JP2008160947A - ステージ装置及びカメラの手振れ補正装置 - Google Patents

ステージ装置及びカメラの手振れ補正装置 Download PDF

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Abstract

【課題】回転可能なボールを利用した構造でありながら、構造が簡単で製造コストを低く抑えることが可能なステージ装置及びカメラの手振れ補正装置を提供する。
【解決手段】ステージ部材40の固定支持基板21との対向面に回転接触可能な少なくとも3つのボールBを支持する、固定支持基板21に設けたリテーナ31と、固定支持基板21のステージ部材40との対向面に設けた磁力発生装置MX、MYA、MYBと、ステージ部材40の磁力発生装置との対向部を構成する該磁力発生装置で発生した磁力により固定支持基板21側に吸引される磁性部材40と、を備える。
【選択図】図7

Description

本発明は、ステージ装置及びカメラの手振れ補正装置に関する。
カメラにおける手振補正装置の一例としては特許文献1に開示されたものがある。
この手振補正装置は、カメラボディの内面に固定した固定支持基板10と、固定支持基板10に対して略平行状態を維持しながら特定のX方向にスライド可能なX方向移動部材20と、X方向移動部材20にX方向に対して直交するY方向にスライド可能として支持された撮像素子を搭載するY方向移動部材30と、を備え、X方向移動部材20に固定支持基板10及びY方向移動部材30にそれぞれ接触するボールBCを回転可能に支持させた構造である。
この手振補正装置では、X方向移動部材20とY方向移動部材30が3つのボールBCを回転させながらそれぞれX方向とY方向にスライドすることにより、撮像素子が撮像する像のぶれ(手振れ)を補正する。
特開2006−108956号公報
このようにボールBCを利用してX方向移動部材20とY方向移動部材30のスライドを可能とする構造では、各ボールBCを固定支持基板10とY方向移動部材30に接触させる必要がある。そこで、特許文献1の発明ではY方向移動部材30を固定支持基板10側に押しつける(付勢する)ための抜け止め手段(支持突片15、16、押さえボール18、及び板ばね19)を設けている。
しかし、このように抜け止め手段を設けると、構造が複雑になり、かつ製造コストが増大してしまう。
本発明の目的は、回転可能なボールを利用した構造でありながら、構造が簡単で製造コストを低く抑えることが可能なステージ装置及びカメラの手振れ補正装置を提供することにある。
本発明のステージ装置は、第1の態様によると、固定支持基板及び該固定支持基板に対してスライド可能なステージ部材を備えるステージ装置において、上記ステージ部材と上記固定支持基板の対向面の一方に設けた、他方の対向面に回転接触可能な少なくとも3つのボールを支持するリテーナと、上記固定支持基板の上記ステージ部材との対向面に設けた磁力発生装置と、上記ステージ部材の上記磁力発生装置との対向部を構成する、該磁力発生装置で発生した磁力により上記固定支持基板側に吸引される磁性部材と、を備えることを特徴としている。
上記ステージ部材全体を上記磁性部材によって構成してもよい。
本発明のステージ装置は、第2の態様によると、固定支持基板及び該固定支持基板に対してスライド可能なステージ部材を備えるステージ装置において、上記ステージ部材と上記固定支持基板の対向面の一方に設けた、他方の対向面に回転接触可能な少なくとも3つのボールを支持するリテーナと、上記固定支持基板の上記ステージ部材との対向面に設けた磁力発生装置と、上記ステージ部材の上記磁力発生装置との対向面をコーティングする、該磁力発生装置で発生した磁力により上記固定支持基板側に吸引される磁性材料と、を備えることを特徴としている。
いずれの態様においても、上記ステージ部材に駆動用磁力発生装置を設け、上記ステージ部材に、上記駆動用磁力発生装置が作り出す磁界内において電流を受けることにより、該ステージ部材を上記固定支持基板に対してスライドさせる駆動力を発生する駆動用コイルを固定して実施可能である。
上記駆動用磁力発生装置が上記磁力発生装置を兼ねるのが好ましい。
上記磁力発生装置または上記駆動用磁力発生装置がX用磁力発生装置とY用磁力発生装置からなり、上記駆動用コイルが、上記X用磁力発生装置で発生した磁界内において電流を受けることにより特定の直線方向であるX方向の駆動力を発生するX方向駆動用コイルと、上記Y用磁力発生装置で発生した磁界内において電流を受けることにより上記X方向に直交するY方向の駆動力を発生するY方向駆動用コイルと、を備えるのがよい。
本発明の手振補正装置は、第1の態様によると、カメラに内蔵した上記ステージ装置と、上記ステージ部材と一緒に移動する、前面に結像面を有する撮像素子と、上記カメラの手振れを検出するジャイロセンサと、該ジャイロセンサが検出した角速度情報に基づいて、上記X方向駆動用コイル及び上記Y方向駆動用コイルに、手振れを補正するように電流を流す制御手段と、を備えることを特徴としている。
本発明の手振補正装置は、第2の態様によると、カメラに内蔵した上記ステージ装置と、上記ステージ部材と一緒に移動する、手振れを補正するための補正レンズと、上記カメラの手振れを検出するジャイロセンサと、該ジャイロセンサが検出した振動情報に基づいて、上記X方向駆動用コイル及び上記Y方向駆動用コイルに、手振れを補正するように電流を流す制御手段と、を備えることを特徴としている。
本発明の請求項1または請求項3によると、固定支持基板に設けた磁力発生装置で発生する磁力によって、ステージ部材の磁性部材(磁性材料)が磁力発生装置側(固定支持基板側)に吸引されるので、固定支持基板とステージ部材の一方のリテーナで支持したボールは常にステージ部材と固定支持基板の他方に回転可能に接触する。
このように磁力を利用してボールをステージ部材に回転可能に接触させているので、従来技術に比べて構造が簡単であり、製造コストを低く押さえることが可能である。
本発明の請求項2によると、ステージ部材の一部を磁性部材によって構成する場合に比べて、ステージ部材の製造が容易になる。
本発明の請求項4のように構成すれば、磁力を利用してステージ部材をスライドさせることができる。
本発明の請求項5のように構成すれば、ステージ部材に固定した駆動用コイルに駆動力を発生させるための駆動用磁力発生装置を、ステージ部材を固定支持基板側に吸引するための磁力発生装置として兼用できるので、より一層、ステージ装置の構造を簡単にし製造コストを低く抑えることができる。
本発明の請求項6のように構成すれば、磁力を利用してステージ部材をX方向とY方向にスライドさせることができる。
本発明の請求項7または請求項8のように構成すれば、従来に比べて構造が簡単で製造コストを低く抑えることが可能なボールを利用した手振補正装置が得られる。
以下、本発明の一実施形態について添付図面を参照しながら説明する。以下の説明では図1及び図2等の矢線で示すように、カメラ10の手振補正装置20の左右方向をX方向、上下方向をY方向、前後方向をZ方向と定義する。
まずはカメラ10及び手振補正装置20の基本構造について説明する。
図1に示すように、カメラ10のレンズ鏡筒11内には、複数のレンズL1、L2、L3からなる光学系が配設されており、カメラボディ12内にはレンズL3の直後に位置する手振補正装置20が配設されている。
手振補正装置20は図2から図8に示す構造である。
