjacent layers of the electromagnetic wave shielding film 2 are closer to each other. At this time, since the conductive particles 24b contained in the anisotropic conductive adhesive layer 24 are hard and difficult to be compression-deformed, they are pushed into the metal thin film layer 22. Since the metal thin film layer 22 is thin, when the conductive particles 24b are pushed into the metal thin film layer 22, the metal thin film layer 22 is cleaved. As a result, the metal thin film layer 22 is perforated to form a through hole 22h in the metal thin film layer 22. Further, the insulating resin layer 10 and the anisotropic conductive adhesive layer 24 adhere to each other inside the formed through hole 22h.
After the hot pressing is completed and the pressure is released, the through holes 22h are formed in the metal thin film layer 22, and the insulating resin layer 10 and the anisotropic conductive adhesive layer 24 are adhered to each other. , Each layer is restored to its original shape.

異方導電性接着剤層24の接着及び硬化は、例えば、プレス機(図示略)等による熱プレスによって行う。
工程(c)における熱プレスの圧力は、1MPa以上30MPa以下が好ましく、10MPa以上30MPa以下がより好ましく、15MPa以上20MPa以下がさらに好ましい。熱プレスの圧力が前記範囲の下限値以上であれば、導電性粒子24bを金属薄膜層22に十分に押し込むことができ、金属薄膜層22により容易に貫通孔22hを形成できる。また、熱プレスの圧力が前記範囲の下限値以上であれば、絶縁フィルム60の表面に異方導電性接着剤層24が接着される。また、熱プレスの時間を短縮できる。熱プレスの圧力が前記範囲の上限値以下であれば、電磁波シールドフィルム2、フレキシブルプリント配線板50等の破損等を抑えることができる。
Adhesion and curing of the anisotropic conductive adhesive layer 24 are performed, for example, by hot pressing with a press machine (not shown) or the like.
The pressure of the hot press in the step (c) is preferably 1 MPa or more and 30 MPa or less, more preferably 10 MPa or more and 30 MPa or less, and further preferably 15 MPa or more and 20 MPa or less. When the pressure of the hot press is equal to or higher than the lower limit of the above range, the conductive particles 24b can be sufficiently pushed into the metal thin film layer 22, and the through holes 22h can be easily formed by the metal thin film layer 22. Further, when the pressure of the hot press is equal to or higher than the lower limit of the above range, the anisotropic conductive adhesive layer 24 is adhered to the surface of the insulating film 60. In addition, the time for hot pressing can be shortened. When the pressure of the hot press is not more than the upper limit of the above range, damage to the electromagnetic wave shielding film 2, the flexible printed wiring board 50, etc. can be suppressed.

熱プレスの時間は、20秒以上60分以下が好ましく、30秒以上30分以下がより好ましい。熱プレスの時間が前記範囲の下限値以上であれば、金属薄膜層22により容易に貫通孔22hを形成でき、また、絶縁フィルム60の表面に異方導電性接着剤層24を容易に接着できる。熱プレスの時間が前記範囲の上限値以下であれば、電磁波シールドフィルム付きプリント配線板1aの製造時間を短縮できる。 The hot pressing time is preferably 20 seconds or more and 60 minutes or less, and more preferably 30 seconds or more and 30 minutes or less. When the hot pressing time is equal to or longer than the lower limit of the above range, the through hole 22h can be easily formed by the metal thin film layer 22, and the anisotropic conductive adhesive layer 24 can be easily adhered to the surface of the insulating film 60. .. When the heat pressing time is not more than the upper limit of the above range, the manufacturing time of the printed wiring board 1a with the electromagnetic wave shielding film can be shortened.

熱プレスの温度(プレス機の熱盤の温度)は、140℃以上190℃以下が好ましく、150℃以上175℃以下がより好ましい。熱プレスの温度が前記範囲の下限値以上であれば、金属薄膜層22により容易に貫通孔22hを形成でき、また、絶縁フィルム60の表面に異方導電性接着剤層24を容易に接着できる。さらには、熱プレスの時間を短縮できる。熱プレスの温度が前記範囲の上限値以下であれば、電磁波シールドフィルム2、フレキシブルプリント配線板50等の劣化等を容易に抑えることができる。 The temperature of the hot press (the temperature of the hot plate of the press machine) is preferably 140 ° C. or higher and 190 ° C. or lower, and more preferably 150 ° C. or higher and 175 ° C. or lower. When the temperature of the hot press is equal to or higher than the lower limit of the above range, the through hole 22h can be easily formed by the metal thin film layer 22, and the anisotropic conductive adhesive layer 24 can be easily adhered to the surface of the insulating film 60. .. Furthermore, the time for hot pressing can be shortened. When the temperature of the hot press is not more than the upper limit of the above range, deterioration of the electromagnetic wave shielding film 2, the flexible printed wiring board 50, and the like can be easily suppressed.

(工程(d))
工程(d)は、キャリアフィルム30を剥離する工程である。
具体的には、キャリアフィルムが不要になった際に、絶縁樹脂層10からキャリアフィルム30を剥離する。
(Step (d))
The step (d) is a step of peeling off the carrier film 30.
Specifically, when the carrier film is no longer needed, the carrier film 30 is peeled off from the insulating resin layer 10.

(工程(e))
工程(e)は、異方導電性接着剤層24を本硬化させる工程である。
工程(c)における熱プレスの時間が20秒以上10分以下の短時間である場合、工程(c)と工程(d)との間、又は工程(d)の後に異方導電性接着剤層24の本硬化を行うことが好ましい。
異方導電性接着剤層24の本硬化は、例えば、オーブン等の加熱装置を用いて行う。
加熱時間は、15分以上120分以下であり、30分以上60分以下がより好ましい。加熱時間が前記範囲の下限値以上であれば、異方導電性接着剤層24を十分に硬化できる。加熱時間が前記範囲の上限値以下であれば、電磁波シールドフィルム付きプリント配線板1aの製造時間を短縮できる。
加熱温度(オーブン中の雰囲気温度)は、120℃以上180℃以下が好ましく、120℃以上150℃以下がより好ましい。加熱温度が前記範囲の下限値以上であれば、加熱時間を短縮できる。加熱温度が前記範囲の上限値以下であれば、電磁波シールドフィルム2、フレキシブルプリント配線板50等の劣化等を抑えることができる。
(Step (e))
The step (e) is a step of main curing the anisotropic conductive adhesive layer 24.
When the heat pressing time in the step (c) is a short time of 20 seconds or more and 10 minutes or less, the anisotropic conductive adhesive layer is formed between the step (c) and the step (d) or after the step (d). It is preferable to perform the main curing of 24.
The main curing of the anisotropic conductive adhesive layer 24 is performed using, for example, a heating device such as an oven.
The heating time is 15 minutes or more and 120 minutes or less, more preferably 30 minutes or more and 60 minutes or less. When the heating time is at least the lower limit of the above range, the anisotropic conductive adhesive layer 24 can be sufficiently cured. When the heating time is not more than the upper limit of the above range, the manufacturing time of the printed wiring board 1a with the electromagnetic wave shielding film can be shortened.
The heating temperature (atmospheric temperature in the oven) is preferably 120 ° C. or higher and 180 ° C. or lower, and more preferably 120 ° C. or higher and 150 ° C. or lower. When the heating temperature is equal to or higher than the lower limit of the above range, the heating time can be shortened. When the heating temperature is not more than the upper limit of the above range, deterioration of the electromagnetic wave shielding film 2, the flexible printed wiring board 50, and the like can be suppressed.

(他の製造例)
前記製造例は、第一実施形態の電磁波シールドフィルム付きプリント配線板1aを製造する製造例であったが、第二実施形態の電磁波シールドフィルム付きプリント配線板1bにおいても前記製造例とほぼ同様に製造できる。すなわち、前記製造例において、導電性接着剤塗料を、熱硬化性接着剤26aと導電性粒子26bと溶剤とを含有する塗料に変更して等方導電性接着剤層26を形成することにより、第二実施形態の電磁波シールドフィルム付きプリント配線板1bを製造することができる。
但し、導電性接着剤塗料に含まれる導電性粒子26bの平均粒子径は0.1μm以上10μm以下であることが好ましく、0.2μm以上1μm以下であることがより好ましい。導電性粒子26bの平均粒子径が前記範囲の下限値以上であれば、金属薄膜層22を容易に穿孔できる。導電性粒子26bの平均粒子径が前記範囲の上限値以下であれば、等方導電性接着剤層26の流動性を確保できる。
導電性接着剤塗料における導電性粒子26bの含有割合は、導電性接着剤塗料から形成される等方導電性接着剤層26において、導電性粒子26bの含有量が50体積%以上80体積%以下になる割合が好ましく、60体積%以上70体積%以下になる割合がより好ましい。導電性接着剤塗料における導電性粒子26bの含有割合が前記範囲であれば、金属薄膜層22における貫通孔22hの形成量を容易に1000個/cm以上100000個/cm以下にできる。
(Other manufacturing examples)
The manufacturing example was a manufacturing example for manufacturing the printed wiring board 1a with the electromagnetic wave shielding film of the first embodiment, but the printed wiring board 1b with the electromagnetic wave shielding film of the second embodiment is almost the same as the manufacturing example. Can be manufactured. That is, in the above-mentioned production example, the conductive adhesive paint is changed to a paint containing the heat-curable adhesive 26a, the conductive particles 26b, and the solvent to form the isotropic conductive adhesive layer 26. The printed wiring board 1b with the electromagnetic wave shielding film of the second embodiment can be manufactured.
However, the average particle diameter of the conductive particles 26b contained in the conductive adhesive coating material is preferably 0.1 μm or more and 10 μm or less, and more preferably 0.2 μm or more and 1 μm or less. When the average particle diameter of the conductive particles 26b is at least the lower limit of the above range, the metal thin film layer 22 can be easily perforated. When the average particle diameter of the conductive particles 26b is not more than the upper limit of the above range, the fluidity of the isotropic conductive adhesive layer 26 can be ensured.
The content of the conductive particles 26b in the conductive adhesive paint is such that the content of the conductive particles 26b in the isotropic conductive adhesive layer 26 formed from the conductive adhesive paint is 50% by volume or more and 80% by volume or less. Is preferable, and the ratio of 60% by volume or more and 70% by volume or less is more preferable. When the content ratio of the conductive particles 26b in the conductive adhesive paint is within the above range, the amount of through holes 22h formed in the metal thin film layer 22 can be easily reduced to 1000 / cm 2 or more and 100,000 / cm 2 or less.

電磁波シールドフィルムは、黒化層を有してもよい。銀蒸着層及び銅蒸着層等の金属薄膜層は、光反射性が高く、金属光沢を有する。その金属光沢を抑制するために、金属薄膜層の絶縁樹脂層側の面に黒化層を有してもよい。例えば、電磁波シールドフィルムをディスプレイ用のフレキシブルプリント配線板に使用する場合には、金属薄膜層の光沢がディスプレイの視認性に影響を与えることを防ぐために、金属薄膜層と絶縁樹脂層との間に黒化層を設けることが好ましい。通常は、絶縁樹脂層の金属薄膜層側の面に黒化層を形成する。
黒化層は、光吸収性の材料から構成されて光の反射防止性を有する黒色の層である。黒化層は、具体的には、JIS Z8781-5において規定される明度Lが5以下であることが好ましい。明度Lの値が小さい程、黒色度が大きくなり、光の反射を抑制できる傾向にある。
電磁波シールドフィルムが黒化層を有する場合、金属薄膜層と同様に黒化層にも貫通孔が形成されることが好ましい。
The electromagnetic wave shielding film may have a blackening layer. The metal thin film layer such as the silver-deposited layer and the copper-deposited layer has high light reflectivity and has a metallic luster. In order to suppress the metallic luster, a blackening layer may be provided on the surface of the metal thin film layer on the insulating resin layer side. For example, when an electromagnetic shielding film is used for a flexible printed wiring board for a display, in order to prevent the gloss of the metal thin film layer from affecting the visibility of the display, between the metal thin film layer and the insulating resin layer. It is preferable to provide a blackening layer. Normally, a blackening layer is formed on the surface of the insulating resin layer on the metal thin film layer side.
The blackening layer is a black layer which is composed of a light-absorbing material and has a light antireflection property. Specifically, the blackened layer preferably has a brightness L * defined in JIS Z8781-5 of 5 or less. The smaller the value of the lightness L * , the larger the blackness, and the more the light reflection tends to be suppressed.
When the electromagnetic wave shielding film has a blackening layer, it is preferable that through holes are formed in the blackening layer as well as the metal thin film layer.

黒化層は、例えば、下記(i)~(iii)のいずれかの光吸収性材料から構成される。
(i)銀の酸化物又は銅の酸化物
(ii)窒化銅、酸化銅、窒化ニッケル及び酸化ニッケルよりなる群から選ばれる少なくとも1種
(iii)亜鉛、銅と亜鉛の合金、銀と亜鉛の合金のいずれか1種
黒化層が前記(i)から構成される場合には、銀の酸化物又は銅の酸化物からなる層を、蒸着又はめっきにより形成する方法が挙げられる。蒸着法としては、例えば、真空蒸着法、スパッタリング法等の公知の蒸着法を適用できる。
黒化層が前記(ii)から構成される場合には、窒化銅、酸化銅、窒化ニッケル及び酸化ニッケルよりなる群から選ばれる少なくとも1種からなる層を、蒸着又はめっきにより形成する方法が挙げられる。
黒化層が前記(iii)から構成される場合には、亜鉛、銅と亜鉛の合金、銀と亜鉛の合金のいずれか1種からなる層を、蒸着又はめっきにより形成する方法が挙げられる。
黒化層の厚さとしては特に制限されないが、5nm以上20μm以下であることが好ましく、10nm以上1μm以下であることがより好ましい。黒化層の厚さが前記範囲の下限値以上であれば、光の反射を充分に抑制でき、前記範囲の上限値以下であれば、黒化層を容易に形成できる。
The blackened layer is composed of, for example, any of the following light-absorbing materials (i) to (iii).
(I) Silver oxide or copper oxide (ii) At least one selected from the group consisting of copper nitride, copper oxide, nickel nitride and nickel oxide (iii) Zinc, copper-zinc alloy, silver-zinc When the blackening layer of any one of the alloys is composed of the above (i), a method of forming a layer made of a silver oxide or a copper oxide by vapor deposition or plating can be mentioned. As the vapor deposition method, for example, a known vapor deposition method such as a vacuum vapor deposition method or a sputtering method can be applied.
When the blackened layer is composed of the above (ii), a method of forming a layer consisting of at least one selected from the group consisting of copper nitride, copper oxide, nickel nitride and nickel oxide by vapor deposition or plating can be mentioned. Be done.
When the blackened layer is composed of the above (iii), a method of forming a layer composed of any one of zinc, an alloy of copper and zinc, and an alloy of silver and zinc by vapor deposition or plating can be mentioned.
The thickness of the blackened layer is not particularly limited, but is preferably 5 nm or more and 20 μm or less, and more preferably 10 nm or more and 1 μm or less. When the thickness of the blackening layer is not less than the lower limit of the above range, the reflection of light can be sufficiently suppressed, and when it is not more than the upper limit of the above range, the blackening layer can be easily formed.

フレキシブルプリント配線板は、裏面側にグランド層を有するものであってもよい。また、フレキシブルプリント配線板は、両面にプリント回路を有し、両面に絶縁フィルム及び電磁波シールドフィルムが貼り付けられたものであってもよい。
フレキシブルプリント配線板の代わりに、柔軟性のないリジッドプリント基板を用いてもよい。
The flexible printed wiring board may have a ground layer on the back surface side. Further, the flexible printed wiring board may have printed circuits on both sides, and an insulating film and an electromagnetic wave shielding film may be attached to both sides.
Instead of the flexible printed wiring board, an inflexible rigid printed circuit board may be used.

以下、実施例及び比較例を示して本発明をより詳細に説明するが、本発明は下記実施例に限定されない。
以下の例では、下記の材料を用いた。
キャリアフィルムとして、片面に粘着剤層を有するポリエチレンテレフタレートフィルムを用いた。
離型フィルムとして、非シリコーン系離型剤により片面が離型処理されたポリエチレンテレフタレートフィルム(リンテック社製、T157、離型フィルム本体の厚さ:50μm、離型剤層の厚さ:0.1μm)を用いた。
絶縁フィルムとして、厚さ25μmのポリイミドフィルム(東レデュポン社製、カプトン100H)の表面に、ニトリルゴム変性エポキシ樹脂からなる絶縁性接着剤組成物を、乾燥膜厚が25μmになるように塗布し、接着剤層を形成して得たフィルム(全厚さ:50μm)を用いた。
銅張積層板として、ポリイミド板の片面に銅箔が貼り付けられた積層板を用いた。
Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to Examples and Comparative Examples, but the present invention is not limited to the following Examples.
In the following examples, the following materials were used.
As the carrier film, a polyethylene terephthalate film having an adhesive layer on one side was used.
As a release film, a polyethylene terephthalate film (T157 manufactured by Lintec Corporation, T157, release film body thickness: 50 μm, release agent layer thickness: 0.1 μm) whose one side is release-treated with a non-silicone release agent. ) Was used.
As an insulating film, an insulating adhesive composition made of a nitrile rubber-modified epoxy resin was applied to the surface of a 25 μm-thick polyimide film (Capton 100H, manufactured by Toray Dupont Co., Ltd.) so that the dry film thickness was 25 μm. A film (total thickness: 50 μm) obtained by forming an adhesive layer was used.
As the copper-clad laminate, a laminate in which a copper foil was attached to one side of the polyimide plate was used.

(実施例1)
前記キャリアフィルムの粘着剤層の表面に、熱硬化性のエポキシ樹脂を含む絶縁樹脂層形成用塗料を塗布し、60100℃で2分間加熱し、塗料を乾燥、半硬化させて、絶縁樹脂層(厚さ:10μm)を形成した。
前記絶縁樹脂層の表面に、電子ビーム蒸着法にて銅を物理的に蒸着させ、金属薄膜層(蒸着膜、厚さ:70nm)を形成した。
前記金属薄膜層の表面に、平均粒子径が5μmの銅粒子(導電性粒子)を含む熱硬化性導電性接着剤組成物を、ダイコーターアプリケーターを用いて塗布し、溶剤を揮発させてBステージ化することによって、異方導電性接着剤層(厚さ:6μm、銅粒子:20体積%)を形成した。
前記異方導電性接着剤層の表面に離型フィルムを貼り付けて、電磁波シールドフィルムを得た。
前記絶縁フィルムに、離型フィルムを剥離した電磁波シールドフィルムを重ね、ホットプレス装置(折原製作所社製、G-12)を用い、熱盤温度:170℃、圧力:15MPaで120秒間熱プレスした。これにより、絶縁フィルムの表面に異方導電性接着剤層を仮接着して、電磁波シールドフィルム付き絶縁フィルムを得た。
その後、絶縁樹脂層からキャリアフィルムを剥離した。次に、電磁波シールドフィルム付き絶縁フィルムを、高温恒温器(楠本化成社製、HT210)を用い、温度:150℃で1時間加熱することによって、異方導電性接着剤層を本硬化させた。その後、絶縁樹脂層からキャリアフィルムを剥離した。
(Example 1)
A paint for forming an insulating resin layer containing a thermosetting epoxy resin is applied to the surface of the pressure-sensitive adhesive layer of the carrier film, heated at 60100 ° C. for 2 minutes, and the paint is dried and semi-cured to obtain an insulating resin layer ( Thickness: 10 μm) was formed.
Copper was physically vapor-deposited on the surface of the insulating resin layer by an electron beam vapor deposition method to form a metal thin film layer (deposited film, thickness: 70 nm).
A thermosetting conductive adhesive composition containing copper particles (conductive particles) having an average particle diameter of 5 μm is applied to the surface of the metal thin film layer using a die coater applicator, and the solvent is volatilized to cause the B stage. The anisotropic conductive adhesive layer (thickness: 6 μm, copper particles: 20% by volume) was formed.
A release film was attached to the surface of the anisotropic conductive adhesive layer to obtain an electromagnetic wave shielding film.
An electromagnetic wave shield film from which the release film was peeled off was superposed on the insulating film, and heat-pressed for 120 seconds at a hot plate temperature: 170 ° C. and a pressure: 15 MPa using a hot press device (G-12 manufactured by Orihara Seisakusho Co., Ltd.). As a result, the anisotropic conductive adhesive layer was temporarily adhered to the surface of the insulating film to obtain an insulating film with an electromagnetic wave shielding film.
Then, the carrier film was peeled off from the insulating resin layer. Next, the anisotropic conductive adhesive layer was finally cured by heating the insulating film with an electromagnetic wave shielding film at a temperature of 150 ° C. for 1 hour using a high-temperature thermostat (manufactured by Kusumoto Kasei Co., Ltd., HT210). Then, the carrier film was peeled off from the insulating resin layer.

(実施例2~5及び比較例1,2)
金属薄膜層の厚みと導電性粒子の平均粒子径を表1に示すように変更した以外は実施例1と同様にして、電磁波シールドフィルム付き絶縁フィルムを得た。
(Examples 2 to 5 and Comparative Examples 1 and 2)
An insulating film with an electromagnetic wave shielding film was obtained in the same manner as in Example 1 except that the thickness of the metal thin film layer and the average particle diameter of the conductive particles were changed as shown in Table 1.

なお、前記実施例で得られたものはプリント配線板を有していないため、本発明の電磁波シールドフィルム付きプリント配線板ではない。しかし、プリント配線板を有さない以外は本発明の範囲であるため、実施例とみなした。前記比較例については、貫通孔の形成量が本発明の範囲外であることから比較例とした。 Since the product obtained in the above embodiment does not have a printed wiring board, it is not the printed wiring board with the electromagnetic wave shielding film of the present invention. However, since it is within the scope of the present invention except that it does not have a printed wiring board, it is regarded as an embodiment. Since the amount of through holes formed is outside the scope of the present invention, the comparative example is used as a comparative example.

<評価>
(金属薄膜層の貫通孔の個数、貫通孔の最小円の直径の測定)
得られた電磁波シールドフィルム付き絶縁フィルムについて、絶縁フィルムに光を照射しながら絶縁樹脂層側から貫通孔を観察し、金属薄膜層に形成された貫通孔の個数、貫通孔の最小円の直径を測定した。貫通孔においては光が透過するため、貫通孔を視認できる。
<Evaluation>
(Measurement of the number of through holes in the metal thin film layer and the diameter of the minimum circle of the through holes)
For the obtained insulating film with an electromagnetic wave shielding film, observe the through holes from the insulating resin layer side while irradiating the insulating film with light, and determine the number of through holes formed in the metal thin film layer and the diameter of the minimum circle of the through holes. It was measured. Since light is transmitted through the through hole, the through hole can be visually recognized.

(接着強度)
得られた電磁波シールドフィルム付き絶縁フィルムについて、引張試験機(島津製作所、AGS-50NX)を用いて、JIS K 6854-2:1999(対応国際規格ISO 8510-2:1990)に基づいて引張強度を測定した。得られた引張強度を接着強度とした。
(Adhesive strength)
The obtained insulating film with electromagnetic wave shielding film was subjected to tensile strength using a tensile tester (Shimadzu Corporation, AGS-50NX) based on JIS K 6854-2: 1999 (corresponding international standard ISO 8510-2: 1990). It was measured. The obtained tensile strength was taken as the adhesive strength.

(はんだリフロー時の剥離防止性の評価)
絶縁フィルムの代わりに銅張積層板のポリイミド板に電磁波シールドフィルムの異方導電性接着剤層を接着して、電磁波シールドフィルム付き銅張積層板を得た。
得られた電磁波シールドフィルム付き銅張積層板について、絶縁樹脂層側を288℃のはんだ浴に10秒間3回浸漬した。浸漬後、銅張積層板に対する電磁波シールドフィルムの浮き、すなわち剥離を目視により観察した。電磁波シールドフィルムの浮きが少ない程、剥離防止性に優れる。
A:5cm角に浮きが1個以下であった。
B:5cm角に浮きが2~5個であった。
C:5cm角全体に浮きが発生した。
(Evaluation of peeling prevention during solder reflow)
An anisotropic conductive adhesive layer of an electromagnetic wave shielding film was adhered to a polyimide plate of a copper-clad laminate instead of an insulating film to obtain a copper-clad laminate with an electromagnetic wave shielding film.
About the obtained copper-clad laminate with electromagnetic wave shielding film, the insulating resin layer side was immersed in a solder bath at 288 ° C. three times for 10 seconds. After the immersion, the floating, that is, the peeling of the electromagnetic wave shielding film with respect to the copper-clad laminate was visually observed. The less the electromagnetic wave shield film floats, the better the peeling prevention property.
A: There was one or less floats on 5 cm squares .
B: There were 2 to 5 floats on 5 cm squares .
C: Floating occurred on the entire 5 cm square .

Figure 0007022573000001
Figure 0007022573000001

各実施例では、金属薄膜層に1000個/cm以上100000個/cm以下の範囲で貫通孔が形成されていたため、はんだリフロー時の電磁波シールドフィルムの剥離が防止されていた。また、各実施例は、接着強度が高かった。
各比較例では、金属薄膜層における貫通孔形成量が1000個/cm未満であっため、はんだリフロー時の電磁波シールドフィルムの剥離が防止されていなかった。また、各実施例は、接着強度が不十分であった。
In each embodiment, since the through holes were formed in the metal thin film layer in the range of 1000 pieces / cm 2 or more and 100,000 pieces / cm 2 or less, peeling of the electromagnetic wave shielding film during solder reflow was prevented. In addition, each example had high adhesive strength.
In each comparative example, since the amount of through holes formed in the metal thin film layer was less than 1000 pieces / cm 2 , peeling of the electromagnetic wave shielding film during solder reflow was not prevented. In addition, each example had insufficient adhesive strength.

1a,1b 電磁波シールドフィルム付きフレキシブルプリント配線板
2 電磁波シールドフィルム
3 絶縁フィルム付きフレキシブルプリント配線板
10 絶縁樹脂層
22 金属薄膜層
22h 貫通孔
20 導電層
24 異方導電性接着剤層(導電性接着剤層)
24a 熱硬化性接着剤
24b 導電性粒子
26 等方導電性接着剤層(導電性性接着剤層)
26a 熱硬化性接着剤
26b 導電性粒子
30 キャリアフィルム
32 キャリアフィルム本体
34 粘着剤層
40 離型フィルム
42 離型フィルム本体
44 離型剤層
50 フレキシブルプリント配線板(プリント配線板)
52 ベースフィルム
54 プリント回路
60 絶縁フィルム
62 貫通孔
1a, 1b Flexible printed wiring board with electromagnetic wave shielding film 2 Electromagnetic wave shielding film 3 Flexible printed wiring board with insulating film 10 Insulation resin layer 22 Metal thin film layer 22h Through hole 20 Conductive layer 24 anisotropic conductive adhesive layer (conductive adhesive) layer)
24a Thermosetting Adhesive 24b Conductive Particles 26 Isotropic Conductive Adhesive Layer (Conductive Adhesive Layer)
26a Thermo-curable adhesive 26b Conductive particles 30 Carrier film 32 Carrier film body 34 Adhesive layer 40 Release film 42 Release film body 44 Release agent layer 50 Flexible printed wiring board (printed wiring board)
52 Base film 54 Print circuit 60 Insulation film 62 Through hole

Claims (6)

基板の少なくとも片面にプリント回路が設けられたプリント配線板と、前記プリント配線板の前記プリント回路が設けられた側の面に隣接する絶縁フィルムと、前記絶縁フィルムの前記プリント配線板とは反対側に設けられた電磁波シールドフィルムと、を有し、
前記電磁波シールドフィルムは、絶縁樹脂層と、前記絶縁樹脂層に隣接する金属薄膜層と、前記金属薄膜層の前記絶縁樹脂層とは反対側の面に設けられた異方導電性接着剤層と、を有し、
前記金属薄膜層には、貫通孔が複数形成され、前記貫通孔の形成量が5000個/cm以上80000個/cm以下であり、
前記異方導電性接着剤層は、導電性粒子を含み、
前記異方導電性接着剤層において、前記導電性粒子の含有量が10体積%以上30体積%以下である、電磁波シールドフィルム付きプリント配線板の製造方法であって、
電磁波シールドフィルム作製工程と圧着工程とを有し、
前記電磁波シールドフィルム作製工程では、絶縁樹脂層と、前記絶縁樹脂層に隣接する無孔の金属薄膜層と、前記金属薄膜層の前記絶縁樹脂層とは反対側の面に設けられた異方導電性接着剤層とを有する電磁波シールドフィルムを作製し、
前記圧着工程では、前記電磁波シールドフィルムと前記プリント配線板とを絶縁フィルムを挟んだ状態で圧着し、前記異方導電性接着剤層に含まれる導電性粒子を前記金属薄膜層に押し込んで前記金属薄膜層を穿孔し、前記貫通孔を形成する、電磁波シールドフィルム付きプリント配線板の製造方法
A printed wiring board provided with a printed circuit on at least one side of the board, an insulating film adjacent to the surface of the printed wiring board on which the printed circuit is provided, and a side opposite to the printed wiring board of the insulating film. With the electromagnetic wave shielding film provided in
The electromagnetic wave shielding film includes an insulating resin layer, a metal thin film layer adjacent to the insulating resin layer, and an anisotropic conductive adhesive layer provided on a surface of the metal thin film layer opposite to the insulating resin layer. Have,
A plurality of through holes are formed in the metal thin film layer, and the amount of the through holes formed is 5000 pieces / cm 2 or more and 80,000 pieces / cm 2 or less.
The anisotropic conductive adhesive layer contains conductive particles and contains conductive particles.
A method for manufacturing a printed wiring board with an electromagnetic wave shielding film, wherein the content of the conductive particles in the anisotropic conductive adhesive layer is 10% by volume or more and 30% by volume or less.
It has an electromagnetic wave shielding film manufacturing process and a crimping process.
In the electromagnetic wave shielding film manufacturing step, the insulating resin layer, the non-porous metal thin film layer adjacent to the insulating resin layer, and the anisotropic conductivity provided on the surface of the metal thin film layer opposite to the insulating resin layer. An electromagnetic shielding film having a sex adhesive layer was prepared.
In the crimping step, the electromagnetic wave shielding film and the printed wiring board are crimped with an insulating film sandwiched between them, and the conductive particles contained in the anisotropic conductive adhesive layer are pushed into the metal thin film layer to push the metal. A method for manufacturing a printed wiring board with an electromagnetic wave shielding film, in which a thin film layer is perforated to form the through hole .
前記貫通孔を含む最小円の直径が0.1μm以上20μm以下である、請求項1に記載の電磁波シールドフィルム付きプリント配線板の製造方法 The method for manufacturing a printed wiring board with an electromagnetic wave shielding film according to claim 1, wherein the diameter of the minimum circle including the through hole is 0.1 μm or more and 20 μm or less. 前記金属薄膜層の厚みが0.01μm以上3μm以下である、請求項1又は2に記載の電磁波シールドフィルム付きプリント配線板の製造方法 The method for manufacturing a printed wiring board with an electromagnetic wave shielding film according to claim 1 or 2, wherein the thickness of the metal thin film layer is 0.01 μm or more and 3 μm or less. 前記導電性粒子の平均粒子径が3μm以上20μm以下である、請求項1~3のいずれか一項に記載の電磁波シールドフィルム付きプリント配線板の製造方法 The method for manufacturing a printed wiring board with an electromagnetic wave shielding film according to any one of claims 1 to 3, wherein the average particle diameter of the conductive particles is 3 μm or more and 20 μm or less. 前記導電性粒子が金属粒子である、請求項1~4のいずれか一項に記載の電磁波シールドフィルム付きプリント配線板の製造方法 The method for manufacturing a printed wiring board with an electromagnetic wave shielding film according to any one of claims 1 to 4, wherein the conductive particles are metal particles. 前記圧着工程では、圧着時の圧力を1MPa以上30MPa以下にする、請求項1~5のいずれか一項に記載の電磁波シールドフィルム付きプリント配線板の製造方法。 The method for manufacturing a printed wiring board with an electromagnetic wave shielding film according to any one of claims 1 to 5, wherein in the crimping step, the pressure at the time of crimping is 1 MPa or more and 30 MPa or less.
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