JP7400535B2 - ステージ駆動装置、撮像装置、及びステージ駆動装置の製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、ステージ駆動装置、撮像装置、及びステージ駆動装置の製造方法に関する。

駆動対象を支持する可動部（ステージ）を特定の動作平面に沿って移動させるステージ駆動装置で、可動部を駆動させる手段としてボイスコイルモータを用いるものが知られている。固定部と可動部の一方に磁石を設け、固定部と可動部の他方にコイルを設けて、磁界内に位置するコイルに電流を流すことで、可動部を駆動する推力が生じる。この種のステージ駆動装置の適用例として、撮像素子や光学素子を光軸直交方向に動作させる撮像装置用の手振れ補正機構がある。

手振れ補正用のステージ駆動装置では、撮像素子や光学素子の位置及び動作を精密に管理する必要があるため、可動部を安定して円滑に動作させる支持構造が必要とされる。例えば、固定部と可動部の間に球状の転動体を複数箇所に配置し、転動体を介して可動部を移動可能に支持させた構造が用いられる。球状の転動体以外に、ガイドシャフトやガイドレールを用いた支持構造なども知られている。

ステージ駆動装置を構成する各部品の個体差を見込んで、転動体などを介した可動部の支持構造には、所定のクリアランスが設定されている。しかし、クリアランスの分、可動部が本来の動作方向とは異なる方向に位置ずれしたり振動したりする可能性がある。撮像装置の手振れ補正機構に適用した場合には、撮像素子や光学素子の傾きによる像面位置のずれや光学性能の悪化、手振れ補正動作時の異音発生の原因になるおそれがある。撮像装置で動画撮影を行っているときには、撮像装置内で生じた異音も音声として記録されてしまうので、動画撮影可能な撮像装置では特に、手振れ補正用のステージ駆動装置からの異音を抑制すること求められる。

ステージ駆動装置では、支持構造のクリアランスによる可動部の位置ずれや振動を防ぐ対策として、付勢手段によって可動部を固定部側に引き付けることが行われる。付勢手段として、磁気バネを用いる技術が特許文献１に記載されている。磁気バネは、固定部と可動部の一方に、ボイスコイルモータの磁石を設け、固定部と可動部の他方に、磁石からの磁気吸引力を受ける磁性体を設けて構成される。引張バネや圧縮バネなどの機械的なバネ手段に比して、磁気バネは簡易且つ省スペースに構成できるという利点がある。

特許第６２８４３２０号公報

磁気バネ用の磁性体を設ける場合、磁性体をスペース効率良く配置してステージ駆動装置の大型化を防ぐことが求められる。また、できるだけ小型の磁性体によって効率的に磁気バネの効果を得ることが求められる。また、磁性体の位置精度や安定性を向上させ、ステージ駆動装置の円滑で精度の高い動作精度を実現することが求められる。さらに、磁性体の取り付けの作業性に優れることが求められる。

特許文献１では、可動フレームの表面部分に磁性体を取り付けている。そのため、磁性体を取り付けた状態の可動フレームが大型化することや、磁性体を可動フレームに安定して保持しにくい（磁性体が脱落しやすい）という問題がある。磁性体を強固に可動フレームに固定させるために、磁性体の接着面積を増やすなどの手間が生産時にかかりやすい。また、磁性体を取り付けるための独自構造を可動フレームに設けることで、構造が複雑化するおそれがある。

本発明は、以上の問題意識に基づいてなされたものであり、小型で簡単な構造によって可動部の安定性が得られ、可動部を高精度に駆動制御できるステージ駆動装置及びその製造方法を提供することを目的とする。本発明はまた、小型で簡単な構造によって、ステージ駆動装置で駆動される対象物の安定性と駆動精度に優れる撮像装置を提供することを目的とする。

本発明は、固定部と、固定部に対して動作平面に沿って移動可能に支持された可動部とを有し、固定部と可動部の一方に設けた磁石と他方に設けたコイルを含む駆動手段によって可動部を動作平面に沿って移動させるステージ駆動装置であって、固定部と可動部のうちコイルが設けられる側であるコイル支持要素は、コイルを内部に配置するコイル収容部を備え、コイル収容部の内部に、動作平面と垂直な方向での固定部に対する可動部の位置を安定させる磁性体を設け、コイルの外周部とコイル収容部の内周部との間に磁性体を配置したことを特徴とする。

本発明のステージ駆動装置及びその製造方法によれば、コイル収容部の内部に磁性体を配置することで、磁石と磁性体の間に働く磁力を用いた簡単且つ小型な構造で可動部を安定させることができる。また、コイル収容部の内部に配置した磁性体は、位置精度や安定性に優れており、高精度で安定した可動部の駆動制御を実現できる。また、可動部が撮像素子又は光学素子を支持することで、小型で簡単な構造によって、ステージ駆動装置で駆動される対象物の安定性と駆動精度に優れる撮像装置を得ることができる。

ステージ駆動装置の前方斜視図である。 ステージ駆動装置の後方斜視図である。 ステージ駆動装置を構成する中板の前方斜視図である。 中板の後方斜視図である。 ステージ駆動装置を構成する前ヨークの背面図である。 前ヨークと後ヨークによる中板の支持構造を示す断面図である。 永久磁石とコイルの配置を示す正面図である。 コイルの短手方向に沿って断面視した、ステージ駆動装置の断面図である。 第１の形態の磁気バネ用の磁性体とコイルを中板から取り外した状態の分解斜視図である。 第１の形態の磁気バネ用の磁性体とコイルを中板に取り付けた状態の正面図である。 図１０の一部を拡大した図である。 第２の形態の磁気バネ用の磁性体とコイルを中板から取り外した状態の分解斜視図である。 第２の形態の磁気バネ用の磁性体とコイルを中板に取り付けた状態の正面図である。 図１３の一部を拡大した図である。 磁性体の取り付け構造の変形例を示す図である。

以下、図面を参照して、本発明を適用した実施形態を説明する。図１及び図２に示す本実施形態のステージ駆動装置１０は、撮像装置（不図示）に搭載されるものであり、光学系の光軸ＯＸ（図１及び図３参照）に対して垂直な平面（動作平面）に沿って撮像素子１１（図１０参照）を移動させて手振れ補正を行う。撮像素子１１の前方は、カバーガラス１１ａで覆われている。

以下の説明では、光軸ＯＸに沿う方向を光軸方向と定義する。また、撮像装置にステージ駆動装置１０を搭載した状態での、撮像装置の前後、上下、左右の各方向を図中に矢印で示した。本実施形態において光軸方向は撮像装置の前後方向と一致しており、光軸方向における被写体側が撮像装置の前方、像側が撮像装置の後方となる。なお、本実施形態では、光軸ＯＸに沿って各光学要素を直線的に配置した光学系を想定しているが、撮像素子１１の受光面上に被写体像を形成する光学系はどのようなものでもよい。例えば、プリズムなどの反射光学素子を含む屈曲光学系であってもよく、屈曲光学系を用いた場合、撮像装置の前後、上下、左右の各方向と、各図中に示すステージ駆動装置１０の向きとの対応関係が異なる場合もある。

ステージ駆動装置１０は、撮像装置の内部に固定される固定部と、固定部に対して可動に支持される可動部とを有している。固定部として、前ヨーク２０と後ヨーク３０を有する。可動部として中板４０を有する。中板４０は、後述するコイル６０（６０Ａ，６０Ｂ，６０Ｃ，６０Ｄ）を支持するコイル支持要素である。前ヨーク２０と後ヨーク３０と中板４０はそれぞれ光軸ＯＸに対して垂直な方向（動作平面に沿う方向）に広がりを持つ板状体であり、光軸方向で前方に前ヨーク２０、後方に後ヨーク３０が位置し、前ヨーク２０と後ヨーク３０の間に中板４０が配置される。

前ヨーク２０と後ヨーク３０はそれぞれ、軟鉄などの磁性体からなる。図１及び図５に示すように、前ヨーク２０は、左右方向に延びる下板部２１と、上下方向に延びる左板部２２及び右板部２３とを有し、左板部２２と右板部２３の下端部を下板部２１で接続したコ字状の概略形状である。図２に示すように、後ヨーク３０は、前ヨーク２０と概ね対応する構成であり、上下方向に延びる左板部３２及び右板部３３の下端部を、下板部３１で接続したコ字状の概略形状を有する。前ヨーク２０と後ヨーク３０はそれぞれ、光軸ＯＸに沿う正面視（背面視）で、撮像素子１１の左右と下方を囲むように構成されている。

図１及び図５に示すように、前ヨーク２０には、３つの支持案内部２４が設けられている。下板部２１における左右方向の中央付近に配置したものを支持案内部２４Ａ、左板部２２の上端近くに配置したものを支持案内部２４Ｂ、右板部２３の上端近くに配置したものを支持案内部２４Ｃとする。図６に示す支持案内部２４の断面構造は、３箇所の支持案内部２４Ａ，２４Ｂ，２４Ｃに共通するものである。

図６に示すように、各支持案内部２４は、球状の転動体２５と、リテーナ２６と、調整ネジ２７と、調整バネ２８と、を有している。リテーナ２６は、前ヨーク２０に形成した前後方向への貫通孔に挿入されており、フランジ２６ａが前ヨーク２０の後面に接触して、前ヨーク２０に対するリテーナ２６の前方への移動を規制する。リテーナ２６の後方を向く端部には、内部に転動体２５を収めた収容孔２６ｂが形成されている。調整ネジ２７は、雄ネジが形成された軸部２７ａをリテーナ２６内のネジ孔に螺合させており、軸部２７ａよりも大径の頭部２７ｂが前ヨーク２０の前面側に位置している。頭部２７ｂとリテーナ２６の間に、調整バネ２８が挿入されている。軸部２７ａの先端が転動体２５に当接し、調整ネジ２７の締め込み量に応じて転動体２５の前後方向位置（収容孔２６ｂからの突出量）が変化する。調整バネ２８は、リテーナ２６と調整ネジ２７の間のガタつきを除去する。

図２に示すように、後ヨーク３０には、３つの支持案内部３４が設けられている。下板部３１における左右方向の中央付近に配置したものを支持案内部３４Ａ、左板部３２の上端近くに配置したものを支持案内部３４Ｂ、右板部３３の上端近くに配置したものを支持案内部３４Ｃとする。図６に示す支持案内部３４の断面構造は、支持案内部３４Ａ，３４Ｂ，３４Ｃに共通するものである。

図６に示すように、各支持案内部３４は、球状の転動体３５と、転動体３５を内部に収めた収容孔３６と、押さえ板３７と、を有している。収容孔３６は、後ヨーク３０を前後方向に貫通する貫通孔である。押さえ板３７は、後ヨーク３０の後面側にリベット留めで固定されて、収容孔３６の後部を塞ぐ。転動体３５は、押さえ板３７によって後方への移動が規制され、後ヨーク３０の前面よりも前方に突出する。

図３及び図４に示すように、中板４０は、左右方向に延びる下板部４１と、上下方向に延びる左板部４２及び右板部４３を有し、左板部４２及び右板部４３の下端部を下板部４１で接続している。また、左板部４２と右板部４３の上端部を上辺部４４で接続している。下板部４１と左板部４２と右板部４３と上辺部４４に囲まれる空間に、撮像素子基板４５が取り付けられている。撮像素子基板４５の前面側に撮像素子１１（図１０参照）が取り付けられており、撮像素子基板４５の後面側にはコネクタ４６が設けられている。撮像素子１１の受光面は、長辺が左右方向に向き、短辺が上下方向に向く、横長形状である。撮像素子１１の受光面の前側がカバーガラス１１ａで覆われている。カバーガラス１１ａは、中板４０の前面側に取り付けた枠部５５によって保持されている。

中板４０の前後から前ヨーク２０と後ヨーク３０を組み合わせると、支持案内部２４Ａと支持案内部３４Ａが前後方向に並び、支持案内部２４Ｂと支持案内部３４Ｂが前後方向に並び、支持案内部２４Ｃと支持案内部３４Ｃが前後方向に並ぶ。中板４０には、これら３箇所の支持案内部２４及び支持案内部３４に挟まれる位置に、３つの被挟持部４７が形成されている。支持案内部２４Ａと支持案内部３４Ａに挟まれる箇所を被挟持部４７Ａ、支持案内部２４Ｂと支持案内部３４Ｂに挟まれる箇所を被挟持部４７Ｂ、支持案内部２４Ｃと支持案内部３４Ｃに挟まれる箇所を被挟持部４７Ｃとする。

各被挟持部４７の前後の面はいずれも、光軸ＯＸに対して垂直な平面である。各被挟持部４７の前面に支持案内部２４側の転動体２５が当て付き、各被挟持部４７の後面に支持案内部３４側の転動体３５が当て付く。各支持案内部２４における調整ネジ２７の締め込み量に応じて、被挟持部４７に対する転動体２５の接触圧を調整できる。

このようにして前ヨーク２０と後ヨーク３０の間に中板４０を組み付けると、前後方向において、下板部４１が下板部２１と下板部３１の間に位置し、左板部４２が左板部２２と左板部３２の間に位置し、右板部４３が右板部２３と右板部３３の間に位置する。

３つの支持案内部２４（転動体２５）と３つの支持案内部３４（転動体３５）によって前後から挟まれた中板４０は、光軸ＯＸに対して垂直な動作平面に沿って移動可能である。転動体２５と転動体３５による支持は、動作平面内での中板４０の移動方向を制限しない。そのため、中板４０は、上下方向や左右方向への直線的な移動だけでなく、上下方向と左右方向の両方の成分を含む斜め方向への移動や、光軸ＯＸと平行な仮想軸を中心とした傾動も行うことができる。

動作平面に沿う中板４０の機械的な最大移動範囲を定めるストッパとして、中板４０に３箇所の貫通部４８が設けられ、各貫通部４８に規制ピン２９（図１参照）が挿入されている。貫通部４８は、下板部４１の中間（被挟持部４７Ａの下方）に１つと、左板部４２と右板部４３の上端付近（被挟持部４７Ｂ，４７Ｃの側方）にそれぞれ１つずつ形成されている。左板部４２と右板部４３に設けた各貫通部４８は、左右方向に延びる一対の内面と上下方向に延びる一対の内面で囲まれる矩形状の孔である。下板部４１に設けた貫通部４８は、下方が開放されたコ字状の凹部である点が、他の２つの貫通部４８と異なっている。各規制ピン２９は、前ヨーク２０と後ヨーク３０に固定されている。中板４０は、各貫通部４８の内面が規制ピン２９に当接するまでの範囲で動作平面に沿って移動可能であり、各貫通部４８の内面が規制ピン２９に当接すると、それ以上の移動が規制される。各規制ピン２９の外面にはゴムなどの弾性体が取り付けられている。規制ピン２９によって中板４０の移動を規制する際に、規制ピン２９に取り付けた弾性体が、貫通部４８の内面に対して当接する。これにより、衝突による異音や衝撃を抑制できる。

球状の転動体２５や転動体３５に対して平滑な平面である被挟持部４７を接触させた構成であるため、中板４０の移動の際には、抵抗の少ない円滑な動作を実現できる。また、左右方向に離れた２箇所の支持位置（支持案内部２４Ｂ及び支持案内部３４Ｂ、支持案内部２４Ｃ及び支持案内部３４Ｃ）と、これら２箇所に対して上下方向及び左右方向に位置を異ならせた１箇所の支持位置（支持案内部２４Ａ及び支持案内部３４Ａ）の、計３箇所で中板４０を支持するので、上記動作平面に対する中板４０の傾きを防ぐことができる。

ステージ駆動装置１０は、上記の動作平面に沿って中板４０を移動させる駆動手段として、磁気回路内に配したコイルに通電して推力を発生させるボイスコイルモータを備えている。ボイスコイルモータは、前ヨーク２０と後ヨーク３０の間に永久磁石５０とコイル６０を配して構成されている。

図５に示すように、複数の永久磁石５０が前ヨーク２０の後面側に取り付けられている。より詳しくは、下板部２１に２セット、左板部２２と右板部２３にそれぞれ１セットの、計４セットの永久磁石５０が配される。下板部２１に配した２セットを、左側から順に永久磁石５０Ａ，５０Ｂとし、左板部２２に配した１セットを永久磁石５０Ｃとし、右板部２３に配した１セットを永久磁石５０Ｄとする。

各セットの永久磁石５０は、一対の分割磁石５１，５２で構成されている。分割磁石５１，５２は、前ヨーク２０に対して接着などで固定される。分割磁石５１と分割磁石５２はそれぞれ、細長い矩形状であり、互いの長手方向を平行にして配置される。分割磁石５１と分割磁石５２の間には隙間５３が存在する。前ヨーク２０には、隙間５３を形成するためのスペーサ５４が設けられている。分割磁石５１がスペーサの５４の一方の側部に沿って配置され、分割磁石５２がスペーサの５４の他方の側部に沿って配置される。

下板部２１に配した永久磁石５０Ａと永久磁石５０Ｂでは、それぞれの分割磁石５１と分割磁石５２が長手方向を左右方向に向けており、分割磁石５１と分割磁石５２の間に上下方向の隙間５３がある。左板部２２と右板部２３に配した永久磁石５０Ｃと永久磁石５０Ｄでは、分割磁石５１と分割磁石５２が長手方向を上下方向に向けており、分割磁石５１と分割磁石５２の間に左右方向の隙間５３がある。

図３に示すように、複数のコイル６０が中板４０に取り付けられている。より詳しくは、下板部４１に２つ、左板部４２と右板部４３にそれぞれ１つずつの、計４つのコイル６０が配される。下板部４１に配したものを左側から順にコイル６０Ａ，６０Ｂとし、左板部４２に配したものコイル６０Ｃとし、右板部４３に配したものをコイル６０Ｄとする。

各コイル６０は、中板４０の下板部４１と左板部４２と右板部４３のそれぞれに形成したコイル収容部４９の内部に配置されている。各コイル収容部４９は、中板４０を前後方向に貫通する貫通孔として形成されている。４つのコイル６０Ａ，６０Ｂ，６０Ｃ，６０Ｄが内部に配置される４つのコイル収容部４９を、それぞれコイル収容部４９Ａ，４９Ｂ，４９Ｃ，４９Ｄとする。

４つのコイル６０は、フレキシブル基板７０（図４参照）に取り付けられる。フレキシブル基板７０は、中板４０の後面側に取り付けられ、４箇所のコイル収容部４９を後方から塞ぎ、且つ３箇所の被挟持部４７と３箇所の貫通部４８を覆わない形状となっている。フレキシブル基板７０の前面側に各コイル６０が取り付けられ、フレキシブル基板７０を中板４０の後面に貼り付けた状態で、各コイル６０が対応するコイル収容部４９内に収まる。この状態で、各コイル６０の前面が中板４０の前面側に露出する（図３参照）。

各コイル６０は、空芯部６５を囲んで導線を巻回した空芯コイルである。図７に示すように、空芯部６５を挟む位置関係にある一対の平行な長辺部（直線状部）６１，６２で導線が直線状に延びており、長辺部６１と長辺部６２の両端を一対の短辺部（直線状部）６３，６４が接続している。短辺部６３，６４においても導線が直線状に延びている。長辺部６１，６２を長くすることによって、コイル６０に通電したときに生じる推力を大きくさせることができる。

下板部４１に配したコイル６０Ａとコイル６０Ｂでは、長辺部６１と長辺部６２の延設方向（長手方向）が左右方向に向いており、長辺部６１と長辺部６２は空芯部６５を介して上下方向に間隔を開けている。また、短辺部６３と短辺部６４の延設方向（長手方向）が上下方向に向いており、短辺部６３と短辺部６４は空芯部６５を介して左右方向に間隔を開けている。

左板部４２と右板部４３に配したコイル６０Ｃとコイル６０Ｄでは、長辺部６１と長辺部６２の長手方向が上下方向に向いており、長辺部６１と長辺部６２は空芯部６５を介して左右方向に間隔を開けている。また、短辺部６３と短辺部６４の長手方向が左右方向に向いており、短辺部６３と短辺部６４は空芯部６５を介して上下方向に間隔を開けている。

光軸方向に沿って見たときの各永久磁石５０と各コイル６０の関係（投影位置）を、図７に示した。また、前ヨーク２０と後ヨーク３０の間に中板４０を支持した状態の各永久磁石５０と各コイル６０付近の断面構造を図８に示した。図７及び図８に示す構造は、４箇所の永久磁石５０及びコイル６０に共通するものである。

なお、図７及び図８は、中板４０が初期位置にある場合の永久磁石５０とコイル６０の位置関係を示している。初期位置とは、永久磁石５０に対してコイル６０が、上下方向と左右方向のいずれにも偏りなく位置している設計上の基準位置である。撮像装置との関係では、光学系の光軸ＯＸが撮像素子１１の所定位置（例えば、受光面の外形中心）を通る状態が、中板４０の初期位置として設定される。

永久磁石５０においては、図７のように光軸方向に沿って見たときの、各分割磁石５１，５２の長手方向への大きさを「長さ」とし、各分割磁石５１，５２の短手方向への大きさを「幅」とする。コイル６０においては、図７のように光軸方向に沿って見たときの、各長辺部６１，６２の延設方向への大きさを「長さ」、各短辺部６３，６４の延設方向への大きさを「幅」とする。また、図８に示すステージ駆動装置１０の各部の前後方向への大きさを「厚さ（厚み）」とする。

図７を参照して、永久磁石５０とコイル６０の大きさ及び位置関係について説明する。永久磁石５０を構成する分割磁石５１と分割磁石５２は、長さが同じであり、互いに長手方向の位置を揃えて配置されている。従って、個々の分割磁石５１，５２の長さＬ１と、永久磁石５０全体の長さ（外形長）Ｌ１は一致している。分割磁石５１と分割磁石５２は、互いに同じ幅Ｗ１ａを有している。分割磁石５１の幅Ｗ１ａと分割磁石５２の幅Ｗ１ａと隙間５３の幅Ｗ１ｂを合わせたものが、永久磁石５０全体としての幅（外形幅）Ｗ１になる。

コイル６０では、長辺部６１と長辺部６２は互いに同じ幅（導線の巻高）Ｗ２ａを有しており、短辺部６３と短辺部６４は互いに同じ幅（導線の巻高）Ｌ２ａを有している。コイル６０における各長辺部６１，６２の長さは、空芯部６５の長さＬ２ｂに対応している。空芯部６５の長さＬ２ｂに、短辺部６３の幅Ｌ２ａと短辺部６４の幅Ｌ２ａとを加えたものが、コイル６０全体としての長さ（外形長）Ｌ２になる。また、空芯部６５の幅Ｗ２ｂに、長辺部６１の幅Ｗ２ａと長辺部６２の幅Ｗ２ａとを合わせたものが、コイル６０全体としての幅（外形幅）Ｗ２になる。

永久磁石５０全体の幅Ｗ１は、コイル６０全体の幅Ｗ２よりも大きい。分割磁石５１，５２のそれぞれの幅Ｗ１ａは、コイル６０の長辺部６１，６２のそれぞれの幅Ｗ２ａよりも大きい。永久磁石５０の隙間５３の幅Ｗ１ｂは、コイル６０の空芯部６５の幅Ｗ２ｂよりも小さい。

図７に示す初期位置では、コイル６０の各長辺部６１，６２の幅Ｗ２ａが、対応する各分割磁石５１，５２の幅Ｗ１ａの範囲内に位置しており（光軸方向に沿って見て、幅Ｗ２ａの全域が幅Ｗ１ａと重なっており）、各分割磁石５１，５２には、各長辺部６１，６２とは重ならない幅方向の駆動代Ｇ１，Ｇ２が存在する。

初期位置からコイル６０を幅方向の一方（図７における矢印Ｆ１）に移動させたとき、駆動代Ｇ１の範囲までは、長辺部６１の幅Ｗ２ａ全体が分割磁石５１の幅Ｗ１ａの範囲に収まる状態が維持される。初期位置からコイル６０を幅方向の他方（図７における矢印Ｆ２）に移動させたとき、駆動代Ｇ２の範囲までは、長辺部６２の幅Ｗ２ａ全体が分割磁石５２の幅Ｗ１ａの範囲に収まる状態が維持される。従って、永久磁石５０とコイル６０を幅方向に相対移動させるときに、各長辺部６１，６２が各分割磁石５１，５２と前後方向に正対する（各長辺部６１，６２の投影位置が各分割磁石５１，５２と重なる）関係が、駆動代Ｇ１，Ｇ２の範囲で確保され、この範囲内で永久磁石５０からコイル６０（特に長辺部６１，６２）を逸脱させずに中板４０を移動させることができる。永久磁石５０の幅Ｗ１内にコイル６０の幅Ｗ２が収まっている範囲が、ボイスコイルモータによって中板４０の駆動が制御される際の好適な駆動範囲となる。この好適な駆動範囲は、貫通部４８と規制ピン２９により制限される機械的な中板４０の可動範囲よりも小さい。なお、理想に近い駆動特性を得るためには、駆動代Ｇ１，Ｇ２の範囲で永久磁石５０とコイル６０の長辺部６１，６２が重なる関係を維持することが望ましいが、装置の小型化などを優先して、コイル６０の幅方向での駆動範囲が、永久磁石５０とコイル６０の長辺部６１，６２が重ならない領域を含むように設定することも可能である。

コイル６０全体の長さ（外形長）Ｌ２は、空芯部６５の長さＬ２ｂよりも大きく、この空芯部６５の長さＬ２ｂが、各長辺部６１，６２の実質的な長さに相当する。永久磁石５０の各分割磁石５１，５２の長さＬ１は、コイル６０全体の長さＬ２よりも大きい。

図７に示す初期位置では、空芯部６５の長さＬ２ｂが、各分割磁石５１，５２の長さＬ１の範囲内に位置しており、各分割磁石５１，５２には、各長辺部６１，６２とは重ならない長手方向の駆動代Ｈ１，Ｈ２が存在する。

初期位置からコイル６０を長手方向の一方と他方に移動させたとき、駆動代Ｈ１，Ｈ２の範囲までは、長辺部６１，６２の長さの全体が、対応する分割磁石５１，５２の長さの全体に収まる状態が維持される。従って、永久磁石５０とコイル６０を長手方向に相対移動させるときに、各長辺部６１，６２が各分割磁石５１，５２と前後方向に正対する（各長辺部６１，６２の投影位置が各分割磁石５１，５２と重なる）関係が、駆動代Ｈ１，Ｈ２の範囲で確保され、この範囲内で永久磁石５０からコイル６０（特に長辺部６１，６２）を逸脱させずに中板４０を移動させることができる。永久磁石５０の長さＬ１内に空芯部６５（長辺部６１，６２）の長さＬ２ｂが収まっている範囲が、ボイスコイルモータによって中板４０の駆動が制御される際の好適な駆動範囲となる。この好適な駆動範囲は、貫通部４８と規制ピン２９により制限される機械的な中板４０の可動範囲よりも小さい。なお、理想に近い駆動特性を得るためには、駆動代Ｈ１，Ｈ２の範囲で永久磁石５０とコイル６０の長辺部６１，６２が重なる関係を維持することが望ましいが、装置の小型化などを優先して、コイル６０の長手方向での駆動範囲が、永久磁石５０とコイル６０の長辺部６１，６２が重ならない領域を含むように設定することも可能である。

続いて、図８を参照して、前後方向におけるステージ駆動装置１０の各部の厚さについて説明する。前ヨーク２０の前面から後ヨーク３０の後面までが、ステージ駆動装置１０全体の厚さＴ１である。厚さＴ１から、前ヨーク２０の厚さＴ２と後ヨーク３０の厚さＴ３と永久磁石５０の厚さＴ４を引くと、空隙厚さＴ５となる。空隙厚さＴ５は、永久磁石５０の後面から後ヨーク３０の前面までの前後方向寸法を表しており、この空隙厚さＴ５内には、コイル６０（コイル収容部４９内にコイル６０を収容した中板４０を含む）が位置する。前後方向へのコイル６０の厚さ（導線の巻厚）Ｔ６は、空隙厚さＴ５よりも小さい。永久磁石５０の後面とコイル６０の前面の間には空間Ｕ１があり、コイル６０の後面と後ヨーク３０の前面の間には空間Ｕ２がある。空間Ｕ２には、フレキシブル基板７０が配置されている。

永久磁石５０の分割磁石５１と分割磁石５２は、図８に示すように着磁されており、前ヨーク２０と後ヨーク３０の間で、前後方向への磁界の向きが形成される。この磁界内にコイル６０が位置しており、分割磁石５１と長辺部６１が前後方向に対向し、分割磁石５２と長辺部６２が前後方向に対向している。コイル６０に通電すると、フレミングの左手の法則によって、磁界の向き（前後方向）及び長辺部６１，６２に沿う電流の向き（図８の紙面直交方向）に対して垂直な推力Ｆが発生する。コイル６０Ａとコイル６０Ｂでは、長辺部６１及び長辺部６２に沿って左右方向に電流が流れるため、上下方向への推力Ｆが生じる。コイル６０Ｃとコイル６０Ｄでは、長辺部６１及び長辺部６２に沿って上下方向に電流が流れるため、左右方向への推力Ｆが生じる。

４つのコイル６０への通電を適宜制御することによって、光軸ＯＸに対して垂直な動作平面内で、中板４０を任意の位置に移動させることができる。そして、撮像素子１１の受光面の長辺部分に沿う２箇所（永久磁石５０Ａ及びコイル６０Ａ、永久磁石５０Ｂ及びコイル６０Ｂ）と、撮像素子１１の受光面の短辺部分に沿う２箇所（永久磁石５０Ｃ及びコイル６０Ｃ、永久磁石５０Ｄ及びコイル６０Ｄ）に永久磁石５０とコイル６０を配したので、中板４０に対してバランス良く高い駆動力を与えることができる。

コイル６０の空芯部６５の内側には磁気センサ６６が設けられている。磁気センサ６６は、フレキシブル基板７０の前面側に取り付けられており、コイル６０と同様に、中板４０と共に移動する。磁気センサ６６はホール素子からなり、中板４０の移動で永久磁石５０との相対位置が変化することに伴う磁界の状態変化を、磁気センサ６６で検出する。