図2から図8に示すように手振補正装置20は、軟鉄等の磁性体からなる正面視横長方形の前側固定支持基板(固定支持基板)21と、正面形状が前側固定支持基板21と略同一で軟鉄等の磁性体からなる後側固定支持基板22と、を備えている。前側固定支持基板21の後面の5カ所には後方に向かって延出する連結支柱23が突設されており、各連結支柱23の後端面には雌ねじ孔24が形成してある。後側固定支持基板22の各連結支柱23と対応する位置には貫通孔25が穿設してある。図7に示すように、各貫通孔25にボルト26を挿入し、その雄ねじ27を対応する連結支柱23の雌ねじ孔24に螺合することにより、前側固定支持基板21と後側固定支持基板22を互いに平行をなすように連結している。
前側固定支持基板21と後側固定支持基板22の中央部にはそれぞれ共に長方形の窓孔28と窓孔29が穿設してあり、後側固定支持基板22は図示を省略した3つの固定ねじによってカメラボディ12内面に固定してある。
前側固定支持基板21の後面には窓孔28の左右両側部に位置する態様で、左右一対の磁石からなるX用磁石(磁力発生装置、X用磁力発生装置、駆動用磁力発生装置)MXが固定してある。左右のX用磁石MXは共に図3及び図5の左側(正面から見たときは右側)の磁石の後半部がS極(前半部はN極)であり、右側(正面から見たときは左側)の磁石の後半部がN極(前半部はS極)である。これら左右のX用磁石MXは互いにX方向に並んでおり両者のY方向位置は一致している。そして、前側固定支持基板21及び後側固定支持基板22が左右のX用磁石MXの磁束を通すことにより、左右のX用磁石MXと後側固定支持基板22の対向部の間にX用磁気回路を構成している。
また、前側固定支持基板21の後面には窓孔28の下方に位置する態様で、上下一対の磁石からなるY用磁石(磁力発生装置、Y用磁力発生装置、駆動用磁力発生装置)MYAとY用磁石(磁力発生装置、Y用磁力発生装置、駆動用磁力発生装置)MYBが左右に並べて設けてある。Y用磁石MYAとY用磁石MYBは共に図3及び図5の上側の磁石の後半部がN極(前半部はS極)であり、下側の磁石の後半部がS極(前半部はN極)である。そして、前側固定支持基板21及び後側固定支持基板22がY用磁石MYAとY用磁石MYBの磁束を通すことにより、Y用磁石MYA及びY用磁石MYBと後側固定支持基板22の対向部との間にY用磁気回路を構成している。
このように前側固定支持基板21及び後側固定支持基板22はヨークとしての機能を有している。
さらに、図7に示すように前側固定支持基板21の3カ所(図7では一カ所のみ図示)には前側固定支持基板21を貫通する取付孔30が穿設してある。各取付孔30には、前端が開口する略円筒形状であるリテーナ31が嵌合固定してある。リテーナ31の内部には雌ねじ孔32が形成してあり、さらにリテーナ31の後壁の中心部には雌ねじ孔32より小径の支持孔33が貫通孔として穿設してある。取付孔30の内部には金属製の調整用ねじ部材34が挿入してあり、調整用ねじ部材34の外周面に形成した雄ねじ35がリテーナ31の雌ねじ孔32と螺合している。さらに、調整用ねじ部材34の前端面にはドライバー溝(図示略)が形成してある。
前側固定支持基板21と後側固定支持基板22の間にはステージ板(ステージ部材)40が位置している。このステージ板40は軟鉄等の磁性材料をプレス成形により一体成形した磁性部材である。ステージ板40の左右の上端角部にはそれぞれ方形の移動範囲規制孔41が穿設してあり、さらにステージ板40の下端部の左右方向中央部には移動範囲規凹部42が形成してある。図8に示すように、左右の移動範囲規制孔41を前側固定支持基板21の左右の上端角部から突出する2本の連結支柱23がそれぞれZ方向に貫通しており、さらに移動範囲規凹部42を前側固定支持基板21の下端部の左右方向中央部から突出する連結支柱23がZ方向に貫通している。
ステージ板40の中央部には正面視長方形の撮像素子取付孔43が穿設してある(図7及び図8参照)。図3及び図7に示すように、ステージ板40の背面にはその前面中央部に撮像素子44を固定した電気基板45が固着してあり、この撮像素子44は撮像素子取付孔43を通ってステージ板40の前方に突出している。さらに、図7に示すように撮像素子44の直前にはスペーサSを介して正面視長方形状の光学ローパスフィルタFが設けてある。
図8に示すように、撮像素子44はステージ板40が図8の位置(初期位置)に位置するときX方向と平行をなす上下一対のX方向側辺44Xと、ステージ板40が初期位置に位置するときY方向と平行な左右一対のY方向側辺44Yとを具備している。撮像素子44の撮像面は、レンズL1〜L3、及び光学ローパスフィルタFを透過した像が結像する結像面であり、ステージ板40が初期位置にあるとき(図8の状態のとき)、撮像素子44の撮像面の中心はレンズL1〜L3の光軸O上に位置する。
ステージ板40には撮像素子44の左右両側部に位置させて一対の縦長長方形状のコイル取付孔46が穿設してあり、撮像素子44の下方には横長長方形状のコイル取付孔47が左右一対として穿設してある。
電気基板45の前面の左右両側部には同一仕様のX方向駆動用コイルCXが固着してあり、左右のX方向駆動用コイルCXは左右のコイル取付孔46にそれぞれ嵌合している。左右のX方向駆動用コイルCXはコイル線が百回以上渦巻き状に巻かれた(ステージ板40と平行な方向にもステージ板40の板厚方向にも巻かれている)XY平面と平行なコイルであり、左右のX方向駆動用コイルCX同士はX方向側辺44Xと平行な方向に並んでいる(図8においてX方向に並んでいる)。別言すると、左右のコイルX方向駆動用コイルCX同士のY方向側辺44Yと平行な方向の位置(図8においてはY方向の位置)は一致している。左右のX方向駆動用コイルCXは左右の上記X用磁気回路とそれぞれ対応する位置している(左右のX用磁石MXとそれぞれZ方向に対向している)。
電気基板45の前面の下端部には互いに同一仕様のY方向駆動用コイルCYAとY方向駆動用コイルCYBがX方向に並べて固着してあり、Y方向駆動用コイルCYAとY方向駆動用コイルCYBは左右のコイル取付孔47にそれぞれ嵌合している。Y方向駆動用コイルCYAとY方向駆動用コイルCYBは共にコイル線が百回以上渦巻き状に巻かれた(ステージ板40と平行な方向にもステージ板40の板厚方向にも巻かれている)XY平面と平行なコイルであり、Y方向駆動用コイルCYAとY方向駆動用コイルCYBは下側のX方向側辺44Xに沿って並んでいる(図8においてはX方向に並んでいる)。別言すると、Y方向駆動用コイルCYAとY方向駆動用コイルCYBのY方向側辺44Yと平行な方向の位置(図8におけるY方向位置)は一致している。Y方向駆動用コイルCYAとY方向駆動用コイルCYBは左右の上記Y用磁気回路とそれぞれ対応する位置している(Y用磁石MYAとY用磁石MYBとそれぞれZ方向に対向している)。
さらに、図2及び図6に示すように、電気基板45の前面には左側のX方向駆動用コイルCXの内部に位置するX用ホール素子HXと、Y方向駆動用コイルCYAとY方向駆動用コイルCYBの内部にそれぞれ位置するY用ホール素子HYとが固定してある。
これら左右のX方向駆動用コイルCX、Y方向駆動用コイルCYA、Y方向駆動用コイルCYB、X用ホール素子HX及びY用ホール素子HYは総て、ステージ板40から延びるフレキシブルプリント基板FPCを介してカメラボディ12に内蔵されたCPU等によって構成される制御手段C(図1参照)と電気的に接続している。
図7に示すように、前側固定支持基板21からステージ板40側に突出する3つのリテーナ31の支持孔33には、支持孔33と略同径のボールBが回転可能に嵌合している。そして、前側固定支持基板21の後面に固定された左右のX用磁石MX、Y用磁石MYA及びY用磁石MYBが発生する磁力によって、ステージ板40の各X用磁石MX、Y用磁石MYA及びY用磁石MYBと対向する部分が前側固定支持基板21側に引き寄せられている。従って、ステージ板40の当該対向部分は3つのボールBと常に回転可能に接触しており、3つのボールBは対応する調整用ねじ部材34の後端面と常に回転可能に接触している。
