JP7080293B2 - 干渉計における周期誤差の測定および校正の手順 - Google Patents
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Description
本出願は、2016年7月13日に出願された欧州出願第16179189.2号の優先権を主張し、それらの全体が本明細書に援用される。
本発明のいくつかの実施の形態が付属の概略的な図面を参照して以下に説明されるがこれらは例示に過ぎない。各図面において対応する参照符号は対応する部分を指し示す。
上述の説明は例示であり、限定を意図しない。よって、後述の特許請求の範囲から逸脱することなく既述の本発明に変更を加えることができるということは、関連技術の当業者には明らかなことである。
Claims (6)
- 干渉計と、
処理システムと、を備え、
前記干渉計は、ターゲットへの前記干渉計の測定方向に沿う距離を示す第1距離信号を提供するように構成され、
前記干渉計は、前記ターゲットへの前記距離を示す第2距離信号を提供するように構成され、
前記第1距離信号は、第1波長をもつ放射ビームに基づき、
前記第2距離信号は、第2波長をもつ放射ビームに基づき、
前記第1波長は、前記第2波長と異なり、
前記処理システムは、前記第1距離信号により示される距離と前記第2距離信号により示される距離との差を決定するように構成され、
前記処理システムは、前記差に基づいて前記干渉計の周期誤差を決定するように構成されている干渉計システム。 - 前記干渉計は、ヘテロダイン干渉計である請求項1に記載の干渉計システム。
- 前記処理システムは、前記差に基づいて前記第1距離信号と前記第2距離信号の少なくとも1つを補正するように構成されている請求項1または2に記載の干渉計システム。
- 前記処理システムは、ある期間において前記第1距離信号の1セットの第1サンプルおよび前記第2距離信号の1セットの第2サンプルを収集するように構成され、
前記処理システムは、前記1セットの第1サンプルおよび前記1セットの第2サンプルに基づいて前記差を決定するように構成されている請求項1から3のいずれかに記載の干渉計システム。 - 前記処理システムは、前記第1距離信号と前記第2距離信号の結合に基づいて合成波長を生成するように構成され、前記1セットの第1サンプルおよび前記1セットの第2サンプルは、距離変化を示し、前記距離変化は、少なくとも前記合成波長の長さを有する請求項4に記載の干渉計システム。
- 干渉計と、
処理システムと、を備え、
前記干渉計は、ターゲットへの前記干渉計の測定方向に沿う距離を示す第1距離信号を提供するように構成され、
前記干渉計は、前記ターゲットへの前記距離を示す第2距離信号を提供するように構成され、
前記第1距離信号は、第1波長をもつ放射ビームに基づき、
前記第2距離信号は、第2波長をもつ放射ビームに基づき、
前記第1波長は、前記第2波長と異なり、
前記処理システムは、前記第1距離信号により示される距離と前記第2距離信号により示される距離との差を決定するように構成され、
前記処理システムは、ある期間において前記第1距離信号の1セットの第1サンプルおよび前記第2距離信号の1セットの第2サンプルを収集するように構成され、
前記処理システムは、前記1セットの第1サンプルおよび前記1セットの第2サンプルに基づいて前記差を決定するように構成され、
前記処理システムは、前記第1距離信号と前記第2距離信号の結合に基づいて合成波長を生成するように構成され、前記1セットの第1サンプルおよび前記1セットの第2サンプルは、距離変化を示し、前記距離変化は、少なくとも前記合成波長の長さを有する、干渉計システム。
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