本実施形態で磁気センサ６６が配されるのは、３つのコイル６０Ａ，６０Ｂ，６０Ｃの３つの空芯部６５の内側であり、残る１つのコイル６０Ｄの空芯部６５には磁気センサ６６が配されていない。コイル６０Ａ，６０Ｂ，６０Ｃのそれぞれの空芯部６５内に配置されている磁気センサ６６を、磁気センサ６６Ａ，６６Ｂ，６６Ｃとして区別する。下側の磁気センサ６６Ａ，６６Ｂによって、主に上下方向での中板４０の位置を検出し、左側の磁気センサ６６Ｃによって、主に左右方向での中板４０の位置を検出する。そして、各磁気センサ６６Ａ，６６Ｂ，６６Ｃの検出信号に基づいて、光軸ＯＸに対して垂直な動作平面内での中板４０の位置や姿勢の変化を検出することができる。

図４に示すように、フレキシブル基板７０は、中板４０の後面に貼り付けられる板状の固定部分から延設される帯状部７１を有する。本実施形態のステージ駆動装置１０は、固定部である前ヨーク２０側に永久磁石５０が取り付けられ、可動部である中板４０側にコイル６０が取り付けられた、いわゆるムービング・コイル型の構造である。そのため、中板４０を移動させる際には、中板４０に取り付けられたフレキシブル基板７０も追随して移動する。帯状部７１は可撓性を有しており、フレキシブル基板７０が中板４０に追随して移動するときの抵抗を抑制する。

図２及び図４に概念的に示すように、ステージ駆動装置１０は、撮像装置を統括的に制御する制御部７２と電気的に接続される。撮像素子１１での光電変換を経て得られた被写体の画像信号が、コネクタ４６に接続するフレキシブル基板（不図示）を通して制御部７２に送られ、画像処理回路によって処理されて所定の画像データに変換される。

各コイル６０と各磁気センサ６６は、フレキシブル基板７０の帯状部７１を介して制御部７２に接続されている。制御部７２は、各コイル６０への通電を制御して、中板４０を駆動させる。各磁気センサ６６で検出した信号が制御部７２に送信され、当該信号に基づいて、制御部７２が中板４０（撮像素子１１）の位置情報などを取得する。

撮像装置の姿勢や挙動が姿勢検出センサ７３によって検出され、姿勢検出センサ７３の検出信号が制御部７２に入力される。姿勢検出センサ７３はジャイロセンサなどからなる。姿勢検出センサ７３からの検出信号に基づいて、制御部７２は撮像装置に加わった手振れ（又はその他の原因による撮像装置の挙動）の大きさや方向などの情報を得る。そして、撮像素子１１の受光面上での像振れを解消させるように、コイル６０への通電制御を行う。

ところで、手振れ補正などで撮像素子１１の位置制御を行う際には、中板４０を非常に高速且つ微細に移動させるので、中板４０を支持する構造は、動作抵抗が小さく高レスポンスの動作を実現できることが求められる。その一方、ステージ駆動装置１０を構成する各部品には、製品として成立する範囲内で精度の個体差が存在する。また、複数の部品を組み付ける際の精度のばらつきもある。例えば、球状の転動体２５，３５によって中板４０を支持する構造は、中板４０の円滑な動作を実現できるが、被挟持部４７の前面や後面の面精度や位置精度に応じて、適正な支持状態はステージ駆動装置１０の個体ごとに異なる。そのため、支持案内部２４及び支持案内部３４による被挟持部４７の支持部分に、ごく僅かなクリアランスを設定して、上記のような精度の個体差や組み付け精度のばらつきを吸収できるようにする。本実施形態のステージ駆動装置１０では、このようなクリアランスを設けても、中板４０の安定した動作を実現可能にする手段として、磁気バネを備えている。以下、その詳細を説明する。

図９から図１１は、磁気バネの第１の形態を示している。磁気バネに関する要素として、複数の磁性体８０が中板４０側に取り付けられている。より詳しくは、中板４０のうち、コイル収容部４９Ｃの内部に１セット、コイル収容部４９Ｄの内部に１セットの、計２セットの磁性体８０が配される。コイル収容部４９Ｃの内部に配した１セットを磁性体８０Ａとし、コイル収容部４９Ｄの内部に配した１セットを磁性体８０Ｂとする。なお、図１１には、コイル収容部４９Ｃ，４９Ｄのうちコイル収容部４９Ｃ側のみに存在する磁気センサ６６（６６Ｃ）を記載しているが、磁性体８０Ａと磁性体８０Ｂの構成は共通である。そのため、図１１は、磁性体８０Ａと磁性体８０Ｂの両方に対応しており、磁性体８０Ｂとして見る場合には、図１１から磁気センサ６６（６６Ｃ）を省略するものとする。

図９に示すように、各セットの磁性体８０Ａ，８０Ｂは、一対の分割磁性体８１，８２で構成されている。図１０及び図１１に示すように、分割磁性体８１，８２は、コイル収容部４９Ｃ，４９Ｄの内周部とコイル６０Ｃ，６０Ｄの外周部との間に配置されている。より詳しくは、一方の分割磁性体８１は、各コイル６０Ｃ，６０Ｄの一方の長辺部６１の外周部に沿って配置されており、他方の分割磁性体８２は、各コイル６０Ｃ，６０Ｄの他方の長辺部６２の外周部に沿って配置されている。各分割磁性体８１，８２はそれぞれ薄板状の金属などからなり、コイル収容部４９Ｃ，４９Ｄの内周部とコイル６０Ｃ，６０Ｄの外周部にそれぞれ対向する平面部分を表裏に有する。

各分割磁性体８１，８２は、左右方向から見て細長い矩形状であり、長手方向が上下方向、短手方向（表裏の平面部分の幅方向）が前後方向、厚みの方向（表裏の平面部分を結ぶ方向）が左右方向となるように配置される。各磁性体８０Ａ，８０Ｂにおける各分割磁性体８１，８２の長手方向（上下方向）の大きさを「長さ」とし、各分割磁性体８１，８２の短手方向（前後方向）の大きさを「幅」とする。分割磁性体８１と分割磁性体８２は、互いの長さが同じであり、且つ互いの幅が同じである。

図１１に示すように、コイル６０Ｃ，６０Ｄの各長辺部６１，６２及び各短辺部６３，６４と、コイル収容部４９Ｃ，４９Ｄの内周部との間には、所定のクリアランスが設けられている。このうち、各長辺部６１，６２とコイル収容部４９Ｃ，４９Ｄの内周部との間の左右方向の隙間に収まるように、各分割磁性体８１，８２の厚みが設定されている。

図１１に示すように、コイル６０Ｃ，６０Ｄの四隅の外周形状は、各長辺部６１，６２と各短辺部６３，６４の境界部分が滑らかに湾曲している。このコイル６０Ｃ，６０Ｄの四隅では、上記の各長辺部６１，６２や各短辺部６３，６４に比べて、コイル収容部４９Ｃ，４９Ｄの内周部とのクリアランスが大きくなり、注入空間Ｓ１を形成している。

図７に示すように、各分割磁性体８１，８２の長さは、コイル６０Ｃ，６０Ｄの一対の長辺部６１，６２の長さ（空芯部６５の長さＬ２ｂ）よりも大きく、且つ上下方向でのコイル６０Ｃ，６０Ｄ全体の長さＬ２よりも短く設定されている。そのため、各分割磁性体８１，８２は、各長辺部６１，６２とコイル収容部４９Ｃ，４９Ｄの内周部との間の隙間に収まるだけでなく、当該隙間から上下に突出している。そして、各分割磁性体８１，８２の上下の端部が、コイル６０Ｃ，６０Ｄの四隅とコイル収容部４９Ｃ，４９Ｄの内周部との間の注入空間Ｓ１内に位置している（図１１参照）。

図８に示すように、各分割磁性体８１，８２の幅は、コイル６０Ｃ，６０Ｄの前後方向の厚み以下に設定されている。前後方向でのコイル６０Ｃ，６０Ｄの厚みは、コイル収容部４９Ｃ，４９Ｄが形成されている部分での中板４０の厚み以下である。そして、各分割磁性体８１，８２は、コイル収容部４９Ｃ，４９Ｄから前後方向に突出せず、中板４０の前後方向の厚みの範囲内に収まっている。

従って、各セットの磁性体８０Ａ，８０Ｂは、上下方向及び左右方向でコイル収容部４９Ｃ，４９Ｄの寸法の範囲内に収まり、且つ前後方向で中板４０の厚みの範囲内に収まり、外側に突出することなくコイル収容部４９Ｃ，４９Ｄ内に収容される。

コイル６０Ｃ，６０Ｄの外側に磁性体８０Ａ，８０Ｂを配置する際に、磁性体８０Ａ，８０Ｂの取り付け作業性に留意する必要がある。特に、本実施形態では、非常に薄型で単体での剛性が低い（柔軟な）分割磁性体８１，８２を用いているので、コイル６０Ｃ，６０Ｄの外周部とコイル収容部４９Ｃ，４９Ｄの内周部との間の狭い隙間に対して、後から薄板状の分割磁性体８１，８２を挿入して取り付けることは、作業上難しい。そこで、コイル６０Ｃ，６０Ｄを中板４０に取り付ける前の段階で、コイル６０Ｃ，６０Ｄの外周部又はコイル収容部４９Ｃ，４９Ｄの内周部に対して各セットの磁性体８０Ａ，８０Ｂの取り付けを行う。

図１１に示す構成は、先に磁性体８０Ａ，８０Ｂをコイル６０Ｃ，６０Ｄに取り付けた上で、コイル６０Ｃ，６０Ｄと共に磁性体８０Ａ，８０Ｂを中板４０に対して取り付けた場合を示している。この取り付け手順を経たことによって、コイル６０Ｃ，６０Ｄの外周部に分割磁性体８１，８２が隙間なく密接しているのに対して、コイル収容部４９Ｃ，４９Ｄの内周部と分割磁性体８１，８２との間には、僅かに隙間が存在する。

具体的な作業手順として、最初に、中板４０に取り付ける前のコイル６０Ｃ，６０Ｄの各長辺部６１，６２の外周部に対して、各分割磁性体８１，８２を取り付ける。このコイル６０Ｃ，６０Ｄへの分割磁性体８１，８２の取り付けは、両面テープによる貼り付けや接着などの手法を用いることができる。

続いて、分割磁性体８１，８２が付いた状態のコイル６０Ｃ，６０Ｄを、コイル収容部４９Ｃ，４９Ｄに挿入する。ここで、第１の方法として、コイル６０Ｃ，６０Ｄを予めフレキシブル基板７０上に取り付けておき、各コイル６０Ｃ，６０Ｄをそれぞれ対応するコイル収容部４９Ｃ，４９Ｄに後方から挿入しながら、フレキシブル基板７０を中板４０の後面側に取り付けることが可能である。この場合、分割磁性体８１，８２を取り付ける段階でのコイル６０Ｃ，６０Ｄは、既にフレキシブル基板７０に支持された状態であってもよい。第２の方法として、フレキシブル基板７０を先に中板４０の後面側に取り付けた上で、各コイル６０Ｃ，６０Ｄをそれぞれ対応するコイル収容部４９Ｃ，４９Ｄに前方から挿入して、フレキシブル基板７０に接続させることが可能である。

続いて、コイル６０Ｃ，６０Ｄの四隅とコイル収容部４９Ｃ，４９Ｄの内周部との間の注入空間Ｓ１（図１１参照）に、接着剤を注入する。注入空間Ｓ１に注入した接着剤により、コイル６０Ｃ，６０Ｄと共に分割磁性体８１，８２が中板４０に対して固定される。上述したように、各分割磁性体８１，８２の上下の端部が注入空間Ｓ１内に位置しているので、コイル６０Ｃ，６０Ｄの外周部全体に接着剤が行き渡らなくても、注入空間Ｓ１付近に接着剤を入れるだけで、分割磁性体８１，８２を確実に固定させることができ、作業効率に優れる。

以上のように磁性体８０Ａ，８０Ｂの取り付け作業を行うことで、コイル６０Ｃ，６０Ｄとコイル収容部４９Ｃ，４９Ｄの間の狭い隙間に対して後から分割磁性体８１，８２を挿入するよりも、容易且つ確実に分割磁性体８１，８２の取り付けを行うことができ、組み立ての作業性が向上する。

なお、上記とは異なる取り付け手順として、コイル６０Ｃ，６０Ｄを進入させる前のコイル収容部４９Ｃ，４９Ｄの内周部に対して、磁性体８０Ａ，８０Ｂの取り付け（両面テープによる貼り付けや接着など）を行ってもよい。コイル６０Ｃ，６０Ｄを進入させる前にコイル収容部４９Ｃ，４９Ｄへの磁性体８０Ａ，８０Ｂの取り付け作業を行うことで、上記と同様に優れた作業性が得られる。

続いて、分割磁性体８１，８２が付いた状態のコイル収容部４９Ｃ，４９Ｄに対してコイル６０Ｃ，６０Ｄを進入させて、フレキシブル基板７０を中板４０の後面側に取り付ける。その結果、コイル収容部４９Ｃ，４９Ｄの内周部とコイル６０Ｃ，６０Ｄの外周部の間に分割磁性体８１，８２が位置する状態になる。最後に、注入空間Ｓ１付近への接着剤の注入を行う。

この別形態の取り付け手順を採用した場合、図１１とは異なり、コイル収容部４９Ｃ，４９Ｄの内周部に分割磁性体８１，８２が隙間なく密接し、コイル６０Ｃ，６０Ｄの外周部と分割磁性体８１，８２との間に僅かに隙間が存在する構成になる。

以上の各形態の取り付け手順の説明から分かるように、コイル６０Ｃ，６０Ｄとコイル収容部４９Ｃ，４９Ｄの間の狭い隙間に対して後から分割磁性体８１，８２を挿入する場合に比して、磁性体８０Ａ，８０Ｂの取り付け作業を行いやすくなる。つまり、取り付け作業性の向上という観点からは、コイル６０Ｃ，６０Ｄをコイル収容部４９Ｃ，４９Ｄに入れる前の段階で、分割磁性体８１，８２の取り付けを行うという要件を満たせばよい。

また、細長い分割磁性体８１，８２に対応する形状であるコイル６０Ｃ，６０Ｄの外周部やコイル収容部４９Ｃ，４９Ｄの内周部を取り付けの対象箇所とすることで、分割磁性体８１，８２の取り付け位置を容易に精度良く選択することができる。例えば、コイル６０Ｃ，６０Ｄやコイル収容部４９Ｃ，４９Ｄの前後方向の厚みが、前後方向での分割磁性体８１，８２の位置基準となる。また、コイル６０Ｃ，６０Ｄの長さＬ２の範囲が、分割磁性体８１，８２の長手方向の位置基準になる。そして、コイル６０Ｃ，６０Ｄの外周部やコイル収容部４９Ｃ，４９Ｄの内周部に取り付けることで、左右方向での分割磁性体８１，８２の位置が確実に定まる。従って、手間のかかる複雑な調整を要さずに、前後方向、上下方向、左右方向の各方向の磁性体８０Ａ，８０Ｂの適正な位置を簡単に設定できる。

また、コイル収容部４９Ｃ，４９Ｄの四隅の注入空間Ｓ１への接着剤の注入で、磁性体８０Ａ，８０Ｂを簡単且つ確実に固定できる。そのため、コイル６０やフレキシブル基板７０周りでの接着剤の塗布領域が小さくて済み、効率良く低コストに磁性体８０Ａ，８０Ｂの固定を行うことができる。

以上のようにして磁性体８０Ａ，８０Ｂを備えた中板４０をステージ駆動装置１０に組み込むと、これらの磁性体８０Ａ，８０Ｂが、前ヨーク２０に設けた永久磁石５０Ｃ，５０Ｄに対して前後方向に並ぶ位置関係になる（図７及び図８参照）。そして、各永久磁石５０Ｃ，５０Ｄからの磁気的な吸引力が、前後方向で対向関係にある各磁性体８０Ａ，８０Ｂに対して作用する。この吸引力が、中板４０を前ヨーク２０側に引き付ける磁気バネとして機能し、中板４０の３箇所の被挟持部４７の前面が３つの転動体２５に接触する状態が維持される。従って、固定部である前ヨーク２０及び後ヨーク３０と、可動部である中板４０との間に、部品の個体差や組み付け誤差を吸収するための前後方向のクリアランスを設けても、中板４０の前後方向位置を安定させることができる。その結果、前後方向への中板４０のガタつきや光軸ＯＸに対する中板４０の傾きを防いで、中板４０の高精度な支持及び動作を実現できる。つまり、撮像素子１１の受光面の位置と向きを高精度に管理できる。

磁性体８０Ａ，８０Ｂを用いて磁気バネの効果で中板４０を安定させる構造は、引張バネや圧縮バネなどの機械的な付勢手段を用いる構造に比べて、小型に構成でき、生産性や製造コストの面でも優れている。具体的には、磁性体８０Ａ，８０Ｂは、シンプルな薄板形状の金属などで構成されるので、安価に得られる。また、コイル６０Ｃ，６０Ｄや中板４０のコイル収容部４９Ｃ，４９Ｄに磁性体８０Ａ，８０Ｂを取り付けることで、磁気バネ用の構造が完成する。そのため、付勢手段を取り付けるための独自構造を前後のヨーク２０，３０や中板４０に設ける必要がない。特に、コイル６０Ｃ，６０Ｄを収容するためのコイル収容部４９Ｃ，４９Ｄを、磁性体８０Ａ，８０Ｂの設置スペースとしても利用しているので、中板４０の構造の複雑化が生じず、シンプルで安価な構成となっている。

中板４０の初期位置での分割磁性体８１，８２の位置を、図７に一点鎖線で示した。中板４０の初期位置では、分割磁性体８１，８２の長手方向は、分割磁石５１，５２の長手方向と平行である。左右方向での分割磁性体８１の位置は、分割磁石５１の幅Ｗ１ａの範囲内（分割磁石５１の幅方向の中央よりも、隙間５３から反対側（図７での左方）にやや偏った位置）であり、左右方向での分割磁性体８２の位置は、分割磁石５２の幅Ｗ１ａの範囲内（分割磁石５２の幅方向の中央よりも、隙間５３から反対側（図７での右方）にやや偏った位置）である。また、上下方向での分割磁性体８１，８２のそれぞれの位置は、対応する分割磁石５１，５２の長さＬ１の範囲内にあり、分割磁石５１，５２の上端から分割磁性体８１，８２の上端までの長さと、分割磁石５１，５２の下端から分割磁性体８１，８２の下端までの長さは、略等しい。つまり、中板４０の初期位置では、前後から見た分割磁石５１，５２のそれぞれの外形の内側に、分割磁性体８１，８２が位置している。そして、分割磁性体８１は前後方向で対向する分割磁石５１からの磁気的な吸引力を受け、分割磁性体８２は前後方向で対向する分割磁石５２からの磁気的な吸引力を受ける。

中板４０が初期位置から動作平面に沿って移動すると、各分割磁石５１，５２に対する各分割磁性体８１，８２の位置が変化する。中板４０が初期位置から移動しても、各分割磁性体８１，８２の少なくとも一方が対応する分割磁石５１，５２と前後方向で対向する関係にあることにより、磁気的な吸引力によって中板４０の安定性が維持される。

正面視の状態での中板４０の重心Ｐを図１０に示した。重心Ｐは撮像素子１１の受光面の中心よりもやや下方に位置している。撮像素子１１を挟んで左右方向に離間して配された２箇所（永久磁石５０Ｃと磁性体８０Ａ、永久磁石５０Ｄと磁性体８０Ｂ）に、磁気バネとして機能する永久磁石５０と磁性体８０を配置している。そして、磁性体８０Ａと永久磁石５０Ｃのペアと、磁性体８０Ｂと永久磁石５０Ｄのペアが、中板４０における重心Ｐを挟んだ配置関係にある。そのため、中板４０を重心Ｐの両側でバランス良く付勢して、高度な安定性を持たせることができる。

また、図８に示すように、磁性体８０Ａ，８０Ｂをそれぞれ構成する分割磁性体８１，８２は、前方の永久磁石５０Ｃ，５０Ｄに対して空間Ｕ１を間にして対向している。肉厚が大きい別の部材を間に介在させずに、分割磁性体８１，８２を中板４０の前面側に臨む位置に設けているので、前後方向での永久磁石５０Ｃ，５０Ｄと分割磁性体８１，８２の距離も近づける（前後方向の空間Ｕ１の幅を小さくする）ことができる。これにより、磁気的な吸引力を効率良く磁性体８０Ａ，８０Ｂに作用させることができ、小型の磁性体８０Ａ，８０Ｂを用いて優れた磁気バネ効果を得ることができる。なお、図３や図５では、中板４０の前面側にコイル６０が露出し、前ヨーク２０の後面側に永久磁石５０が露出する状態を示しているが、ステージ駆動装置１０の完成状態で、コイル６０（磁性体８０Ａ，８０Ｂ）の前側や、永久磁石５０の後側に、薄いテープなどを取り付けてもよい。薄いテープなどであれば、前後方向での永久磁石５０Ｃ，５０Ｄと分割磁性体８１，８２の間隔設定には大きく影響せず、上記の効果を支障なく得られる。

前後方向での分割磁性体８１，８２の幅がコイル６０Ｃ，６０Ｄの厚み以下に抑えられており、分割磁性体８１，８２はコイル収容部４９Ｃ，４９Ｄから前後に突出しない。そのため、分割磁性体８１，８２は、中板４０の前後に設けた前ヨーク２０、永久磁石５０Ｃ，５０Ｄ、後ヨーク３０などの他の構成要素に接触することがない。また、コイル収容部４９Ｃ，４９Ｄの内部に分割磁性体８１，８２を配置して中板４０の厚みの範囲内に収めることで、ステージ駆動装置１０を前後方向でコンパクトにすることができる。

例えば、分割磁性体８１，８２が中板４０から前方に大きく突出していると、動作平面に沿って中板４０が移動する際に、分割磁性体８１，８２が前ヨーク２０側の永久磁石５０Ｃ，５０Ｄなどに擦れたり引っ掛かったりして、余分な動作抵抗が生じたり、部品のダメージが生じたりするおそれがある。また、分割磁性体８１，８２が中板４０の後方に大きく突出していると、中板４０が移動する際に、分割磁性体８１，８２が後ヨーク３０側に干渉するおそれがある。本実施形態では、分割磁性体８１，８２が中板４０の前後に突出していないので、このような不具合が生じない。そして、磁性体８０Ａ，８０Ｂの存在に影響されずに、中板４０に対して前ヨーク２０や後ヨーク３０を接近させて、前後方向で薄型のステージ駆動装置１０にすることができる。

分割磁性体８１，８２は、表裏の平面部分をコイル収容部４９Ｃ，４９Ｄの内周部とコイル６０Ｃ，６０Ｄの外周部に対向させて、コイル収容部４９Ｃ，４９Ｄとコイル６０Ｃ，６０Ｄの間の隙間に配置されている。従って、図１０に示すように、光軸ＯＸに沿って前方から中板４０を見たときに、分割磁性体８１，８２の狭い縁（厚み）の部分だけが表れる形態になり、磁性体８０Ａ，８０Ｂが占める正面投影面積が極めて小さくなっている。これにより、コイル６０Ｃ，６０Ｄの外側に磁性体８０Ａ，８０Ｂを設けながらも、光軸ＯＸに対して垂直な方向での中板４０の大きさをコンパクトに保つことができる。

具体的には、本実施形態のステージ駆動装置１０では、個々の部品の個体差や、部品同士の組み付け誤差などを吸収する目的で、コイル収容部４９Ｃ，４９Ｄの内周部とコイル６０Ｃ，６０Ｄの外周部との間に予めクリアランスが設けられている。分割磁性体８１，８２は当該クリアランスを利用して配置されており、磁性体８０Ａ，８０Ｂの取り付けに伴う中板４０の外形寸法（上下方向や左右方向の大きさ）の増大は生じていない。

また、上述したように、コイル収容部４９Ｃ，４９Ｄとコイル６０Ｃ，６０Ｄの間という限定されたスペースに配置することで、分割磁性体８１，８２の位置精度を高めることができる。つまり、長辺部６１，６２における帯状の外周部や、コイル収容部４９Ｃ，４９Ｄの帯状の内周部を、分割磁性体８１，８２の取り付け位置の指標として利用できる。

また、コイル収容部４９Ｃ，４９Ｄとコイル６０Ｃ，６０Ｄの間に挿入された形態の分割磁性体８１，８２は、剥離や脱落を生じにくく、取り付け後の位置の安定性にも優れている。より詳しくは、左右方向への分割磁性体８１，８２の位置ずれは、コイル収容部４９Ｃ，４９Ｄの内周部や、コイル６０Ｃ，６０Ｄの長辺部６１，６２によって制限される。そのため、薄板状の部材において剥離が生じやすい厚み方向への脱落が、分割磁性体８１，８２においては確実に防止される。また、注入空間Ｓ１に注入した接着剤により分割磁性体８１，８２の両端部が固定されているので、左右方向以外の方向への分割磁性体８１，８２の移動（コイル収容部４９Ｃ，４９Ｄから前方への脱落など）も防止される。特に、分割磁性体８１，８２は、前ヨーク２０と後ヨーク３０の間で前後方向に向けて形成される磁界内に配置されているが、継続的な磁力の影響下でも、前後方向への分割磁性体８１，８２の剥離や脱落が生じにくい。

各磁性体８０Ａ，８０Ｂを構成する一対の分割磁性体８１，８２は、左右方向（コイル６０Ｃ，６０Ｄの幅方向）に分けて配置されている。各分割磁性体８１，８２は、コイル６０Ｃ，６０Ｄの長辺部６１，６２の両側に沿って配置されており、左右方向でコイル６０Ｃ，６０Ｄの寸法分（図７に示すコイル６０の幅Ｗ２の分）だけ分割磁性体８１，８２が離間した位置関係にある。

これにより、コイル６０Ｃの空芯部６５内に位置する磁気センサ６６Ｃとは前後方向で重ならない位置に（光軸ＯＸと垂直な動作平面に沿う方向で、磁気センサ６６Ｃとは位置を異ならせて）、磁性体８０Ａの各分割磁性体８１，８２が設置される。このように磁気センサ６６Ｃから離して分割磁性体８１，８２を位置させると、永久磁石５０Ｃから磁性体８０Ａの分割磁性体８１，８２に働く磁力が、磁気センサ６６Ｃの検出精度に影響することを抑制できる。特に、分割磁性体８１，８２は、単に前後方向で空芯部６５と重ならないだけでなく、長辺部６１，６２の幅Ｗ２ａの分だけ空芯部６５から離れた位置にある。そのため、左右方向で磁気センサ６６Ｃからの分割磁性体８１，８２の距離を大きくさせ、磁気センサ６６Ｃの検出精度への影響をより一層小さくできる。

また、一対の分割磁性体８１，８２を、各コイル６０Ｃ，６０Ｄの両側に振り分けて配置することで、中板４０が左右方向（コイル６０の幅方向）のいずれに移動した場合でも、概ね均等な磁気バネの効果を得ることができる。

なお、本実施形態ではコイル６０Ｄの空芯部６５内には磁気センサを有していないが、磁性体８０Ａと磁性体８０Ｂの構成は略同じであるため、コイル６０Ｄの空芯部６５内に磁気センサを配置する場合には、磁性体８０Ｂの各分割磁性体８１，８２と磁気センサの関係性においても、上記と同様の効果が得られる。

コイル６０Ｃ，６０Ｄの長辺部６１，６２に沿って配置した磁性体８０Ａ，８０Ｂは、コイル収容部４９Ｃ，４９Ｄの空間の範囲内で、それぞれの分割磁性体８１，８２が長く形成されている。そのため、磁性体８０Ａ，８０Ｂは、永久磁石５０Ｃ，５０Ｄからの磁力を受ける範囲が大きくなり、高い磁気バネ効果を得ることができる。特に、分割磁性体８１，８２は、長辺部６１，６２の長さ（空芯部６５の長さＬ２ｂ）を超えて、注入空間Ｓ１まで進入する長さを有しているので、より高度な性能の磁気バネとすることができる。

各磁性体８０Ａ，８０Ｂは、推力Ｆの作用方向で分割磁性体８１，８２の占める範囲（厚み）が小さく、コイル６０Ｃやコイル６０Ｄへの通電によって中板４０を左右方向に駆動させたときに永久磁石５０Ｃ，５０Ｄとの対向位置を外れにくい。例えば、図７に示す左右方向の駆動代Ｇ１，Ｇ２の範囲の略全体で、各分割磁性体８１，８２が永久磁石５０Ｃ，５０Ｄと対向する位置関係を維持できる。

また、各磁性体８０Ａ，８０Ｂの分割磁性体８１，８２は、上下方向に長く、コイル６０Ａやコイル６０Ｂへの通電によって中板４０を上下方向に駆動させたときにも、永久磁石５０Ｃ，５０Ｄとの対向位置を外れにくい。例えば、図７に示す左右方向の駆動代Ｈ１，Ｈ２の範囲で中板４０を上下方向に移動させた場合、分割磁性体８１，８２の長手方向の大部分が、永久磁石５０Ｃ，５０Ｄと対向する位置関係を維持できる。つまり、分割磁性体８１，８２が永久磁石５０Ｃ，５０と対向する長さを多く確保できる。

従って、本実施形態の磁性体８０Ａ，８０Ｂの構成及び配置によれば、永久磁石５０Ｃ，５０Ｄなどの大型化を伴わずに、磁気バネ効果を得られる中板４０の有効駆動範囲を大きくさせることができる。言い換えれば、小型な構成で、中板４０の大きい駆動量に対応した磁気バネを構成できる。

図１２から図１４は、磁気バネの第２の形態を示している。この第２の形態は、中板４０のうち、コイル収容部４９Ｃの内部に１セット、コイル収容部４９Ｄの内部に１セットの、計２セットの磁性体８０を配している点では、先に説明した第１の形態と共通している。コイル収容部４９Ｃの内部に配した磁性体８０Ｃと、コイル収容部４９Ｄの内部に配した磁性体８０Ｄのそれぞれの構成が、上述した第１の形態の磁性体８０Ａ，８０Ｂとは異なっている。

図１２に示すように、各セットの磁性体８０Ｃ，８０Ｄは、一対の分割磁性体８３，８４で構成されている。分割磁性体８３，８４は、コイル収容部４９Ｃ，４９Ｄの内周部とコイル６０Ｃ，６０Ｄの外周部の間に配置されており、コイル収容部４９Ｃ，４９Ｄの内周部とコイル６０Ｃ，６０Ｄの外周部にそれぞれ対向する平面部分を表裏に有する薄板状の金属などで構成されている。分割磁性体８３は、各コイル６０Ｃ，６０Ｄの一方の短辺部６３の外周部に沿って配置されている。分割磁性体８４は、各コイル６０Ｃ，６０Ｄの他方の短辺部６４の外周部に沿って配置されている。

各分割磁性体８３，８４は、上下方向から見て細長い矩形状であり、長手方向が左右方向、短手方向（表裏の平面部分の幅方向）が前後方向、厚みの方向（表裏の平面部分を結ぶ方向）が上下方向となるように配置される。各磁性体８０Ｃ，８０Ｄにおける各分割磁性体８３，８４の長手方向（左右方向）の大きさを「長さ」とし、各分割磁性体８３，８４の短手方向（前後方向）の大きさを「幅」とする。

図１４に示すように、コイル６０Ｃ，６０Ｄの各短辺部６３，６４とコイル収容部４９Ｃ，４９Ｄの内周部との間の上下方向の隙間に収まるように、各分割磁性体８３，８４の厚みが設定されている。

図７に示すように、各分割磁性体８３，８４の長さは、コイル６０Ｃ，６０Ｄの一対の短辺部６３，６４の長さ（空芯部６５の幅Ｗ２ｂ）よりも大きく、且つ左右方向でのコイル６０Ｃ，６０Ｄ全体の幅Ｗ２よりも短く設定されている。そのため、各分割磁性体８３，８４は、各短辺部６３，６４とコイル収容部４９Ｃ，４９Ｄの内周部との間の隙間に収まるだけでなく、当該隙間から左右に突出している。そして、各分割磁性体８３，８４の左右の端部が、コイル６０Ｃ，６０Ｄの四隅とコイル収容部４９Ｃ，４９Ｄの内周部との間の注入空間Ｓ１内に位置している（図１４参照）。

図８に示すように、各分割磁性体８３，８４の幅は、コイル６０Ｃ，６０Ｄの前後方向の厚み以下に設定されており、各分割磁性体８３，８４は、コイル収容部４９Ｃ，４９Ｄから前後方向に突出しない。

従って、各セットの磁性体８０Ｃ，８０Ｄは、上下方向及び左右方向でコイル収容部４９Ｃ，４９Ｄの寸法の範囲内に収まり、且つ前後方向で中板４０の厚みの範囲内に収まり、外側に突出することなくコイル収容部４９Ｃ，４９Ｄ内に収容される。

各セットの磁性体８０Ｃ，８０Ｄは、上述した第１の形態の磁性体８０Ａ，８０Ｂと同様の手順によって中板４０に対して取り付けられる。すなわち、少なくともコイル収容部４９Ｃ，４９Ｄ内にコイル６０Ｃ，６０Ｄを配置するよりも前に、コイル６０Ｃ，６０Ｄの外周部又はコイル収容部４９Ｃ，４９Ｄの内周部に分割磁性体８３，８４を取り付けることが好ましい。そして、コイル６０Ｃ，６０Ｄと分割磁性体８３，８４をコイル収容部４９Ｃ，４９Ｄ内に位置させた状態で、注入空間Ｓ１に接着剤を注入することで、分割磁性体８３，８４が中板４０に対して確実に固定される。

以上のようにして取り付けた各セットの磁性体８０Ｃ，８０Ｄでは、対をなす分割磁性体８３，８４が、コイル６０Ｃ，６０Ｄを間において、上下方向に間隔を空けて略平行に配置されている。そして、磁性体８０Ｃ，８０Ｄのそれぞれの分割磁性体８３，８４が、前ヨーク２０に設けた永久磁石５０Ｃ，５０Ｄに対して前後方向に並ぶ位置関係になる（図７及び図８参照）。各永久磁石５０Ｃ，５０Ｄからの磁気的な吸引力が、前後方向で対向関係にある各磁性体８０Ｃ，８０Ｄに対して作用して、中板４０を前ヨーク２０側に引き付ける磁気バネとして機能する。

図７に示すように、中板４０の初期位置において、上下方向での分割磁性体８３，８４のそれぞれの位置は、対応する分割磁石５１，５２の長さＬ１の範囲内にあり、分割磁石５１，５２の上端から上側の分割磁性体８３までの長さと、分割磁石５１，５２の下端から下側の分割磁性体８４までの長さは、略等しい。また、分割磁性体８３，８４の長手方向は分割磁石５１，５２の幅方向と平行であり、左右方向での分割磁性体８３，８４の位置は、永久磁石５０全体の幅Ｗ１の中央付近である。

中板４０が初期位置から動作平面に沿って移動すると、各分割磁石５１，５２に対する各分割磁性体８３，８４の位置が変化する。永久磁石５０とコイル６０で構成したボイスコイルモータによって中板４０の駆動が制御される実用上の駆動範囲では、各磁性体８０Ｃ，８０Ｄにおいて、対をなす分割磁性体８３，８４の少なくとも一方が、分割磁石５１，５２との対向関係を維持するように、各部品の形状や配置が設定されている。個々の磁性体８０Ｃ，８０Ｄで、少なくとも一方の分割磁性体８３，８４が分割磁石５１，５２と対向していれば、中板４０のガタつきや傾き防止に必要な吸引力が得られる設定になっている。従って、中板４０が初期位置から移動しても、常に磁気的な吸引力によって中板４０の安定性が維持される。

図１４に示すように、磁性体８０Ｃにおいては、コイル６０Ｃの空芯部６５内に位置する磁気センサ６６Ｃとは前後方向で重ならない位置に（光軸ＯＸと垂直な動作平面に沿う方向で、磁気センサ６６Ｃとは位置を異ならせて）、分割磁性体８３，８４が設置される。そのため、永久磁石５０Ｃから磁性体８０Ｃの分割磁性体８３，８４に働く磁力が、磁気センサ６６Ｃの検出精度に影響することを抑制できる。特に、分割磁性体８３，８４は、単に前後方向で空芯部６５と重ならないだけでなく、短辺部６３，６３の幅Ｌ２ａの分だけ空芯部６５から離れた位置にある。そのため、上下方向で磁気センサ６６Ｃからの分割磁性体８３，８４の距離を大きくさせ、磁気センサ６６Ｃの検出精度への影響をより一層小さくできる。

第２の形態の磁性体８０Ｃ，８０Ｄは、コイル収容部４９Ｃ，４９Ｄの内部に収まる配置によって、ステージ駆動装置１０の小型（特に前後方向での薄型化）や、配置構造の簡略化に寄与する。また、磁性体８０Ｃ，８０Ｄをそれぞれ構成する分割磁性体８３，８４は、肉厚が大きい別の部材を間に介在させずに、前方の永久磁石５０Ｃ，５０Ｄに対して近い位置で空間Ｕ１を間にして対向しているため、磁気的な吸引力を効率良く磁性体８０Ｃ，８０Ｄに作用させて、小型の磁性体８０Ｃ，８０Ｄを用いて優れた磁気バネ効果を得ることができる。なお、上記の第１の形態と同様に、コイル６０（磁性体８０Ｃ，８０Ｄ）の前側や、永久磁石５０の後側に、薄いテープなどを取り付けてもよい。また、コイル収容部４９Ｃ，４９Ｄの内周部とコイル６０Ｃ，６０Ｄの外周部との間に分割磁性体８３，８４を配置することで、磁性体８０Ｃ，８０Ｄの位置精度や安定性を向上させることができる。このように、第２の形態の磁性体８０Ｃ，８０Ｄは、小型で簡単な構造によって中板４０の安定性や高精度に駆動制御を実現できるという点において、上述した第１の形態の磁性体８０Ａ，８０Ｂと同様の特徴及び効果を有する。

上記実施形態では、コイル６０（６０Ｃ，６０Ｄ）の外周部、あるいはコイル収容部４９（４９Ｃ，４９Ｄ）の内周部に対して、磁性体８０を構成する分割磁性体８１，８２，８３，８４を直接に貼り付けるものとしたが、磁性体を取り付ける構成や手法はこれに限定されない。例えば、図１５に示す磁性体の取り付け構造の変形例では、コイル６０の外周部に取り付けられる取付部材８５，８６を用いている。

取付部材８５，８６はそれぞれ、コイル６０の長辺部６１，６２に沿う平板状部分と、平板状部分の両端を湾曲（屈曲）させてコイル６０の短辺部６３，６４に沿うようにした屈曲部分とを有している。各取付部材８５，８６は、僅かに変形させてコイル６０の外周部に嵌めることが可能である。取付部材８５の平板状部分に対して上記実施形態の分割磁性体８１を取り付け、取付部材８６の平板状部分に対して上記実施形態の分割磁性体８２を取り付ける。そして、各取付部材８５，８６をコイル６０に取り付ける。

この変形例によれば、分割磁性体８１，８２を予め支持させた取付部材８５，８６を、コイル６０に対して嵌めるだけで、磁性体の取り付けを行うことができるので、組立時の作業性に優れる。取付部材８５，８６は、コイル収容部４９の注入空間Ｓ１に注入した接着剤によって中板４０やコイル６０に固定されるので、脱落するおそれがない。

図１５の構成では、二分割された取付部材８５，８６を用いているが、コイル６０の外周全体を囲む一体型の取付部材を用いることもできる。また、図１５は磁性体８０Ａ，８０Ｂを構成する分割磁性体８１，８２の取り付けを例にしたが、磁性体８０Ｃ，８０Ｄを構成する分割磁性体８３，８４の取り付けにも適用が可能であり、この場合は、コイル６０の短辺部６３，６４に沿う形状の取付部材を用いればよい。

以上、図示実施形態に基づいて本発明を説明したが、本発明は上記の実施形態に限定されるものではなく、発明の要旨内における変更や改良が可能である。

本発明では、中板４０のコイル収容部４９の内部のうち、コイル６０の外側に磁性体８０を配置する上記実施形態の構成が有効である。例えば、上記実施形態では、コイル６０（６０Ａ，６０Ｂ，６０Ｃ）の空芯部６５に磁気センサ６６（６６Ａ，６６Ｂ，６６Ｃ）が配置されており、空芯部６５の内側に磁気バネ用の磁性体を配置すると、磁気センサ６６の検知精度に影響が及びやすくなる。また、図９から図１１に示す第１の形態の磁性体８０Ａ，８０Ｂとは異なり、コイル６０Ｃ，６０Ｄの長辺部６１，６２の内側（空芯部６５側）に分割磁性体８１，８２を配置すると、左右方向において、分割磁性体８１と分割磁石５２の距離が近くなり、分割磁性体８２と分割磁石５１の距離が近くなる。そのため、中板４０を左右方向に駆動する際に、上述した前後方向への磁気吸引力に加えて、分割磁石５２から分割磁性体８１へ作用する磁力や、分割磁石５１から分割磁性体８２へ作用する磁力が強まって、中板４０の動作精度に影響する余分な外力が加わりやすくなる。

但し、これらの問題点を解消できる場合に、コイルの内側に磁性体を配置する構成を選択することも可能である。また、コイル収容部の内部で、コイルの外側と内側の両方に磁性体を配置する構成を選択することも可能である。

上記実施形態のステージ駆動装置１０では、コイル収容部４９の内部に、コイル６０の幅方向に分割された一対の分割磁性体８１，８２や、コイル６０の長手方向に分割された一対の分割磁性体８３，８４を配置している。これにより、永久磁石５０からの磁気的な吸引力を効率的に且つバランス良く受けて、中板４０の高い安定性と高度な位置精度の確保を実現している。

しかし、個々のコイル収容部４９の内部に、分割されない単一の磁性体を配置する構成を選択することもできる。例えば、第１の形態の変形例として、分割磁性体８１と分割磁性体８２のいずれか一方のみによって磁性体８０Ａや磁性体８０Ｂを構成することも可能である。

磁気バネ用の磁性体を複数設ける場合、上記実施形態のように、可動部である中板４０の重心Ｐを挟む位置関係にあるコイル収容部４９Ｃ，４９Ｄの内部に、磁性体８０Ａ，８０Ｂや磁性体８０Ｃ，８０Ｄを配置することが好ましい。特に、重心Ｐに関して対称に近い関係で略同じ大きさの磁性体を配置することが好ましい。これにより、中板４０に対してバランスが最適化された磁気的な吸引力を作用させることができる。第１の形態の磁性体８０Ａと磁性体８０Ｂ、第２の形態の磁性体８０Ｃと磁性体８０Ｄは、いずれも当該要件を満たす配置である。

しかし、磁性体の配置は上記実施形態に限定されるものではない。例えば、上記実施形態では磁性体の配置箇所として使用していないコイル収容部４９Ａ，４９Ｂを用いて、磁性体を配置してもよい。具体的には、コイル収容部４９Ａとコイル収容部４９Ｃのそれぞれの内部に磁性体を配置したり、コイル収容部４９Ｂとコイル収容部４９Ｄのそれぞれの内部に磁性体を配置したりすることも可能である。コイル収容部４９Ａとコイル収容部４９Ｃ、コイル収容部４９Ｂとコイル収容部４９Ｄはそれぞれ、概ね中板４０の重心Ｐに関して互いに反対側に位置する関係であるため、これらの内部に磁性体を配置する構成でも、中板４０に対する磁気的な吸引力のバランスをとることができる。

さらに、上記実施形態の中板４０とは異なる形状の中板においても、本発明による磁性体の配置を適用できる。例えば、撮像素子の受光面の２つの辺に沿うＬ字形状の中板で、一方の辺に沿って上記実施形態のコイル６０Ａやコイル６０Ｂに相当するコイルを支持し、他方の辺に沿って上記実施形態のコイル６０Ｃやコイル６０Ｄに相当するコイルを支持したものが知られている。このような中板で、各コイルを収容するコイル収容部の内部に磁性体を配置してもよい。

上記実施形態では、中板４０の各コイル収容部４９が前後方向に貫通する構造である。これにより、コイル収容部４９の後方にフレキシブル基板７０を配しつつ、コイル収容部４９の前方を開放させて、ボイスコイルモータの駆動効率や磁性体８０への磁気吸引力を向上させる効果が得られる。また、コイル収容部４９の前後に余分な肉厚が存在しないので、前後方向で中板４０を薄型化できる。しかし、上記実施形態のような貫通構造ではなく、有底の凹状であるコイル収容部を採用することも可能である。

上記実施形態のステージ駆動装置１０では、コイル６０の幅方向に分割及び離間された分割磁石５１，５２によって永久磁石５０を構成しているが、各コイルに対して分割されない１つの永久磁石を配した構成や、２つの分割磁石５１，５２を隙間なく隣接して配置する構成などを選択することもできる。

上記実施形態のステージ駆動装置１０では、球状の転動体２５，３５を介して中板４０を支持しているが、異なる支持構造によって中板を移動可能に支持したものにも適用可能である。一例として、直線的に移動可能なステージ機構を２段階備えた、いわゆるＸＹステージによって可動部を支持した場合でも、本発明を適用可能である。

上記実施形態のステージ駆動装置１０は、前ヨーク２０と後ヨーク３０で固定部を構成しているが、固定部の基本となる部材を非磁性体にして、ヨークを別途取り付けるという構成を選択してもよい。

上記実施形態のステージ駆動装置１０とは逆に、可動部に永久磁石を設けた、いわゆるムービング・マグネット型のステージ駆動装置に本発明を適用することも可能である。この場合、固定部側をコイル支持要素にして、コイル、磁性体（磁気バネ用）、磁気センサなどを設ける。その上で、可動部側の永久磁石との間で磁気バネの作用を発揮し（可動部が移動する動作平面に対して垂直な方向で永久磁石と並び）、且つ固定部側のコイル収容部の内部に位置するように、磁性体を配置すればよい。

上記実施形態のステージ駆動装置１０は撮像素子１１を駆動するものであるが、撮像装置において撮像素子以外の光学素子（レンズなど）を駆動するものにも適用が可能である。

ステージ駆動装置で撮像素子を駆動させる場合の用途は、手振れ補正以外でもよい。例えば、上記実施形態のステージ駆動装置１０は、光軸ＯＸと垂直な平面内で撮像素子１１を傾けることが可能であり、この撮像素子１１の動きによって、撮影構図の傾き調整を実行してもよい。

本発明は撮像装置に好適であるが、撮像装置以外にも適用が可能であり、ステージ駆動装置による駆動対象は、撮像素子や光学素子以外のものでもよい。

１０ ：ステージ駆動装置
１１ ：撮像素子
２０ ：前ヨーク（固定部）
２４ ：支持案内部
２５ ：転動体
３０ ：後ヨーク（固定部）
３４ ：支持案内部
３５ ：転動体
４０ ：中板（コイル支持要素、可動部）
４５ ：撮像素子基板
４７ ：被挟持部
４９（４９Ａ～４９Ｄ） ：コイル収容部
５０（５０Ａ～５０Ｄ） ：永久磁石（駆動手段）
５１，５２ ：分割磁石
６０（６０Ａ～６０Ｄ） ：コイル（駆動手段）
６１，６２ ：長辺部（直線状部）
６３，６４ ：短辺部（直線状部）
６５ ：空芯部
６６（６６Ａ～６６Ｃ） ：磁気センサ
７０ ：フレキシブル基板
８０（８０Ａ～８０Ｄ） ：磁性体
８１～８４ ：分割磁性体
８５，８６ ：取付部材
ＯＸ ：光軸
Ｓ１ ：注入空間

Claims (9)

1. 固定部と、前記固定部に対して動作平面に沿って移動可能に支持された可動部とを有し、前記固定部と前記可動部の一方に設けた磁石と他方に設けたコイルを含む駆動手段によって前記可動部を前記動作平面に沿って移動させるステージ駆動装置であって、
   前記固定部と前記可動部のうち前記コイルが設けられる側であるコイル支持要素は、前記コイルを内部に配置するコイル収容部を備え、
   前記コイル収容部の内部に、前記動作平面と垂直な方向での前記固定部に対する前記可動部の位置を安定させる磁性体を設け、
   前記コイルの外周部と前記コイル収容部の内周部との間に前記磁性体を配置したことを特徴とするステージ駆動装置。
2. 前記磁性体は、前記コイルの外周部と前記コイル収容部の内周部にそれぞれ対向する平面部分を有する板状であることを特徴とする請求項１に記載のステージ駆動装置。
3. 前記コイルは空芯コイルであり、空芯部を挟む両側に、導線が直線状に延びる少なくとも一対の略平行な直線状部を有し、
   前記磁性体は、前記コイルの一対の直線状部の少なくとも一方の外周部に沿って配設されていることを特徴とする請求項１又は２に記載のステージ駆動装置。
4. 前記一対の直線状部は、前記コイルの長手方向に延びる一対の長辺部であることを特徴とする請求項３に記載のステージ駆動装置。
5. 前記一対の直線状部は、前記コイルの短手方向に延びる一対の短辺部であることを特徴とする請求項３に記載のステージ駆動装置。
6. 前記コイル支持要素は前記可動部であり、前記可動部の重心を挟む位置関係の複数の前記磁性体を有することを特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載のステージ駆動装置。
7. 前記磁性体は、前記動作平面と垂直な方向での前記コイル支持要素の厚みの範囲内に位置することを特徴とする請求項１から６のいずれか１項に記載のステージ駆動装置。
8. 前記可動部は撮像素子又は光学素子を支持している、請求項１から請求項７のいずれか１項に記載のステージ駆動装置を備えた撮像装置。
9. 固定部と、前記固定部に対して動作平面に沿って移動可能に支持された可動部とを有し、前記固定部と前記可動部の一方に設けた磁石と他方に設けたコイルを含む駆動手段によって前記可動部を前記動作平面に沿って移動させ、前記磁石との間に働く磁力を受ける磁性体によって、前記動作平面と垂直な方向での前記固定部に対する前記可動部の位置を安定させるステージ駆動装置であって、
   前記固定部と前記可動部のうち前記コイルが設けられる側であるコイル支持要素に、前記コイルを内部に配置するコイル収容部を設け、
   前記コイルの外周部と前記コイル収容部の内周部のいずれかに前記磁性体を取り付け、該取り付け後に、前記コイル収容部内に前記コイルを収容することを特徴とするステージ駆動装置の製造方法。

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