JP7375831B2 - ウェーハ製造システム - Google Patents
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Description
10、10-1~10-4 ウェーハ製造装置(ウェーハ処理装置)
10A ハードレーザーマーク印字装置
10B ウェーハ洗浄装置
10C 枚葉式熱処理装置
11 センサ
12 SECS通信ライン
12a SECS通信ポート
15 ホストPC
16 PLC(プログラマブルロジックコントローラ)
17 中継PC
19 データ収集装置
20 データベース
Claims (14)
- センサを備えたウェーハ製造装置と、
データ通信ラインを介して前記ウェーハ製造装置に接続され、前記ウェーハ製造装置を制御するホストPCと、
前記センサのアナログ出力信号をサンプリングして記憶するロジックコントローラと、
前記データ通信ライン上を流れる前記ウェーハ製造装置が処理中のウェーハ又は単結晶のトラッキング情報を抜き出して前記ロジックコントローラに送る中継PCとを備え、
前記センサのアナログ出力信号は2分岐され、一方のアナログ出力信号は前記ウェーハ製造装置の動作を制御するために使用され、他方のアナログ出力信号はデータ収集のために前記ウェーハ製造装置から独立して設けられた前記ロジックコントローラに送られ、
前記ロジックコントローラは、前記センサのアナログ出力信号のデジタル値を前記中継PCから送られてくる前記トラッキング情報に関連付けて記憶することを特徴とするウェーハ製造システム。 - 前記ロジックコントローラが記憶している前記センサのアナログ出力信号のデジタル値を周期的に収集するデータ収集装置をさらに備え、
前記データ収集装置は、前記ロジックコントローラが記憶している前記センサのアナログ出力信号のデジタル値及び前記トラッキング情報の組み合わせからなるデータレコードをデータ取得日時と関連付けて記録する、請求項1に記載のウェーハ製造システム。 - 前記ロジックコントローラは、前記データ収集装置が前記ロジックコントローラから前記デジタル値を収集する周期よりも短いサンプリング周期で前記センサのアナログ出力信号をサンプリングして記憶する、請求項2に記載のウェーハ製造システム。
- 前記データ収集装置が前記ロジックコントローラから前記センサのアナログ出力信号のデジタル値を収集する周期は1秒以下である、請求項3に記載のウェーハ製造システム。
- 前記トラッキング情報は、インゴットID、ブロックID、ウェーハID、ロットID及びスロットIDから選ばれた少なくとも一つの識別コードである、請求項1乃至4のいずれか一項に記載のウェーハ製造システム。
- 前記ロジックコントローラは、前記ウェーハ製造装置が前記ウェーハ又は単結晶を処理していない期間中も前記センサのアナログ出力信号のデジタル値を記録する、請求項1乃至5のいずれか一項に記載のウェーハ製造システム。
- 前記ロジックコントローラは、前記ウェーハ製造装置の動作状態に依存しない任意の頻度で、前記トラッキング情報と前記センサのアナログ出力信号のデジタル値を記録する、請求項1乃至6のいずれか一項に記載のウェーハ製造システム。
- メインセンサ及び追加センサを備えたウェーハ製造装置と、
データ通信ラインを介して前記ウェーハ製造装置に接続され、前記ウェーハ製造装置を制御するホストPCと、
前記追加センサのアナログ出力信号をサンプリングして記憶するロジックコントローラと、
前記データ通信ライン上を流れる前記ウェーハ製造装置が処理中のウェーハ又は単結晶のトラッキング情報を抜き出して前記ロジックコントローラに送る中継PCとを備え、
前記メインセンサのアナログ出力信号は前記ウェーハ製造装置の動作を制御するために使用され、前記追加センサのアナログ出力信号はデータ収集のために前記ウェーハ製造装置から独立して設けられた前記ロジックコントローラに送られ、
前記ロジックコントローラは、前記追加センサのアナログ出力信号のデジタル値を前記中継PCから送られてくる前記トラッキング情報に関連付けて記憶することを特徴とするウェーハ製造システム。 - 前記ロジックコントローラが記憶している前記追加センサのアナログ出力信号のデジタル値を周期的に収集するデータ収集装置をさらに備え、
前記データ収集装置は、前記ロジックコントローラが記憶している前記追加センサのアナログ出力信号のデジタル値及び前記トラッキング情報の組み合わせからなるデータレコードをデータ取得日時と関連付けて記録する、請求項8に記載のウェーハ製造システム。 - 前記ロジックコントローラは、前記データ収集装置が前記ロジックコントローラから前記デジタル値を収集する周期よりも短いサンプリング周期で前記追加センサのアナログ出力信号をサンプリングして記憶する、請求項9に記載のウェーハ製造システム。
- 前記データ収集装置が前記ロジックコントローラから前記追加センサのアナログ出力信号のデジタル値を収集する周期は1秒以下である、請求項10に記載のウェーハ製造システム。
- 前記トラッキング情報は、インゴットID、ブロックID、ウェーハID、ロットID及びスロットIDから選ばれた少なくとも一つの識別コードである、請求項8乃至11のいずれか一項に記載のウェーハ製造システム。
- 前記ロジックコントローラは、前記ウェーハ製造装置が前記ウェーハ又は単結晶を処理していない期間中も前記追加センサのアナログ出力信号のデジタル値を記録する、請求項8乃至12のいずれか一項に記載のウェーハ製造システム。
- 前記ロジックコントローラは、前記ウェーハ製造装置の動作状態に依存しない任意の頻度で、前記トラッキング情報と前記追加センサのアナログ出力信号のデジタル値を記録する、請求項8乃至13のいずれか一項に記載のウェーハ製造システム。
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