JP7388324B2 - ウェーハの片面研磨方法、ウェーハの製造方法、およびウェーハの片面研磨装置 - Google Patents
ウェーハの片面研磨方法、ウェーハの製造方法、およびウェーハの片面研磨装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7388324B2 JP7388324B2 JP2020151290A JP2020151290A JP7388324B2 JP 7388324 B2 JP7388324 B2 JP 7388324B2 JP 2020151290 A JP2020151290 A JP 2020151290A JP 2020151290 A JP2020151290 A JP 2020151290A JP 7388324 B2 JP7388324 B2 JP 7388324B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polishing
- wafer
- head
- degrees
- pad
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000005498 polishing Methods 0.000 title claims description 303
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 70
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 15
- 230000006835 compression Effects 0.000 claims description 19
- 238000007906 compression Methods 0.000 claims description 19
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 15
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 12
- 239000004745 nonwoven fabric Substances 0.000 claims description 8
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 223
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 14
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 14
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 14
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 14
- 238000007517 polishing process Methods 0.000 description 12
- 239000000463 material Substances 0.000 description 7
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 7
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 6
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 description 5
- 230000000875 corresponding effect Effects 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 5
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 5
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 4
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 4
- 239000006229 carbon black Substances 0.000 description 3
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 3
- 239000003381 stabilizer Substances 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 2
- 239000008119 colloidal silica Substances 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 2
- 239000000049 pigment Substances 0.000 description 2
