JP7388354B2 - 発光デバイス - Google Patents
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Description
1.実施の形態(GaNよりも面内方向の格子定数が大きな3層を格子定数の大きさが大小大となるように積層した例)
1-1.発光デバイスの構成
1-2.発光デバイスの製造方法
1-3.作用・効果
2.変形例1(第2層に厚膜のGaN層を用いた例)
3.変形例2(第2層に超格子を用いた例)
4.変形例3(半導体レーザ素子としての構成の一例)
図1は、本開示の一実施の形態に係る発光デバイス(発光デバイス1)の断面構成を模式的に表したものである。この発光デバイス1は、例えば可視領域、特に500nm以上の波長の光を出射する半導体レーザまたは発光ダイオード等である。本実施の形態の発光デバイス1は、基板11上に、面内方向の格子定数a1を有する第1層13、面内方向の格子定数a2を有する第2層14および面内方向の格子定数a3を有する第3層16がこの順に積層されている。各面内方向の格子定数a1,a2,a3は、GaNの面内方向の格子定数aGANよりも大きく、aGAN<a2<a1,a3の関係を有している。
発光デバイス1は、上記のように、基板11上に、第1層13、第2層14および第3層16がこの順に積層されており、第3層16内に発光層(活性層17)を有する。本実施の形態の発光デバイス1は、窒化ガリウム(GaN)系材料を用いて形成されている。更に、基板11と第1層13との間にはバッファ層12が、第2層14と第3層16との間には、歪層15が設けられている。第1層13、第2層14および第3層16は、上記のように、面内方向の格子定数としてそれぞれa1,a2,a3を有し、これらはGaNの面内方向の格子定数aGANよりも大きく、aGAN<a2<a1,a3の関係を有している。
本実施の形態の発光デバイス1は、例えば以下のように製造することができる。図3A~図3Cは、発光デバイス1の製造方法を工程順に表したものである。
窒化ガリウム(GaN)系材料を用いた発光デバイスは、可視領域の発光素子として開発されており、その用途の1つとしてRGBの発光素子を用いたディスプレイがある。可視領域のうち、青色帯域および緑色帯域は、GaN系材料を用いたLEDやLDで既に実用化されているが、緑色帯域の光を発するLEDおよびLDでは発光効率の改善が求められている。赤色帯域の光を発する発光デバイスではGaInP系材料が用いられているが、GaInP系の材料を用いたLEDおよびLDは、高温時における発光効率が低いという課題がある。
図4は、本開示の変形例(変形例1)に係る発光デバイス(発光デバイス2)の断面構成を模式的に表したものである。この発光デバイス2は、例えば可視領域、特に500nm以上の波長の光を出射する半導体レーザまたは発光ダイオード等である。発光デバイス2は、上記実施の形態と同様に、GaNの面内方向の格子定数aGANよりも大きく、aGAN<a2<a1,a3の関係を有する格子定数a1の第1層13、格子定数a2の第2層24および格子定数a3の第3層16がこの順に積層されている。本変形例では、第2層24が、例えば5nm以上の厚みを有するGaN層24A、n-GaInN/GaN層14Cおよびn-GaInN層14Dの3層からなる点が上記実施の形態とは異なる。
図5は、本開示の変形例(変形例2)に係る発光デバイス(発光デバイス3)の断面構成を模式的に表したものである。この発光デバイス3は、例えば可視領域、特に500nm以上の波長の光を出射する半導体レーザまたは発光ダイオード等である。発光デバイス3は、上記実施の形態と同様に、GaNの面内方向の格子定数aGANよりも大きく、aGAN<a2<a1,a3の関係を有する格子定数a1の第1層13、格子定数a2の第2層34および格子定数a3の第3層16がこの順に積層されている。本変形例では、第2層34が、AlGaNとGaNとが積層され超格子構造を有するAlGaN/GaN層34Aと、n-GaInN/GaN層14Cおよびn-GaInN層14Dとの3層からなる点が上記実施の形態とは異なる。
図6は、本開示の変形例(変形例3)に係る発光デバイス(発光デバイス4)の断面構成を模式的に表したものである。この発光デバイス4は、例えば可視領域、特に500nm以上の波長の光を出射する半導体レーザである。本変形例の発光デバイス4は、上記実施の形態と同様に、GaNの面内方向の格子定数aGANよりも大きく、aGAN<a2<a1,a3の関係を有する格子定数a1の第1層43、格子定数a2の第2層44および格子定数a3の第3層46がこの順に積層されており、第2層44中にはクラッド層45があり、第3層46には活性層47および光ガイド層が形成されている。更に、第3層46上には、クラッド層48およびコンタクト層49が積層されている。
(1)
Alx2Inx1Ga(1-x1-x2)N(0<x1<1,0≦x2<1)からなる単層から構成された第1層と、
前記第1層に接して設けられ、前記第1層に対して格子緩和したAly2Iny1Ga(1-y1-y2)N(0<y1<1,0≦y2<1)からなると共に、複数の層から構成された第2層と、
前記第2層の上方に設けられ、前記第2層に対して格子緩和したAlz2Inz1Ga(1-z1-z2)N(0<z1<1,0≦z2<1)からなると共に、活性層を含む複数の層から構成された第3層とを備え、
GaNの面内方向の格子定数aGAN、前記第1層の面内方向の格子定数a1、前記第2層を構成する前記複数の層それぞれの面内方向の格子定数a2および前記第3層を構成する前記活性層を含む前記複数の層それぞれの面内方向の格子定数a3がaGAN<a2<a1,a3の関係を有する
発光デバイス。
(2)
前記第1層の面内方向の格子定数a1と前記第2層の面内方向の格子定数a2とは(a2-a1)/a1<-0.06%の関係を満たし、前記第2層の面内方向の格子定数a2と前記第3層の面内方向の格子定数a3とは(a3-a2)/a2>0.06%の関係を満たし、前記第1層の面内方向の格子定数a1とGaNの面内方向の格子定数aGANとは(a1-aGAN)/aGAN>0.33%の関係を満たす、前記(1)に記載の発光デバイス。
(3)
前記第2層を構成する前記格子定数a2の前記複数の層の総厚が100nm以上である、前記(1)または(2)に記載の発光デバイス。
(4)
前記第3層を構成する前記格子定数a3の前記複数の層の総厚が100nm以上である、前記(1)乃至(3)のうちのいずれか1つに記載の発光デバイス。
(5)
前記第2層は前記複数の層としてクラッド層を有し、前記第3層は前記複数の層として光ガイド層を有する、前記(1)乃至(4)のうちのいずれか1つに記載の発光デバイス。
(6)
更に、基板を有し、
前記基板上に、前記第1層、前記第2層および前記第3層がこの順に設けられている、前記(1)乃至(5)のうちのいずれか1つに記載の発光デバイス。
(7)
更に、前記基板と前記第1層との間にバッファ層を有し、
前記バッファ層は、窒化ガリウム(GaN),窒化ガリウムインジウム(GaInN),窒化ガリウムアルミニウム(AlGaN),窒化アルミニウム(AlN)または窒化アルミニウムガリウムインジウム(AlGaInN)からなる、前記(6)に記載の発光デバイス。
(8)
前記基板は、窒化ガリウム(GaN)基板により構成されている、前記(6)または(7)に記載の発光デバイス。
(9)
前記基板は、サファイア基板、シリコン(Si)基板、窒化アルミニウム(AlN)基板または酸化亜鉛(ZnO)基板により構成されている、前記(6)または(7)に記載の発光デバイス。
(10)
前記第2層と前記第3層との間に歪層をさらに有し、
前記歪層は、前記第2層の面内の格子定数a2よりも小さいまたはaGaNと前記第3層の格子定数a3との間の格子定数を有する、前記(1)乃至(9)のうちのいずれか1つに記載の発光デバイス。
Claims (10)
- Alx2Inx1Ga(1-x1-x2)N(0<x1<1,0≦x2<1)からなる単層から構成された第1層と、
前記第1層に接して設けられ、前記第1層に対して格子緩和したAly2Iny1Ga(1-y1-y2)N(0<y1<1,0≦y2<1)からなると共に、複数の層から構成された第2層と、
前記第2層の上方に設けられ、前記第2層に対して格子緩和したAlz2Inz1Ga(1-z1-z2)N(0<z1<1,0≦z2<1)からなると共に、活性層を含む複数の層から構成された第3層とを備え、
GaNの面内方向の格子定数aGAN、前記第1層の面内方向の格子定数a1、前記第2層を構成する前記複数の層それぞれの面内方向の格子定数a2および前記第3層を構成する前記活性層を含む前記複数の層それぞれの面内方向の格子定数a3がaGAN<a2<a1,a3の関係を有する
発光デバイス。 - 前記第1層の面内方向の格子定数a1と前記第2層の面内方向の格子定数a2とは(a2-a1)/a1<-0.06%の関係を満たし、前記第2層の面内方向の格子定数a2と前記第3層の面内方向の格子定数a3とは(a3-a2)/a2>0.06%の関係を満たし、前記第1層の面内方向の格子定数a1とGaNの面内方向の格子定数aGANとは(a1-aGAN)/aGAN>0.33%の関係を満たす、請求項1に記載の発光デバイス。
- 前記第2層を構成する前記格子定数a2の前記複数の層の総厚が100nm以上である、請求項1に記載の発光デバイス。
- 前記第3層を構成する前記格子定数a3の前記複数の層の総厚が100nm以上である、請求項1に記載の発光デバイス。
- 前記第2層は前記複数の層としてクラッド層を有し、前記第3層は前記複数の層として光ガイド層を有する、請求項1に記載の発光デバイス。
- 更に、基板を有し、
前記基板上に、前記第1層、前記第2層および前記第3層がこの順に設けられている、請求項1に記載の発光デバイス。 - 更に、前記基板と前記第1層との間にバッファ層を有し、
前記バッファ層は、窒化ガリウム(GaN),窒化ガリウムインジウム(GaInN),窒化ガリウムアルミニウム(AlGaN),窒化アルミニウム(AlN)または窒化アルミニウムガリウムインジウム(AlGaInN)からなる、請求項6に記載の発光デバイス。 - 前記基板は、窒化ガリウム(GaN)基板により構成されている、請求項6に記載の発光デバイス。
- 前記基板は、サファイア基板、シリコン(Si)基板、窒化アルミニウム(AlN)基板または酸化亜鉛(ZnO)基板により構成されている、請求項6に記載の発光デバイス。
- 前記第2層と前記第3層との間に歪層をさらに有し、
前記歪層は、前記第2層の面内の格子定数a2よりも小さいまたはaGaNと前記第3層の格子定数a3との間の格子定数を有する、請求項1に記載の発光デバイス。
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