JP5084308B2 - ステージ装置、及びステージ装置を利用したカメラの手振れ補正装置 - Google Patents
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そして、このように補正レンズ103がレンズ鏡筒104の内周面から離間した状態(浮き上がった状態)でビデオカメラに手振れが生じたときに、電磁石105のコイルに電流を流して電磁石105に磁力を発生させ、この磁力を利用して各電磁石105と対向する固定鉄芯106の間の距離を変化させる。すると補正レンズ103の上記平面上の位置が変化するので、ビデオカメラに生じた手振れが打ち消される。
この場合は、上記X用第1磁石とX用第2磁石のうち永久磁石のものに、該永久磁石のN極とS極にそれぞれ連続しかつ磁性体からなる一対の上記磁力発生部を設けるのが好ましい。
さらに、上記永久磁石と磁性体に互いに面一をなす平面を形成し、該永久磁石と磁性体の上記平面同士にPETからなる連結板を接着してもよい。
さらに、上記X用第1磁石とX用第2磁石の一方の上記磁界発生部のY方向寸法が他方の上記磁界発生部より大きいのが好ましい。
この場合は、上記Y用第1磁石とY用第2磁石のうち永久磁石のものに、該永久磁石のN極とS極にそれぞれ連続しかつ磁性体からなる一対の上記磁力発生部を設けるのが好ましい。
さらに、上記永久磁石と磁性体に互いに面一をなす平面を形成し、該永久磁石と磁性体の上記平面同士にPETからなる連結板を接着してもよい。
さらに、上記Y用第1磁石とY用第2磁石の一方の上記磁界発生部のX方向寸法が他方の上記磁界発生部より大きいのが好ましい。
さらに、電磁石の芯材を永久磁石にすれば、電磁石に電流を流さなくてもステージ部材を特定の位置に保持できるので、さらなる省エネルギー化を図ることが可能である。
まずはカメラデジタルカメラ10及び手振補正装置20の基本構造について説明する。
図1に示すように、デジタルカメラ10(カメラ)のレンズ鏡筒11内には、複数のレンズL1、L2、L3からなる光学系が配設してあり(符号Oはカメラの光軸)、カメラボディ12内にはレンズL3の直後に位置する手振補正装置20が配設されている。
図2から図4に示すように手振補正装置20は、正面視長方形の前側固定支持基板(固定支持基板)21と、正面形状が前側固定支持基板21と同一である後側固定支持基板22と、を備えている。前側固定支持基板21の後面と後側固定支持基板22の前面の対応する4カ所同士は連結支柱23によって連結してあり、前側固定支持基板21と後側固定支持基板22は互いに平行をなしている。そして、図示を省略した3つの固定ねじによって後側固定支持基板22をカメラボディ12の内面に固定している。
さらに前側固定支持基板21の後面には、前側固定支持基板21の4つの側辺に沿う態様で4つの台座30が固定してあり、各台座30の後面には電磁石31A(Y用第1磁石)、電磁石31B(X用第1磁石)、電磁石31C(Y用第1磁石)、電磁石31D(X用第1磁石)が固着してある。
鉄芯32A及び鉄芯32CはX方向と平行な方向に延びており、鉄芯32B及び鉄芯32DはY方向と平行な方向に延びている。鉄芯32Aの両端部から下方に突出する突部はそれぞれコイル33Aに電流が流れたときにS極(磁界発生部)とN極(磁界発生部)を構成する。同様に、鉄芯32Bの両端部から左方に向かって突出する突部はそれぞれコイル33Bに電流が流れたときにS極(磁界発生部)とN極(磁界発生部)を構成し、鉄芯32Cの両端部から上方に向かって突出する突部はそれぞれコイル33Cに電流が流れたときにS極(磁界発生部)とN極(磁界発生部)を構成し、鉄芯32Dの両端部から右方に向かって突出する突部はそれぞれコイル33Dに電流が流れたときにS極(磁界発生部)とN極(磁界発生部)を構成する。