このようにステージ板40の前面が常に3つのボールBに回転可能に接触しているので、ステージ板40及び撮像素子44は、図8に示す初期位置から前側固定支持基板21及び後側固定支持基板22に対してX方向とY方向に直線的に相対移動できるだけでなく、X方向及びY方向と平行な(光軸Oに直交する)XY平面上を回転可能である。
さらに、ステージ板40の移動範囲規制孔41と移動範囲規凹部42には前側固定支持基板21から突出する3本の連結支柱23がそれぞれ遊嵌しているので、ステージ板40及び電気基板45(撮像素子44)のスライド範囲は連結支柱23が移動範囲規制孔41と移動範囲規凹部42に接触しない範囲に制限されている。従って、左右のX方向駆動用コイルCXは左右のX用磁石MXと、X用ホール素子HXは左側(図3、図5及び図8では右側)のX用磁石MXと、Y方向駆動用コイルCYA及びY方向駆動用コイルCYA内に位置するY用ホール素子HYはY用磁石MYAと、Y方向駆動用コイルCYB及びY方向駆動用コイルCYB内に位置するY用ホール素子HYはY用磁石MYBとそれぞれ常にZ方向に対向する。
上記構成の手振補正装置20は、制御手段CからX方向駆動用コイルCX、Y方向駆動用コイルCYA及びY方向駆動用コイルCYBに電流を流すことにより手振れ補正動作を行う。
具体的には、カメラ10にX方向またはY方向の手振が生じたときに、カメラボディ12に設けた手振補正スイッチSW(図1参照)を押し込むと、カメラ10に内蔵したジャイロセンサGS(図1参照)がカメラボディ12のX方向とY方向の角速度を検出する。すると、上記制御手段Cがこの角速度情報に基づいてカメラボディ12のX方向とY方向の移動距離(手振れ量)を演算し、さらにX方向駆動用コイルCX、Y方向駆動用コイルCYA、Y方向駆動用コイルCYBの少なくともいずれかに電流を流す。すると、X方向駆動用コイルCX、Y方向駆動用コイルCYA、Y方向駆動用コイルCYBの少なくともいずれかが図8に示した矢線方向(FX1またはFX2、FY1またはFY2)の駆動力を発生し、撮像素子44(ステージ板40)がカメラボディ12に対して手振れ方向と反対方向にこの手振れ量と同じ距離だけX方向またはY方向に直線移動するので(ステージ板40のX方向とY方向のスライド量はX用ホール素子HXとY用ホール素子HYで検出する)、撮像素子44の手振れ(像振れ)が補正される。
以上説明したように本実施形態によれば、前側固定支持基板21の後面に固着したX用磁石MX、Y用磁石MYA及びY用磁石MYBの磁力を利用して前側固定支持基板21(及び後側固定支持基板22)とステージ板40(及び電気基板45)の略平行状態を維持しているので、ステージ板40及び電気基板45の後面を前方に押圧する抜け止め手段を具備する従来技術に比べて構造が簡単であり、低コストで製造できる。
さらに、ステージ板40の駆動手段であるX用磁石MX、Y用磁石MYA及びY用磁石MYBをステージ板40の略平行状態を維持するための手段として利用しているので、ステージ板40を略平行状態に維持するための磁石を新たに設ける必要がない。そのため本実施形態の手振補正装置20は部品点数を少なくすることが可能である。
しかも、3つの調整用ねじ部材34の前端面の上記ドライバー溝にドライバー(図示略)の先端を係合して該ドライバーを回転させれば、各調整用ねじ部材34のリテーナ31に対するZ方向位置が変化する。従って、3つの調整用ねじ部材34のZ方向位置を調整することによりステージ板40の前側固定支持基板21及び後側固定支持基板22に対する傾き角を調整すれば、撮像素子44の撮像面をレンズL1〜L3の光軸Oに対して簡単に直交させることができる。
また、ステージ板40は磁性体をプレス成形した一体成形品なので、簡単に製造することが可能である。
以上、上記実施形態を利用して本発明を説明したが、本発明は本実施形態に限定されるものではなく、様々な変更を施しながら実施可能である。
例えば、ステージ板40のX用磁石MX、Y用磁石MYA、Y用磁石MYBと対向する部分のみを磁性部材により成形し、X用磁石MX、Y用磁石MYA、Y用磁石MYBと対向しない部分は非磁性部材により成形してもよい。
さらに、ステージ板40の前面(前面全体またはX用磁石MX、Y用磁石MYA、Y用磁石MYBと対向する部分のみ)に磁性メッキ(磁性材料)を行い(無電解ニッケルメッキに高温処理をする)、この磁性メッキにX用磁石MX、Y用磁石MYA、Y用磁石MYBの磁力を及ぼしてステージ板40を前側固定支持基板21側に吸引してもよい。
また、リテーナ31を後側固定支持基板22のステージ板40との対向面(前面)に設けて、ボールBをステージ板40の後面に回転接触させ、かつX用磁石MX、Y用磁石MYA、Y用磁石MYBを後側固定支持基板22の前面に固定してもよい(磁性メッキを使用する場合はステージ板40の後面に磁性メッキを施す)。
さらに、ステージ板40の前面または後面にリテーナ31を設け、このリテーナ31によって支持されたボールBを前側固定支持基板21の後面または後側固定支持基板22の前面に回転可能に接触させてもよい。
さらに、リテーナ31及びボールBは4つ以上であってもよい。
また、ステージ板40をスライドさせるための磁石MX、MYA、MYBとは別個の磁石を前側固定支持基板21に固定し、この磁石の磁力によりステージ板40を前側固定支持基板21側に吸引してもよい。
さらに図9に示すように、手振補正装置20をレンズL1とレンズL3の間に設けて(手振補正装置20の他のレンズとの位置関係はこれに限定されない)、ステージ板40及び電気基板45の中心部にレンズ保持孔を貫通孔として設け、このレンズ保持孔に補正レンズCLを嵌合固定し、さらに、カメラボディ12の内部にレンズL3の直後に位置する撮像素子44を固定して実施してもよい。このように手振補正装置20によって補正レンズCLをX方向とY方向に直進移動させても、手振れ補正を行うことが可能である。さらに、このような補正レンズCLを用いた手振補正装置20は、撮像素子44を省略することにより銀塩カメラにも適用可能となる。
さらに、上記実施形態では本発明をステージ板40(及び電気基板45)が回転可能な手振補正装置20に適用したが、ステージ板40(及び電気基板45)がX方向とY方向にのみ直線移動する従来から公知の手振補正装置に適用することや、手振補正装置とは用途が異なるステージ装置(特定の部材がX方向やY方向への直線移動や回転が可能な装置)に適用することは当然可能である。
本発明の一実施形態の手振補正機能付カメラの縦断側面図である。 手振補正装置の前方から見た分解斜視図である。 手振補正装置の後方から見た分解斜視図である。 手振補正装置の正面図である。 前側固定支持基板の背面図である。 ステージ板の正面図である 図4のVII−VII矢線に沿う断面図である。 後側固定支持基板及び電気基板を省略して示す手振補正装置の背面図である。 補正レンズを用いた変形例の図1と同様の縦断側面図である。
符号の説明
10 カメラ
11 レンズ鏡筒
12 カメラボディ
20 手振補正装置
21 前側固定支持基板(固定支持基板)
22 後側固定支持基板(固定支持基板)
23 連結支柱
24 雌ねじ孔
25 貫通孔
26 ボルト
27 雄ねじ
28 29 窓孔
30 取付孔
31 リテーナ
32 雌ねじ孔
33 支持孔
34 調整ねじ部材
35 雄ねじ
40 ステージ板(ステージ部材)
41 移動範囲規制孔
42 移動範囲規制凹部
43 撮像素子取付用孔
44 撮像素子
44X X方向側辺
44Y Y方向側辺
45 電気基板
46 47 コイル取付孔
GS ジャイロセンサ
C 制御手段
CL 補正レンズ
CX X方向駆動用コイル(駆動用コイル)
CYA CYB Y方向駆動用コイル(駆動用コイル)
F 光学ローパスフィルタ
FPC フレキシブルプリント基板
GS ジャイロセンサ(振動検出センサ)
