JP7405358B2 - フレムレスのデバイスにおけるmemsマイクロホン - Google Patents

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Description

本発明はマイクロホン製品の分野に関し、特にフレムレスのデバイスのMEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems)マイクロホンに関するものである。
現在のMEMSマイクロホンはサイズが小さく、耐熱性が高く、集積しやすいなどのために広く使われている。従来のMEMSマイクロホンのパッケージ構造は、一般的に、回路基板と外側とからなる中空的なキャビティの中に配置されるMEMSチップと特定の集積チップを含み、構造の外部が音孔を介して中空的なキャビティと連通する。そのMEMSマイクロホンの構造が設定された音孔の位置に従って前入音と後入音の2種類に分けられ、前入音の音孔が外側に配置され、後入音の音孔が回路基板に配置され、一般的に、チップが同じの場合に、後入音の方が性能がより高い。また、前入音の場合のMEMSマイクロホンのパッケージ構造及びその製造方法に、高コスト、複雑な工程及び難しいプロセスという欠点がある。
現在の一般的なMEMSマイクロホンにある欠点や限界などに対して、今一つの構造が簡単で、品質を向上させるフレムレスのデバイスにおけるMEMSマイクロホンを提供する。
具体的な技術案は以下の通りである。
フレムレスのデバイスにおけるMEMSマイクロホンは、基板を含み、その基板は第一基板区域と第二基板区域を含み、その第一基板区域に音響学センサーが配置され、その第二基板区域に複数のパッドが配置され、そのパッドが第二基板区域に均一に分布し;上記の第一基板区域と第二基板区域がその基板の同じ側に設置され、音響学の通孔がその第一基板区域に設置される。
好ましいのは、上記の第一基板区域の上にMEMSチップと特定の集積回路チップも設けられ、上記の音響学センサーと、上記の特定の集積回路チップと上記のMEMSチップとが一つの金属カバー体に覆われている。
好ましいのは、上記の第一基板区域の裏側に防塵メッシュ層が配置され、上記の音響学の通孔がその防塵メッシュ層に覆われている。
好ましいのは、上記の基板が長いストリップ状である。
フレムレスのデバイスに使われるマイクロホンの接続構造が上記のMEMSマイクロホンにある複数のパッドをフレムレスのデバイスの回路基板に接続するフレキシブル回路基板をさらに含む。
上記の音響学の通孔が上記のフレムレスのデバイス上の音響学の開口と整列している。
好ましいのは、上記のMEMSマイクロホンは上記のMEMSマイクロホンを上記のフレムレスのデバイスに固定するサポート部品を更に含む。
好ましいのは、上記のMEMSマイクロホンは後入音タイプのマイクロホンである。
好ましいのは、上記の防塵メッシュ層はシリコン系の材料からなる防塵メッシュ層である。
好ましいのは、上記のMEMSマイクロホンはフレムレスのデバイスに使われる。
上記の技術方案の有益な効果が以下の通りである。
1)一つのフレムレスのデバイスに使われるMEMSマイクロホンを採用し、適用範囲が拡大され、例えば、スマートフォンやカメラなどのハイテク電子技術分野にも適用される。
2)採用されている上記のMEMSマイクロホンの性能は従来のMEMSマイクロホンより高い。
図1は、本発明の一つのフレムレスのデバイスにおけるMEMSマイクロホンの構造全体図である。 図2は、本発明の一つのフレムレスのデバイスにおけるMEMSマイクロホンの装置の図である。 図3は、本発明の一つのフレムレスのデバイスにおけるMEMSマイクロホンの正面図である。 図4は、本発明の一つのフレムレスのデバイスにおけるMEMSマイクロホンの底面図である。
以下は添付した図面を参照して、本発明の技術方案を明瞭に、完全的に説明する。明らかに、説明する実施形態はただ本発明の一部の実施形態であり、すべての実施形態ではない。当業者に対して、本発明の実施形態に基づいて、創造的な労働がなく、取得したすべての他の実施形態が本発明の保護範囲に属する。
注意すべきは、衝突しない場合、本発明の実施形態及び実施形態にある特徴を組み合わせることができる。
以下、図1、2及び3、並びに具体的な実施形態を結合して本発明を更に説明するが、本発明を限定するものではない。
図のように、一つのフレムレスのデバイスにおけるMEMSマイクロホンは基板を含み、その基板は第一基板区域7と第二基板区域11を含み、その第一基板区域7に音響学センサー10が配置され、その第二基板区域11に複数のパッドが配置され、そのパッドが第二基板区域に均一に分布し;上記の第一基板区域7と第二基板区域11がその基板の同じ側に設置され、音響学の通孔4がその第一基板区域7に設置されている。
本発明の好ましい実施形態の中で、上記の第一基板区域7の上にMEMSチップ12と特定の集積回路チップ6も設けられ、上記の音響学センサー10と、上記の特定の集積回路チップ6と上記のMEMSチップ12とが一つの金属カバー体9に覆われている。
本発明の好ましい実施形態の中で、上記の第一基板区域7に防塵メッシュ層8が配置され、上記の音響学の通孔4がその防塵メッシュ層8に覆われている。
本発明の好ましい実施形態の中で、上記の基板が長いストリップ状である。
フレムレスのデバイスに使われるマイクロホンの接続構造が上記のMEMSマイクロホンにある複数のパッドをフレムレスのデバイスの回路基板に接続するフレキシブル回路基板3をさらに含む。
本発明の好ましい実施形態の中で、上記の音響学の通孔4が上記のフレムレスのデバイス5上の音響学の開口と整列している。
本発明の好ましい実施形態の中で、上記のMEMSマイクロホン1は上記のMEMSマイクロホン1を上記のフレムレスのデバイス5に固定するサポート部品2を更に含む。
本発明の好ましい実施形態の中で、上記のMEMSマイクロホン1は後入音タイプのマイクロホンであり、前入音タイプのMEMSマイクロホンよりよい性能を持つ。
本発明の好ましい実施形態の中で、上記の防塵メッシュ層8はシリコン系の材料からなる防塵メッシュ層であり、防水性の上に高温に耐えられる。
本発明の好ましい実施形態の中で、上記のMEMSマイクロホンはフレムレスのデバイスに使われる。
以上述べたのはただ本発明の好ましい実施形態だけであり、本発明の実施形態及び保護範囲を限定するものではなく、当業者にとって、本発明の説明書及び図面に示す内容により作られた均等な置換や明らかな変更によって得られた方案は、いずれも本発明の保護範囲内に含まれるべきである。
以下に、本願出願の当初の特許請求の範囲に記載された発明を付記する。
[1]
基板を含み、
上記の基板は第一基板区域と第二基板区域を含み、上記の第一基板区域に音響学センサーが配置され、上記の第二基板区域に複数のパッドが均一的に配置され、上記の第一基板区域と上記の第二基板区域が上記の基板の同じ側に設置され、音響学の通孔が上記第一基板区域に設置されていることを特徴とするフレムレスのデバイスにおけるMEMSマイクロホン。
[2]
上記のフレムレスのデバイスにおけるMEMSマイクロホンにおいて、
上記の第一基板区域に特定の集積回路チップとMEMSチップも設けられ、上記の音響学センサーと上記の特定の集積回路チップとが一つの金属カバー体に覆われることを特徴とする[1]のMEMSマイクロホン。
[3]
上記のフレムレスのデバイスにおけるMEMSマイクロホンにおいて、
上記の第一基板区域の裏側に防塵メッシュ層が配置され、上記の音響学の通孔が上記の防塵メッシュ層に覆われることを特徴とする[1]のMEMSマイクロホン。
[4]
上記のフレムレスのデバイスにおけるMEMSマイクロホンにおいて、
上記の基板が長いストリップ状であることを特徴とする[1]のMEMSマイクロホン。
[5]
上記の[1]から[4]までの任意のMEMSマイクロホンを含み、更に、上記のMEMSマイクロホンにある複数のパッドを上記のフレムレスのデバイスの回路基板に接続するフレキシブル回路基板を含み、
上記の音響学の通孔が上記のフレムレスのデバイスの回路基板にある音響学の開口と整列していることを特徴とするフレムレスのデバイスに使われるマイクロホンの接続構造。
[6]
上記のフレムレスのデバイスに使われるマイクロホンの接続構造において、上記のMEMSマイクロホンを上記のフレムレスのデバイスに固定するサポート部品を更に含むことを特徴とする[5]のマイクロホンの接続構造。
[7]
上記のフレムレスのデバイスに使われるマイクロホンの接続構造において、上記のMEMSマイクロホンは後入音タイプのマイクロホンであることを特徴とする[5]のマイクロホンの接続構造。
[8]
上記のフレムレスのデバイスに使われるマイクロホンの接続構造において、上記の防塵メッシュ層はシリコン系の材料からなる防塵メッシュ層であることを特徴とする[5]のマイクロホンの接続構造。
[9]
上記のフレムレスのデバイスに使われるマイクロホンの接続構造において、上記のMEMSマイクロホンはフレムレスのデバイスに使われることを特徴とする[5]のマイクロホンの接続構造。
1…MEMSマイクロホン;2…サポート部品;3…フレキシブル回路基板;4…音響学の通孔;5…フレムレスのデバイス;6…集積回路チップ;7…第一基板区域;8…防塵メッシュ層;9…金属カバー体;10…音響学センサー;11…第二基板区域;12…MEMSチップ。

Claims (7)

  1. フレムレスのデバイスに使われるMEMSマイクロホンの接続構造であって、
    基板と、
    フレキシブル回路基板と、を含み、
    上記の基板は第一基板区域と第二基板区域を含み、上記の第一基板区域に音響学センサーが配置され、上記の第二基板区域に複数のパッドが均一的に配置され、上記の第一基板区域と上記の第二基板区域が上記の基板の同じ側に設置され、音響学の通孔が上記第一基板区域に設置されており、
    上記の第一基板区域の裏側に防塵メッシュ層が配置され、上記の音響学の通孔が上記の防塵メッシュ層に覆われており、
    上記のフレキシブル回路基板は、上記のMEMSマイクロホンにある複数のパッドを上記のフレムレスのデバイスの回路基板に接続し、
    上記の音響学の通孔が上記のフレムレスのデバイス上にある音響学の開口と整列していることを特徴とするMEMSマイクロホンの接続構造
  2. 上記のMEMSマイクロホンを上記のフレムレスのデバイスに固定するサポート部品を更に含むことを特徴とする請求項MEMSマイクロホンの接続構造。
  3. 上記のMEMSマイクロホンは後入音タイプのマイクロホンであることを特徴とする請求項MEMSマイクロホンの接続構造。
  4. 上記の防塵メッシュ層はシリコン系の材料からなる防塵メッシュ層であることを特徴とする請求項MEMSマイクロホンの接続構造。
  5. 上記のMEMSマイクロホンは上記のフレムレスのデバイスに使われることを特徴とする請求項MEMSマイクロホンの接続構造。
  6. 上記の第一基板区域に特定の集積回路チップとMEMSチップも設けられ、上記の音響学センサーと上記の特定の集積回路チップとが一つの金属カバー体に覆われることを特徴とする請求項MEMSマイクロホンの接続構造
  7. 上記の基板が長いストリップ状であることを特徴とする請求項MEMSマイクロホンの接続構造
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