CN211090109U - 一种pcb以及应用该pcb的mems传感器 - Google Patents
一种pcb以及应用该pcb的mems传感器 Download PDFInfo
- Publication number
- CN211090109U CN211090109U CN201921600465.5U CN201921600465U CN211090109U CN 211090109 U CN211090109 U CN 211090109U CN 201921600465 U CN201921600465 U CN 201921600465U CN 211090109 U CN211090109 U CN 211090109U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- pcb
- copper foil
- hole
- foil layer
- waterproof
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000011889 copper foil Substances 0.000 claims abstract description 42
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 41
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims abstract description 26
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 13
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 10
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 9
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 claims description 5
- 230000006698 induction Effects 0.000 claims description 3
- 239000011148 porous material Substances 0.000 claims description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 16
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 238000004026 adhesive bonding Methods 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000003292 glue Substances 0.000 description 2
- 230000009931 harmful effect Effects 0.000 description 2
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 description 2
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 230000014509 gene expression Effects 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 238000005459 micromachining Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000002035 prolonged effect Effects 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 1
- 238000004078 waterproofing Methods 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Micromachines (AREA)
Abstract
本实用新型涉及一种PCB以及应用该PCB的MEMS传感器。其中,所述PCB的结构为:包括PCB本体,在所述PCB本体上设置有第一通孔,在所述PCB本体上设置有铜箔层,所述铜箔层上对应于所述第一通孔的位置设置有第二通孔;还包括防水组件,所述防水组件设置在所述第一通孔内并与所述铜箔层结合在一起,所述防水组件包括支撑体和连接在所述支撑体上的防水膜,在所述支撑体的中部设置有多个微孔。本实用新型的一个技术效果为:该PCB具有良好的防水效果。
Description
技术领域
本实用新型涉及传感器技术领域,更具体地,本实用新型涉及一种PCB以及应用该PCB的MEMS传感器。
背景技术
