JP7375109B2 - 干渉計における周期誤差の測定および校正の手順 - Google Patents
干渉計における周期誤差の測定および校正の手順 Download PDFInfo
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Description
本出願は、2016年7月13日に出願された欧州出願第16179189.2号の優先権を主張し、それらの全体が本明細書に援用される。
本発明のいくつかの実施の形態が付属の概略的な図面を参照して以下に説明されるがこれらは例示に過ぎない。各図面において対応する参照符号は対応する部分を指し示す。
上述の説明は例示であり、限定を意図しない。よって、後述の特許請求の範囲から逸脱することなく既述の本発明に変更を加えることができるということは、関連技術の当業者には明らかなことである。
Claims (7)
- 光学測定システムの校正のための方法であって、
- 測定方向に沿ってターゲットの第1位置を測定するステップと、
- 前記ターゲットが前記第1位置にあるときに前記光学測定システムの第1周期誤差を決定するステップと、
- 前記測定方向に沿って前記ターゲットの第2位置を測定するステップと、を備え、前記第2位置は、少なくともz方向において前記第1位置とは異なり、前記z方向は、前記測定方向以外の方向であり、
- 前記ターゲットが前記第2位置にあるときに前記光学測定システムの第2周期誤差を決定するステップと、
- 前記第1周期誤差に基づく第1補正値を保存するステップと、
- 前記第2周期誤差に基づく第2補正値を保存するステップと、を備える方法。 - - 前記ターゲットが前記第1位置またはその近傍にあるとき前記第1補正値により前記光学測定システムの測定値を補正し、
- 前記ターゲットが前記第2位置またはその近傍にあるとき前記第2補正値により前記光学測定システムの更なる測定値を補正することを備える請求項1に記載の方法。 - - 前記ターゲットが前記第1位置にありかつ前記ターゲットが第1角度姿勢にあるときに前記光学測定システムの前記第1周期誤差を決定し、
- 前記ターゲットが前記第1位置にありかつ前記ターゲットが前記第1角度姿勢とは異なる第2角度姿勢にあるときに前記光学測定システムの更なる第1周期誤差を決定し、
- 前記更なる第1周期誤差に基づいて更なる第1補正値を保存し、
- 前記ターゲットが前記第1位置またはその近傍にあり前記第1角度姿勢を有するとき前記第1補正値により前記光学測定システムの測定値を補正し、
- 前記ターゲットが前記第1位置またはその近傍にあり前記第2角度姿勢を有するとき前記更なる第1補正値により前記光学測定システムの測定値を補正することを備える請求項1または2に記載の方法。 - 前記光学測定システムは、エンコーダシステムである請求項1から3のいずれかに記載の方法。
- 前記光学測定システムは、干渉計システムである請求項1から3のいずれかに記載の方法。
- 請求項1から5のいずれかに記載の方法を実行するように構成されている処理システム。
- リソグラフィ装置のための光学測定システムの校正のための方法であって、前記光学測定システムは、物体の位置または角度姿勢を測定し、ターゲットが前記物体に接続されており、前記方法は、
- 測定方向に沿って前記ターゲットの第1位置または第1角度姿勢を測定するステップと、
- 前記ターゲットが測定された前記第1位置にありまたは測定された前記第1角度姿勢にあるときに前記光学測定システムの検出器からの測定信号を使用して前記光学測定システムの第1周期誤差を決定するステップと、
- 前記測定方向に沿って前記ターゲットの第2位置または第2角度姿勢を測定するステップと、を備え、前記第2位置は、少なくともz方向において前記第1位置とは異なり、前記z方向は、前記測定方向以外の方向であり、
- 前記ターゲットが測定された前記第2位置にありまたは測定された前記第2角度姿勢にあるときに前記光学測定システムの検出器からの測定信号を使用して前記光学測定システムの第2周期誤差を決定するステップと、
- 前記第1周期誤差に基づく第1補正値を保存するステップと、
- 前記第2周期誤差に基づく第2補正値を保存するステップと、を備える方法。
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