さらに、後側固定支持基板22の前面の中心部には永久磁石37が固着してある。
ステージ板40の各側縁部にはそれぞれ切欠41A、切欠41B、切欠41C、切欠41Dが凹設してある(切欠41Aと切欠41Cの形状は同一であり、切欠41Bと切欠41Dの形状は同一)。
切欠41Aには、永久磁石42A(Y用第2磁石)のN極とS極の端面に左右一対の鉄材43Aをそれぞれ固着した磁石ユニットが嵌合固定してある。左右の鉄材43Aは同一仕様であり、右側の鉄材43Aから上側に突出する突部は鉄芯32AのN極と対向するS極を構成し、左側の鉄材43Aから上側に突出する突部は鉄芯32AのS極と対向するN極を構成している。同様に、切欠41Cには永久磁石42Aと同一仕様の永久磁石42C(Y用第2磁石)のN極とS極の端面に鉄材43Aと同一仕様の鉄材43Cをそれぞれ固着した磁石ユニットが嵌合固定してあり、右側の鉄材43Cから下側に突出する突部は鉄芯32CのN極と対向するS極を構成し、左側の鉄材43Cから下側に突出する突部は鉄芯32CのS極と対向するN極を構成している。
切欠41Bには、永久磁石42Aと同一仕様の永久磁石42B(X用第2磁石)のN極とS極の端面に上下一対の鉄材43Bをそれぞれ固着した磁石ユニットが嵌合固定してある。上下の鉄材43Bは同一仕様であり、上側の鉄材43Bから右側に突出する突部は鉄芯32BのS極と対向するN極を構成し、下側の鉄材43Bから右側に突出する突部は鉄芯32BのN極と対向するS極を構成している。同様に、切欠41Dには永久磁石42Bと同一仕様の永久磁石42D(X用第2磁石)のN極とS極の端面に鉄材43Bと同一仕様の鉄材43Dをそれぞれ固着した磁石ユニットが嵌合固定してあり、上側の鉄材43Dから左側に突出する突部は鉄芯32DのS極と対向するN極を構成し、下側の鉄材43Dから左側に突出する突部は鉄芯32DのN極と対向するS極を構成している。
永久磁石42A、永久磁石42B、永久磁石42C、永久磁石42D、鉄材43A、鉄材43B、鉄材43C及び鉄材43DのZ方向の板厚はステージ板40と同一であり、ステージ板40、永久磁石42A、永久磁石42B、永久磁石42C、永久磁石42D、鉄材43A、鉄材43B、鉄材43C及び鉄材43Dの前面と後面は総て連続している(面一である)。
図2に示すように、鉄芯32A及び鉄芯32CのS極とN極は鉄材43A及び鉄材43CのN極とS極より広幅であり、鉄芯32B及び鉄芯32DのS極とN極は鉄材43B及び鉄材43DのN極とS極より広幅である。さらに図3に示すように、ステージ板40、永久磁石42A、永久磁石42B、永久磁石42C、永久磁石42D、鉄材43A、鉄材43B、鉄材43C及び鉄材43Dは、鉄芯32A、鉄芯32B、鉄芯32C及び鉄芯32Dが位置する平面上に位置している。
ステージ板40の前面中央部には、その前面が撮像面48を構成する撮像素子47が固着してある。図2に示すように撮像素子47は、ステージ板40の上辺及び下辺と平行な上下一対のX方向辺47Xと、ステージ板40の右辺及び左辺と平行な左右一対のY方向辺47Yとを具備している。図2に示すように、ステージ板40が撮像面48の中心と光軸Oが重なる初期位置に位置するとき、一対のX方向辺47XはX方向と平行となり、一対のY方向辺47YはY方向と平行になる。ステージ板40の前面の撮像素子47の周囲にはホルダ49の後端部が固着してあり、ホルダ49の前面には撮像面48とZ方向に対向する窓孔50が穿設してある。さらに、ホルダ49の前壁の後面には光学ローパスフィルタ51が固定してある。
