JP7406675B2 - シート固定装置、シート剥離装置及びシートの剥離方法 - Google Patents
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Description
[態様1]
複層シートを固定するためのシート固定装置であって、
前記複層シートを載置可能な平坦面を有する板状部材、前記板状部材における前記複層シートの外周部と対応する位置に設けられる吸着孔、及び前記板状部材における前記吸着孔の外側に沿って設けられる段差部を有する、前記複層シートを支持するための支持ステージと、
前記吸着孔を介して前記複層シートを前記支持ステージに向けて吸引可能な吸引手段と、
を備え、
前記平坦面は、JIS B0621-1984で規定される平面度が0.30mm以下である、シート固定装置。
[態様2]
前記吸着孔と前記段差部との距離が30mm以下である、態様1に記載のシート固定装置。
[態様3]
前記吸着孔が凹部を有し、該凹部には前記板状部材を貫通する少なくとも1つの貫通孔が設けられる、態様1又は2に記載のシート固定装置。
[態様4]
前記支持ステージを平面視した場合に、前記吸着孔が、前記複層シートの輪郭に沿った形状を有しており、かつ、前記吸着孔には、前記吸着孔を複数の吸着領域に区画するように、前記複層シートの輪郭と平行に設けられる隔壁が存在する、態様1~3のいずれか一つに記載のシート固定装置。
[態様5]
前記支持ステージを平面視した場合に、前記吸着孔の形状が、円形状、円弧状、直線状及び多角形状からなる群から選択される少なくとも1種である、態様1~4のいずれか一つに記載のシート固定装置。
[態様6]
前記支持ステージが複数の前記吸着孔を有しており、前記複数の吸着孔が、全体として、円、円弧、直線又は多角形をもたらす集合体として構成される、態様1~5のいずれか一つに記載のシート固定装置。
[態様7]
前記支持ステージが、前記複層シートの外周部を前記吸着孔上に位置決めするための位置決めピンを前記平坦面の上面側に有する、態様1~6のいずれか一つに記載のシート固定装置。
[態様8]
前記平坦面の算術平均粗さRaが0.01μm以上0.50μm以下である、態様1~7のいずれか一つに記載のシート固定装置。
[態様9]
前記板状部材のビッカース硬さが10HV以上3000HV以下である、態様1~8のいずれか一つに記載のシート固定装置。
[態様10]
前記板状部材が、ステンレス鋼、Al合金、炭素工具鋼、合金工具鋼、高速度工具鋼及びTi合金からなる群から選択される少なくとも1種で構成される、態様1~9のいずれか一つに記載のシート固定装置。
[態様11]
前記段差部の少なくとも前記吸着孔側の端部が丸みを帯びている、態様1~10のいずれか一つに記載のシート固定装置。
[態様12]
前記支持ステージが、前記吸着孔とは別に、複数の補助吸着孔をさらに備える、態様1~11のいずれか一つに記載のシート固定装置。
[態様13]
前記吸引手段が、前記板状部材の前記平坦面と反対の側に配置される下部ステージを備えており、前記下部ステージが、前記吸着孔と連通する気体流路を備えている、態様1~12のいずれか一つに記載のシート固定装置。
[態様14]
前記吸引手段が、前記板状部材の前記平坦面と反対の側に配置される下部ステージを備えており、前記下部ステージが、前記吸着孔及び前記補助吸着孔と連通する気体流路を備えている、又は前記吸着孔と連通する気体流路と、前記補助吸着孔と連通する気体流路とを別個に備えている、態様12又は13に記載のシート固定装置。
[態様15]
前記吸引手段が、前記気体流路に接続される吸引ポンプをさらに備えている、態様13又は14に記載のシート固定装置。
[態様16]
複層シートを剥離するためのシート剥離装置であって、
態様1~15のいずれか一つに記載のシート固定装置と、
前記支持ステージに隣接して設けられる、又は前記支持ステージの段差部に設けられる、前記複層シートに接触して応力を加えるための応力負荷手段であって、前記複層シートに接触しながら前記平坦面の上方に移動可能な可動接触部を有する、応力負荷手段と、
を備えた、シート剥離装置。
[態様17]
前記可動接触部がピン形状又はフック形状を有する、態様16に記載のシート剥離装置。
[態様18]
態様16又は17に記載のシート剥離装置を用いたシートの剥離方法であって、
少なくとも第1層及び第2層を備える複層シートを、前記第1層の表面が前記支持ステージの平坦面と接するように載置する工程と、
前記吸引手段により、前記吸着孔を介して前記複層シートを前記支持ステージに向けて吸引し、それにより前記複層シートを前記支持ステージに固定する工程と、
前記応力負荷手段により、前記可動接触部を前記段差部から前記複層シートの第2層に接触させ、前記第1層と前記第2層とが離間する方向に応力を加えることにより、前記第2層を前記第1層から引き剥がす工程と、
を含み、
前記可動接触部と前記複層シートとの接触領域の最大長さが2mm以上500mm以下である、シートの剥離方法。
[態様19]
前記可動接触部と前記複層シートとの接触領域の面積が5mm2以上120mm2以下である、態様18に記載のシートの剥離方法。
[態様20]
前記複層シートを前記支持ステージに載置する前に、前記複層シートの第1層の表面及び/又は前記支持ステージの平坦面にグリスを塗布する工程をさらに含む、態様18又は19に記載のシートの剥離方法。
[態様21]
態様1~15のいずれか一つに記載のシート固定装置を用いて複層シートの一方の面を固定し、その反対側の層を剥離する工程を含む、シートの剥離方法。
図1に本発明のシート固定装置の一例を示す。図1に示されるシート固定装置10は、支持ステージ20と、吸引手段40とを備える。図1及び図2Aに示されるように、支持ステージ20は、板状部材22、並びに板状部材22に設けられる吸着孔24及び段差部26を有する。板状部材22は、複層シートを載置可能な平坦面Fを有する。この平坦面Fは、JIS B0621-1984で規定される平面度が0.30mm以下である。吸着孔24は、板状部材22における複層シートの外周部と対応する位置に設けられる。段差部26は、板状部材22における吸着孔24の外側に沿って設けられる、平坦面Fから窪んだ部分である。吸引手段40は、吸着孔24を介して複層シートを支持ステージ20に向けて吸引可能とする。図1に示されるシート固定装置10では、複層シートが円形状のウエハである場合に用いられる円弧状の吸着孔24と、複層シートが矩形状のパネルである場合に用いられるL字状の吸着孔24とがそれぞれ板状部材22に設けられている。また、それぞれの吸着孔24の外側に沿って、円弧状又はL字状の段差部26が板状部材22に設けられている。すなわち、シート固定装置10は、支持ステージ20が複層シートを支持し、吸引手段40により複層シートを支持ステージ20に向けて吸引することで、複層シートを固定するものである。このように、所定の平坦面Fを有する支持ステージ20に対して、複層シートの外周部と対応する位置に吸着孔24を設けるとともに、吸着孔24の外側に沿って段差部26を設けることにより、複層シートの一方の面を固定してその反対側の層を剥離する際に、複層シートと支持ステージ20との間のリークの発生を抑制して密着力を確保可能な、シート固定装置を提供できる。
本発明の好ましい態様によれば、複層シートを剥離するためのシート剥離装置が提供される。図7に本発明のシート剥離装置及びそれを用いたシートの剥離工程を示す。図7(ii)~(iv)に示されるシート剥離装置50は、上述したシート固定装置10と、複層シート60に接触して応力を加えるための応力負荷手段とを備える。応力負荷手段は、支持ステージ20に隣接して設けられる、又は支持ステージ20の段差部26に設けられる。そして、応力負荷手段は、複層シート60に接触しながら平坦面Fの上方に移動可能な可動接触部52を有する。
本発明の好ましい態様によれば、シート剥離装置を用いたシートの剥離方法が提供される。この方法は、(1)所望により行われる複層シートのトリミング、(2)複層シートの載置、(3)複層シートの吸引及び固定、及び(4)複層シートの剥離の各工程を含む。以下、図7を参照しながら、工程(1)~(4)の各々について説明する。
少なくとも第1層62及び第2層66を備える複層シート60を用意する。所望により、複層シート60は、第1層62と第2層66との間に介在して両者の剥離を容易とする剥離層64を備えていてもよく、これらの層以外の他の層を有するものであってもよい。
複層シート60を、第1層62の表面が支持ステージ20の平坦面Fと接するように載置する(図7(ii)参照)。このとき、第1層62の側端と段差部26の内端面とが一致する、つまり段差部26の吸着孔24に最も近い側面に沿って第1層62の側端が位置するように、かつ、第2層66の端部又は加圧可能領域Pが段差部26の上方に位置するように、複層シート60を載置するのが好ましい。このように複層シート60を載置し、かつ、吸着孔24と段差部26との距離を上述したとおり短くする(例えば1mm)ように支持ステージ20をデザインすることが特に好ましい。こうすることにより、第1層62(例えば配線基板)と支持ステージ20との間のリーク発生を極めて効果的に抑制しつつ、第2層66(例えば剛性キャリア)を剥離することができる。
図7(iii)に示されるように、吸引手段40により、吸着孔24を介して複層シート60を支持ステージ20に向けて吸引する。こうすることで、複層シート60を支持ステージ20に固定することができる。
図7(iv)に示されるように、応力負荷手段により、可動接触部52を段差部26から複層シート60の第2層66に接触させ、第1層62と第2層66とが離間する方向(吸引方向と逆方向)に応力を加える。これにより、複層シート60の第2層66を第1層62から引き剥がすことができる。
上述したとおり、本発明の方法において固定及び/又は剥離対象となる複層シート60は、剛性キャリア、所望により中間層、剥離層、及び金属層を順に備えたキャリア付金属箔を含むのが好ましい。
Claims (21)
- 複層シートを固定するためのシート固定装置であって、
前記複層シートを載置可能な平坦面を有する板状部材、前記板状部材における前記複層シートの外周部と対応する位置に設けられる吸着孔、及び前記板状部材における前記吸着孔の外側に沿って設けられる段差部を有する、前記複層シートを支持するための支持ステージと、
前記吸着孔を介して前記複層シートを前記支持ステージに向けて吸引可能な吸引手段と、
を備え、
前記平坦面は、JIS B0621-1984で規定される平面度が0.30mm以下であり、
前記吸着孔は、前記支持ステージを平面視した場合に、前記複層シートの輪郭に沿った形状を有しており、かつ、前記複層シートを前記支持ステージ上に載置した場合に、前記複層シートの外周部を吸引可能であり、前記複層シートの外周部は、前記複層シートの周縁から中心に向かって0mm以上30mm以下の領域であり、
前記段差部は、前記複層シートを前記支持ステージ上に載置した際に、前記複層シートとは接しない部分に設けられる、シート固定装置。 - 前記吸着孔と前記段差部との距離が30mm以下である、請求項1に記載のシート固定装置。
- 前記吸着孔が凹部を有し、該凹部には前記板状部材を貫通する少なくとも1つの貫通孔が設けられる、請求項1又は2に記載のシート固定装置。
- 前記支持ステージを平面視した場合に、前記吸着孔が、前記複層シートの輪郭に沿った形状を有しており、かつ、前記吸着孔には、前記吸着孔を複数の吸着領域に区画するように、前記複層シートの輪郭と平行に設けられる隔壁が存在する、請求項1又は2に記載のシート固定装置。
- 前記支持ステージを平面視した場合に、前記吸着孔の形状が、円形状、円弧状、直線状及び多角形状からなる群から選択される少なくとも1種である、請求項1又は2に記載のシート固定装置。
- 前記支持ステージが複数の前記吸着孔を有しており、前記複数の吸着孔が、全体として、円、円弧、直線又は多角形をもたらす集合体として構成される、請求項1又は2に記載のシート固定装置。
- 前記支持ステージが、前記複層シートの外周部を前記吸着孔上に位置決めするための位置決めピンを前記平坦面の上面側に有する、請求項1又は2に記載のシート固定装置。
- 前記平坦面の算術平均粗さRaが0.01μm以上0.50μm以下である、請求項1又は2に記載のシート固定装置。
- 前記板状部材のビッカース硬さが10HV以上3000HV以下である、請求項1又は2に記載のシート固定装置。
- 前記板状部材が、ステンレス鋼、Al合金、炭素工具鋼、合金工具鋼、高速度工具鋼及びTi合金からなる群から選択される少なくとも1種で構成される、請求項1又は2に記載のシート固定装置。
- 前記段差部の少なくとも前記吸着孔側の端部が丸みを帯びている、請求項1又は2に記載のシート固定装置。
- 前記支持ステージが、前記吸着孔とは別に、複数の補助吸着孔をさらに備える、請求項1又は2に記載のシート固定装置。
- 前記吸引手段が、前記板状部材の前記平坦面と反対の側に配置される下部ステージを備えており、前記下部ステージが、前記吸着孔と連通する気体流路を備えている、請求項1又は2に記載のシート固定装置。
- 前記吸引手段が、前記板状部材の前記平坦面と反対の側に配置される下部ステージを備えており、前記下部ステージが、前記吸着孔及び前記補助吸着孔と連通する気体流路を備えている、又は前記吸着孔と連通する気体流路と、前記補助吸着孔と連通する気体流路とを別個に備えている、請求項12に記載のシート固定装置。
- 前記吸引手段が、前記気体流路に接続される吸引ポンプをさらに備えている、請求項13に記載のシート固定装置。
- 複層シートを剥離するためのシート剥離装置であって、
請求項1又は2に記載のシート固定装置と、
前記支持ステージに隣接して設けられる、又は前記支持ステージの段差部に設けられる、前記複層シートに接触して応力を加えるための応力負荷手段であって、前記複層シートに接触しながら前記平坦面の上方に移動可能な可動接触部を有する、応力負荷手段と、
を備えた、シート剥離装置。 - 前記可動接触部がピン形状又はフック形状を有する、請求項16に記載のシート剥離装置。
- 請求項16に記載のシート剥離装置を用いたシートの剥離方法であって、
少なくとも第1層及び第2層を備える複層シートを、前記第1層の表面が前記支持ステージの平坦面と接するように載置する工程と、
前記吸引手段により、前記吸着孔を介して前記複層シートを前記支持ステージに向けて吸引し、それにより前記複層シートを前記支持ステージに固定する工程と、
前記応力負荷手段により、前記可動接触部を前記段差部から前記複層シートの第2層に接触させ、前記第1層と前記第2層とが離間する方向に応力を加えることにより、前記第2層を前記第1層から引き剥がす工程と、
を含み、
前記可動接触部と前記複層シートとの接触領域の最大長さが2mm以上500mm以下である、シートの剥離方法。 - 前記可動接触部と前記複層シートとの接触領域の面積が5mm2以上120mm2以下である、請求項18に記載のシートの剥離方法。
- 前記複層シートを前記支持ステージに載置する前に、前記複層シートの第1層の表面及び/又は前記支持ステージの平坦面にグリスを塗布する工程をさらに含む、請求項18に記載のシートの剥離方法。
- 請求項1又は2に記載のシート固定装置を用いて複層シートの一方の面を固定し、その反対側の層を剥離する工程を含む、シートの剥離方法。
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