HX X用ホール素子
HY Y用ホール素子
MX X用磁石(磁力発生装置、X用磁力発生装置、駆動用磁力発生装置)
MYA MYB Y用磁石(磁力発生装置、Y用磁力発生装置、駆動用磁力発生装置)
O レンズ光軸
S スペーサ
SW 手振補正スイッチ

Claims (8)

  1. 固定支持基板及び該固定支持基板に対してスライド可能なステージ部材を備えるステージ装置において、
    上記ステージ部材と上記固定支持基板の対向面の一方に設けた、他方の対向面に回転接触可能な少なくとも3つのボールを支持するリテーナと、
    上記固定支持基板の上記ステージ部材との対向面に設けた磁力発生装置と、
    上記ステージ部材の上記磁力発生装置との対向部を構成する、該磁力発生装置で発生した磁力により上記固定支持基板側に吸引される磁性部材と、
    を備えることを特徴とするステージ装置。
  2. 請求項1記載のステージ装置において、
    上記ステージ部材全体を上記磁性部材によって構成したステージ装置。
  3. 固定支持基板及び該固定支持基板に対してスライド可能なステージ部材を備えるステージ装置において、
    上記ステージ部材と上記固定支持基板の対向面の一方に設けた、他方の対向面に回転接触可能な少なくとも3つのボールを支持するリテーナと、
    上記固定支持基板の上記ステージ部材との対向面に設けた磁力発生装置と、
    上記ステージ部材の上記磁力発生装置との対向面をコーティングする、該磁力発生装置で発生した磁力により上記固定支持基板側に吸引される磁性材料と、
    を備えることを特徴とするステージ装置。
  4. 請求項1から3のいずれか1項記載のステージ装置において、
    上記ステージ部材に駆動用磁力発生装置を設け、
    上記ステージ部材に、上記駆動用磁力発生装置が作り出す磁界内において電流を受けることにより、該ステージ部材を上記固定支持基板に対してスライドさせる駆動力を発生する駆動用コイルを固定したステージ装置。
  5. 請求項4項記載のステージ装置において、
    上記駆動用磁力発生装置が上記磁力発生装置を兼ねるステージ装置。
  6. 請求項4または5記載のステージ装置において、
    上記磁力発生装置または上記駆動用磁力発生装置がX用磁力発生装置とY用磁力発生装置からなり、
    上記駆動用コイルが、上記X用磁力発生装置で発生した磁界内において電流を受けることにより特定の直線方向であるX方向の駆動力を発生するX方向駆動用コイルと、上記Y用磁力発生装置で発生した磁界内において電流を受けることにより上記X方向に直交するY方向の駆動力を発生するY方向駆動用コイルと、を備えるステージ装置。
  7. 請求項6記載のステージ装置を利用したカメラの手振れ補正装置であって、
    カメラに内蔵した上記ステージ装置と、
    上記ステージ部材と一緒に移動する、前面に結像面を有する撮像素子と、
    上記カメラの手振れを検出するジャイロセンサと、
    該ジャイロセンサが検出した角速度情報に基づいて、上記X方向駆動用コイル及び上記Y方向駆動用コイルに、手振れを補正するように電流を流す制御手段と、
    を備えることを特徴とするカメラの手振れ補正装置。
  8. 請求項6記載のステージ装置を利用したカメラの手振れ補正装置であって、
    カメラに内蔵した上記ステージ装置と、
    上記ステージ部材と一緒に移動する、手振れを補正するための補正レンズと、
    上記カメラの手振れを検出するジャイロセンサと、
    該ジャイロセンサが検出した角速度情報に基づいて、上記X方向駆動用コイル及び上記Y方向駆動用コイルに、手振れを補正するように電流を流す制御手段と、
    を備えることを特徴とするカメラの手振れ補正装置。
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