図1に示すようにカメラボディ12の内部にはカメラボディ12の振動を検出するための2軸ジャイロセンサGS(振動検出センサ)が固定してあり、この2軸ジャイロセンサGSはカメラボディ12の内部に固定したCPU等によって構成される制御手段C(電力供給手段)と電気的に接続している。さらに、この制御手段Cはコイル33A、コイル33B、コイル33C、コイル33D、2軸ホールセンサ45、撮像素子47及びバッテリB(図1参照。電力供給手段)と電気的に接続している。
撮影者がカメラボディ12に設けたメインスイッチMS(図1参照)を押すと、制御手段CがバッテリBの電力をコイル33A、コイル33B、コイル33C及びコイル33Dに流す。このとき、コイル33Aとコイル33Cには同じ方向の電流が、コイル33Aの方がコイル33Cより大きくなるように流れる。そのため、鉄芯32AのN極と鉄材43AのS極の間、鉄芯32AのS極と鉄材43AのN極の間、鉄芯32CのN極と鉄材43CのS極の間、及び鉄芯32CのS極と鉄材43CのN極の間には総て吸引力が生じる。さらに、ステージ板40、永久磁石42A、永久磁石42B、永久磁石42C、永久磁石42D、鉄材43A、鉄材43B、鉄材43C、鉄材43D及び2軸ホールセンサ45等からなる一体物を上方に引き上げる吸引力である、鉄芯32AのN極と鉄材43AのS極の間、及び鉄芯32AのS極と鉄材43AのN極の間の吸引力が、鉄芯32CのN極と鉄材43CのS極の間、及び鉄芯32CのS極と鉄材43CのN極の間の吸引力より大きくなる。
一方、コイル33Bとコイル33Dには同じ方向かつ同じ大きさの電流が流れるので、鉄芯32BのN極と鉄材43BのS極の間、鉄芯32BのS極と鉄材43BのN極の間、鉄芯32DのN極と鉄材43DのS極の間、及び鉄芯32DのS極と鉄材43DのN極の間には総て同じ大きさの吸引力が生じる。
そのため、ステージ板40は図2に示す初期位置に移動し、該初期位置に保持される。
カメラボディ12にX方向左側の手振れが生じた場合は、制御手段Cがコイル33Bにより大きな電流を流し(またはコイル33D流す電流の大きさを小さくし)てステージ板40をX方向右側に移動させることにより手振れを補正する。また、カメラボディ12にY方向上側の手振れが生じた場合は、制御手段Cがコイル33Cにより大きな電流を流して(または、コイル33Aにより小さい電流を流して)ステージ板40をY方向下側に移動させることにより手振れを補正し、カメラボディ12にY方向下側の手振れが生じた場合は、制御手段Cがコイル33Aにより大きな電流を流して(またはコイル33Cに流す電流の大きさを小さくし)ステージ板40を上側に移動させることにより手振れを補正する。
このように手振れを補正した状態で図示を省略したシャッターボタンを全押しすると、撮像素子47により像ぶれのない画像が撮像される。
さらに、撮像素子47による撮像前または撮像後に手振れが無くなると、2軸ジャイロセンサGSが手振れがなくなったことを検知する。すると、制御手段Cがコイル33A、コイル33B、コイル33C、及びコイル33Dに流す電流を制御してステージ板40を初期位置に復帰させ、該初期位置に保持する。
しかも、鉄芯32A及び鉄芯32CのS極とN極が鉄材43A及び鉄材43CのN極とS極より広幅であり、鉄芯32B及び鉄芯32DのS極とN極が鉄材43B及び鉄材43DのN極とS極より広幅なので、ステージ板40が初期位置から移動しても鉄芯32A及び鉄芯32CのS極とN極を鉄材43A及び鉄材43CのN極とS極とそれぞれ常に対向させることができ、鉄芯32B及び鉄芯32DのS極とN極を鉄材43B及び鉄材43DのN極とS極とそれぞれ常に対向させることが可能である。
本実施形態の特徴は手振補正装置20にあり、第1の実施形態の手振補正装置20と比べた場合の相違点は2つである。
一つ目の相違点は、電磁石60A、電磁石60B、電磁石60C及び電磁石60Dの構成である。即ち、電磁石60A(Y用第1磁石)、電磁石60B(X用第1磁石)、電磁石60C(Y用第1磁石)及び電磁石60D(X用第1磁石)は軟磁性体61A、軟磁性体61B、軟磁性体61C及び軟磁性体61Dにコイル33A、コイル33B、コイル33C及びコイル33Dを巻回し、かつ軟磁性体61A、軟磁性体61B、軟磁性体61C及び軟磁性体61Dの両端部に、永久磁石61AN(磁界発生部)と永久磁石61AS(磁界発生部)、永久磁石61BN(磁界発生部)と永久磁石61BS(磁界発生部)、永久磁石61CN(磁界発生部)と永久磁石61CS(磁界発生部)、永久磁石61DN(磁界発生部)と永久磁石61DS(磁界発生部)とをそれぞれ設けた構成である。永久磁石61CN、61CSは永久磁石61AN、61ASよりも強く(永久磁石61CNと永久磁石61CSは同じ強さであり、永久磁石61ANと永久磁石61ASは同じ強さ)、永久磁石61BN、61BS、61DN、61DSは総て同じ強さである。永久磁石61AS、61BS、61CS、61DSは、鉄材43A、43B、43C、43Dの各S極との対向部がS極であり、永久磁石61AN、61BN、61CN、61DNは、鉄材43A、43B、43C、43Dの各N極との対向部がN極である。
コイル33A、コイル33B、コイル33C及びコイル33Dは台座30を介さずに前側固定支持基板21に直接固定してある。上記移動範囲規制手段の働きにより、永久磁石61AN、永久磁石61BN、永久磁石61CN、永久磁石61DNのN極は鉄材43AのN極、鉄材43BのN極、鉄材43CのN極、鉄材43DのN極と常にそれぞれ対向し、永久磁石61AS、永久磁石61BS、永久磁石61CS、永久磁石61DSのS極は鉄材43AのS極、鉄材43BのS極、鉄材43CのS極、鉄材43DのS極と常にそれぞれ対向する。
そしてカメラボディ12に手振が生じたときに、制御手段Cがコイル33A、コイル33B、コイル33C、及びコイル33Dに流す電流を制御(増減)すれば、ステージ板40がX方向及び(または)Y方向に移動するので、第1の実施形態と同様に手振れを補正できる。
このような位置関係でステージ板40、永久磁石42Aと鉄材43A、永久磁石42Bと鉄材43B、永久磁石42Cと鉄材43C及び永久磁石42Dと鉄材43Dを配置したので、図6の矢印で示すように、鉄材43Aには永久磁石61ASのS極及び永久磁石61ANのN極から後側固定支持基板22側への付勢力が掛かり、鉄材43Cには永久磁石61CSのS極及び永久磁石61CNのN極から後側固定支持基板22側への付勢力が掛かる。同様に鉄材43Bには永久磁石61BSのS極及び永久磁石61BNのN極から後側固定支持基板22側への付勢力が掛かり、鉄材43Dには永久磁石61DSのS極及び永久磁石61DNのN極から後側固定支持基板22側への付勢力が掛かるので、ステージ板40の後面は常にボール36(支持部材)に回転可能に接触する。
さらに、微弱な電流でステージ板40が初期位置に移動及び保持できるので、手振補正時における制御も第1の実施形態に比べて容易である。
しかも、永久磁石61AS、61AN、61BS、61BN、61CN、61CS、61DN、61DSの磁力によってステージ板40の後面が常にボール36に回転可能に接触するので、第1の実施形態では必要だった4つの支持突部28及びボール29が不要になる。従って、第1の実施形態に比べて部品点数を少なくすることが可能である。
例えば、図7及び図8に示すように、第1の実施形態の前側固定支持基板21の左右両側部に切欠27を形成し、左右の切欠27に電磁石70B(X用第1磁石)と電磁石70D(X用第1磁石)を嵌合固定してもよい。
電磁石70Bと電磁石70Dは、側面視略長方形をなす板状の鉄芯71Bと鉄芯71Dにコイル33Bとコイル33Dを巻回し、鉄芯71Bと鉄芯71Dの上下の端面に磁性体からなるS極部材72BS(磁界発生部)、N極部材72BN(磁界発生部)、S極部材72DS(磁界発生部)及びN極部材72DN(磁界発生部)をそれぞれ固着し、コイル33Bとコイル33Dを切欠27の壁面に固着したものである。鉄芯71Bと鉄芯71DはX方向よりもZ方向の板厚が大きい板状部材であり、S極部材72BS、N極部材72BN、S極部材72DS及びN極部材72DNはZ方向よりX方向の板厚が大きい板状部材である。
このような変形例によれば、電磁石70Bと電磁石70DのX方向寸法を第1の実施例の電磁石31B及び電磁石31Dより小さくすることができるので、手振補正装置20のX方向寸法を第1の実施形態により小さくすることが可能である。
なお、第1の実施形態の電磁石31Aや電磁石31Cを電磁石70B及び電磁石70Dと同一の構成にしたり、第2の実施形態の電磁石60A、電磁石60B、電磁石60C、電磁石60Dを電磁石70B及び電磁石70Dと同一の構成にすることも可能である。
このようにすれば、永久磁石42Cと鉄材43Cの端面同士を接着する場合に比べて、永久磁石42Cと鉄材43Cをより簡単かつ確実に固定することができる。
なお、このように連結板75を用いた結合方法は、永久磁石42Aと鉄材43A、永久磁石42Bと鉄材43B、あるいは永久磁石42Dと鉄材43Dの間にも当然適用可能である。
また、図11に示すように左右の軟磁性体61Cの端部よりやや内側に永久磁石61CNと永久磁石61CSを突設してもよい。
なお、図10の変形例は電磁石31A、電磁石31B及び電磁石31Dにも当然適用可能であり、図11の変形例は電磁石60A、電磁石60B及び電磁石60Dにも当然適用可能である。
また、ステージ板40に固定した鉄材43A及び鉄材43CのS極とN極のX方向寸法を鉄芯32Aと鉄芯32CのS極とN極のX方向寸法より大きくしたり、永久磁石61AS、永久磁石61AN、永久磁石61CS、永久磁石61CNのX方向寸法より大きくしてもよい。同様に、鉄材43B及び鉄材43DのS極とN極のY方向寸法を鉄芯32Bと鉄芯32DのS極とN極のY方向寸法より大きくしたり、永久磁石61BS、永久磁石61BN、永久磁石61DS、永久磁石61DN、S極部材72BS、N極部材72BN、S極部材72DS、N極部材72DNのY方向寸法より大きくしてもよい。
さらに、第1及び第2の実施形態において、永久磁石42A、鉄材43A、永久磁石42B、鉄材43B、永久磁石42C、鉄材43C、永久磁石42D、鉄材43Dの板厚をステージ板40の板厚より薄くし、永久磁石42A、鉄材43A、永久磁石42B、鉄材43B、永久磁石42C、鉄材43C、永久磁石42D、鉄材43Dをステージ板40の前後両面から突出させずに切欠41A、切欠41B、切欠41C、切欠41D内に収めて実施してもよい。
さらに、鉄芯32A、鉄芯32B、鉄芯32C、鉄芯32D、鉄材43A、鉄材43B、鉄材43C、鉄材43D、鉄芯71B、鉄芯71D、S極部材72BS、S極部材72DS、N極部材72BN、N極部材72DNの材料として鉄を用いたが、これらの材料として鉄以外の磁性体を利用してもよい。
このような手振補正装置20の補正レンズCLをX方向とY方向に直進移動させても、手振れ補正を行うことが可能である。さらに、このような補正レンズCLを用いた手振補正装置20は、撮像素子47を省略することにより銀塩カメラにも適用可能となる。
11 レンズ鏡筒
12 カメラボディ
20 手振補正装置
21 前側固定支持基板(固定支持基板)
22 後側固定支持基板
23 連結支柱
24 窓孔
25 支持枠