传感器作为一种检测器件,现如今已经被普遍地应用在手机、笔记本电脑、平板电脑、智能手表以及智能穿戴设备等诸多电子产品中。近些年来,随着科技的高速发展,微机电系统(MEMS,Micro-Electro-Mechanical System)应运而生,MEMS传感器便是其中的一种。
MEMS传感器是一种利用微机械加工技术制作出来的检测器件。现有的MEMS传感器,其外部封装结构,例如PCB上大多需要开设一个或者多个拾取孔。但是,在拾取孔的位置却没有设置相关的保护结构或者防护结构,这样很容易导致外部的水、油等异物从拾取孔进入到MEMS传感器的内部。特别是,当水进入到MEMS传感器内部后不能及时排出,水就会使MEMS传感器内部的结构遭到损坏,例如,损坏MEMS芯片、ASIC芯片等,进而会造成整个MEMS传感器工作出现异常。而这会给使用者带来极大的不便。研究者们为了解决这一问题,在拾取孔的外部设置了防水膜,但是将防水膜设置在外部,很容易破坏防水膜,造成防水失效。
因此,需要提供一种新的技术方案,以解决上述技术问题。
实用新型内容
本实用新型的一个目的是提供一种PCB以及应用该PCB的MEMS传感器的新技术方案。
根据本实用新型的一个方面,提供一种PCB,包括PCB本体,在所述PCB本体上设置有第一通孔,在所述PCB本体上设置有铜箔层,所述铜箔层上对应于所述第一通孔的位置设置有第二通孔;
还包括防水组件,所述防水组件设置在所述第一通孔内并与所述铜箔层结合在一起,所述防水组件包括支撑体和连接在所述支撑体上的防水膜,在所述支撑体的中部设置有多个微孔。
可选地,所述支撑体为刚性支撑板,所述刚性支撑板的横截面形状与所述第一通孔的横截面形状相匹配。
可选地,所述微孔的孔径为25μm-45μm。
可选地,所述防水膜与所述支撑体胶接。
可选地,所述支撑体通过胶黏剂固定设置在所述通孔内。
可选地,所述支撑体与所述铜箔层结合在一起。
可选地,所述铜箔层的表面上设置有阻焊层。
可选地,所述防水膜与所述铜箔层结合在一起。
根据本实用新型的另一个方面,提供一种MEMS传感器。该MEMS传感器包括外壳和如上所述的PCB,所述外壳和所述PCB围合成具有容纳腔的封装结构,所述容纳腔内收容有MEMS芯片,所述MEMS芯片设置在所述PCB上;
其中,所述铜箔层位于所述PCB本体上设置有所述MEMS芯片的一表面上;或者是,所述铜箔层位于所述PCB本体上远离设置有所述MEMS芯片的一表面上。
可选地,所述MEMS芯片包括衬底和感应膜,所述衬底为中空结构;
所述感应膜设置在所述衬底的一端并覆盖所述中空结构,所述中空结构形成所述背腔,所述衬底的另一端与所述PCB连接。
本实用新型实施例提供的PCB,通过防水组件可以有效阻隔水、油等异物。防水组件位于通孔内部,不易被破坏。将防水膜与支撑体结合在一起构成防水组件,基于支撑体具有一定的强度,便于防水膜的稳定装配,解决了单独采用防水膜时,防水膜较为柔软不易安装的问题。并且,在支撑体上还开设有微孔,有助于使气流通过。
将本实用新型的PCB应用于MEMS传感器内部,可以有效阻隔水、油等异物进入MEMS传感器内部,从而避免水、油等异物对内部的芯片造成不良影响,有助于提高MEMS传感器的性能和延长MEMS传感器的使用寿命。
通过以下参照附图对本实用新型的示例性实施例的详细描述,本实用新型的其它特征及其优点将会变得清楚。
附图说明
构成说明书的一部分的附图描述了本实用新型的实施例,并且连同说明书一起用于解释本实用新型的原理。
图1是根据本公开的一个实施例的MEMS传感器的结构示意图。
图2是根据本公开的另一个实施例的MEMS传感器的结构示意图。
附图标记说明:
1-基板;101-第一通孔;2-外壳;3-铜箔层;301-第二通孔;4-阻焊层;5-MEMS芯片;501-背腔;6-ASIC芯片;7-防水组件;701-防水膜;702-支撑体;7021-微孔;8-胶黏剂。
具体实施方式
现在将参照附图来详细描述本实用新型的各种示例性实施例。应注意到:除非另外具体说明,否则在这些实施例中阐述的部件和步骤的相对布置、数字表达式和数值不限制本实用新型的范围。
以下对至少一个示例性实施例的描述实际上仅仅是说明性的,决不作为对本实用新型及其应用或使用的任何限制。
对于相关领域普通技术人员已知的技术和设备可能不作详细讨论,但在适当情况下,所述技术和设备应当被视为说明书的一部分。
在这里示出和讨论的所有例子中,任何具体值应被解释为仅仅是示例性的,而不是作为限制。因此,示例性实施例的其它例子可以具有不同的值。
应注意到:相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项,因此,一旦某一项在一个附图中被定义,则在随后的附图中不需要对其进行进一步讨论。
本实用新型实施例提供了一种PCB。该PCB可用在多种不同类型的传感器中。传感器例如可以为MEMS传感器等,对此不作限制。
根据本实用新型的一个实施例,提供了一种PCB。如图1和图2所示,所述PCB包括PCB本体1,在所述PCB本体1上设置有第一通孔101,在所述PCB本体1上设置有铜箔层3,所述铜箔层3上对应于所述第一通孔101的位置设置有第二通孔301。并且,所述PCB还包括防水组件7。所述防水组件7设置在所述第一通孔101内并与所述铜箔层3结合在一起。所述防水组件7包括支撑体702和连接在所述支撑体702上的防水膜701,在所述支撑体702的中部设置有多个微孔7021。
本实用新型的PCB,通过防水组件7可以有效阻隔水、油等异物。其中的防水组件7整体位于PCB本体1上第一通孔101的内部,使得防水组件7不易被破坏或损伤,能延长防水组件7的使用寿命。
本实用新型的防水组件7为复合结构,其包括支撑体702以及连接在该支撑体702一表面上的防水膜701。也就是说,将防水膜701贴合在支撑体702上,由支撑体702来承载防水膜701。其中,支撑体702本身具有一定的强度。例如,支撑体702可以为刚性支撑板。由于防水膜701本身比较柔软,在装配时不方便,不易将其牢固的固定住。将防水膜701先与支撑体702结合在一起,可以赋予防水膜701一定的强度。此时,有助于防水膜701的稳定装配,还可以延长防水膜701的使用寿命。
其中,防水膜701可以阻止水通过,但是不会阻止振动气流通过。具体来说:外部的振动气流可以引起防水膜701振动,防水膜701的振动会带动防水膜701另一侧的气流振动,从而将声波等传过防水膜701。并且,防水膜701与铜箔层3、支撑体702之间具有一定的间隙,该间隙用于形成供防水膜701振动的空间。用以使防水膜701在振动的过程中不会撞击到铜箔层3和支撑体702。
本实用新型中,将防水组件7设置在PCB本体1上的第一通孔101内。为了实现良好的装配关系,防水组件7的形状和尺寸应当与第一通孔101的形状和尺寸相匹配。否则不利于装配。在本实用新型的一个可选的例子,防水组件7包括支撑体702和连接在该支撑体702上的防水膜701,其中的支撑体702为刚性支撑板,该刚性支撑板的横截面形状和尺寸与第一通孔101的横截面形状和尺寸相匹配。防水膜701被预先贴装在刚性支撑板的一个表面上。并且,在刚性支撑板的中部设置有多个微孔7021。多个微孔7021呈均匀分布。其中,微孔7021的孔径可以控制在25μm-45μm。
需要说明的是,本领域技术人员可以根据实际需要调整微孔7021的设置数量,对此不作限制。此外,微孔7021例如可以为圆孔、椭圆孔、方孔、三角孔等。
为了使支撑体702牢固、稳定的设置在PCB本体1上的第一通孔101内,例如可以将所述支撑体702通过胶黏剂8固定设置在所述第一通孔101内。用以防止支撑体702从第一通孔101中脱落。
本实用新型的防水组件7,其中的防水膜701与支撑体702连接在一起。例如,防水膜701可以通过胶黏剂与支撑体702胶接。采用胶接的方式比较简单,且成本较低。该方式可以使防水膜701牢固的贴合在支撑体702上,防水膜701不易脱落。
本实用新型中,在PCB本体1上还设置有铜箔层3。如图1和图2所示,所述PCB本体1具有两个表面,铜箔层3可以位于PCB本体1的任一表面上。由于防水组件7需要与铜箔层3结合,依据铜箔层3在PCB本体1上不同的设置位置,防水组件7也有不同的装配方式。
在本实用新型一个可选的例子中,如图1所示,在对防水组件7进行装配时,将防水组件7中的支撑体702与铜箔层3结合在一起。即,通过支撑体702将防水膜701连接到铜箔层3上。例如,支撑体702与铜箔层3可以采用胶接的方式连接。当然,也可以采用本领域技术人员熟知的其它方式连接,对此不作限制。为了使支撑体702牢固的设置在第一通孔101的内部,可以向第一通孔101内灌注胶黏剂8(例如,胶水),即将支撑体702通过胶黏剂8固定设置在第一通孔101内。可以防止PCB因受到较大振动等作用而导致防水组件7脱离、掉落,使PCB失去防水的功能。此外,本实施例中,在铜箔层3上还设置有阻焊层4。阻焊层4用于保护线路,避免氧化以及焊接短路现象出现。
在本实用新型另一个可选的例子中,如图2所示,在对防水组件7进行装配时,将防水组件7中的防水膜701与铜箔层3结合在一起。即,将防水膜701与铜箔层3连接。例如,将防水膜701通过胶黏剂与铜箔层3胶接。此时,防水膜701位于铜箔层3与支撑体702之间。铜箔层3与支撑体702可以对防水膜701起到良好的保护作用。为了使支撑体702牢固的设置在第一通孔101的内部,可以向第一通孔101内灌注胶黏剂8(例如,胶水),即使支撑体702通过胶黏剂8固定设置在第一通孔101内。
另一方面,本实用新型实施例还提供了一种MEMS传感器,该MEMS传感器应用了上述的PCB。
本实用新型实施例提供的MEMS传感器,如图1和图2所示,其结构为:包括外壳2和上述的PCB,所述外壳2和所述PCB围合成具有容纳腔的封装结构。所述容纳腔内收容有MEMS芯片5,所述MEMS芯片5设置在所述PCB上。例如,PCB本体1上的铜箔层3与MEMS芯片5位于同一侧,即铜箔层3位于PCB本体1上设置有MEMS芯片5的一表面上。又例如,PCB本体1上的铜箔层3与MEMS芯片5分别位于PCB本体1的两侧,即铜箔层3位于PCB本体1的远离设置有MEMS芯片5的一表面上。
