JP2005197387A - 単結晶インゴットの管理方法及び単結晶インゴットの管理システム - Google Patents
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Abstract
【課題】単結晶インゴットの工程管理を自動化して高精度に行い、単結晶インゴットの受け入れ、ストッカーへの保管、ストッカーからの取り出し等の作業を人手に依らず簡便にかつ円滑に行うことのできる単結晶インゴットの管理方法及び管理システムを提供する。
【解決手段】製造した単結晶インゴットの工程管理を行う管理方法において、前記単結晶インゴットに無線ICタグを付けた後、該無線ICタグへの単結晶インゴットのデータの書き込み、及び該無線ICタグからのデータの読み出しを行うことによって、前記単結晶インゴットの工程管理を行うことを特徴とする単結晶インゴットの管理方法、及び単結晶インゴットの管理システム。
【選択図】図1
【解決手段】製造した単結晶インゴットの工程管理を行う管理方法において、前記単結晶インゴットに無線ICタグを付けた後、該無線ICタグへの単結晶インゴットのデータの書き込み、及び該無線ICタグからのデータの読み出しを行うことによって、前記単結晶インゴットの工程管理を行うことを特徴とする単結晶インゴットの管理方法、及び単結晶インゴットの管理システム。
【選択図】図1
Description
本発明は、半導体ウエーハのような精密基板等への加工が施される単結晶インゴットの工程管理を行う管理方法、及び管理システムに関する。
一般に、半導体ウエーハは、インゴット製造工程においてチョクラルスキー法(Czochralski法)やフローティングゾーン法(Floating−Zone法)等により単結晶インゴットを育成した後、単結晶インゴットから薄板(ウエーハ)を切り出すスライス工程、ウエーハの外周の欠けを防止するための面取り工程、ウエーハの厚さのバラツキをなくすためのラッピング工程、加工歪みや汚染物を除去するためのエッチング工程、ウエーハの面取り部および主表面を鏡面化する研磨工程等の加工工程を有するウエーハ製造工程を行うことによって製造される。
上記のような半導体ウエーハの製造において、単結晶インゴットから切出されて得られたウエーハは、スタッカーやキャリア等のウエーハ収納容器に収容されて搬送され各種処理がバッチ毎に行われている。このとき、ウエーハを収容する収納容器にはバーコードやプラスチックタグ等が付けられており、それらにウエーハの切出された単結晶インゴットの情報やウエーハに施された各加工処理の履歴などといった情報を表示し、ウエーハ製造工程の工程管理や納期管理が行われている。
近年、上記のようなウエーハ加工工程において、ウエーハの収納容器へのデータの変更を行ったり、またデータ量の増加を図るために、ウエーハの収納容器に送受信機能と書き換え可能なメモリを備えるICモジュールを取り付け、このICモジュールと無線による双方向データ通信を行って、多量のデータの中から必要な時に必要なデータを取り出すことができる半導体製造システムにおけるID認識装置が開示されている(特許文献1参照)。
また、特許文献2では、収納容器に収容する収納品(例えば、半導体ウエーハ)を汚染することなく、成形が容易で量産に適し、初期情報の書き換えが可能な収納容器として、半導体用ウエーハを収納する内箱、これを収容する上蓋と外箱とからなり、非接触データキャリアがこれらの部材の一部または全部に一体成形により設けられている電気・電子部品収納容器が開示されている。
一方、インゴット製造工程で製造した単結晶インゴットを上記のようなウエーハ製造工程に出荷する際には、図3に示すように、単結晶インゴット21の上面にその製造履歴やスペック等の情報と連動したバーコード22を添付してから、その単結晶インゴット21を発泡スチロールの輸送箱23に梱包して出荷が行われている。そして、その後ウエーハ製造工程側で、その単結晶インゴットに添付されているバーコードをホストコンピュータ等に連動したバーコードリーダーで光学的に読み取ることによって搬入された単結晶インゴットを識別し、単結晶インゴットの受け入れや自動ストッカーへの保管等の工程管理を行っている。このような単結晶インゴットの工程管理では、インゴットの重量が非常に重く、また単結晶インゴットの大口径化が進んでいることから、作業者への負担が大きくなってきているため、工程管理を自動化することが望まれている。
しかしながら、通常、インゴット製造工程で単結晶インゴットの出荷を行う際には、発泡スチロールの輸送箱に梱包される単結晶インゴットの直径や長さ等が不揃いになることが多い。そのため、その後ウエーハ製造工程で単結晶インゴットを受け入れる際に、インゴットに添付されているバーコードの位置をコンピュータ等で自動的に特定することができないため、バーコードの読み取りを行うためには、作業者がバーコードの位置を確認してバーコードリーダーを手動で適切に合わせる必要があり、単結晶インゴットの受け入れを自動化することは困難であった。
さらに、単結晶インゴットを出荷する際には、発泡スチロールの輸送箱1箱あたりに1本ないし数本の単結晶インゴットが梱包され、梱包された各インゴットのそれぞれにバーコードが添付されている。そのため、ウエーハ製造工程での単結晶インゴットの受け入れ作業ではバーコードの読み取りを一つ一つ手作業で行わざるを得なく、大変手間がかかる上にコストアップの要因の一つとなっていた。
また、例えば、インゴット製造工程から出荷された単結晶インゴットをウエーハ製造工程で受け入れた後に自動ストッカーで保管する場合、単結晶インゴットはウエーハ製造工程の受け入れ時にバーコードで管理されているため、自動ストッカーに保管する際に単結晶インゴットの固有情報を自動ストッカーのパレットに移し替えざるを得ない。そのため、その後自動ストッカーから単結晶インゴットを取り出すときに、インゴットの固有情報を確認するためにインゴットに添付されているバーコードを再度手動で読み取らなければならず、人手が必要とされ、作業者に非常に大きな負担がかかるという問題があった。
そこで、本発明は上記問題点に鑑みてなされたものであって、本発明の目的は、単結晶インゴットの工程管理を自動化して高精度に行い、単結晶インゴットの受け入れ、ストッカーへの保管、ストッカーからの取り出し等の作業を人手に依らず簡便にかつ円滑に行うことのできる単結晶インゴットの管理方法及び管理システムを提供することにある。
上記目的を達成するために、本発明によれば、製造した単結晶インゴットの工程管理を行う管理方法において、前記単結晶インゴットに無線ICタグを付けた後、該無線ICタグへの単結晶インゴットのデータの書き込み、及び該無線ICタグからのデータの読み出しを行うことによって、前記単結晶インゴットの工程管理を行うことを特徴とする単結晶インゴットの管理方法が提供される(請求項1)。
このように、インゴット製造工程で製造された単結晶インゴットに無線ICタグを取り付けておき、その後この無線ICタグへの単結晶インゴットのデータの書き込み、及び無線ICタグからのデータの読み出しを行うことによって、単結晶インゴットの製造後の工程管理を自動化して高精度に行うことができる。それによって、例えばインゴット製造工程で単結晶インゴットを出荷した後、インゴットを加工してウエーハの製造が行われるウエーハ製造工程において、インゴットの受け入れ、ストッカーへの保管、ストッカーからの取り出し等の作業を人手を介さずに簡便にかつ円滑に行うことが可能となる。尚、本発明において、単結晶インゴットに取り付ける無線ICタグとは、離れたところから無線を利用してデータの読み書きが可能な応答機のことであり、例えば、無線信号の送受信を行うアンテナ部、データを記録するIC等を有する回路部等から構成されているものである。また、ここで単結晶インゴットのデータとは、単結晶インゴットの製造履歴や、結晶方位、抵抗率、酸素濃度、導伝型、結晶欠陥等の品質情報のことを意味する。
このとき、前記無線ICタグに、単結晶インゴットの製造条件の情報をデータとして書き込むことが好ましく(請求項2)、また、前記単結晶インゴットの加工を行う際に、前記無線ICタグからデータを読み出して単結晶インゴットを識別することが好ましい(請求項3)。
このように、インゴット製造工程で単結晶インゴットを製造した後に単結晶インゴットに無線ICタグを付けて単結晶インゴットの製造条件の情報をデータとして書き込んでおけば、その後、単結晶インゴットの加工が行われるウエーハ製造工程で、無線ICタグからデータを読み出して単結晶インゴットの識別を自動で行うことができるようになり、インゴットの受け入れ作業を人手を介さずに簡便にかつ円滑に行うことができる。
また、前記製造した単結晶インゴットをストッカーに保管する場合に、前記無線ICタグからデータを読み出して単結晶インゴットを識別し、該ストッカーに保管する単結晶インゴットを管理することができ(請求項4)、さらにこの場合、前記ストッカーに保管されている単結晶インゴットを取り出す際に、前記無線ICタグからデータを読み出して単結晶インゴットを識別することができる(請求項5)。
このように、単結晶インゴットをウエーハ製造工程で受け入れた後にストッカーに保管する場合、無線ICタグから単結晶インゴットのデータを読み出すことにより、単結晶インゴットを自動で識別することができるので、例えばこの単結晶インゴットの固有のデータとストッカーに保管する保管庫の情報とをコンピュータ等に記録して連動させることにより、ストッカーに保管する単結晶インゴットを自動で管理することができる。さらに、このようにコンピュータ等で保管状態が管理されている単結晶インゴットをストッカーから取り出すときには、所定の単結晶インゴットを正確に取り出すことができるし、またその際に、単結晶インゴットに取り付けられている無線ICタグからデータを読み出すことにより、その単結晶インゴットを識別してインゴットが所定のものであることを自動で確認することができる。
さらに、本発明では、前記無線ICタグを、前記単結晶インゴットの表面に直接接着することが好ましい(請求項6)。
このように無線ICタグを単結晶インゴットの表面に直接接着することにより、無線ICタグの単結晶インゴットへの取り付けを容易に行うことができるし、また無線ICタグから単結晶インゴットのデータを読み出す際に、無線ICタグの位置を検出し易く、データの読み出しを簡便にまた高精度に行うことができる。
このように無線ICタグを単結晶インゴットの表面に直接接着することにより、無線ICタグの単結晶インゴットへの取り付けを容易に行うことができるし、また無線ICタグから単結晶インゴットのデータを読み出す際に、無線ICタグの位置を検出し易く、データの読み出しを簡便にまた高精度に行うことができる。
また、本発明によれば、製造した単結晶インゴットの工程管理を行う管理システムであって、少なくとも、前記単結晶インゴットに付ける無線ICタグと、該無線ICタグにデータを書き込むための無線ICタグ書き込み手段と、前記無線ICタグからデータを読み出すための無線ICタグ読み出し手段と、前記無線ICタグへ書き込まれるデータ及び前記無線ICタグから読み出されるデータを記録して前記単結晶インゴットのデータを管理するホストコンピュータとを具備することを特徴とする単結晶インゴットの管理システムを提供することができる(請求項7)。
このような構成を有する単結晶インゴットの管理システムであれば、単結晶インゴットの出荷、受け入れ、保管等の工程内容をホストコンピュータに自動で入力することができ、単結晶インゴットの工程管理を自動化して高精度に行うことができる。それによって、インゴット製造工程から出荷された単結晶インゴットの受け入れ、ストッカーへの保管、ストッカーからの取り出し等の作業を人手を介さずに自動で行うことが可能となるし、また納期管理等も正確に行うことができるようになる。
このとき、前記ホストコンピュータが少なくとも2台以上設置される場合、該ホストコンピュータ同士がLAN回線で接続されていることが好ましい(請求項8)。
例えば、インゴット製造工程を管理するホストコンピュータとウエーハ製造工程を管理するホストコンピュータとが離れて設置されている場合でも、上記のようにホストコンピュータ同士がLAN回線で接続されていれば、各コンピュータに保存されている情報のやり取りを容易に行うことができる。それにより、ウエーハ製造工程で単結晶インゴットを受け入れる際に、無線ICタグから読み出されたデータとインゴット製造工程で管理されている情報とをリンクさせて、単結晶インゴットの識別をより正確に行うことができる。
例えば、インゴット製造工程を管理するホストコンピュータとウエーハ製造工程を管理するホストコンピュータとが離れて設置されている場合でも、上記のようにホストコンピュータ同士がLAN回線で接続されていれば、各コンピュータに保存されている情報のやり取りを容易に行うことができる。それにより、ウエーハ製造工程で単結晶インゴットを受け入れる際に、無線ICタグから読み出されたデータとインゴット製造工程で管理されている情報とをリンクさせて、単結晶インゴットの識別をより正確に行うことができる。
以上のように、本発明によれば、単結晶インゴットの工程管理を自動化して高精度に行うことができる。それにより、インゴット製造工程から出荷された単結晶インゴットの受け入れ、ストッカーへの保管、ストッカーからの取り出し等の作業を人手を介さずに簡便にかつ円滑に行うことができ、作業者への負担を大幅に軽減し、工程管理の省力化やコストダウンを図ることができる。
以下、本発明について実施の形態を説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
本発明者等は、インゴット製造工程で製造された単結晶インゴットの工程管理を行う際に、従来のように単結晶インゴットにバーコードを添付する代わりに無線ICタグを取り付けておき、この無線ICタグへの単結晶インゴットのデータの書き込み及び無線ICタグからのデータの読み出しを行うことによって、例えばウエーハ製造工程で単結晶インゴットの受け入れ等を行う際に人手を介さずに単結晶インゴットを簡便に識別できることを見出して、本発明を完成させた。
本発明者等は、インゴット製造工程で製造された単結晶インゴットの工程管理を行う際に、従来のように単結晶インゴットにバーコードを添付する代わりに無線ICタグを取り付けておき、この無線ICタグへの単結晶インゴットのデータの書き込み及び無線ICタグからのデータの読み出しを行うことによって、例えばウエーハ製造工程で単結晶インゴットの受け入れ等を行う際に人手を介さずに単結晶インゴットを簡便に識別できることを見出して、本発明を完成させた。
先ず、本発明に係る単結晶インゴットの管理システムについて図面を参照しながら説明する。図1は、本発明の単結晶インゴットの管理システムの一例を概略的に説明する概略説明図である。
本発明の単結晶インゴットの管理システムは、例えば図1に示したように、単結晶インゴット1がインゴット製造ライン3で製造されてから加工ライン4で加工が施されるまでの単結晶インゴットの工程管理を行う管理システムであって、製造された単結晶インゴット1に取り付ける無線ICタグ2と、この無線ICタグにデータを書き込むための第1及び第2の無線ICタグ書き込み手段5、6と、無線ICタグからデータを読み出すための第1ないし第3の無線ICタグ読み出し手段7、8、9と、無線ICタグへ書き込まれるデータ及び無線ICタグから読み出されるデータを記録して単結晶インゴットのデータを管理する第1及び第2のホストコンピュータ10、11とを具備するものである。
本発明の単結晶インゴットの管理システムは、例えば図1に示したように、単結晶インゴット1がインゴット製造ライン3で製造されてから加工ライン4で加工が施されるまでの単結晶インゴットの工程管理を行う管理システムであって、製造された単結晶インゴット1に取り付ける無線ICタグ2と、この無線ICタグにデータを書き込むための第1及び第2の無線ICタグ書き込み手段5、6と、無線ICタグからデータを読み出すための第1ないし第3の無線ICタグ読み出し手段7、8、9と、無線ICタグへ書き込まれるデータ及び無線ICタグから読み出されるデータを記録して単結晶インゴットのデータを管理する第1及び第2のホストコンピュータ10、11とを具備するものである。
上記の単結晶インゴット1に取り付ける無線ICタグ2は、離れた位置に設置されている無線ICタグ書き込み手段及び読み出し手段から無線を利用してデータの読み書きが可能なものであれば良く、その形状や大きさ等は特に限定されない。また、例えば図2に示すように、無線ICタグ2は、単結晶インゴット1の表面(例えば、単結晶インゴット1の端面)にアニオン重合型の一液速硬化形接着剤もしくはエポキシ系接着剤等の接着剤を用いて直接接着することが好ましく、それにより、製造された単結晶インゴットに無線ICタグの取り付けを容易に行うことができるし、また、無線ICタグから単結晶インゴットのデータを読み出す際に、無線ICタグの位置を検出し易く、データの読み出しを簡便にまた高精度に行うことが可能となる。
この無線ICタグ2にデータの書き込みを行う無線ICタグ書き込み手段5、6としては、無線ICタグに無線で信号を送ることによって、所定の情報を無線ICタグに非接触で書き込むことができる無線タグライター等を用いることができる。そして、このような無線ICタグ書き込み手段が、例えば図1に示すように、インゴット製造工程を管理する第1のホストコンピュータ10と接続されていることにより、第1のホストコンピュータから単結晶インゴットの製造条件等のデータをダウンロードして、無線ICタグに容易に書き込んだり、また出荷情報等を書き加えたりすることができる。
また、無線ICタグ読み出し手段7、8、9としては、無線ICタグ2に無線で信号を送り、無線ICタグから送り返されてきた信号を受信することによって、無線ICタグに書き込まれたデータを非接触で読み込むことができる無線タグリーダーを用いることができる。また、例えば図1に示すように、第1の無線ICタグ読み出し手段7で読み出された単結晶インゴットのデータは、インゴット製造工程を管理する第1のホストコンピュータ10に送られることにより、インゴットの出荷状況等を管理することができるようになっている。一方、第2の無線ICタグ読み出し手段8及び第3の無線ICタグ読み出し手段9で読み出された単結晶インゴットのデータは、ウエーハ製造工程を管理する第2のホストコンピュータ11に送られることにより、その無線ICタグが取り付けられている単結晶インゴットの識別を容易に行うことができるようになっている。
さらに、インゴット製造工程に設置されている第1のホストコンピュータ10は、インゴット製造ライン3で行われるインゴットの育成や、インゴットの切断及び側面研削等のような工程を制御する各端末と接続されており、製造された単結晶インゴットの本数や製造履歴等が管理されている。また、この第1のホストコンピュータ10は、第1及び第2の無線ICタグ書き込み手段5、6で行ったデータの書き込みの履歴や第1の無線ICタグ読み出し手段7で読み取られたデータを記録することができる。
また、この第1のホストコンピュータ10とウエーハ製造工程に設置されている第2のホストコンピュータ11とはLAN回線12で接続されており、それぞれのホストコンピュータに保存されているデータを共有し、情報のやり取りを容易に行うことができるようになっている。
そして、第2のホストコンピュータ11では、第2及び第3の無線ICタグ読み出し手段8、9で読み取られたデータを記録し、上記第1のホストコンピュータ10で管理されているデータと照合することによって、無線ICタグが取り付けられている単結晶インゴットを正確に識別して管理することができる。また、この第2のホストコンピュータ11は、加工ライン4で加工工程の制御を行うそれぞれの端末と接続されており、第2のホストコンピュータ11で管理されている種々のデータをこれらの各端末に提供できるようになっている。
尚、図1では、インゴット製造工程及びウエーハ製造工程のそれぞれにホストコンピュータが設置される場合を例に挙げて示しているが、例えばインゴット製造工程とウエーハ製造工程とが隣接している場合等では、インゴット製造工程及びウエーハ製造工程でホストコンピュータを1台だけ設置し、その1台のホストコンピュータで単結晶インゴットの製造履歴、無線ICタグ書き込み手段で行ったデータの書き込みの履歴、無線ICタグ読み出し手段で読み取られたデータ等の管理を行うこともできる。
次に、本発明の単結晶インゴットの管理方法について詳細に説明する。
本発明の単結晶インゴットの管理方法は、単結晶インゴットに無線ICタグを付けた後、その無線ICタグへの単結晶インゴットのデータの書き込み、及び無線ICタグからのデータの読み出しを行うことによって、単結晶インゴットの工程管理を行うことに特徴を有するものである。
本発明の単結晶インゴットの管理方法は、単結晶インゴットに無線ICタグを付けた後、その無線ICタグへの単結晶インゴットのデータの書き込み、及び無線ICタグからのデータの読み出しを行うことによって、単結晶インゴットの工程管理を行うことに特徴を有するものである。
以下、図1を参照しながら具体的に説明すると、先ず、インゴット製造工程の製造ライン3で製造された単結晶インゴット1は、図2に示したようにインゴット表面に無線ICタグ2が各インゴットに少なくとも1つ取り付けられる。そして、この単結晶インゴット1に取り付けた無線ICタグ2に、第1の無線ICタグ書き込み手段5を用いて例えば単結晶インゴットの製造番号や、第1のホストコンピュータ10で管理されているインゴットの製造条件等の情報を書き込む。
次に、無線ICタグ2にデータが書き込まれた単結晶インゴット1は、コンベヤー13で梱包工程14に搬送される。この梱包工程14では、インゴットの形状や大きさ等に応じて発泡スチロールの輸送箱15に1箱当たり1本ないし数本のインゴットを梱包して、インゴットの出荷が行われる。
梱包工程14で輸送箱15に梱包された単結晶インゴットは、インゴット製造工程から出荷する際に第1の無線ICタグ読み出し手段7で無線ICタグから単結晶インゴットのデータを読み取り、そのインゴットのデータを第1のホストコンピュータ10に送る。そして、第1のホストホストコンピュータ10では、この無線ICタグから読み取られたデータから単結晶インゴットを識別すると同時に、ホストコンピュータ10で管理されている単結晶インゴットのデータに出荷済のコードを書き込む。また、それと同時に、第1のホストホストコンピュータ10から第2の無線ICタグ書き込み手段6に指令を送り、無線ICタグ書き込み手段6によって単結晶インゴットに取り付けられている無線ICタグに出荷履歴を示すデータが書き加えられる。
そして、インゴット製造工程から出荷された単結晶インゴットは、その後、輸送箱15に梱包されたままウエーハ製造工程に搬送されて、ウエーハ製造工程側で単結晶インゴットの受け入れが行われる。
このとき、輸送箱15に梱包されている単結晶インゴットは、コンベヤー13で順に搬送する際に第2の無線ICタグ読み出し手段8によって無線ICタグから単結晶インゴットのデータが読み出され、そこで得られた単結晶インゴットのデータはウエーハ製造工程を管理する第2のホストコンピュータ11に送られる。
このように第2の無線ICタグ読み出し手段8からデータが送られてきた第2のホストコンピュータ11では、この単結晶インゴットのデータを記録するとともに、LAN回線で接続されている第1のホストコンピュータ10にアクセスして単結晶インゴットの識別を行う。そして、そこで識別された単結晶インゴットの製造履歴とウエーハ製造工程への受け入れの履歴が単結晶インゴットの情報として第2のホストコンピュータ11に保存され、データベース化される。このように第2のホストコンピュータ11でデータベース化された単結晶インゴットの情報は、加工ライン4を制御する各端末や、その後ウエーハに施される各種処理の制御を行う別のホストコンピュータ等に提供することができる。
続いて、上記のようにウエーハ製造工程側で受け入れされた単結晶インゴットは、インゴットストッカー16に搬送されて保管される。このとき、第2のホストコンピュータ11では、インゴットが保管されるストッカー16の保管庫17の情報を記録し、上記インゴットの情報と連動させることによって、ストッカー16に保管するインゴットを保管庫のパレット毎に正確に管理することができる。
その後、単結晶インゴットの加工を行うためにストッカー16に保管されている単結晶インゴットを取り出すときには、第2のホストコンピュータ11にて単結晶インゴットの保管が正確に管理されているので、所定の単結晶インゴットを保管庫17から安定して取り出して、コンベヤー13で加工ライン4へ搬送することができる。その際、第3の無線ICタグ読み出し手段9によって無線ICタグから単結晶インゴットのデータを読み出し、第2のホストコンピュータ11でインゴットの識別を行うことによって、ストッカー16から取り出された単結晶インゴットが所定のものであることを容易に確認することができる。
以上のように、本発明の単結晶インゴットの管理方法によれば、単結晶インゴットに無線ICタグを取り付けることによって、単結晶インゴットの出荷、受け入れ、保管等の工程内容をホストコンピュータに自動で入力することができ、製造された単結晶インゴットの工程管理を自動化して高精度に行うことができる。それによって、インゴット製造工程から単結晶インゴットを出荷する際の出荷作業や、ウエーハ製造工程でのインゴットの受け入れ、ストッカーへの保管、ストッカーからの取り出し等の作業を人手を介さずに簡便にかつ円滑に行うことが可能となり、単結晶インゴットを製造してからウエーハへの加工を行うまでの作業者に対する負担を大幅に軽減し、工程管理の省力化やコストダウンを図ることができる。
また、上記のように単結晶インゴットの工程管理を人手を介さずに行うことによって、工程管理上の人為的なミスが大幅に減少するため、例えば納期管理等を非常に正確に行うことが可能となる。
さらに、本発明では、単結晶インゴットの受け入れ時に記録された単結晶インゴットの製造条件やスペック等のデータをデータベース化して正確に管理でき、また、それらの単結晶インゴットのデータをウエーハ製造工程に設置されている各端末や、その後の処理を管理する別のホストコンピュータ等に安定して提供することができるので、単結晶ウエーハ製造における全体の管理を円滑、低コスト化、自動化等するのに資する。
なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は単なる例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。
例えば、上記では、インゴット製造工程で製造した単結晶インゴットを輸送箱に梱包して出荷する場合を例に挙げて説明を行っているが、本発明はこれに限定されず、例えばインゴット製造工程とウエーハ製造工程が隣接しており、単結晶インゴットを直接ウエーハ製造工程で受け入れてストッカーに保管する場合等にも同様に適用できるものである。さらに、本発明の単結晶インゴットの管理システムに設置される無線ICタグ書き込み手段及び無線ICタグ読み出し手段の設置位置や設置数についても特に限定されず、必要に応じて適宜変更することができる。
1…単結晶インゴット、 2…無線ICタグ、
3…インゴット製造ライン、 4…加工ライン、
5…第1の無線ICタグ書き込み手段、 6…第2の無線ICタグ書き込み手段、
7…第1の無線ICタグ読み出し手段、 8…第2の無線ICタグ読み出し手段、
9…第3の無線ICタグ読み出し手段、
10…第1のホストコンピュータ、 11…第2のホストコンピュータ、
12…LAN回線、 13…コンベヤー、 14…梱包工程、
15…輸送箱、 16…インゴットストッカー、 17…保管庫、
21…単結晶インゴット、 22…バーコード、 23…輸送箱。
3…インゴット製造ライン、 4…加工ライン、
5…第1の無線ICタグ書き込み手段、 6…第2の無線ICタグ書き込み手段、
7…第1の無線ICタグ読み出し手段、 8…第2の無線ICタグ読み出し手段、
9…第3の無線ICタグ読み出し手段、
10…第1のホストコンピュータ、 11…第2のホストコンピュータ、
12…LAN回線、 13…コンベヤー、 14…梱包工程、
15…輸送箱、 16…インゴットストッカー、 17…保管庫、
21…単結晶インゴット、 22…バーコード、 23…輸送箱。
Claims (8)
- 製造した単結晶インゴットの工程管理を行う管理方法において、前記単結晶インゴットに無線ICタグを付けた後、該無線ICタグへの単結晶インゴットのデータの書き込み、及び該無線ICタグからのデータの読み出しを行うことによって、前記単結晶インゴットの工程管理を行うことを特徴とする単結晶インゴットの管理方法。
- 前記無線ICタグに、単結晶インゴットの製造条件の情報をデータとして書き込むことを特徴とする請求項1に記載の単結晶インゴットの管理方法。
- 前記単結晶インゴットの加工を行う際に、前記無線ICタグからデータを読み出して単結晶インゴットを識別することを特徴とする請求項1または請求項2に記載の単結晶インゴットの管理方法。
- 前記製造した単結晶インゴットをストッカーに保管する場合に、前記無線ICタグからデータを読み出して単結晶インゴットを識別し、該ストッカーに保管する単結晶インゴットを管理することを特徴とする請求項1ないし請求項3の何れか一項に記載の単結晶インゴットの管理方法。
- 前記ストッカーに保管されている単結晶インゴットを取り出す際に、前記無線ICタグからデータを読み出して単結晶インゴットを識別することを特徴とする請求項4に記載の単結晶インゴットの管理方法。
- 前記無線ICタグを、前記単結晶インゴットの表面に直接接着することを特徴とする請求項1ないし請求項5の何れか一項に記載の単結晶インゴットの管理方法。
- 製造した単結晶インゴットの工程管理を行う管理システムであって、少なくとも、前記単結晶インゴットに付ける無線ICタグと、該無線ICタグにデータを書き込むための無線ICタグ書き込み手段と、前記無線ICタグからデータを読み出すための無線ICタグ読み出し手段と、前記無線ICタグへ書き込まれるデータ及び前記無線ICタグから読み出されるデータを記録して前記単結晶インゴットのデータを管理するホストコンピュータとを具備することを特徴とする単結晶インゴットの管理システム。
- 前記ホストコンピュータが少なくとも2台以上設置される場合、該ホストコンピュータ同士がLAN回線で接続されていることを特徴とする請求項7に記載の単結晶インゴットの管理システム。
Priority Applications (1)
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JP2004000843A JP2005197387A (ja) | 2004-01-06 | 2004-01-06 | 単結晶インゴットの管理方法及び単結晶インゴットの管理システム |
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-
2004
- 2004-01-06 JP JP2004000843A patent/JP2005197387A/ja active Pending
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