- 229920005749 polyurethane resin Polymers 0.000 description 2
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 2
- 239000003082 abrasive agent Substances 0.000 description 1
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 1
- 239000012670 alkaline solution Substances 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003945 anionic surfactant Substances 0.000 description 1
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 230000007717 exclusion Effects 0.000 description 1
- 239000006260 foam Substances 0.000 description 1
- 238000005187 foaming Methods 0.000 description 1
- 238000010191 image analysis Methods 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002736 nonionic surfactant Substances 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 description 1
- 238000007665 sagging Methods 0.000 description 1
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 1
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
Description
例えば、特許文献1には、被研磨物の表面の平坦性に優れた研磨パッドおよびその製造方法が開示されている。
しかし、前記特許文献1に記載の研磨パッドにおいては、多層構造の研磨パッドにより、微小な欠陥を低減しようとするもので、平坦度の指標としてはESFQRの変化を測定するのみで、ウェーハの周方向のバラツキに対して注目するものではない。
また、前記特許文献2に記載の研磨パッドにおいては、研磨パッド表面粗さと圧縮率の関係を基にウェーハの外周ダレを改善しようとするものであるが、ウェーハの周方向のバラツキに対して注目するものではない。
具体的には、ESFQRの測定には、平坦度測定装置(KLA-Tencor社製:Wafer sight 2)を用いる。ESFQRは、ウェーハの外周部(エッジ)でのサイトフラットネスを示す指標である。ESFQRは、ウェーハの外周部を多数(例えば72個)の扇形の領域(サイト)に分割し、サイト内でのデータを最小二乗法にて算出したサイト内平面を基準とし、このサイト内平面からの変位量のことであり、各サイトには1つのデータを持つ。
また、本明細書における「ESFQR Range」とは、扇形の各サイトで算出されたESFQRの最大量と最小量の差分のことで、そのウェーハの周方向のばらつき量を示す。
本明細書におけるESFQR Rangeのサイトは、例えば、直径300mmのウェーハにおいて、最外周から直径方向に2mmの領域を除外領域とし、それよりも内側の外周基準端から径方向中心側に伸びるセクター長が300mmの2本の直線と、ウェーハ外周方向5度(±2.5度)に相当する円弧により囲まれた略矩形の72個の分割されたサイトである。そして、ESFQR Rangeはそれら72個のESFQRの値のうち、最大値と最小値の差分で算出される値である。
これらの図4~図8は、特性の異なる各種研磨パッドを作成して取得したデータに基づいて作成した。
図4は、ウェーハの自転率(度/min)とESFQR Range(nm)との関係を示すグラフである。
図4によれば、自転率が大きくなるほどESFQR Range(nm)が小さくなる(改善される)ことが分かる。
従って、ウェーハの自転率が大きくなるような対策を取ることにより、ウェーハ外周部の周方向の平坦度ばらつき量を低減するという本発明の目標を達成できることとなる。
図5によれば、Nap圧縮率(%)が大きいほど、ウェーハの自転率(a.u.)が大きくなることが分かる。
従って、Nap圧縮率(%)をある程度大きくすることにより、ウェーハの自転率(a.u.)が大きくなって、ウェーハ外周部の周方向の平坦度ばらつき量を低減することができる。
ここにおいて、図5から後述の図8までのウェーハの自転率(a.u.)の具体的単位としては、例えば、(度/min)である。
図6によれば、研磨パッドのウェーハ研磨面の表面における純水に対する接触角(度)が大きくなるほどウェーハの自転率(a.u.)が大きくなることが分かる。
従って、研磨パッドのウェーハ研磨面の表面における純水に対する接触角(度)をある程度大きくすることにより、ウェーハの自転率(a.u.)が大きくなって、ウェーハ外周部の周方向の平坦度ばらつき量を低減することができる。
図7によれば、リテーナリングの内径が大きいほど、ウェーハの自転率(a.u.)が大きくなることが分かる。
従って、リテーナリングの内径(mm)をある程度大きくすることにより、ウェーハの自転率(a.u.)が大きくなって、ウェーハ外周部の周方向の平坦度ばらつき量を低減することができる。
リテーナリングの内径(mm)が大きいと言うことは、ウェーハ外周との間の隙間が大きくなり、ウェーハの自転率(a.u.)が大きくなると考えられる。
図8によれば、直線的関係ではないが、研磨加圧(g/cm2)が大きくなるほど、ウェーハの自転率(a.u.)大きくなることが分かる。
従って、研磨加圧(g/cm2)をある程度大きくすることにより、ウェーハの自転率(a.u.)が大きくなって、ウェーハ外周部の周方向の平坦度ばらつき量を低減することができる。
リテーナリング内径/ウェーハ直径=1.0015以上1.0067以下
で表されるリテーナリングを用いることが好ましい。
〔研磨装置の構成〕
まず、添付図面を参照しながら、本発明の一実施形態に係る片面研磨装置1について説明する。
図1および図2に示すように、片面研磨装置1は、複数のヘッド回転軸部材11と、各ヘッド回転軸部材11に設けられた研磨ヘッド12と、各研磨ヘッド12に設けられたバックパッド13と、各バックパッド13に設けられたリテーナリング14と、定盤15と、定盤15に設けられた研磨パッド16と、各ヘッド回転軸部材11を駆動するヘッド駆動手段20と、定盤駆動手段30と、研磨液供給手段40と、各研磨ヘッド12に保持されたウェーハWを研磨パッド16に押圧する際の圧力を調整するウェーハ加圧力調整手段50と、研磨制御手段60と、研磨条件決定部70と、を備える。
ウェーハWの研磨にあたり、研磨中にリテーナリング14を研磨パッド16に接触させる場合とさせない場合とがある。接触させる場合にはリテーナリング14の厚みのバラツキがウェーハWの外周部周方向の平坦度バラツキに影響するが、本発明の方法により、コストを増加させることなく周方向のバラツキを低減できる。
次に、片面研磨装置1を用いた、ウェーハの片面研磨方法の一例について説明する。
片面研磨装置1の研磨条件決定部70では、ウェーハWの研磨に先立ち、予め研磨条件とウェーハの自転率との関係を求め、記憶する。
片面研磨装置1は、ウェーハWの研磨を開始する旨の指令が設定入力されると、研磨条件決定部70において、記憶している研磨条件とウェーハの自転率との関係を基に、研磨条件を決定する。
そして、決定した研磨条件で、研磨制御手段60により、ヘッド駆動手段20、定盤駆動手段30、研磨液供給手段40、ウェーハ加圧力調整手段50を制御して、ウェーハWの研磨工程を実施する。
具体的には、まず、決定された研磨条件に適合した研磨パッド16を選定し、定盤15に配置する。ついで、定盤15の研磨パッド16上に、研磨液供給手段40により研磨液を所定量供給する。そして、ウェーハWを保持した研磨ヘッド12を、ヘッド駆動手段20の駆動によって回転させながら下降させ、定盤駆動手段30の駆動によって回転している定盤15の研磨パッド16上にウェーハWを接触させる。その後、ウェーハ加圧力調整手段50がウェーハWを研磨パッド16に押圧する圧力を調整して、ウェーハWの被研磨面を研磨する研磨工程が行われる。
ウェーハWの自転率を25度/min以上に制御することで、ウェーハ外周部の周方向の平坦度ばらつき量を低減できる。また、ウェーハWの自転率を60度/min以下とすることで、ウェーハWのすれ傷、およびウェーハ飛び出し等を防止することができる。
一方、ウェーハWの自転率が60度/minを超えると、バックパッドがウェーハを保持できなくなる可能性がある。
ウェーハWの自転率は、より好ましくは、25度/min以上40度/min以下であり、さらに好ましくは、26度/min以上30度/min以下である。なお、ウェーハWの自転率に関しては、25度/min以上60度/min以下の範囲内において、最も好ましい26度/min以上30度/min以下の範囲に近づくほど、本発明の効果が発揮できる。したがって、25度/min以上60度/min以下の範囲内のいかなる数値においてその範囲を区切っても、それに応じた効果を発揮できる。
ノッチ位置を観察してウェーハWの自転率を求める際は、具体的には、研磨前後のウェーハWのノッチ位置を観察し、ノッチ位置が移動した角度を研磨時間(分)で割ることにより、1分あたりの自転率(度/min)を計算する。
ナップ層の圧縮率は、例えば、ショッパー型厚さ測定器を用い、以下の方法で測定できる。
(1) 所定の初荷重で一定時間加圧し、その厚さ(t0)を測る。
(2) その上に所定の追加荷重を載せ、一定時間後に厚さ(t1)を測る。
(3) 次式にて圧縮率を計算する。
圧縮率(%)={(t0-t1)/t0}×100
研磨によるナップ層の摩耗が少なくて済むことから、ナップ層の圧縮率は70%以下であることが好ましい。ナップ層の圧縮率は、より好ましくは、58.5%以上63%以下である。なお、ナップ層の圧縮率に関しては、58.5%以上70%以下の範囲内において、より好ましい58.5%以上63%以下の範囲に近づくほど、本発明の効果が発揮できる。したがって、58.5%以上70%以下の範囲内のいかなる数値においてその範囲を区切っても、それに応じた効果を発揮できる。
研磨パッド16のウェーハWを研磨する面の表面における純水に対する接触角が70度を超える研磨パッドは、生産上作成が困難である。
なお、本明細書における接触角は、研磨パッド16の表面に純水を1μm滴下し、前記純水の滴下から1800秒後に、側面からの画像解析により測定した水滴と研磨パッド表面との接触角である。
研磨パッドを構成する樹脂としては、例えば、ポリウレタン樹脂、およびポリイミド樹脂等が挙げられる。
添加剤としては、例えば、顔料、成膜安定剤、および発泡形成剤等が挙げられる。さらに、顔料としては、カーボンブラック等が挙げられる。成膜安定剤としては、ノニオン系界面活性剤等が挙げられる。発泡形成剤としては、アニオン系界面活性剤等が挙げられる。
定盤15の研磨時の回転数は、より好ましくは、20rpm以上40rpm以下である。上記回転数が40rpm以下であれば、平坦度の絶対値が悪化する恐れもない。なお、上記回転数に関しては、15rpm以上80rpm以下の範囲内において、より好ましい20rpm以上40rpm以下の範囲に近づくほど、本発明の効果が発揮できる。したがって、15rpm以上80rpm以下の範囲内のいかなる数値においてその範囲を区切っても、それに応じた効果を発揮できる。
研磨加圧は、より好ましくは、125g/cm2以上200g/cm2以下である。研磨加圧が200g/cm2以下であれば、研磨パッド16とウェーハWとの間へのスラリーの流入を阻害することがなく、ウェーハWに傷を発生させてしまう恐れもない。なお、研磨加圧に関しては、100g/cm2以上300g/cm2以下の範囲内において、より好ましい125g/cm2以上200g/cm2以下の範囲に近づくほど、本発明の効果が発揮できる。したがって、100g/cm2以上300g/cm2以下の範囲内のいかなる数値においてその範囲を区切っても、それに応じた効果を発揮できる。
また、本実施形態において、研磨対象のウェーハWの直径は、特に限定されない。例えば、直径150mmのウェーハ、直径200mmのウェーハ、および直径300mmのウェーハ等が挙げられる。
これらの異なる直径のウェーハを研磨する場合も、前述と同様に、ウェーハを保持するリテーナリングの内径とウェーハの直径との比率は、次式で表されるリテーナリングを用いることが好ましい。
リテーナリング内径/ウェーハ直径=1.0015以上1.0067以下
次に、本実施形態の片面研磨方法を含むシリコンウェーハの製造方法について説明する。
シリコンウェーハの製造方法の概略は、チョクラルスキー法を用いてシリコンウェーハを製造し、上記片面研磨方法でウェーハWの研磨を行う方法である。
ブロック加工工程S2は、単結晶インゴットをブロックに加工する工程である。ブロック加工工程S2では、単結晶インゴットの外周研削を行い、結晶方位に応じてノッチ加工を行った後、例えばバンドソーにより、単結晶インゴットを複数のブロックに切断する。
前処理工程S4では、面取り加工を行うとともに、ウェーハ両面が平行になるように、例えばアルミナ研磨材などで粗研磨(ラッピング)を行い、必要に応じてエッチングなどを施した後、ウェーハ表面の凹凸をなくす平坦化加工を行う。
研磨条件決定工程S7では、研磨制御手段における研磨条件決定部の研磨条件を決定し、決定された研磨条件に適合した研磨パッドを定盤に配置するとともに、片面研磨装置の各部、具体的には、ヘッド駆動手段、定盤駆動手段、研磨液供給手段、ウェーハ加圧力調整手段に決定された研磨条件を指令する。
研磨工程S8では、決定された研磨条件に従って、研磨が行われ、ウェーハ取り出し工程S9においてウェーハが取り出される。
片面研磨装置セット工程S6、研磨条件決定工程S7、研磨工程S8およびウェーハ取り出し工程S9による片面仕上げ工程S20において、研磨加工を施すことで、前記平坦度加工後のシリコンウェーハの表面の傷およびダメージを除去すると同時に、シリコンウェーハの表面粗さを整えることができる。
ウェーハの品質上必要な検査が行われた後、合格品は、梱包され、出荷される。
上述のように、本発明者らの知見によれば、片面研磨は、ウェーハの裏面をチャックして表面側を研磨する機構であることから、保持する側のチャックの形状ばらつき、バックパッドの保持材厚みばらつき、およびリテーナリングの厚み等、副資材による影響を受けて、ウェーハ裏面へ転写される面圧にばらつきが生じ、シリコンウェーハ外周部の周方向の取代がばらついてしまうことがわかっている。
上記実施形態によれば、ウェーハの自転率を高めることで、上述のような副資材による裏面へ転写される面圧のばらつきを平均化できる。よって、ウェーハの周方向の平坦度ばらつき量を低減できる。
なお、本発明は上記実施形態に限定されない。本発明の要旨を逸脱しない範囲内において、種々の改良および設計の変更などが可能である。
研磨前後のノッチ位置を観察することで、ウェーハWの自転率を測定した。結果を表2に示す。
研磨後のウェーハについて、以下の方法により、ESFQR Rangeを算出し、外周部の周方向の平坦度ばらつき量の評価を行った。結果を表2に示す。
ウェーハ最外周から直径方向に2mmの領域を除外領域とし、それよりも内側の外周基準端から径方向中心側に伸びるセクター長が300mmの2本の直線と、ウェーハ外周方向5度(±2.5度)に相当する円弧により囲まれた略矩形の72個の分割されたサイトを、ESFQR Rangeのサイトとした。そして、それら72個のサイトにおけるESFQRを、平坦度測定装置(KLA-Tencor社製:Wafer sight 2)を用いて測定した。ESFQR Rangeは、測定した72個のESFQRの値のうち、最大値と最小値の差分により算出した。
Claims (11)
- ウェーハの片面研磨方法であって、
研磨ヘッドに保持されたウェーハを、定盤の表面に固定された研磨パッドに押しつけ、前記研磨ヘッドおよび前記定盤を回転させることにより、前記ウェーハの被研磨面に研磨加工を施す研磨工程を備え、
前記研磨工程において、前記研磨ヘッドに対する前記ウェーハの自転の程度を表す自転率が25度/min以上60度/min以下となるような研磨条件で前記ウェーハを研磨する
ことを特徴とするウェーハの片面研磨方法。 - 請求項1に記載のウェーハの片面研磨方法において、
前記研磨条件が、前記研磨パッドとして、圧縮率が58.5%以上70%以下のナップ層を有する研磨パッドを用いることである
ことを特徴とするウェーハの片面研磨方法。 - 請求項1または請求項2に記載のウェーハの片面研磨方法において、
前記研磨条件が、前記研磨パッドとして、前記ウェーハを研磨する面の表面における純水に対する接触角が、前記純水の滴下から1800秒後に58度以上70度以下である研磨パッドを用いることである
ことを特徴とするウェーハの片面研磨方法。 - 請求項1から請求項3のいずれか一項に記載のウェーハの片面研磨方法において、
前記研磨条件が、前記研磨パッドとして、不織布を用いないナップ層単体の研磨パッドを用いることである
ことを特徴とするウェーハの片面研磨方法。 - 請求項1から請求項4のいずれか一項に記載のウェーハの片面研磨方法において、
前記研磨条件が、前記ウェーハを保持するリテーナリングの内径は、前記リテーナリングの内径と前記ウェーハの直径との比率が次式
リテーナリング内径/ウェーハ直径=1.0015以上1.0067以下
で表されるリテーナリングを用いることである
ことを特徴とするウェーハの片面研磨方法。 - 請求項1から請求項5のいずれか一項に記載のウェーハの片面研磨方法において、
前記研磨条件が、前記定盤の研磨時の回転数を、15rpm以上80rpm以下とすることである
ことを特徴とするウェーハの片面研磨方法。 - 請求項1から請求項6のいずれか一項に記載のウェーハの片面研磨方法において、
前記研磨条件が、研磨加圧を、100g/cm2以上300g/cm2以下とすることである
ことを特徴とするウェーハの片面研磨方法。 - 請求項1から請求項7のいずれか一項に記載のウェーハの片面研磨方法において、
予め研磨条件とウェーハの自転率との関係を求め、前記関係を基に前記研磨条件を決定する
ことを特徴とするウェーハの片面研磨方法。 - 請求項8に記載のウェーハの片面研磨方法において、
前記研磨条件が、研磨パッドの圧縮率、接触角、リテーナリングの内径と前記ウェーハの直径との比率、研磨定盤の回転数、研磨加圧量のいずれかまたはその組み合わせである
ことを特徴とするウェーハの片面研磨方法。 - ウェーハの製造方法であって、
前記ウェーハの少なくとも一方の面を仕上げ加工する片面仕上げ工程を備え、
前記片面仕上げ工程において、請求項1から請求項9のいずれか一項に記載のウェーハの片面研磨方法により、前記ウェーハの被研磨面に研磨加工を施す
ことを特徴とするウェーハの製造方法。 - ウェーハの片面研磨装置であって、
前記ウェーハを保持する研磨ヘッドが設けられたヘッド回転軸部材と、
表面に研磨パッドが固定された定盤と、
前記ヘッド回転軸部材を駆動するヘッド駆動手段と、
前記定盤を駆動する定盤駆動手段と、
前記ウェーハを前記研磨パッドに押圧する圧力を調整するウェーハ加圧力調整手段と、
研磨条件を決定する研磨条件決定部と、を備え、
前記研磨条件決定部は、前記研磨ヘッドに対するウェーハの自転の程度を表す自転率が25度/min以上60度/min以下となるように研磨条件を決定する
ことを特徴とするウェーハの片面研磨装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
TW109135285A TWI739627B (zh) | 2019-12-05 | 2020-10-13 | 晶圓的單面研磨方法、晶圓的製造方法及晶圓的單面研磨裝置 |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019220689 | 2019-12-05 | ||
JP2019220689 | 2019-12-05 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021091081A JP2021091081A (ja) | 2021-06-17 |
JP7388324B2 true JP7388324B2 (ja) | 2023-11-29 |
Family
ID=76311382
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020151290A Active JP7388324B2 (ja) | 2019-12-05 | 2020-09-09 | ウェーハの片面研磨方法、ウェーハの製造方法、およびウェーハの片面研磨装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7388324B2 (ja) |
TW (1) | TWI739627B (ja) |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003142437A (ja) | 2001-10-30 | 2003-05-16 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | ウェーハの研磨方法及びウェーハ研磨用研磨パッド |
JP2004025352A (ja) | 2002-06-25 | 2004-01-29 | Sumitomo Mitsubishi Silicon Corp | 半導体ウェーハの研磨方法およびその装置 |
JP2004160603A (ja) | 2002-11-13 | 2004-06-10 | Komatsu Electronic Metals Co Ltd | 研磨装置のリテーナ機構 |
JP2007144554A (ja) | 2005-11-28 | 2007-06-14 | Kao Corp | 基板の研磨方法 |
JP2010040993A (ja) | 2008-08-08 | 2010-02-18 | Fujitsu Microelectronics Ltd | 半導体装置の製造方法及び半導体製造装置 |
JP2010069551A (ja) | 2008-09-17 | 2010-04-02 | Fujibo Holdings Inc | 研磨パッド |
JP2014199847A (ja) | 2013-03-29 | 2014-10-23 | Hoya株式会社 | Euvリソグラフィー用マスクブランク用基板の製造方法、euvリソグラフィー用多層反射膜付き基板の製造方法、euvリソグラフィー用マスクブランクの製造方法、及びeuvリソグラフィー用転写マスクの製造方法 |
JP2017202556A (ja) | 2016-05-13 | 2017-11-16 | 信越半導体株式会社 | テンプレートアセンブリの選別方法及びワークの研磨方法並びにテンプレートアセンブリ |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4374370B2 (ja) * | 2006-10-27 | 2009-12-02 | 信越半導体株式会社 | 研磨ヘッド及び研磨装置 |
JP2009255184A (ja) * | 2008-04-11 | 2009-11-05 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | ウェーハ研磨装置 |
-
2020
- 2020-09-09 JP JP2020151290A patent/JP7388324B2/ja active Active
- 2020-10-13 TW TW109135285A patent/TWI739627B/zh active
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003142437A (ja) | 2001-10-30 | 2003-05-16 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | ウェーハの研磨方法及びウェーハ研磨用研磨パッド |
JP2004025352A (ja) | 2002-06-25 | 2004-01-29 | Sumitomo Mitsubishi Silicon Corp | 半導体ウェーハの研磨方法およびその装置 |
JP2004160603A (ja) | 2002-11-13 | 2004-06-10 | Komatsu Electronic Metals Co Ltd | 研磨装置のリテーナ機構 |
JP2007144554A (ja) | 2005-11-28 | 2007-06-14 | Kao Corp | 基板の研磨方法 |
JP2010040993A (ja) | 2008-08-08 | 2010-02-18 | Fujitsu Microelectronics Ltd | 半導体装置の製造方法及び半導体製造装置 |
JP2010069551A (ja) | 2008-09-17 | 2010-04-02 | Fujibo Holdings Inc | 研磨パッド |
JP2014199847A (ja) | 2013-03-29 | 2014-10-23 | Hoya株式会社 | Euvリソグラフィー用マスクブランク用基板の製造方法、euvリソグラフィー用多層反射膜付き基板の製造方法、euvリソグラフィー用マスクブランクの製造方法、及びeuvリソグラフィー用転写マスクの製造方法 |
JP2017202556A (ja) | 2016-05-13 | 2017-11-16 | 信越半導体株式会社 | テンプレートアセンブリの選別方法及びワークの研磨方法並びにテンプレートアセンブリ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TWI739627B (zh) | 2021-09-11 |
TW202122210A (zh) | 2021-06-16 |
JP2021091081A (ja) | 2021-06-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100818683B1 (ko) | 경면 면취 웨이퍼, 경면 면취용 연마 클로스 및 경면 면취연마장치 및 방법 | |
TWI573659B (zh) | 研磨墊之表面粗糙度測定方法、cmp方法、研磨墊之表面粗糙度測定裝置 | |
JP5402391B2 (ja) | 半導体用合成石英ガラス基板の加工方法 | |
KR101002250B1 (ko) | 에피택셜 웨이퍼 제조 방법 | |
US20050142882A1 (en) | Semiconductor water manufacturing method and wafer | |
KR100903602B1 (ko) | 실리콘 웨이퍼 제조 방법 | |
JP7021632B2 (ja) | ウェーハの製造方法およびウェーハ | |
TW201730951A (zh) | 晶圓研磨方法及研磨裝置 | |
TWI608897B (zh) | Monolithic lapping method for semiconductor wafer and monolithic lapping device for semiconductor wafer | |
JP5870960B2 (ja) | ワークの研磨装置 | |
JP7388324B2 (ja) | ウェーハの片面研磨方法、ウェーハの製造方法、およびウェーハの片面研磨装置 | |
JP2007266068A (ja) | 研磨方法及び研磨装置 | |
WO2021100393A1 (ja) | ウェーハの研磨方法及びシリコンウェーハ | |
JP2003100681A (ja) | 仕上げ研磨パッド | |
JP2005005315A (ja) | ウエーハの研磨方法 | |
JP3640504B2 (ja) | ドレッシング方法及び装置 | |
TW202233356A (zh) | 雙面研磨裝置及研磨布之修整方法 | |
JP2012222123A (ja) | 半導体ウェハの研削方法 | |
TW202407790A (zh) | 晶圓的單面拋光方法、晶圓的製造方法、及晶圓的單面拋光裝置 | |
JP2024024161A (ja) | ウェーハの片面研磨方法、ウェーハの製造方法、およびウェーハの片面研磨装置 | |
JP5218892B2 (ja) | 消耗材の評価方法 | |
JP2014128853A (ja) | 円形状研磨パッド | |
JP2023159656A (ja) | ウェーハの両面研磨方法 | |
JP2023078014A (ja) | テンプレートアセンブリ、研磨ヘッド及びウェーハの研磨方法 | |
KR20210023134A (ko) | 웨이퍼 연마 패드 제조장치 및 그를 이용한 웨이퍼 연마 패드의 제조방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20220914 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20230630 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230711 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230809 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20231017 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20231030 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7388324 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |