JP7381806B2 - 積層部品、及びその製造方法、並びに、積層体、及びその製造方法 - Google Patents
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Description
金属板と、樹脂充填板と、半硬化樹脂層と、をこの順に備え、
前記樹脂充填板は、多孔質の窒化物焼結板と、前記窒化物焼結板の気孔に充填された硬化樹脂と、を含み、
前記半硬化樹脂層は熱硬化性樹脂を含有する、積層部品。
[2]
前記半硬化樹脂層の厚さが65μm以下である、[1]に記載の積層部品。
[3]
前記窒化物焼結板の厚さが1.0mm以下である、[1]又は[2]に記載の積層部品。
[4]
前記熱硬化性樹脂の硬化率が60%以下である、[1]~[3]のいずれかに記載の積層部品。
[5]
前記硬化樹脂の硬化率が、前記熱硬化性樹脂の硬化率よりも大きい、[1]~[4]のいずれかに記載の積層部品。
[6]
前記硬化樹脂の硬化率が90%以上である、[1]~[5]のいずれかに記載の積層部品。
[7]
金属板と、樹脂充填板と、を備え、
前記樹脂充填板は、多孔質の窒化物焼結板と、前記窒化物焼結板の気孔に充填された硬化樹脂と、を含む、積層体。
[8]
前記硬化樹脂の硬化率が90%以上である、[7]に記載の積層体。
[9]
多孔質の窒化物焼結板と、前記窒化物焼結板の気孔に充填された熱硬化性樹脂組成物の半硬化物とを含む樹脂含浸体を、金属板上に配置し、前記半硬化物を加熱することによって、前記窒化物焼結板の気孔に充填された硬化樹脂を含む樹脂充填板と、前記金属板とを備える積層体を調製する第一工程と、
前記樹脂充填板の前記金属板側とは反対側に、熱硬化性樹脂を含有する半硬化樹脂層を設ける第二工程と、を有する、積層部品の製造方法。
[10]
前記第二工程が、支持体と、前記支持体上に設けられた半硬化樹脂層とを備える積層フィルムを用意し、前記積層フィルムの前記半硬化樹脂層を前記樹脂充填板の前記金属板側とは反対側に転写して、半硬化樹脂層を設ける工程である、[9]に記載の製造方法。
[11]
多孔質の窒化物焼結板と、前記窒化物焼結板の気孔に充填された熱硬化性樹脂組成物の半硬化物とを含む樹脂含浸体を、金属板上に配置し、前記半硬化物を加熱することによって、前記窒化物焼結板の気孔に充填された硬化樹脂を含む樹脂充填板と、前記金属板とを備える積層体を調製する工程を、有する、積層体の製造方法。
[12]
前記硬化樹脂の硬化率が90%以上である、[11]に記載の製造方法。
気孔率(体積%)=[1-(B/A)]×100 … 式(1)
半硬化物の硬化率(%)={1-[(R/c)×100]/Q}×100 … 式(A)
[窒化物焼結板]
新日本電工株式会社製のオルトホウ酸100質量部と、デンカ株式会社製のアセチレンブラック(商品名:HS100)35質量部とをヘンシェルミキサーを用いて混合した。得られた混合物を、黒鉛製のルツボ中に充填し、アーク炉にて、アルゴン雰囲気下で、2200℃にて5時間加熱し、塊状の炭化ホウ素(B4C)を得た。得られた塊状物を、ジョークラッシャーで粗粉砕して粗粉を得た。この粗粉を、炭化ケイ素製のボール(φ10mm)を有するボールミルによってさらに粉砕して粉砕粉を得た。
容器に、シアネート基を有する化合物が80質量部、ビスマレイミド基を有する化合物が20質量部、エポキシ基を有する化合物が50質量部となるように測り取り、上記3種の化合物合計量100質量部に対して、ホスフィン系硬化剤を1質量部及びイミダゾール系硬化剤を0.01質量部加えて混合した。なお、エポキシ樹脂が室温で固体状態であったため、80℃程度に加熱した状態で混合した。得られた熱硬化性樹脂組成物の100℃における粘度は、10mPa・sであった。調製した熱硬化性樹脂組成物を100℃にした後、その温度を維持したままディスペンサーを用いて、窒化ホウ素焼結板の上側の主面上に滴下して熱硬化性樹脂組成物を含浸した。熱硬化性樹脂組成物の滴下量は、窒化ホウ素焼結板の気孔の全体積の1.5倍とした。熱硬化性樹脂組成物の一部は、窒化ホウ素焼結板に含浸せず、主面上に残存した。
ビスマレイミド基を有する化合物:N,N’-[(1-メチルエチリデン)ビス[(p-フェニレン)オキシ(p-フェニレン)]]ビスマレイミド(ケイ・アイ化成株式会社製、商品名:BMI-80)
エポキシ基を有する化合物:1,6-ビス(2,3-エポキシプロパン-1-イルオキシ)ナフタレン(DIC株式会社製、商品名:HP-4032D)
イミダゾール系硬化剤:1-(1-シアノメチル)-2-エチル-4-メチル-1H-イミダゾール(四国化成工業株式会社製、商品名:2E4MZ-CN)
上述のように作製された樹脂含浸体を、銅板(縦×横×厚さ=50mm×50mm×1.0mm)に、四隅が一致するように積層し、200℃及び5MPaの条件下で5分間、加熱及び加圧した後、200℃及び大気圧の条件下で2時間加熱処理することによって、樹脂充填板を形成すると共に、樹脂充填板と銅板とを接着させた。樹脂充填板を構成する硬化樹脂の硬化率は、示差走査熱量計を用いた測定によって決定した。含浸されている硬化樹脂の硬化率は99%であった。
上記樹脂含浸体を調製した際に窒化ホウ素焼結板に含浸させたものと同様の熱硬化性樹脂を用意し、120℃で6時間、加熱することで樹脂を半硬化状態とした。半硬化状態の樹脂の硬化率は示唆操作熱量計を用いた測定によって決定した。半硬化状態の樹脂の硬化率は20%であった。この樹脂を0.1gサンプリングし、離型処理を行ったPETフィルム(厚み:75μm)と離型処理を行っていないPETフィルム(厚み:75μm)とで挟み、PETフィルム間に半硬化樹脂層を有する積層フィルムとした。次に、ステージを80℃に加熱した加熱プレスに、上記積層フィルムをセットし、加熱プレスの熱板間の距離(間隙)を165μmとし、1MPaの圧力をかけることで半硬化樹脂層を狙い厚みとした。半硬化樹脂層の厚みは、積層フィルムの厚みからPETフィルム2層分の厚みを差し引くことで求めた。作製した半硬化樹脂層の厚みは15μmとなった。
半硬化樹脂層の厚さ、及び硬化率を表1に記載のとおりに変更したこと以外は、実施例1と同様にして、積層部品を得た。
実施例1と同様に調製した積層体(半硬化樹脂層を転写する前の物)を作製し、実施例1と同様に評価した。評価結果を表1に示す。
実施例1と同様にして、樹脂含浸体を作製した。含浸されている熱硬化性樹脂の硬化率は31%であった。
実施例で調製した積層部品に対して、後述する方法によって、ハンドリング性、接着性、及び熱抵抗性の評価を行った。結果を表1に示す。表1では、比較のために、上述の積層部品に代えて比較例1及び参考例1で調製した積層体を用いて同様の評価を行った結果を併記した。
上述のように調製した積層部品及び積層体の室温(約20℃)におけるハンドリング性を以下の基準で評価した。結果を表1に示す。
A:サンプルを移動させたり持ち上げたり手で触れたりした際には位置ずれは起きないが、治具等を用いて樹脂含浸体と金属板とをせん断方向に少し力をかけた際に、測定対象が凝集破壊しながら位置ずれが発生する。
B:サンプルを移動させたり持ち上げたり手で触れたりした際には位置ずれは起きないが、治具等を用いて樹脂含浸体と金属板とをせん断方向に少し力をかけた際に、測定対象が凝集破壊することなく位置ずれが発生する。
C:サンプルを移動させたり持ち上げたり手で触れたりした際に樹脂含浸体が動き、凝集破壊することなく位置ずれが発生する。
上述のように調製した積層部品及び積層体を用意し、半硬化樹脂層側又は樹脂充填板側に、銅箔(縦×横×厚さ=50mm×20mm×0.035mm)を、四隅が一致するように積層し200℃及び5MPaの条件下で5分間、加熱及び加圧、更に200℃及び大気圧の条件下で2時間加熱して接着体(積層基板)を調製し、これを測定対象とした。測定は、JIS K 6854-1:1999「接着剤-はく離接着強さ試験方法」にしたがって、90°はく離試験を行い、凝集破壊部分の面積を測定した。測定結果から、以下の基準で接着性を評価した。結果を表1に示す。
A:凝集破壊部分の面積が70面積%以上である。
B:凝集破壊部分の面積が30面積%以上70面積%未満である。
C:凝集破壊部分の面積が30面積%未満である。
上述のように調製した積層部品及び積層体に対して熱抵抗性の評価を行った。まず、上記接着性の評価と同様にして、積層部品及び積層体のそれぞれを使用して接着体(積層基板)を調製した。得られた接着体を対象として、ASTM-D5470に準拠して、積層方向における接着体の熱抵抗を測定した。測定には、樹脂材料熱抵抗測定装置(株式会社日立テクノロジーアンドサービス製)を使用した。比較例1で得られた積層体を用いて調製される接着体(積層基板)の熱抵抗(単位:K/W)を基準として、実施例1で得られた積層部品を用いて調製される接着体(積層基板)の熱抵抗を以下の基準で評価した。結果は表1に示すとおりであった。
A:熱抵抗が比較例1の値を1としたときに0.8未満である。
B:熱抵抗が比較例1の値を1としたときに0.8以上1未満である。
C:熱抵抗が比較例1の値を1としたときに1以上である。
Claims (10)
- 金属板と、前記金属板と接着された樹脂充填板と、前記樹脂充填板上に設けられた半硬化樹脂層と、からなり、
前記樹脂充填板は、多孔質の窒化物焼結板と、前記窒化物焼結板の気孔に充填された硬化樹脂と、を含み、
前記半硬化樹脂層は熱硬化性樹脂を含有する、積層部品。 - 前記半硬化樹脂層の厚さが65μm以下である、請求項1に記載の積層部品。
- 前記窒化物焼結板の厚さが1.0mm以下である、請求項1又は2に記載の積層部品。
- 前記熱硬化性樹脂の硬化率が60%以下である、請求項1又は2に記載の積層部品。
- 前記硬化樹脂の硬化率が、前記熱硬化性樹脂の硬化率よりも大きい、請求項1又は2に記載の積層部品。
- 前記硬化樹脂の硬化率が90%以上である、請求項1又は2に記載の積層部品。
- 金属板と、前記金属板上と接着された樹脂充填板と、からなり、
前記樹脂充填板は、多孔質の窒化物焼結板と、前記窒化物焼結板の気孔に充填された硬化樹脂と、を含み、
前記硬化樹脂の硬化率が90%以上である、積層体。 - 多孔質の窒化物焼結板と、前記窒化物焼結板の気孔に充填された熱硬化性樹脂組成物の半硬化物とを含む樹脂含浸体を、金属板上に配置し、前記半硬化物を加熱することによって接着し、前記窒化物焼結板の気孔に充填された硬化樹脂を含む樹脂充填板と、前記金属板とからなる積層体を調製する第一工程と、
前記樹脂充填板の前記金属板側とは反対側に、熱硬化性樹脂を含有する半硬化樹脂層を設ける第二工程と、を有する、積層部品の製造方法。 - 前記第二工程が、支持体と、前記支持体上に設けられた半硬化樹脂層とを備える積層フィルムを用意し、前記積層フィルムの前記半硬化樹脂層を前記樹脂充填板の前記金属板側とは反対側に転写して、半硬化樹脂層を設ける工程である、請求項8に記載の製造方法。
- 多孔質の窒化物焼結板と、前記窒化物焼結板の気孔に充填された熱硬化性樹脂組成物の半硬化物とを含む樹脂含浸体を、金属板上に配置し、前記半硬化物を加熱することによって接着し、前記窒化物焼結板の気孔に充填された硬化樹脂を含む樹脂充填板と、前記金属板とからなる積層体を調製する工程を、有し、
前記硬化樹脂の硬化率が90%以上である、積層体の製造方法。
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JP2012114314A (ja) | 2010-11-26 | 2012-06-14 | Denki Kagaku Kogyo Kk | 放熱基板及び電子部品 |
WO2015022956A1 (ja) | 2013-08-14 | 2015-02-19 | 電気化学工業株式会社 | 窒化ホウ素-樹脂複合体回路基板、窒化ホウ素-樹脂複合体放熱板一体型回路基板 |
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