26 赤外線カットフィルタ
28 支持突部
29 ボール
30 台座
31A 31B 31C 31D 電磁石(X用第1磁石、Y用第1磁石)
32A 32B 32C 32D 鉄芯
33A 33B 33C 33D コイル
35 支持突部
36 ボール(支持部材)
40 ステージ板(ステージ部材)
41A 41B 41C 41D 切欠
42A 42B 42C 42D 永久磁石(X用第2磁石、Y用第2磁石)
43A 43B 43C 43D 鉄材
45 2軸ホールセンサ
47 撮像素子
47X X方向辺
47Y Y方向辺
48 撮像面
49 ホルダ
50 窓孔
51 光学ローパスフィルタ
60A 60B 60C 60D 電磁石(X用第1磁石、Y用第1磁石)
61A 61B 61C 61D 軟磁性体
61AN 61BN 61CN 61DN 永久磁石(磁界発生部)
61AS 61BS 61CS 61DS 永久磁石(磁界発生部)
70B 70D 電磁石(X用第1磁石)
71B 71D 鉄芯
72BS 72DS S極部材(磁界発生部)
72BN 72DN N極部材(磁界発生部)
75 連結板
B バッテリ(電力供給手段)
C 制御手段(電力供給手段)
CL 補正レンズ
GS 2軸ジャイロセンサ(振動検出センサ)
O 光軸
MS メインスイッチ
SW 手振補正スイッチ
Claims (19)
- 固定支持基板に固定した特定のX方向に並ぶ一対のX用第1磁石と、
上記固定支持基板に対して特定の基準平面上を相対移動可能なステージ部材と、
上記ステージ部材に固定した、上記一対のX用第1磁石とそれぞれ上記X方向に対向し、対向するX用第1磁石との間に上記X方向の吸引力または反発力を発生する一対のX用第2磁石と、を備え、
上記固定支持基板に固定した上記X方向に対して直交するY方向に並ぶ一対のY用第1磁石と、
上記ステージ部材に固定した、上記2つのY用第1磁石とそれぞれ上記Y方向に対向し、対向するY用第1磁石との間に上記Y方向の吸引力または反発力を発生する一対のY用第2磁石と、を備え、
互いに対向する上記X用第1磁石とX用第2磁石の一方を永久磁石としかつ他方を電磁石とし、
互いに対向する上記Y用第1磁石とY用第2磁石の一方を永久磁石としかつ他方を電磁石とし、
上記ステージ部材を挟んで上記固定支持基板と反対側に該ステージ部材を移動可能に支持する支持部材を設け、
上記X用第2磁石を上記X用第1磁石より上記支持部材側に位置させ、かつ、上記Y用第2磁石を上記Y用第1磁石より上記支持部材側に位置させたことを特徴とするステージ装置。 - 請求項1記載のステージ装置において、
X用第1磁石とX用第2磁石が共に上記基準平面と平行な特定の平面上に位置しているステージ装置。 - 請求項1または2記載のステージ装置において、
上記X用第1磁石に、上記基準平面と平行でX方向に直交するY方向に互いに離間する一対の磁界発生部を設け、かつ、上記X用第2磁石に該磁界発生部とそれぞれ対向する、互いにY方向に離間する一対の磁界発生部を設けたステージ装置。 - 請求項3記載のステージ装置において、
上記X用第1磁石とX用第2磁石のうち永久磁石のものに、該永久磁石のN極とS極にそれぞれ連続しかつ磁性体からなる一対の上記磁力発生部を設けたステージ装置。 - 請求項4記載のステージ装置において、
上記永久磁石と磁性体に互いに面一をなす平面を形成し、該永久磁石と磁性体の上記平面同士にPETからなる連結板を接着したステージ装置。 - 請求項3から5のいずれか1項記載のステージ装置において、
上記X用第1磁石とX用第2磁石の少なくとも一方のY方向の両端部に上記磁界発生部を形成したステージ装置。 - 請求項3から6のいずれか1項記載のステージ装置において、
上記X用第1磁石とX用第2磁石の一方の上記磁界発生部のY方向寸法が他方の上記磁界発生部より大きいステージ装置。 - 請求項1から7のいずれか1項記載のステージ装置において、
上記X用第2磁石の板厚を該ステージ部材以下とし、上記X用第2磁石の表裏両面を上記ステージ部材の表裏両面から突出させず該ステージ部材の板厚内に収めたステージ装置。 - 請求項1から8のいずれか1項記載のステージ装置において、
上記X用第1磁石とX用第2磁石の一方を構成する上記電磁石が、磁性体からなる芯材にコイルを巻回した構造であるステージ装置。 - 請求項1から9のいずれか1項記載のステージ装置において、
上記Y用第1磁石とY用第2磁石が共に上記基準平面と平行な特定の平面上に位置しているステージ装置。 - 請求項1から10のいずれか1項記載のステージ装置において、
上記Y用第1磁石に、上記基準平面と平行でX方向に互いに離間する一対の磁界発生部を設け、かつ、上記Y用第2磁石に該磁界発生部とそれぞれ対向する、互いにX方向に離間する一対の磁界発生部を設けたステージ装置。 - 請求項11記載のステージ装置において、
上記Y用第1磁石とY用第2磁石のうち永久磁石のものに、該永久磁石のN極とS極にそれぞれ連続しかつ磁性体からなる一対の上記磁力発生部を設けたステージ装置。 - 請求項12記載のステージ装置において、
上記永久磁石と磁性体に互いに面一をなす平面を形成し、該永久磁石と磁性体の上記平面同士にPETからなる連結板を接着したステージ装置。 - 請求項11から13のいずれか1項記載のステージ装置において、
上記Y用第1磁石とY用第2磁石の少なくとも一方のX方向の両端部に上記磁界発生部を形成したステージ装置。 - 請求項11から14のいずれか1項記載のステージ装置において、
上記Y用第1磁石とY用第2磁石の一方の上記磁界発生部のX方向寸法が他方の上記磁界発生部より大きいステージ装置。 - 請求項1から15のいずれか1項記載のステージ装置において、
上記Y用第2磁石の板厚を該ステージ部材以下とし、上記Y用第2磁石の表裏両面を上記ステージ部材の表裏両面から突出させず該ステージ部材の板厚内に収めたステージ装置。 - 請求項1から16のいずれか1項記載のステージ装置において、
上記Y用第1磁石とY用第2磁石の一方を構成する上記電磁石が、磁性体からなる芯材にコイルを巻回した構造であるステージ装置。 - 請求項1から17のいずれか1項記載のステージ装置を利用したカメラの手振れ補正装置であって、
カメラに内蔵した上記ステージ装置と、
上記ステージ部材の前面に固定された撮像素子と、
上記カメラのX方向の振動とY方向の振動を検出する振動検出センサと、
上記電磁石に電力を供給する電力供給手段と、を備え、
上記電力供給手段が、上記振動検出センサが検出した振動情報に基づいて、上記カメラに生じた手振れを打ち消すように上記X用第1磁石とX用第2磁石のうちの電磁石のもの、及び上記Y用第1磁石とY用第2磁石のうちの電磁石のものに電流を流すカメラの手振れ補正装置。 - 請求項1から17のいずれか1項記載のステージ装置を利用したカメラの手振れ補正装置であって、
カメラに内蔵した上記ステージ装置と、
上記ステージ部材に固定された補正レンズと、
上記カメラのX方向の振動とY方向の振動を検出する振動検出センサと、
上記電磁石に電力を供給する電力供給手段と、を備え、
上記電力供給手段が、上記振動検出センサが検出した振動情報に基づいて、上記カメラに生じた手振れを打ち消すように上記X用第1磁石とX用第2磁石のうちの電磁石のもの、及び上記Y用第1磁石とY用第2磁石のうちの電磁石のものに電流を流すカメラの手振れ補正装置。
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