JP7380697B2 - 半導体装置 - Google Patents
半導体装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7380697B2 JP7380697B2 JP2021551077A JP2021551077A JP7380697B2 JP 7380697 B2 JP7380697 B2 JP 7380697B2 JP 2021551077 A JP2021551077 A JP 2021551077A JP 2021551077 A JP2021551077 A JP 2021551077A JP 7380697 B2 JP7380697 B2 JP 7380697B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- power
- line
- power line
- power supply
- semiconductor device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 149
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 35
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 111
- 239000010408 film Substances 0.000 description 48
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 39
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 10
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 7
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 230000006870 function Effects 0.000 description 3
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000005669 field effect Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 2
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052779 Neodymium Inorganic materials 0.000 description 1
- KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N Ruthenium Chemical compound [Ru] KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910007717 ZnSnO Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 1
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 229910021389 graphene Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 1
- 239000002070 nanowire Substances 0.000 description 1
- QEFYFXOXNSNQGX-UHFFFAOYSA-N neodymium atom Chemical compound [Nd] QEFYFXOXNSNQGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 229910052707 ruthenium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052706 scandium Inorganic materials 0.000 description 1
- SIXSYDAISGFNSX-UHFFFAOYSA-N scandium atom Chemical compound [Sc] SIXSYDAISGFNSX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 1
- LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N silicon monoxide Chemical compound [Si-]#[O+] LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 1
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/52—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames
- H01L23/522—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames including external interconnections consisting of a multilayer structure of conductive and insulating layers inseparably formed on the semiconductor body
- H01L23/528—Geometry or layout of the interconnection structure
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/52—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames
- H01L23/522—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames including external interconnections consisting of a multilayer structure of conductive and insulating layers inseparably formed on the semiconductor body
- H01L23/528—Geometry or layout of the interconnection structure
- H01L23/5286—Arrangements of power or ground buses
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/48—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
- H01L23/481—Internal lead connections, e.g. via connections, feedthrough structures
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/52—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames
- H01L23/522—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames including external interconnections consisting of a multilayer structure of conductive and insulating layers inseparably formed on the semiconductor body
- H01L23/5226—Via connections in a multilevel interconnection structure
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/52—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames
- H01L23/535—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames including internal interconnections, e.g. cross-under constructions
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/02—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers
- H01L27/0203—Particular design considerations for integrated circuits
- H01L27/0207—Geometrical layout of the components, e.g. computer aided design; custom LSI, semi-custom LSI, standard cell technique
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/02—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers
- H01L27/04—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being a semiconductor body
- H01L27/10—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being a semiconductor body including a plurality of individual components in a repetitive configuration
- H01L27/118—Masterslice integrated circuits
- H01L27/11803—Masterslice integrated circuits using field effect technology
- H01L27/11807—CMOS gate arrays
- H01L2027/11868—Macro-architecture
- H01L2027/11874—Layout specification, i.e. inner core region
- H01L2027/11881—Power supply lines
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/02—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers
- H01L27/04—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being a semiconductor body
- H01L27/08—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being a semiconductor body including only semiconductor components of a single kind
- H01L27/085—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being a semiconductor body including only semiconductor components of a single kind including field-effect components only
- H01L27/088—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being a semiconductor body including only semiconductor components of a single kind including field-effect components only the components being field-effect transistors with insulated gate
- H01L27/092—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being a semiconductor body including only semiconductor components of a single kind including field-effect components only the components being field-effect transistors with insulated gate complementary MIS field-effect transistors
- H01L27/0922—Combination of complementary transistors having a different structure, e.g. stacked CMOS, high-voltage and low-voltage CMOS
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Geometry (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
- Design And Manufacture Of Integrated Circuits (AREA)
- Metal-Oxide And Bipolar Metal-Oxide Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
- Thin Film Transistor (AREA)
- Internal Circuitry In Semiconductor Integrated Circuit Devices (AREA)
Description
先ず、第1の実施形態について説明する。図1は、第1の実施形態に係る半導体装置の概要を示す断面図である。図1に示すように、第1の実施形態に係る半導体装置は、第1のチップ10及び第2のチップ20を含む。
第1のパワードメイン31Aには、X方向に延在する電源線1110と、X方向に延在する電源線1120とがY方向で交互に配置されている。例えば、電源線1110はVDD配線に相当し、電源線1120はVSS配線に相当する。
第2のパワードメイン31Bには、X方向に延在する電源線2110と、X方向に延在する電源線2120とがY方向で交互に配置されている。例えば、電源線2110はVVDD配線に相当し、電源線2120はVSS配線に相当する。
図9~図12に示すように、第2のチップ20は、例えば、絶縁層25と、絶縁層25の表層部に形成された電源線7110、7120、8110及び8120とを含む。電源線7110、7120、8110及び8120はX方向に延在する。
次に、第2の実施形態について説明する。第2の実施形態は、主に、ゲート電極及び半導体膜の配置の点で第1の実施形態と相違する。図13は、第2の実施形態に係る半導体装置の平面構成を示す模式図である。
次に、第3の実施形態について説明する。第3の実施形態は、主に、VSS配線の配置の点で第1の実施形態等と相違する。図14は、第3の実施形態に係る半導体装置の平面構成を示す模式図である。図15は、第3の実施形態に係る半導体装置を示す断面図である。図15は、図14中のX13-X23線に沿った断面図に相当する。
次に、第4の実施形態について説明する。第4の実施形態は、主に、電源線の配置の点で第1の実施形態等と相違する。図16は、第4の実施形態に係る半導体装置の平面構成を示す模式図である。図17は、第4の実施形態に係る半導体装置を示す断面図である。図17は、図16中のX14-X24線に沿った断面図に相当する。
次に、第5の実施形態について説明する。第5の実施形態は、主に、電源線、ゲート電極及び半導体膜の配置の点で第1の実施形態等と相違する。図18は、第5の実施形態に係る半導体装置の平面構成を示す模式図である。図18では、制御信号線5110に相当する部分を省略する。
次に、第6の実施形態について説明する。第6の実施形態は、主に、電源線、ゲート電極及び半導体膜の配置の点で第1の実施形態等と相違する。図19は、第6の実施形態に係る半導体装置の平面構成を示す模式図である。図19では、制御信号線5110に相当する部分を省略する。
次に、第7の実施形態について説明する。第7の実施形態は、主に、パワードメインの配置及び電源スイッチ回路の配置の点で第1の実施形態等と相違する。図20は、第7の実施形態におけるパワードメインの概要を示す模式図である。図21は、第7の実施形態に係る半導体装置の平面構成を示す模式図である。
次に、第8の実施形態について説明する。第8の実施形態は、主に、スイッチトランジスタの構造の点で第1の実施形態等と相違する。図22は、第8の実施形態に係る半導体装置の平面構成を示す模式図である。図23は、第8の実施形態に係る半導体装置を示す断面図である。図23は、図22中のX15-X25線に沿った断面図に相当する。
次に、第9の実施形態について説明する。第9の実施形態は、制御信号線の配置の点で第1の実施形態等と相違する。図24は、第9の実施形態に係る半導体装置の平面構成の概要を示す模式図である。図25は、第9の実施形態に係る半導体装置の概要を示す断面図である。図24及び図25では、第9の実施形態の特徴的な部分である制御信号線の配置に関する部分を図示し、半導体層、一部の電源線及びビア等の図示は省略する。
次に、第10の実施形態について説明する。第10の実施形態は、制御信号線にバッファが付加されている点で第9の実施形態と相違する。図28は、第10の実施形態に係る半導体装置の平面構成を示す模式図である。図28では、第10の実施形態の特徴的な部分である制御信号線の配置に関する部分を図示し、半導体層、一部の電源線及びビア等の図示は省略する。
次に、第11の実施形態について説明する。第11の実施形態は、制御信号線の寄生容量を高める構成が付加されている点で第9の実施形態等と相違する。図29は、第11の実施形態に係る半導体装置を示す断面図である。図29では、第11の実施形態の特徴的な部分である制御信号線及びスイッチトランジスタに関する部分を図示し、半導体層、一部の電源線及びビア等の図示は省略する。
20:第2のチップ
31A、31B、31C:パワードメイン
42:電源スイッチ回路
51:スイッチトランジスタ
52:電源スイッチ制御回路
Claims (15)
- 基板と、前記基板の第1の面上に形成された第1の配線層と、を有する第1のチップと、
前記基板の前記第1の面とは反対側の第2の面上に形成された第2の配線層と、
を有し、
前記第2の配線層は、
第1の電源電位が供給される第1の電源線と、
第2の電源電位が供給される第2の電源線と、
前記第1の電源線と前記第2の電源線との間に接続された第1のスイッチと、
を有し、
前記第1のチップは、
第1の接地線と、
前記第2の電源電位が供給される第3の電源線と、
前記第1の接地線及び前記第3の電源線が配置された第1の領域と、
第2の接地線と、
前記第1の電源電位が供給される第4の電源線と、
前記第2の接地線及び前記第4の電源線が配置された第2の領域と、
を有し、
平面視で、前記第1のスイッチは前記第1の領域と前記第2の領域との間に配置されていることを特徴とする半導体装置。 - 前記第2の領域は、前記第2の接地線と前記第4の電源線との間に接続され、前記第1のスイッチを制御する制御回路を含むことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記第1の接地線と前記第2の接地線とが互いに電気的に接続されることを特徴とする請求項1又は2に記載の半導体装置。
- 前記第1の電源線は、平面視で前記第2の領域と重なる部分を有し、
前記第2の電源線は、平面視で前記第1の領域と重なる部分を有し、
前記第1の電源線及び前記第2の電源線は、前記第1の領域と前記第2の領域との間で前記第1のスイッチに接続されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の半導体装置。 - 前記第1の電源線及び前記第2の電源線は平面視で第1の方向に延在し、
前記第1の領域の少なくとも一部と前記第2の領域とが前記第1の方向に配置され、
前記第1の電源線及び前記第2の電源線は、それぞれ前記第1の方向に垂直な第2の方向に並んで複数設けられており、
前記第1のスイッチは、複数の前記第1の電源線と複数の前記第2の電源線との間に共通に接続されていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の半導体装置。 - 前記第1の電源線及び前記第2の電源線は平面視で第1の方向に延在し、
前記第1の領域と前記第2の領域とが、平面視で前記第1の方向に直交する第2の方向に配置され、
複数の前記第1のスイッチが、前記第1の電源線と前記第2の電源線との間に接続されていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の半導体装置。 - 前記第1の接地線及び前記第3の電源線は、前記第1の方向に延在することを特徴とする請求項6に記載の半導体装置。
- 前記第1の電源線及び前記第2の電源線は、それぞれ前記第1の領域と前記第2の領域とが並ぶ第1の方向に垂直な第2の方向に並んで複数設けられており、
前記第1の電源線は、それぞれ前記第1の領域と前記第2の領域との間の第1の部分を有し、
前記第2の電源線は、それぞれ前記第1の領域と前記第2の領域との間の第2の部分を有し、
前記第1の部分と前記第2の部分とは、前記第2の方向に交互に配置されており、
前記第1のスイッチは、前記第2の方向で隣り合う前記第1の部分と前記第2の部分との間に接続されていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の半導体装置。 - 前記第1の部分が複数の前記第1の電源線により共有され、
前記第2の部分が複数の前記第2の電源線により共有されていることを特徴とする請求項8に記載の半導体装置。 - 前記第1のスイッチは、
前記第1の電源線及び前記第2の電源線に接続された半導体層と、
ゲート電極と、
前記半導体層と前記ゲート電極との間に設けられたゲート絶縁膜と、
を有することを特徴とする請求項1乃至9のいずれか1項に記載の半導体装置。 - 前記ゲート絶縁膜は、前記半導体層の前記第1のチップ側の面上に形成され、
前記ゲート電極は、前記ゲート絶縁膜の前記第1のチップ側の面上に形成されていることを特徴とする請求項10に記載の半導体装置。 - 前記ゲート絶縁膜は、前記半導体層の前記第1のチップ側の面とは反対側の面上に形成され、
前記ゲート電極は、前記ゲート絶縁膜の前記第1のチップ側の面とは反対側の面上に形成されていることを特徴とする請求項10に記載の半導体装置。 - 前記第1の電源線と前記第2の電源線との間に接続された第2のスイッチを有し、
複数の前記第1のスイッチからなる第1のスイッチ群と、複数の前記第2のスイッチからなる第2のスイッチ群とが、平面視で前記第1の領域を間に挟んで配置され、
前記第1のスイッチ群に属する前記第1のスイッチと、前記第2のスイッチ群に属する前記第2のスイッチとが交互に並列に接続されていることを特徴とする請求項1乃至12のいずれか1項に記載の半導体装置。 - 前記第1の領域の外側で前記第1のスイッチ群の制御端子及び前記第2のスイッチ群の制御端子同士がバッファを介して接続されていることを特徴とする請求項13に記載の半導体装置。
- 前記第1のスイッチ群の制御端子及び前記第2のスイッチ群の制御端子に接続された容量素子を有することを特徴とする請求項13又は14に記載の半導体装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2023186192A JP2024001284A (ja) | 2019-10-11 | 2023-10-31 | 半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
PCT/JP2019/040258 WO2021070366A1 (ja) | 2019-10-11 | 2019-10-11 | 半導体装置 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2023186192A Division JP2024001284A (ja) | 2019-10-11 | 2023-10-31 | 半導体装置 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2021070366A1 JPWO2021070366A1 (ja) | 2021-04-15 |
JPWO2021070366A5 JPWO2021070366A5 (ja) | 2022-12-01 |
JP7380697B2 true JP7380697B2 (ja) | 2023-11-15 |
Family
ID=75438154
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021551077A Active JP7380697B2 (ja) | 2019-10-11 | 2019-10-11 | 半導体装置 |
JP2023186192A Pending JP2024001284A (ja) | 2019-10-11 | 2023-10-31 | 半導体装置 |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2023186192A Pending JP2024001284A (ja) | 2019-10-11 | 2023-10-31 | 半導体装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20220230954A1 (ja) |
JP (2) | JP7380697B2 (ja) |
CN (1) | CN114514604A (ja) |
WO (1) | WO2021070366A1 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11929325B2 (en) * | 2021-08-18 | 2024-03-12 | Qualcomm Incorporated | Mixed pitch track pattern |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009302198A (ja) | 2008-06-11 | 2009-12-24 | Elpida Memory Inc | 半導体チップ、半導体チップ群および半導体装置 |
JP2012044042A (ja) | 2010-08-20 | 2012-03-01 | Kawasaki Microelectronics Inc | 半導体集積回路および半導体集積回路装置 |
JP2014165358A (ja) | 2013-02-26 | 2014-09-08 | Panasonic Corp | 半導体装置及びその製造方法 |
US20150187642A1 (en) | 2013-12-30 | 2015-07-02 | International Business Machines Corporation | Double-sided segmented line architecture in 3d integration |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5326689A (en) * | 1976-08-25 | 1978-03-11 | Hitachi Ltd | Semiconductor integrated circuit unit |
JP2972425B2 (ja) * | 1992-01-30 | 1999-11-08 | 日本電気アイシーマイコンシステム株式会社 | 半導体集積回路 |
JPH11102910A (ja) * | 1997-09-29 | 1999-04-13 | Hitachi Ltd | 半導体集積回路 |
-
2019
- 2019-10-11 WO PCT/JP2019/040258 patent/WO2021070366A1/ja active Application Filing
- 2019-10-11 JP JP2021551077A patent/JP7380697B2/ja active Active
- 2019-10-11 CN CN201980101206.4A patent/CN114514604A/zh active Pending
-
2022
- 2022-04-08 US US17/716,299 patent/US20220230954A1/en active Pending
-
2023
- 2023-10-31 JP JP2023186192A patent/JP2024001284A/ja active Pending
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009302198A (ja) | 2008-06-11 | 2009-12-24 | Elpida Memory Inc | 半導体チップ、半導体チップ群および半導体装置 |
JP2012044042A (ja) | 2010-08-20 | 2012-03-01 | Kawasaki Microelectronics Inc | 半導体集積回路および半導体集積回路装置 |
JP2014165358A (ja) | 2013-02-26 | 2014-09-08 | Panasonic Corp | 半導体装置及びその製造方法 |
US20150187642A1 (en) | 2013-12-30 | 2015-07-02 | International Business Machines Corporation | Double-sided segmented line architecture in 3d integration |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2024001284A (ja) | 2024-01-09 |
US20220230954A1 (en) | 2022-07-21 |
CN114514604A (zh) | 2022-05-17 |
WO2021070366A1 (ja) | 2021-04-15 |
JPWO2021070366A1 (ja) | 2021-04-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US20210210468A1 (en) | Semiconductor device | |
US9672903B2 (en) | Two-port SRAM connection structure | |
JP7315016B2 (ja) | 半導体装置 | |
US11908799B2 (en) | Semiconductor integrated circuit device | |
EP3375009B1 (en) | Power rail inbound middle of line (mol) routing | |
US11056489B2 (en) | Integrated circuit devices including vertical field-effect transistors (VFETs) | |
JP7272426B2 (ja) | 半導体装置 | |
TWI437665B (zh) | 半導體裝置 | |
JP2023171884A (ja) | 半導体装置 | |
JP2018190760A (ja) | 半導体装置 | |
US20220045215A1 (en) | Semiconductor device | |
US11967593B2 (en) | Semiconductor device | |
JP2024001284A (ja) | 半導体装置 | |
US10777579B2 (en) | Semiconductor integrated circuit device | |
US11233044B2 (en) | Semiconductor device | |
US20220239297A1 (en) | Semiconductor device | |
TWI720077B (zh) | 半導體元件的布局 | |
CN114823658A (zh) | 半导体装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20220921 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20221121 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230613 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230713 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20231003 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20231016 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7380697 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |