JP7417549B2 - 表示基板及びその調整方法、表示装置 - Google Patents
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims description 102
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 18
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 23
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 claims description 11
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 claims description 11
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 10
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 16
- 239000000047 product Substances 0.000 description 7
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 5
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 5
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 4
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 3
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 3
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 2
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 2
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 230000003750 conditioning effect Effects 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 239000011265 semifinished product Substances 0.000 description 1
- -1 smartphones Substances 0.000 description 1
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/10—OLED displays
- H10K59/12—Active-matrix OLED [AMOLED] displays
- H10K59/121—Active-matrix OLED [AMOLED] displays characterised by the geometry or disposition of pixel elements
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Description
基板上に第1導電層及び第1リードを形成し、その後、基板上にバッファ層を形成する工程01と、
活性層、ゲート絶縁層、第1トランジスタ(低温ポリシリコントランジスタ)のゲートを形成し、前記第1トランジスタの前記活性層の両側を導体化処理し、前記第1トランジスタのゲート絶縁層を、前記第2トランジスタ(酸化物半導体トランジスタ)の前記第2トランジスタの下方にも延在させる工程02と、
第1絶縁層を形成し、且つ該第1絶縁層膜をエッチングして、第1リード、第1トランジスタのソース、ドレイン、ゲートに接続するための第1信号接続孔を予め形成し、そして第2トランジスタの活性層を形成し、第1信号接続孔に第2トランジスタの活性層の材料を用いて、コンタクト層をそれぞれ形成する工程03と、
第2トランジスタのゲート絶縁層とゲートを順次形成し、第2トランジスタの活性層の両側を導体化処理する工程04と、
第2絶縁層膜を堆積し、且つ該第2絶縁層膜をエッチングして、第1リード、第1トランジスタのソース、ドレイン、ゲート、第2トランジスタのソース、ドレイン、ゲートに接続するための第2信号接続孔を対応する位置に予め形成し、そして第1トランジスタのソース、ドレイン、及び第2トランジスタのソース、ドレインを形成すると共に、第1トランジスタのゲート、第2トランジスタのゲート、第1リードに対応する第2信号接続孔内にソース・ドレイン材料層を形成する工程05と、
表示基板の後続の製造工程を行う工程06と、を有する。
表示基板のテストを行う際に、表示基板の異常表示領域を表記する工程11と、
異常表示領域において、第1リード及び第2リードの信号スイッチ部をオンにし、前記第1トランジスタのゲート駆動信号を前記第2リードに印加するとともに、第2トランジスタのゲート駆動信号を第1リードに印加することによって、前記第1トランジスタ及び前記第2トランジスタの固有の閾値電圧シフトを調整して、性能が最適化された表示基板を得る工程12と、
第1リードと第2リードの信号スイッチ部をオフにし、閾値電圧シフト調整後の表示基板において後続の工程を実行する工程13と、を有する。
Claims (17)
- 基板と、
前記基板上に配置され、固有の閾値電圧のシフト方向が反対である第1トランジスタ及び第2トランジスタと、
前記基板上に配置されるシフト調整構造と、を備える表示基板であって、
前記シフト調整構造は、前記第1トランジスタ及び前記第2トランジスタの閾値電圧が、それぞれ、その固有の閾値電圧のシフト方向とは反対の方向にシフトするように、前記第1トランジスタ及び前記第2トランジスタにそれぞれ調整信号を入力するように構成され、
前記シフト調整構造は、調整信号源を含み、前記調整信号源は、前記第1及び第2トランジスタの固有の閾値電圧シフトをそれぞれ調整する第1及び第2調整信号を生成するように構成され、
前記調整信号源は、前記第1調整信号を生成するように構成される第1信号源と、前記第2調整信号を生成するように構成される第2信号源とを含み、
前記第1トランジスタのゲート駆動信号源は、前記第2信号源に多重化され、前記第2トランジスタのゲート駆動信号源は、前記第1信号源に多重化される、
表示基板。 - 前記シフト調整構造は、スイッチ部、及び信号リードを更に含み、前記調整信号源は前記スイッチ部に接続され、前記スイッチ部は前記信号リードに接続され、
前記スイッチ部は、前記調整信号源をオン又はオフにするように構成され、
前記信号リードは、前記第1調整信号を前記第1トランジスタに入力するように構成される第1リードと、前記第2調整信号を前記第2トランジスタに入力するように構成される第2リードとを有する、
請求項1に記載の表示基板。 - 前記第1トランジスタ及び前記第2トランジスタは、共にトップゲート型トランジスタであり、前記第1リードは、前記第1トランジスタの前記基板に面する側に配置され、前記第2リードは、前記第2トランジスタの前記基板に面する側に配置される、
請求項2に記載の表示基板。 - 前記第1リードは、前記第1トランジスタのボトムゲートを構成し、前記第2リードは、前記第2トランジスタのボトムゲートを構成して、前記第1トランジスタ及び前記第2トランジスタは、それぞれダブルゲート構造に形成される、
請求項3に記載の表示基板。 - さらに、前記基板上であって、前記第1トランジスタ及び前記第2トランジスタの前記基板に面する側に形成された第1導電層を備え、
前記第1リードは、前記第1導電層と同じ材料で形成され、同じ層内に配置される、
請求項3に記載の表示基板。 - 前記第2リードは、前記第1トランジスタのゲートと同じ材料で形成され、同じ層に配置される、
請求項5に記載の表示基板。 - 前記第1トランジスタはPNP型トランジスタであり、前記第2トランジスタはNPN型トランジスタである、
請求項2~6のいずれか1項に記載の表示基板。 - 前記第1トランジスタは、低温ポリシリコントランジスタであり、前記第2トランジスタは、酸化物半導体トランジスタである、
請求項7に記載の表示基板。 - さらに、第1絶縁層を備え、
前記第1絶縁層の一部は、前記第1トランジスタのゲートの下方であって、前記第1トランジスタのソース及びドレインの下方に位置し、且つ、前記第1絶縁層の別の部分は前記第2リードと前記第2トランジスタの活性層との間にも延在し、
前記第1絶縁層は、前記第1トランジスタのゲート、ソース、ドレインに対応する位置にビアホールが形成され、前記ビアホールの各々は、前記第2トランジスタの活性層と同じ材料を用いて、同じ層に形成されたコンタクト層を有する、
請求項8に記載の表示基板。 - さらに、前記コンタクト層上に形成される第2絶縁層を備え、
前記第2絶縁層は、前記第2トランジスタの活性層上にも延在する、
請求項9に記載の表示基板。 - さらに、前記第1トランジスタのゲートと活性層との間に形成されたゲート絶縁層、及び前記第2トランジスタのゲートと活性層との間に形成されたゲート絶縁層を備える、
請求項10に記載の表示基板。 - 複数の領域を有し、複数の領域の各々は、前記第1トランジスタと、前記第2トランジスタとを有する、
請求項2~11のいずれか1項に記載の表示基板。 - 前記複数の領域の各々は、前記スイッチ部と接続するように配置される前記第1及び第2リードをさらに有する、
請求項12に記載の表示基板。 - 請求項1~13のいずれか1項に記載の表示基板を具備する、
表示装置。 - 請求項2~13のいずれか1項に記載の表示基板の調整方法であって、
前記第1及び第2トランジスタの閾値電圧が、それぞれ前記第1及び第2トランジスタの固有の閾値電圧のシフト方向とは反対方向にシフトするように、前記第1調整信号と前記第2調整信号を前記第1と第2トランジスタにそれぞれ入力する工程を有する、
表示基板の調整方法。 - 前記第1調整信号と前記第2調整信号とは、互いに逆極性である、
請求項15に記載の方法。 - 前記第1調整信号と前記第2調整信号の大きさは等しくなく、及び/又は、前記第1調整信号と前記第2調整信号の入力持続時間は等しくない、
請求項16に記載の方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201910142601.9 | 2019-02-26 | ||
CN201910142601.9A CN111613637B (zh) | 2019-02-26 | 2019-02-26 | 一种显示基板及其不良调整方法和显示装置 |
PCT/CN2019/120935 WO2020173153A1 (en) | 2019-02-26 | 2019-11-26 | Display substrate, adjustment method thereof, and display apparatus |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2022521108A JP2022521108A (ja) | 2022-04-06 |
JPWO2020173153A5 JPWO2020173153A5 (ja) | 2022-11-30 |
JP7417549B2 true JP7417549B2 (ja) | 2024-01-18 |
Family
ID=72197537
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020567981A Active JP7417549B2 (ja) | 2019-02-26 | 2019-11-26 | 表示基板及びその調整方法、表示装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11276739B2 (ja) |
EP (1) | EP3931876B1 (ja) |
JP (1) | JP7417549B2 (ja) |
CN (1) | CN111613637B (ja) |
WO (1) | WO2020173153A1 (ja) |
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2019
- 2019-02-26 CN CN201910142601.9A patent/CN111613637B/zh active Active
- 2019-11-26 WO PCT/CN2019/120935 patent/WO2020173153A1/en unknown
- 2019-11-26 JP JP2020567981A patent/JP7417549B2/ja active Active
- 2019-11-26 EP EP19916902.0A patent/EP3931876B1/en active Active
- 2019-11-26 US US16/765,232 patent/US11276739B2/en active Active
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Legal Events
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