本实用新型实施例提供的MEMS传感器,在PCB上设置有防水组件7,通过防水组件7可以有效阻隔外部的水、油等异物进入到MEMS传感器的内部,从而可以避免水、油等异物对内部的MEMS芯片5等部件造成不良影响,有助于提高MEMS传感器的整体性能以及延长MEMS传感器的使用寿命。
本实用新型的外壳2具有敞开端。并且,在外壳2的内部形成腔体。例如,外壳2的材质可以为金属材料、塑料材料或者PCB板等。此外,外壳2的形状可以为圆柱状、长方体状等。本领域技术人员可以根据实际需要对外壳2的材质和形状灵活进行调整,对此不作限制。
本实用新型的PCB密封连接在外壳2的敞开端。例如,PCB与外壳2之间可以通过胶体粘接或者锡膏焊接结合固定在一起。当然,PCB与外壳2之间也可以采用本领域技术人员熟知的其它方式结合在一起。在PCB本体1上设置有第一通孔101。该第一通孔101沿着PCB本体1的厚度方向设置,且该第一通孔101与MEMS芯片5的背腔501相连通。其中,需要说明的是,所述第一通孔101可以为圆孔、方孔等孔型,本领域技术人员可以根据具体需要灵活调整,对此不作限制。在PCB本体1上开设通孔101的难度小,易于加工。此外,在PCB本体1的外侧还设置有多个焊盘。例如,焊盘可以根据需要设置为三个,四个或者更多个。在使用时,直接将焊盘与外部电路连接即可。
本实用新型的MEMS传感器,在其收容腔内收容有MEMS芯片5,同时还可以收容有ASIC芯片6。MEMS芯片5和ASIC芯片6均集成在PCB本体1上。
其中,所述MEMS芯片5包括衬底以及感应膜。衬底为中空结构。感应膜例如为压电元件、电容元件、压阻元件等。感应膜设置在衬底的一端,并覆盖中空结构。该中空结构形成背腔501。衬底的另一端与PCB固定连接。
MEMS芯片5可以通过金属线与ASIC芯片6连接。ASIC芯片6可用于将MEMS芯片5采集到的信号进行放大处理。需要说明的是,ASIC芯片6还可以采用本领域技术人员熟知的其它信号放大器代替,本领域技术人员可以根据需要灵活选择。
其中,MEMS传感器例如可以为MEMS麦克风等,对此不作限制。该MEMS传感器可应用在手机、笔记本电脑、平板电脑、智能手表以及智能穿戴设备等诸多电子产品中。该MEMS传感器旨在避免外部的水、油等异物进入到MEMS传感器的内部,避免影响MEMS传感器的正常使用。
又一方面,本实用新型实施例还提供了一种电子设备。该电子设备包括如前所述的MEMS传感器,该MEMS传感器的具体结构可参照前述的实施例。
所述的电子设备可以是手机、笔记本电脑、平板电脑、智能手表、智能穿戴设备等。
虽然已经通过示例对本实用新型的一些特定实施例进行了详细说明,但是本领域的技术人员应该理解,以上示例仅是为了进行说明,而不是为了限制本实用新型的范围。本领域的技术人员应该理解,可在不脱离本实用新型的范围和精神的情况下,对以上实施例进行修改。本实用新型的范围由所附权利要求来限定。
Claims (10)
1.一种PCB,其特征在于:包括PCB本体,在所述PCB本体上设置有第一通孔,在所述PCB本体上设置有铜箔层,所述铜箔层上对应于所述第一通孔的位置设置有第二通孔;
还包括防水组件,所述防水组件设置在所述第一通孔内并与所述铜箔层结合在一起,所述防水组件包括支撑体和连接在所述支撑体上的防水膜,在所述支撑体的中部设置有多个微孔。
2.根据权利要求1所述的PCB,其特征在于:所述支撑体为刚性支撑板,所述刚性支撑板的横截面形状与所述第一通孔的横截面形状相匹配。
3.根据权利要求1所述的PCB,其特征在于:所述微孔的孔径为25μm-45μm。
4.根据权利要求1所述的PCB,其特征在于:所述防水膜与所述支撑体胶接。
5.根据权利要求1所述的PCB,其特征在于:所述支撑体通过胶黏剂固定设置在所述通孔内。
6.根据权利要求1所述的PCB,其特征在于:所述支撑体与所述铜箔层结合在一起。
7.根据权利要求6所述的PCB,其特征在于:所述铜箔层的表面上设置有阻焊层。
8.根据权利要求1所述的PCB,其特征在于:所述防水膜与所述铜箔层结合在一起。
9.一种MEMS传感器,其特征在于:包括外壳和如权利要求1-8任意一项所述的PCB,所述外壳和所述PCB围合成具有容纳腔的封装结构,所述容纳腔内收容有MEMS芯片,所述MEMS芯片设置在所述PCB上;
所述铜箔层位于所述PCB本体上设置有所述MEMS芯片的一表面上;或者是,所述铜箔层位于所述PCB本体上远离设置有所述MEMS芯片的一表面上。
10.根据权利要求9所述的MEMS传感器,其特征在于:所述MEMS芯片包括衬底和感应膜,所述衬底为中空结构;
所述感应膜设置在所述衬底的一端并覆盖所述中空结构,所述中空结构形成背腔,所述衬底的另一端与所述PCB连接。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201921600465.5U CN211090109U (zh) | 2019-09-24 | 2019-09-24 | 一种pcb以及应用该pcb的mems传感器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201921600465.5U CN211090109U (zh) | 2019-09-24 | 2019-09-24 | 一种pcb以及应用该pcb的mems传感器 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN211090109U true CN211090109U (zh) | 2020-07-24 |
Family
ID=71630102
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201921600465.5U Active CN211090109U (zh) | 2019-09-24 | 2019-09-24 | 一种pcb以及应用该pcb的mems传感器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN211090109U (zh) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112492489A (zh) * | 2020-12-07 | 2021-03-12 | 潍坊歌尔微电子有限公司 | 防水mems麦克风 |
CN112492488A (zh) * | 2020-12-07 | 2021-03-12 | 潍坊歌尔微电子有限公司 | 防水mems麦克风 |
-
2019
- 2019-09-24 CN CN201921600465.5U patent/CN211090109U/zh active Active
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112492489A (zh) * | 2020-12-07 | 2021-03-12 | 潍坊歌尔微电子有限公司 | 防水mems麦克风 |
CN112492488A (zh) * | 2020-12-07 | 2021-03-12 | 潍坊歌尔微电子有限公司 | 防水mems麦克风 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP2352311B1 (en) | Microphone | |
US10531204B2 (en) | Multi-device transducer module, apparatus including the transducer module and method of manufacturing the transducer module | |
US9992563B2 (en) | MEMS microphone | |
US20100322451A1 (en) | MEMS Microphone | |
US9952111B2 (en) | System and method for a packaged MEMS device | |
CN211090109U (zh) | 一种pcb以及应用该pcb的mems传感器 | |
CN101010983B (zh) | 硅电容传声器及其安装方法 | |
WO2022089299A1 (zh) | 骨声纹传感器模组和电子设备 | |
CN209072738U (zh) | 一种mems麦克风 | |
CN110856090A (zh) | 一种新型的抗射频干扰的微机电系统麦克风结构 | |
CN210641123U (zh) | 一种pcb以及应用该pcb的mems传感器 | |
KR102359943B1 (ko) | 마이크로폰 장치 | |
CN109327784B (zh) | 一种无边框设备的mems麦克风 | |
CN116405857A (zh) | 一种降噪式mems麦克风及电子设备 | |
EP2584793A2 (en) | Electret condenser microphone | |
CN216775026U (zh) | Mems芯片、麦克风及电子设备 | |
JP2009260573A (ja) | マイクロホンユニット及びその製造方法 | |
CN207283808U (zh) | 一种高灵敏度的硅麦克风 | |
JP2021502003A (ja) | マイクモジュール、および電子機器 | |
CN114401479A (zh) | 骨声纹传感器及电子设备 | |
CN210807650U (zh) | 一种防水防尘防振硅材料麦克风 | |
CN209627690U (zh) | 一种无边框设备的mems麦克风及麦克风连接结构 | |
CN209072739U (zh) | 一种侧开孔的mems麦克风 | |
US20200045478A1 (en) | Terminal assembly structure of mems microphone | |
CN209120482U (zh) | 一种麦克风组件 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |