JP7386189B2 - 複合部材、保持装置、および接着用構造体 - Google Patents
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Description
(1)本開示の一形態によれば、複合部材が提供される。この複合部材は、板状に形成される第1部材と、前記第1部材の主成分の熱膨張率とは異なる熱膨張率を有する材料を主成分とする、板状に形成される第2部材と、前記第1部材と前記第2部材との間に配置され、前記第1部材と前記第2部材とを接合する接合部と、を備え、前記接合部は、-120℃における熱膨張率が前記第2部材よりも低い低熱膨張率物質と、接着剤とを含み、-120℃における熱膨張率が2ppm/K以上40ppm/K以下であることを特徴とする。
この形態の複合部材によれば、接合部が低熱膨張率セラミックを含むことにより、-120℃での接合部の熱膨張率を、2ppm/K以上40ppm/K以下にしている。そのため、例えば液体窒素を冷媒として用いるような低温条件下で複合部材を使用する場合であっても、接合部において熱応力の発生を抑えて、熱応力に起因する接合部の損傷等の不都合を抑えることができる。
(2)上記形態の複合部材において、前記低熱膨張率物質は、-120℃において負の熱膨張率を有することとしてもよい。このような構成とすれば、接合部における低熱膨張率物質の添加量を抑えつつ、-120℃での熱膨張率を所望の値にすることが、より容易になる。
(3)上記形態の複合部材において、前記低熱膨張率物質は、前記負の熱膨張率を有する樹脂として、ポリエチレン(PE)およびポリパラフェニレンベンゾビスオキサゾール(PBO)のうちの少なくとも一種を含むこととしてもよい。このような構成とすれば、負の熱膨張率を有する低熱膨張率物質として樹脂材料を加えることにより、接合部の熱膨張率を低下させることができる。また、樹脂材料から成る低熱膨張率物質は、熱膨張率が温度によらずほぼ一定となって、低熱膨張率物質が負の熱膨張率を示す温度範囲が広くなる。そのため、極低温条件下を含む広い温度範囲で、接合部全体の熱膨張率が抑えられて、接合部における熱応力の発生を抑えることができる。
(4)上記形態の複合部材において、前記接合部は、前記負の熱膨張率を有する樹脂を含む平面状部材が、前記接着剤の層内において、前記第1部材および前記第2部材の面方向に沿って配置されていることとしてもよい。このような構成とすれば、面方向の低熱膨張率物質の分布を均一化することによって、接合部における面方向の熱膨張を抑制できるため、接合部における熱応力を抑える効果を高めることができる。
(5)上記形態の複合部材において、前記平面状部材は、前記負の熱膨張率を有する樹脂を含む繊維によって形成され、前記接合部は、前記平面状部材を構成する前記繊維間に、前記接着剤の一部が配置されていることとしてもよい。このような構成とすれば、接合部において面方向の低熱膨張率物質の分布を均一化する効果を高めることができる。
(6)上記形態の複合部材において、前記低熱膨張率物質は、前記負の熱膨張率を有するセラミックとして、タングステン酸ジルコニウム(ZrW2O8)、ルテニウム酸化物(Ca2RuO4-x(0≦x<0.4)、Ca2Ru1-xFexO4-y(0<x<0.4、0≦y<0.4))、ランタン、銅、鉄の複合酸化物(LaCu3Fe4O12)、逆ペロブスカイト型マンガン窒化物および逆ペロブスカイト型マンガン窒化物の窒素の一部が炭素に置換されたもの(Mn3AN1-xCx(0≦x<0.2)、ただしAは亜鉛(Zn)、ガリウム(Ga)、ゲルマニウム(Ge)のいずれか)、銅バナジウム酸化物(Cu2-xZnxV2O7(0≦x<0.3))から成る群から選択される少なくとも一種を含むこととしてもよい。このような構成とすれば、負の熱膨張率を有する低熱膨張率物質としてセラミック材料を加えることにより、接合部の熱膨張率を低下させることができる。特に、上記した低熱膨張率物質は、負の熱膨張率を示す他の低熱膨張率物質に比べて、負の熱膨張率の絶対値が比較的大きいため、低熱膨張率物質の添加量を抑えつつ、接合部の熱膨張率を低下させることができる。
(7)上記形態の複合部材において、前記接合部は、前記負の熱膨張率を有するセラミックを含む平面状部材が、前記接着剤の層内において、前記第1部材および前記第2部材の面方向に沿って配置されていることとしてもよい。このような構成とすれば、面方向の低熱膨張率物質の分布を均一化することによって、接合部における面方向の熱膨張を抑制できるため、接合部における熱応力を抑える効果を高めることができる。
(8)上記形態の複合部材において、前記接着剤は、シリコーン系接着剤であることとしてもよい。このような構成とすれば、シリコーン系接着剤は弾性率が比較的低いため、接合部で生じる熱応力を緩和する効果を高めることができる。
(9)上記形態の複合部材において、前記シリコーン系接着剤は、側鎖に3~16mol%のフェニル基を有することとしてもよい。このような構成とすれば、フェニル基の導入によりシリコーン系接着剤の軟化温度が低下するため、例えば液体窒素を冷媒として用いるような低温条件下で複合部材を使用する場合であっても、接合部の熱膨張を抑えて、接合部における熱応力の発生を抑えることができる。
(10)上記形態の複合部材において、前記第2部材は、モリブデン、チタン、タングステンから選択される少なくとも一種の金属を主成分として含むこととしてもよい。このような構成とすれば、これらの金属の熱膨張率が比較的小さいため、複合部材において、第2部材と第1部材との間の熱膨張率差を抑えることができる。 本開示は、上記以外の種々の形態で実現可能であり、例えば、複合部材によって構成される保持部材、保持装置を含む半導体製造装置、複合部材の製造方法、保持装置の製造方法、接着用構造体、接着用構造体の製造方法などの形態で実現することができる。
(A-1)静電チャックの構造:
図1は、第1実施形態における静電チャック10の外観の概略を表す斜視図である。図2は、静電チャック10の構成を模式的に表す断面図である。図1では、静電チャック10の一部を破断して示している。また、図1、図2、および後述する図7、図8には、方向を特定するために、互いに直交するXYZ軸を示している。各図に示されるX軸、Y軸、Z軸は、それぞれ同じ向きを表す。本願明細書においては、Z軸は鉛直方向を示し、X軸およびY軸は水平方向を示している。なお、図1および図2、および後述する図7、図8は、各部の配置を模式的に表しており、各部の寸法の比率を正確に表すものではない。
以下では、接合部40の構成について説明する。接合部40は、既述したように、接着剤と低熱膨張率物質とを備える。接合部40は、「接着用構造体」とも呼ぶ。
(R1およびR2は互いに独立に炭素数1~12の非置換または置換の脂肪族炭化水素基であり、R3は炭素数1~12の非置換もしくは置換の脂肪族炭化水素基、または、炭素数6~10の非置換もしくは置換の芳香族炭化水素基であり、R4は炭素数6~10の非置換もしくは置換の芳香族炭化水素基であり、かつ、上記ポリオルガノシロキサンはケイ素原子(Si原子)に直接結合するアルケニル基を1分子中に少なくとも2個含んでいる。)
次に、本実施形態における静電チャック10の製造方法を説明する。はじめに、チャック電極22およびヒータ電極等の導電性材料層が内部に配置された板状のセラミック部20を作製する。セラミック部20の作製は、例えば、公知のシート積層法やプレス成形法により行うことができる。
図3は、低熱膨張率セラミックの添加による影響を調べるために、接合部40(接着シート)として、組成が異なる4種の樹脂組成物を作製して、評価した結果を示す説明図である。図3では、上記4種の接合部40(接着シート)の各々を、サンプルS1~S4として、各サンプルの組成と、各サンプルの-120℃での熱膨張率を評価した結果と、を示している。
ジメチルジクロロシラン((CH3)2SiCl2、D単位の原料)を出発物質として、このジメチルジクロロシランを加水分解し環状シロキサンオリゴマーを作製し、触媒存在下で開環重合を行う。触媒としては酸触媒とアルカリ触媒のどちらも使用可能だが、通常は水酸化カリウムを用いることができる。ポリマーの末端基は、末端基となるM単位、すなわちトリメチルシロキシ単位として、トリメチルクロロシラン((CH3)3SiCl)やヘキサメチルジシロキサン((CH3)3SiOSi(CH3)3)を、上記ジメチルジクロロシラン(D単位)に混合しておくことにより導入することができる。末端に官能基を導入する場合は、官能基を有するM単位、例えば、ジメチルビニルクロロシラン((CH3)2(CH2=CH)SiCl)を、上記ジメチルジクロロシラン(D単位)に混合しておくことにより導入することができる。ポリマーの平均分子量は、M単位とD単位の混合割合を変更することにより制御することができる。シリコーン樹脂A1の平均分子量は63,000であり、これは、M単位:D単位=2:847の割合で重合を行うことにより制御可能である。反応性の官能基は、上記化合物のメチル基を例えば脂肪族不飽和炭化水素基に変更することで導入することができ、具体的には、CH3(CH2=CH)SiCl2、または、(CH3)2(CH2=CH)SiClを添加することで導入することができる。
シリコーン樹脂A1の平均分子量は、ゲル浸透クロマトグラフィー(GPC)を用いて測定し、ポリスチレン換算の平均分子量として算出した。溶媒にはトルエンを用いた。
各サンプルの作製方法は、次の通りである。上記のようにして合成したシリコーン樹脂A1に、それぞれ、触媒として白金触媒、シランカップリング剤、充填材および架橋剤を、図3に示す割合で添加する。これにより、接着ペーストが作製される。そして、作製した接着ペーストをポリエチレンテレフタレート(PET)フィルムの上に塗り広げる。塗り広げる方法は、公知の方法を用いることができ、本性能評価では、ドクターブレードを用いた。次に、PETフィルムに塗り広げられた接着ペーストを適切な大きさに切断し、その後、切断されたPETフィルム付の接着ペーストを、乾燥機によって、予め定めた時間と温度の条件下にて加熱する。このときの加熱時間および加熱温度を調節して、接着ペーストを半硬化させることによって、接合部40を形成するための既述した接着シートを得ることができる。ここでは、接着ペーストを完全に硬化させることによって、接合部40に対応する各サンプルを作製した。
図3に示した各サンプルの熱膨張率の測定方法について、以下に説明する。各サンプルの熱膨張率は、公知の熱膨張率測定装置(例えば、株式会社リガク製のThermo plus EVO2熱機械分析装置 TMAシリーズ)により測定できる。測定のための試験片として、上記のようにして作製した各サンプルから切り出したシート(例えば、長さ20mm×幅5mm、厚み0.35mmであって、長さ20mmの内、測定部の長さは中央部の15mmであり、両側にチャック部が各2.5mmあるシート)を用意する。そして、上記試験片に引張荷重(例えば50mN)を付与しつつ、予め設定した昇温速度(例えば10℃/分)で昇温し、予め設定した時間間隔(例えば1秒間隔)で、上記試験片の温度と長さの変化を測定する。測定の温度範囲は、対象となる静電チャックの使用温度や製造工程にかかる温度に応じて決定することができる。例えば、-150~-100℃の温度範囲における熱膨張率は、以下の(1)式により算出することができる。また、特定の温度における熱膨張率は、その前後の温度における試験片の長さから算出することができ、例えば-120℃における熱膨張率は以下の(2)式により算出することができる。
図4は、図3に示した各サンプルS1~S4の組成を、体積%で表した結果を表す説明図である。各サンプルの組成である体積%の求め方について、以下に説明する。接合部における各成分(シリコーン成分、充填材成分、負のCTE成分)の含有率(体積%)は、例えば、接合部の断面について走査型電子顕微鏡(SEM: Scanning Electron Microscope)の反射電子像観察を行い、明部と暗部の面積割合を算出することにより求めることができる。倍率は、一つの視野の中に多くの低熱膨張率セラミック粒子(負のCTE成分)が確認できるよう、例えば1000倍程度と比較的低い倍率で観察を行うことが好ましい。広い視野で観察することで、平均化された含有率を求めることができるためである。走査型電子顕微鏡の反射電子像観察において、反射電子はサンプルを構成する元素により発生量が異なり、原子番号が大きいほど、また、密度が高く電子密度が高いほど、発生量が多くなる性質を有するため、原子番号の大きい元素ほど、また、密度が高い部分ほど、明るく観察される。したがって、例えば、低熱膨張率セラミックとしてタングステン酸ジルコニウム(ZrW2O8)を用いる場合には、ケイ素、炭素、水素等を含むシリコーン成分相は、原子番号が比較的小さいため暗く観察され、ジルコニウムやタングステンを含む低熱膨張率粒子(負のCTE成分)、および、アルミニウムを含む充填材成分は、原子番号が比較的大きい元素を含み、かつ密度が高く電子密度も高いため、明るく観察される。上記のようにして算出した走査型電子顕微鏡の反射電子像における負のCTE成分や充填材成分の部分の面積割合は、接合部における負のCTE成分や充填材成分の部分の含有率に等しいと考えることができる。接合部における組成がある程度不均一であると考えられる場合には、上記した面積割合を求める断面の数を増やして、断面ごとに求めた負のCTE成分や充填材成分の面積割合の平均を求めればよい。なお、図4では、各成分の体積%の値として、小数点以下を四捨五入した値を記載している。
図8は、第2実施形態の静電チャック210の構成を模式的に表す断面図である。静電チャック210において、図2に示した静電チャック10と共通する部分には同じ参照番号を付す。
第1および第2実施形態では、低熱膨張率物質として低熱膨張率セラミックを用いたが、高分子材料を用いてもよい。以下では、第3実施形態として、高分子材料の低熱膨張率物質(以下、低熱膨張率樹脂とも呼ぶ)を接合部40に分散させて用いる構成を説明する。第3実施形態の接合部40は、低熱膨張率樹脂と接着剤とが混合された接着剤組成物によって構成されており、低熱膨張率物質の種類以外は第1実施形態と同様の構成を有するため、第1実施形態と共通する部分には同じ参照番号を付して説明する。
用いる低熱膨張率樹脂は、-120℃における熱膨張率がベース部30よりも低い高分子材料であればよいが、負の熱膨張率を示す高分子材料、望ましくは-120℃において負の熱膨張率を示す高分子材料を用いるならば、低熱膨張率樹脂の添加量を抑えることができるため望ましい。-120℃において負の熱膨張率を示す高分子材料(以下では、負のCTE高分子材料とも呼ぶ)としては、例えば、ポリエチレンや、ポリパラフェニレンベンゾビスオキサゾールを挙げることができる。
図9は、第1実施形態で説明したサンプルS1のシリコーン成分に対して、超高分子量ポリエチレン(PE)、ポリパラフェニレンベンゾビスオキサゾール(PBO)、およびアルミナ粒子(Al2O3)の各々を、種々の含有率(体積%)で添加したサンプルを作製して-120℃での熱膨張率を測定し、含有率と熱膨張率との関係を調べた結果を表す説明図である。以下では、上記したアルミナ粒子および負のCTE高分子材料を合わせて、「低熱膨張率物質」と呼ぶ。
第4実施形態の静電チャックが備える接合部は、第3実施形態と同様に、低熱膨張率物質として低熱膨張率樹脂を備えると共に、第2実施形態と同様に、低熱膨張率物質を、平面状部材の形状で備えている。第4実施形態の静電チャック210は、低熱膨張率物質の種類以外は第2実施形態と同様の構成を有するため、第2実施形態と共通する部分には同じ参照番号を付して説明する(図8参照)。
第4実施形態の接合部240が備える低熱膨張率シート246は、第3実施形態と同様の低熱膨張率樹脂により形成される繊維を、シート状に成形したものである。第4実施形態の低熱膨張率シート246は、織物や不織布を含み、繊維を薄く加工した布とすることができる。そして、第4実施形態では、低熱膨張率シート246を構成する低熱膨張率樹脂の繊維間に、接着剤の一部が配置されている。
図11は、第1実施形態で説明したサンプルS1のシリコーン成分に対して、超高分子量ポリエチレン(PE)およびポリパラフェニレンベンゾビスオキサゾール(PBO)の各々を、種々の含有率(体積%)で添加したサンプルを作製して-120℃での熱膨張率を測定し、含有率と熱膨張率との関係を調べた結果を表す説明図である。
第1~第4実施形態で説明したように低熱膨張率物質を含有する接合部において、接合部を構成する接着剤として、軟化温度およびガラス転移温度Tgがより低い接着剤を用いることにより、接合部の-120℃での熱膨張率をさらに抑えることとしてもよい。第5実施形態では、接合部を構成する接着剤として、フェニル基を導入して軟化温度を低下させたシリコーン系接着剤を用いる構成について説明する。第5実施形態の静電チャック10は、接合部40を構成する接着剤の種類以外は第1実施形態と同様の構成を有するため、第1実施形態と共通する部分には同じ参照番号を付して説明する。以下では、第5実施形態の具体的な構成の説明に先立って、まず、軟化温度と熱応力との関係について説明する。
図13は、接合部40を構成する接着剤等の樹脂材料によって形成される部材の温度と、この拘束された樹脂部材で発生する熱応力との関係を概念的に表す説明図である。図13において、横軸は樹脂部材の温度を示し、縦軸は樹脂部材における熱膨張率α(1/K)と弾性率E(Pa)との積を示す。ここで、樹脂部材が熱膨張する際に樹脂部材で生じる熱応力σ(Pa)は、弾性の法則から、以下の(3)式で表される。
第5実施形態の静電チャック10の接合部40が備える接着剤は、既述したように、シリコーン系接着剤にフェニル基を導入することにより、軟化温度Tsを低下させている。具体的には、第5実施形態の接合部40が備えるシリコーン系接着剤は、側鎖に3~16mol%のフェニル基を有する。ここで、フェニル基の導入割合を表す「mol%」は、シリコーン系接着剤が有するすべての側鎖の官能基の合計のモル数に対する、側鎖に導入されたフェニル基のモル数の割合を示す。3~16mol%のフェニル基を導入することにより、シリコーン系接着剤の軟化温度Tsが低下し、シリコーン系接着剤の軟化温度は、例えば-120℃~-90℃程度になる。
シリコーン樹脂A2(ビニル末端ジフェニルシロキサン-ジメチルシロキサンコポリマー)は、シリコーン樹脂A1の出発物質であるジメチルジクロロシラン((CH3)2SiCl2)のメチル基がフェニル基に置き換わった((C6H5)2SiCl2)、または、((CH3)(C6H5)SiCl2)を用いて、ジメチルジクロロシラン((CH3)2SiCl2)の一部を置き換えることで、既述したシリコーン樹脂A1の合成方法と同様の手順で合成することが可能である。ポリマーの末端基は、末端基となるM単位、すなわちトリメチルシロキシ単位として、トリメチルクロロシラン((CH3)3SiCl)やヘキサメチルジシロキサン((CH3)3SiOSi(CH3)3)を、上記ジメチルジクロロシラン(D単位)に混合しておくことにより導入することができる。末端に官能基を導入する場合は、官能基を有するM単位、例えば、ジメチルビニルクロロシラン((CH3)2(CH2=CH)SiCl)を混合しておくことにより導入することができる。ポリマーの平均分子量は、M単位とD単位の混合割合を変更することにより制御することができる。また、最終的なビニル末端ジフェニルシロキサン-ジメチルシロキサンコポリマーにおけるフェニル基の含有量は((C6H5)2SiCl2)、または、((CH3)(C6H5)SiCl2)の添加量を変えることで制御可能である。シリコーン樹脂A2は、M単位:D単位(ジメチルシロキサン):D単位(ジフェニルシロキサン)=2:707:37の割合で重合を行うことにより制御可能である。
サンプルS5は、第1実施形態で説明したサンプルS1と同様の方法で、シリコーン樹脂A1に代えて上記のように合成したシリコーン樹脂A2を用いて作製した。また、第1実施形態と同様の方法で、平均分子量を測定した。
サンプルS1およびサンプルS5の貯蔵弾性率は、動的粘弾性測定装置(DMA)を使用して測定した。測定条件は、負荷方法は引張とし、プリロード1g、周波数は11Hz、振幅は16μm、昇温速度は2℃/分にて実施した。測定は、温度を室温から一旦-150℃まで下げた後、上記の昇温速度で昇温しながら行う。測定のための試験片は、既述したようにしてサンプルS1およびサンプルS5として作製した接着シートを100℃で10時間硬化させた後、さらに、150℃で50時間硬化させ、幅4mm×長さ50mmに切り出すことにより作製した。当該試験片における、中間の長さ40mmの部分で貯蔵弾性率を測定した。
図14において、縦軸は貯蔵弾性率の実部(GPa)を示し、横軸は温度(℃)を示す。軟化温度を特定する際には、動的粘弾性測定装置(DMA)を使用して既述したように貯蔵弾性率を測定し、当該貯蔵弾性率の測定結果から、図14に示すグラフを得る。当該グラフにおいて、樹脂組成物の貯蔵弾性率が大きく低下し始める箇所における接線との接点の温度を特定し、当該温度を軟化温度とした。図14では、サンプルS1の軟化温度をTS1として示し、サンプルS5の軟化温度をTS5として示している。図14に示すように、フェニル基の導入により、軟化温度が大きく低減された。
図15は、低熱膨張率セラミックの添加による影響を調べるために、接合部40(接着シート)として、組成が異なる4種の樹脂組成物を作製して、評価した結果を示す説明図である。図15では、上記4種の接合部40(接着シート)の各々を、サンプルS5~S8として、各サンプルの組成と、各サンプルの-120℃での熱膨張率を評価した結果と、を示している。
上記した第1および第3実施形態では、接合部を構成する接着剤中に低熱膨張率物質を分散させており、第2および第4実施形態では、低熱膨張率物質を含む平面状部材を、接着剤の層内において面方向に配置することとしたが、これらを組み合わせてもよい。すなわち、低熱膨張率物質を含む平面状部材を接着剤の層内に配置すると共に、接着剤の層において、平面状部材と同種の、或いは別種の、低熱膨張率物質を、分散させることとしてもよい。
20…セラミック部
22…チャック電極
24…載置面
30…ベース部
32…冷媒流路
40,240…接合部
42…Oリング
50…ガス供給路
52…ガス吐出口
244…樹脂層
246…低熱膨張率シート
Claims (13)
- 複合部材であって、
セラミックを主成分とし、板状に形成される第1部材と、
前記第1部材の主成分の熱膨張率とは異なる熱膨張率を有する金属材料を主成分とする、板状に形成される第2部材と、
前記第1部材と前記第2部材との間に配置され、前記第1部材と前記第2部材とを接合する接合部と、
を備え、
前記接合部は、
-120℃における熱膨張率が前記第2部材よりも低く、-120℃において負の熱膨張率を有する低熱膨張率物質と、接着剤とを含み、
-120℃における熱膨張率が2ppm/K以上40ppm/K以下であることを特徴とする
複合部材。 - 請求項1に記載の複合部材であって、
前記低熱膨張率物質は、前記負の熱膨張率を有する樹脂として、ポリエチレンおよびポリパラフェニレンベンゾビスオキサゾールのうちの少なくとも一種を含むことを特徴とする
複合部材。 - 請求項2に記載の複合部材であって、
前記接合部は、前記負の熱膨張率を有する樹脂を含む平面状部材が、前記接着剤の層内において、前記第1部材および前記第2部材の面方向に沿って配置されていることを特徴とする
複合部材。 - 請求項3に記載の複合部材であって、
前記平面状部材は、前記負の熱膨張率を有する樹脂を含む繊維によって形成され、
前記接合部は、前記平面状部材を構成する前記繊維間に、前記接着剤の一部が配置されていることを特徴とする
複合部材。 - 請求項1に記載の複合部材であって、
前記低熱膨張率物質は、前記負の熱膨張率を有するセラミックとして、タングステン酸ジルコニウム(ZrW2O8)、ルテニウム酸化物(Ca2RuO4-x(0≦x<0.4)、Ca2Ru1-xFexO4-y(0<x<0.4、0≦y<0.4))、ランタン、銅、鉄の複合酸化物(LaCu3Fe4O12)、逆ペロブスカイト型マンガン窒化物および逆ペロブスカイト型マンガン窒化物の窒素の一部が炭素に置換されたもの(Mn3AN1-xCx(0≦x<0.2)、ただしAは亜鉛(Zn)、ガリウム(Ga)、ゲルマニウム(Ge)のいずれか)、銅バナジウム酸化物(Cu2-xZnxV2O7(0≦x<0.3))から成る群から選択される少なくとも一種を含むことを特徴とする
複合部材。 - 請求項5に記載の複合部材であって、
前記接合部は、前記負の熱膨張率を有するセラミックを含む平面状部材が、前記接着剤の層内において、前記第1部材および前記第2部材の面方向に沿って配置されていることを特徴とする
複合部材。 - 請求項1から6までのいずれか一項に記載の複合部材であって、
前記接着剤は、シリコーン系接着剤であることを特徴とする
複合部材。 - 請求項7に記載の複合部材であって、
前記シリコーン系接着剤は、側鎖に3~16mol%のフェニル基を有することを特徴と得る
複合部材。 - 請求項1から8までのいずれか一項に記載の複合部材であって、
前記第2部材は、モリブデン、チタン、タングステンから選択される少なくとも一種の金属を主成分として含むことを特徴とする
複合部材。 - 対象物を保持する保持装置であって、
前記保持装置は、請求項1から9までのいずれか一項に記載の複合部材によって構成され、
前記第1部材の主成分がセラミックであり、
前記第2部材の主成分が金属であることを特徴とする
保持装置。 - セラミックを主成分とする第1部材と、金属を主成分とする第2部材との間を接着する接着用構造体であって、
-120℃における熱膨張率が、前記第2部材よりも低く、-120℃において負の熱膨張率を有する低熱膨張率物質と、接着剤とを含み、
-120℃における熱膨張率が2ppm/K以上40ppm/K以下であることを特徴とする
接着用構造体。 - 請求項11に記載の接着用構造体であって、
前記低熱膨張率物質と前記接着剤とが混合された接着剤組成物によって構成されることを特徴とする
接着用構造体。 - 請求項11に記載の接着用構造体であって、
前記低熱膨張率物質を含む平面状部材が、前記接着剤の層内において、前記接着用構造体によって接着される前記第1部材と前記第2部材の接着面に沿って配置されていることを特徴とする
接着用構造体。
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